CN206069990U - 蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置用于蒸镀基板，包括蒸镀源、喷嘴、限制板以及第一加热部件，蒸镀源，所述蒸镀源的数量为多个，多个所述蒸镀源均设置在所述基板的一侧；喷嘴，所述喷嘴的数量为多个，所述喷嘴设置在所述蒸镀源上，且所述喷嘴与所述蒸镀源一一对应，多个所述喷嘴均面向所述基板；限制板，所述限制板设置在所述蒸镀源的两侧；以及第一加热部件，所述第一加热部件设置在所述限制板上，所述第一加热部件用于对所述限制板进行加热。上述蒸镀装置，能够实现对限制板上堆积的材料进行实时处理，从而防止其脱落堵塞喷嘴。

Description

蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及显示器件制造技术领域，特别是涉及一种蒸镀装置。

背景技术

在显示器件的蒸镀工艺中，为了保证显示器件的基板上的蒸镀膜的膜厚均匀性，同时避免蒸镀用的有机材料蒸镀到不需要的区域而污染其它区域。通常，在蒸镀源的两侧设置限制板。

在蒸镀过程中，由于长时间蒸镀，限制板上会堆积很多有机材料。随着限制板上材料堆积量的增加，该堆积的材料可能发生脱落或者漂移而粘附在喷嘴上而导致喷嘴堵塞的现象，因此，需要进行开腔处理来取出堵塞在喷嘴上的材料，进而浪费材料并影响产能。

实用新型内容

基于此，有必要针对如何解决喷嘴堵塞的问题，提供一种蒸镀装置。

一种蒸镀装置，一种蒸镀装置，所述蒸镀装置用于蒸镀基板，所述蒸镀装置包括：

蒸镀源，所述蒸镀源的数量为多个，多个所述蒸镀源均设置在所述基板的一侧；

喷嘴，所述喷嘴的数量为多个，所述喷嘴设置在所述蒸镀源上，且所述喷嘴与所述蒸镀源一一对应，多个所述喷嘴均面向所述基板；

限制板，所述限制板设置在所述蒸镀源的两侧；以及

第一加热部件，所述第一加热部件设置在所述限制板上，所述第一加热部件用于对所述限制板进行加热。

上述蒸镀装置，蒸镀源设置在需进行蒸镀的基板的一侧，每个蒸镀源上设置有喷嘴，喷嘴面向基板，从而蒸镀源中的材料通过喷嘴喷出对基板进行蒸镀，而蒸镀源的两侧均设置有限制板，限制板用于限制喷嘴喷出的角度，通过在限制板上设置第一加热部件，第一加热部件用于对限制板进行加热，从而在蒸镀过程中，喷嘴喷出的材料沉积在限制板上，通过第一加热部件对限制板进行加热，将堆积在限制板上的材料进行升华，进而避免材料在限制板上堆积，进而避免堆积的材料可能发生脱落或者漂移而粘附在喷嘴上而导致喷嘴堵塞的现象。

在其中一个实施例中，还包括防脱件，所述防脱件设置在所述限制板面向所述喷嘴的表面上，所述防脱件上设置有网状结构。

在其中一个实施例中，所述防脱件设置在所述限制板面向所述喷嘴的整个表面上。

在其中一个实施例中，所述限制板面向所述喷嘴的表面上开设有多个孔。

在其中一个实施例中，所述限制板面向所述喷嘴的表面和所述基板垂直。

在其中一个实施例中，所述限制板面向所述喷嘴的表面和所述基板的夹角为45度至90度。

在其中一个实施例中，还包括防粘贴薄膜，所述防粘贴薄膜设置在所述限制板面向所述喷嘴的表面上。

在其中一个实施例中，还包括第二加热部件，所述第二加热部件设置在所述喷嘴上。

在其中一个实施例中，所述第二加热部件环绕所述喷嘴设置。

在其中一个实施例中，所述第一加热部件设置在所述限制板的远离所述基板的一端上。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的蒸镀装置的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，一实施例的蒸镀装置100包括蒸镀源110、喷嘴120、限制板130以及第一加热部件140。该蒸镀装置100用于蒸镀显示器件的基板200，通过高精度金属掩膜版300对基板200进行蒸镀，在基板200的表面上形成蒸镀膜。

具体地，在本实施例中，蒸镀源110的数量为多个，多个蒸镀源110均设置在基板200的一侧。多个蒸镀源110依次排列。相对应地，喷嘴120的数量也为多个，喷嘴120设置在蒸镀源110上，且喷嘴120与蒸镀源110一一对应，每个蒸镀源110上设有一个喷嘴120，多个喷嘴120均面向基板200。

每个蒸镀源110的两侧均设置有限制板130，从而限制板130限制喷嘴120喷出的角度，保证蒸镀的均匀性，也避免蒸镀用的材料蒸镀到基板200的不需要蒸镀的区域而污染该区域。优选的，两个相邻的喷嘴120中间可以共用一个限制板130。

