CN207409466U - 一种石墨舟片及石墨舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石墨舟片及石墨舟，所述石墨舟片包括舟片本体，所述舟片本体上设置有多个硅片承载位，舟片本体上在硅片承载位的外侧设置有卡点，所述硅片承载位上设置有吸附孔，所述吸附孔的孔径为1.8‑2.2mm。本实用新型通过将吸附孔的孔径设置为1.8‑2.2mm，解决了现有石墨舟两侧硅片与舟片间贴合力较大的问题。

Description

一种石墨舟片及石墨舟

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种石墨舟片及石墨舟。

背景技术

石墨舟是为硅片镀膜提供载体的一种装置。现有的石墨舟包括多个石墨舟片，每个石墨舟片上设有多个承载位，承载位与硅片大小配合，用于支撑硅片。

在硅片镀膜工序，硅片自动装卸自动化取片时，石墨舟两侧硅片与舟片间贴合力较大，取片时经常出现取不出现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟片，解决现有石墨舟两侧硅片与舟片间贴合力较大的问题。

此外，本是实用新型还提供一种由上述石墨舟片制成的石墨舟。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种石墨舟片，包括舟片本体，所述舟片本体上设置有多个硅片承载位，舟片本体上在硅片承载位的外侧设置有卡点，所述硅片承载位上设置有吸附孔，所述吸附孔的孔径为1.8-2.2mm。

在现有技术中，吸附孔侧尺寸为1mm，在真空下，较小的孔径会产生较大的吸附力，导致石墨舟两侧硅片与舟片间贴合力较大，取片时经常出现取不出现象。

申请人从解决上述技术问题出发，对吸附孔的孔径进行改进，从1-2.5mm的孔径没间隔0.2mm进行试验，最终发现，将吸附孔的孔径设置为1.8-2.2mm，不会出现取片时经常出现取不出现象，同时能够避免孔径过大导致的吸附不稳的问题。

本实用新型通过对吸附孔的孔径进行改进，将吸附孔的孔径设置为1.8-2.2mm，解决了现有石墨舟两侧硅片与舟片间贴合力较大的问题，在取片时经常出现取不出现象。

进一步地，吸附孔的孔径为2.0mm。

申请人通过试验发现，将吸附孔的孔径设置为2.0mm，效果最佳。

进一步地，硅片承载位上设置有3个吸附孔。

进一步地，3个吸附孔呈倒三角形排布。

上述设置具有很好的吸附稳定性。

进一步地，三角形为正三角形。

进一步地，卡点设置有3个，3个卡点分布在硅片承载位的3个不同外侧。

进一步地，舟片本体上设置有多个凹槽，所述硅片承载位和卡点设置在凹槽内。

所述凹槽的设置能够避免舟片本体在使用时发生偏移，而且能够避免硅片凸出于舟片本体，有利于保护硅片。

进一步地，凹槽的深度与硅片的厚度一致。

一种石墨舟，包括上述石墨舟片。

进一步地，石墨舟包括多个舟片本体，所述多个舟片本体平行设置，所述多个舟片本体之间通过陶瓷管连接。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

本实用新型通过对吸附孔的孔径进行改进，将吸附孔的孔径设置为1.8-2.2mm，解决了现有石墨舟两侧硅片与舟片间贴合力较大的问题，在取片时经常出现取不出现象。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：

图1是石墨舟片的结构示意图；

图2是石墨舟的结构示意图。

附图中标记及对应的零部件名称：

1-舟片本体，2-硅片承载位，3-卡点，4-吸附孔，5-陶瓷管。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。

实施例1：

如图1所示，一种石墨舟片，包括舟片本体1，所述舟片本体1上设置有多个硅片承载位2，舟片本体1上在硅片承载位2的外侧设置有卡点3，所述卡点3设置有3个，3个卡点3分布在硅片承载位2的3个不同外侧，所述硅片承载位2上设置有吸附孔4，所述硅片承载位2上设置有3个吸附孔4，3个吸附孔4呈倒三角形排布，所述三角形为正三角形，所述吸附孔4的孔径为1.8mm。

实施例2：

如图1所示，本实施例基于实施例1，所述吸附孔4的孔径为2.2mm。

实施例3：

如图1所示，本实施例基于实施例1，所述吸附孔4的孔径为2.0mm。

实施例4：

如图1所示，本实施例基于实施例1至实施例3任一项，所述舟片本体1上设置有多个凹槽，所述硅片承载位2和卡点3设置在凹槽内，所述凹槽的深度与硅片的厚度一致。

如图1、图2所示，一种石墨舟，包括实施例1至实施例4任一项所述石墨舟片，所述石墨舟包括多个舟片本体1，所述多个舟片本体1平行设置，所述多个舟片本体1之间通过陶瓷管5连接。

以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石墨舟片，其特征在于，包括舟片本体(1)，所述舟片本体(1)上设置有多个硅片承载位(2)，舟片本体(1)上在硅片承载位(2)的外侧设置有卡点(3)，所述硅片承载位(2)上设置有吸附孔(4)，所述吸附孔(4)的孔径为1.8-2.2mm。

2.根据权利要求1所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述吸附孔(4)的孔径为2.0mm。

3.根据权利要求1所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述硅片承载位(2)上设置有3个吸附孔(4)。

4.根据权利要求3所述的一种石墨舟片，其特征在于，3个吸附孔(4)呈倒三角形排布。

5.根据权利要求4所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述三角形为正三角形。

6.根据权利要求1所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述卡点(3)设置有3个，3个卡点(3)分布在硅片承载位(2)的3个不同外侧。

7.根据权利要求1所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述舟片本体(1)上设置有多个凹槽，所述硅片承载位(2)和卡点(3)设置在凹槽内。

8.根据权利要求7所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述凹槽的深度与硅片的厚度一致。

9.一种石墨舟，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述石墨舟片。

10.根据权利要求9所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟包括多个舟片本体(1)，所述多个舟片本体(1)平行设置，所述多个舟片本体(1)之间通过陶瓷管(5)连接。