CN207646310U - 一种晶圆电镀夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及了一种晶圆电镀夹具，包括：本体，在本体上设置有容置晶圆的凹槽，还包括自动卡紧机构。该自动卡紧机构包括支座、连杆、卡紧块及弹簧件等。其中，支座固定地连接在本体上，连杆与支座滑动连接，卡紧块用于对晶圆进行卡紧定位，其前端与本体相对的棱边上设置有倒角，该卡紧块固定的设置在连杆的一端，在连杆的另一端设置有手持部，弹簧件套合在连杆上，且布置于支座与卡紧块之间。该晶圆电镀夹具结构简单，功能可靠，在弹簧件回复力的作用下，卡紧块自动将晶圆压紧。

Description

一种晶圆电镀夹具

技术领域

本实用新型涉及晶圆电镀设备技术领域，尤其涉及一种晶圆电镀夹具。

背景技术

电镀是利用电解原理在某些导电材料表面镀上一薄层其他金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其他材料制作的表面附着一层金属膜的工艺。目前市场上的晶圆电镀夹具大多使用螺丝或压片固定，操作程序复杂，拆装效率较低，另外螺栓的松紧程度及压片强度不同也会影响晶圆电镀层厚薄不一，导致电镀质量参差不齐。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种结构简单，自动压紧的晶圆电镀夹具。

为了解决上述技术问题，本实用新型涉及了一种晶圆电镀夹具，包括：本体，在本体上设置有容置晶圆的凹槽，还包括自动卡紧机构。该自动卡紧机构包括支座、连杆、卡紧块及弹簧件。支座固定地连接在本体上，连杆与支座滑动连接，卡紧块用于对晶圆进行卡紧定位，其前端与本体相对的棱边上设置有倒角，该卡紧块固定的设置在连杆的一端，在连杆的另一端设置有手持部，弹簧件套合在连杆上，且布置于支座与卡紧块之间。

该晶圆电镀夹具结构简单，功能可靠。晶圆预先放置在电镀夹具本体上的凹槽内，而后，操作人员放开自动卡紧机构手持部，卡紧块在弹簧件回复力的作用下向晶圆方向移动，借助其前端与本体相对的棱边上设置的倒角对晶圆进行自动压紧，对厚度不同的晶圆均能可靠地进行定位，适用于不同规格的晶圆。

作为本实用新型的进一步改进，自动卡紧机构数量为3个，沿凹槽周向均布。

自动卡紧机构数量为3个，且沿凹槽周向均布，这样的设置便于晶圆压紧可靠，即使晶圆受到外力作用时，其也不易发生位移。

作为本实用新型的进一步改进，该晶圆电镀夹具还包括限位装置，该限位装置包括设置在连杆上的定位销。

通过限位装置对连杆的伸出量进行控制，从而对卡紧块的极限位置进行确定。

作为本实用新型的进一步改进，卡紧块上还设置有倾斜的工作面，与棱边上的倒角相对应。

卡紧块上设置有倾斜的工作面，且与棱边上的倒角相对应，这样一来，当需要将晶圆放进本体凹槽时，先将晶圆靠放在卡紧块倾斜的工作面上，而后下压晶圆，在分力的作用下各卡紧块自动后退，继续下压，而后在弹簧件自身回复力作用下，通过其棱边的倒角对晶圆自动压紧。

作为本实用新型的进一步改进，在工作面与棱边倒角之间设置有过渡圆弧。

在工作面与棱边倒角之间圆弧过渡，这样一来，在放置过程中，使得晶圆在卡紧块工作面与棱边上的倒角之间运行平滑，减少撞击。

作为本实用新型的进一步改进，支座与本体通过紧固件固定连接。

支座与本体间采用紧固件连接方式，结构简单，连接可靠，便于拆卸。

作为本实用新型的进一步改进，卡紧块与连杆通过螺纹连接。

连杆一端设置有螺纹，相对应地，在卡紧块上设置有与上述螺纹相适配的螺纹孔，使得两者装配过程简单，特别是当需要对卡紧块进行拆换时，方便进行更换。

作为本实用新型的进一步改进，连杆截面形状为非圆形。

连杆截面形状设计为非圆形，这样一来，在连杆与支座进行相对滑移时，卡紧块不会发生旋转现象，便于晶圆安装、定位。

作为本实用新型的进一步改进，本体由高刚性、耐腐蚀材料制成。

为了减少因夹具本体发生变形对晶圆电镀质量的影响，且从延长使用寿命考虑，晶圆电镀夹具本体选用高刚性、耐腐蚀材料制成。

作为本实用新型的进一步改进，材料为聚四氟乙烯。

聚四氟乙烯除了具有高刚性、耐腐蚀的特点，还具有耐高温，不粘附的特点，便于保持夹具的清洁。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型晶圆电镀夹具的结构示意图。