在蒸镀过程中，由于长时间蒸镀，限制板130上会堆积很多有机材料。随着限制板130上材料堆积量的增加，该堆积的材料可能发生脱落或者漂移而粘附在喷嘴120上而导致喷嘴堵塞的现象。因此，在本实施例中，在限制板130上设置第一加热部件140，第一加热部件140用于对限制板130进行加热，从而将限制板130堆积的材料加热升华掉，避免堆积的材料脱落或漂移而粘附在喷嘴120上。

需要说明的是，在本实施例中，第一加热部件140可以为加热器或加热板。每个限制板130上都设置有第一加热部件140，从而可以单独地启动哪个第一加热部件140对限制板130进行加热，也可以同时启动所有第一加热部件140对相对应的限制板130进行加热。此外，在本实施例中，为了加快热量的传导，限制板130由导热材料制得。

在本实施例中，参考图1，第一加热部件140设置在限制板130的远离基板200的一端上。需要说明的是，第一加热部件140也可以设置在限制板130的侧面等其他位置。

此外，为了进一步防止限制板130上堆积的材料脱落，在限制板130面向喷嘴120的表面上设置有防脱件150，也就是说，限制板130的靠近喷嘴120的表面上设置有防脱件150。防脱件150上设置有网状结构，材料会堆积在防脱件150上，而防脱件150上设置的网状结构，使得部分材料堆积在该网状结构中，避免堆积的材料脱落。在本实施例中，该网状结构为金属网状结构。优选的，防脱件150可以拆卸，从而便于更换，当材料堆积到一定程度时，可以通过更换防脱件150而无需清洗或更换限制板130。

优选地，限制板130面向喷嘴120的整个表面上都设置有防脱件150，即使得限制板130的靠近喷嘴120的整个表面上都覆盖有防脱件150，从而使得材料会堆积比较多，更好地避免材料的脱落。

此外，在其他实施例中，也可以直接在限制板130面向喷嘴120的表面上开设多个孔，该孔可以为盲孔也可以为通孔，或将网状结构直接设置在限制板130上。从而防止堆积在限制板130上的材料脱落而导致喷嘴120的堵塞。

在本实施例中，限制板130相对基板200垂直设置。在其他实施例中，限制板130也可以相对于基板200倾斜设置，优选的，该限制板130面向喷嘴120的表面和基板200的夹角为45度至90度。从而既能实现对喷射角度的限制，也能够使得堆积的材料不易脱落。

此外，限制板130面向喷嘴120的表面上设置有防粘贴薄膜，防粘贴薄膜用于防止喷嘴120喷出的材料粘贴在限制板130的表面上，从而材料从喷嘴120喷出的时候不易粘结在限制板130上，直接升华或在基板200上形成蒸镀膜。

蒸镀装置100还包括第二加热部件160，第二加热部件160设置在喷嘴120上，第二加热部件160与喷嘴120一一对应，第二加热部件160用于对喷嘴120进行加热。从而当有材料堆积在喷嘴120的周围时，第二加热部件160对喷嘴120进行加热使得喷嘴120周围的材料升华掉，从而避免喷嘴120堵塞。

优选的，该第二加热部件160环绕喷嘴120设置，从而使得加热更为均匀。

上述蒸镀装置100，蒸镀源110设置在需进行蒸镀的基板200的一侧，每个蒸镀源110上设置有喷嘴120，喷嘴120面向基板200，从而蒸镀源110中的材料通过喷嘴120喷出对基板200进行蒸镀，而蒸镀源110的两侧均设置有限制板130，限制板130用于限制喷嘴120喷出的角度，通过在限制板130上设置第一加热部件140，第一加热部件140用于对限制板130进行加热，从而在蒸镀过程中，喷嘴120喷出的材料沉积在限制板130上，通过第一加热部件140对限制板130进行加热，将堆积在限制板130上的材料进行升华，进而避免材料在限制板130上堆积，进而避免堆积的材料可能发生脱落或者漂移而粘附在喷嘴120上而导致喷嘴120堵塞的现象。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种蒸镀装置，所述蒸镀装置用于蒸镀基板，其特征在于，所述蒸镀装置包括：

蒸镀源，所述蒸镀源的数量为多个，多个所述蒸镀源均设置在所述基板的一侧；

喷嘴，所述喷嘴的数量为多个，所述喷嘴设置在所述蒸镀源上，且所述喷嘴与所述蒸镀源一一对应，多个所述喷嘴均面向所述基板；

限制板，所述限制板设置在所述蒸镀源的两侧；以及

第一加热部件，所述第一加热部件设置在所述限制板上，所述第一加热部件用于对所述限制板进行加热。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括防脱件，所述防脱件设置在所述限制板面向所述喷嘴的表面上，所述防脱件上设置有网状结构。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述防脱件设置在所述限制板面向所述喷嘴的整个表面上。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述限制板面向所述喷嘴的表面上开设有多个孔。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述限制板面向所述喷嘴的表面和所述基板垂直。

6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述限制板面向所述喷嘴的表面和所述基板的夹角为45度至90度。

7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括防粘贴薄膜，所述防粘贴薄膜设置在所述限制板面向所述喷嘴的表面上。

8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括第二加热部件，所述第二加热部件设置在所述喷嘴上。

9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二加热部件环绕所述喷嘴设置。

10.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一加热部件设置在所述限制板的远离所述基板的一端上。