图2是本实用新型晶圆电镀夹具的局部剖视图。

图3是本实用新型晶圆电镀夹具的放置过程演示图。

1-本体；11-凹槽；2-晶圆；3-自动卡紧机构；31-支座；32-连杆；33-卡紧块；331-工作面；332-倒角；333-过渡圆弧；34-弹簧件；35-手持部；36-定位销。

具体实施方式

下面结合具体实施例，对本实用新型的内容做进一步的详细说明：

为了达到本实用新型的目的，图1示出了本实用新型晶圆电镀夹具的结构示意图。图2示出了本实用新型晶圆电镀夹具的局部剖视图。该晶圆电镀夹具包括：本体1，在本体1上设置有用于容置晶圆2的凹槽11，凹槽11的大小及外形根据不同规格的晶圆2外观来确定，另外还包括自动卡紧机构3。该自动卡紧机构3设置数量为3个，且沿凹槽11周向均布，这样一来，便于其对晶圆2进行压紧，即使晶圆2受到外力作用时，其也不易发生位移。进一步的优化，所有自动卡紧机构3的中心线延长线都通过凹槽11的形心，便于各自动卡紧机构进行自平衡调整。该自动卡紧机构3包括支座31、连杆32、卡紧块33及弹簧件34等。支座31通过螺钉等紧固件，与本体1固定地连接在一起，除此以外，还可以使用其他任意适合的可拆形式，当然，两者也可以永久固定连接。连杆32的截面形状可采用非圆形，如方形，且支座31上设置有与上述非圆形相适配的通孔，连杆32与支座31相互滑动连接。在连杆32的一端设置有卡紧块33，该紧块33用于对晶圆2进行卡紧定位，其前端与本体1相对的棱边上设置有倒角332，该倒角332尺寸根据实际晶圆2与夹紧块33的配合关系来进行确定。弹簧件34套合在连杆32上，且布置于支座31与卡紧块33之间。另外，在连杆32的另一端还设置有手持部35，操纵人员可方便地通过操纵连杆32对卡紧块33位置进行移动，以便于晶圆2放入夹具本体1上的凹槽11。作为进一步改进，在连杆32上还设置有定位销36。通过限位装置定位销36来对连杆32的伸出量进行控制，从而对卡紧块33的极限位置进行确定。

图3示出了本实用新型晶圆电镀夹具的放置过程演示图。具体操作步骤如下：

一：将晶圆2靠放在卡紧块33倾斜的工作面331上；

二：下压晶圆2；在此需要特别提醒一点，下压位置尽量靠近卡紧块33，以免晶圆2受力不均发生破裂现象；

三：在分力的作用下晶圆2边缘迫使各卡紧块33后退；

四：晶圆3越过工作面331与过渡圆弧333，与倒角332相接触；

五：在弹簧件34自身回复力作用下，通过卡紧块33上棱边的倒角332对晶圆2自动压紧。

更进一步的优化，为了减少因晶圆电镀夹具本体1发生变形对晶圆2电镀质量的影响，且从延长其使用寿命考虑，其由高刚性、耐腐蚀的材料制成，优选聚四氟乙烯。

对所公开的实施例的所述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆电镀夹具，包括：本体，在所述本体上设置有容置晶圆的凹槽，其特征在于：还包括自动卡紧机构；所述自动卡紧机构包括支座、连杆、卡紧块及弹簧件；所述支座固定地连接在所述本体上；所述连杆与所述支座滑动连接；所述卡紧块用于对晶圆进行卡紧定位，其前端与本体相对的棱边上设置有倒角；所述卡紧块固定的设置在连杆的一端，在连杆的另一端设置有手持部；所述弹簧件套合在所述连杆上，且布置于所述支座与所述卡紧块之间。

2.根据权利要求1所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，所述自动卡紧机构数量为3个，沿所述凹槽周向均布。

3.根据权利要求2所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，还包括限位装置；所述限位装置包括设置在所述连杆上的定位销。

4.根据权利要求3中所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，所述卡紧块上还设置有倾斜的工作面，与所述棱边上的倒角相对应。

5.根据权利要求4中所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，在所述工作面与所述棱边倒角之间设置有过渡圆弧。

6.根据权利要求1所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，所述支座与所述本体通过紧固件固定连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，所述卡紧块与所述连杆通过螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，所述连杆截面形状为非圆形。

9.根据权利要求1所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，所述本体由高刚性、耐腐蚀材料制成。

10.根据权利要求9所述的晶圆电镀夹具，其特征在于，所述材料为聚四氟乙烯。