CN110819940A - 一种蒸镀机构 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种蒸镀机构，包括坩埚和防尘装置，坩埚置于所述防尘装置上方，坩埚内部用于填充蒸镀材料，坩埚外壁包覆设置有加热装置，坩埚中部设置有多孔分散板，坩埚上部侧壁设置有供蒸镀材料蒸汽喷出的喷嘴，喷嘴与坩埚内部连通，所述喷嘴倾斜向下指向在防尘装置下方一侧的基板放置平台，基板放置平台的底面为平面，基板放置平台用于由上往下依次放置掩膜板和待蒸镀的基板。本方案采用基板在下，蒸镀机构在上的蒸镀方式，通过基板放置平台对基板整体支撑避免基板产生弯曲，从而避免弯曲对基板厚度和尺寸的限制；同时通过防尘装置可以有效防止颗粒掉落，从而防止掩膜板出现塞孔。
Description
技术领域
本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀机构。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)被发明以来，备受业界关注，经过几十年的发展，凭借其轻薄、可挠曲等特性，现已广泛应用在显示领域，是目前最具发展前景的显示技术。
OLED的核心部分是由多层的不同功能的有机层构成，这些有机层的厚度一般在
到之间，每层的厚度必须精确控制；目前，物理气象沉积法是制作有机层的主流技术：即将有机材料在真空腔中加热，使得材料气化或者升华，沉积在温度比较低的基板上，形成多层膜的OLED器件。
比较常见的做法是：基板在真空腔的上部并且镀膜面朝下，盛有有机材料的坩埚在腔体下部，有机材料在坩埚内部经过加热升华或者气化，沉积在基板上；由于基板的厚度一般在1mm以内且镀膜面朝下，只能在基板的边界处非镀膜区域做支撑，基板中间镀膜区域无法做支撑，因此基板在重力的作用下很容易产生bending(弯曲)；为了减小基板的bending，必须控制基板的尺寸并保持比较厚的厚度，限制了生产效率的提高和成本的节约。
发明内容
为此，需要提供一种蒸镀机构，解决现有的蒸镀机构需要较厚基板的问题。
为实现上述目的，发明人提供了一种蒸镀机构，包括坩埚和防尘装置，坩埚置于所述防尘装置上方，坩埚内部用于填充蒸镀材料，坩埚外壁包覆设置有加热装置，坩埚中部设置有多孔分散板，坩埚上部侧壁设置有供蒸镀材料蒸汽喷出的喷嘴，喷嘴与坩埚内部连通，所述喷嘴倾斜向下指向在防尘装置下方一侧的基板放置平台，基板放置平台的底面为平面，基板放置平台用于由上往下依次放置掩膜板和待蒸镀的基板。
进一步地，防尘装置包括底板和防尘板，防尘板设置在底板上，防尘板在喷嘴侧设置有翘起部，所述喷嘴在坩埚侧边缘、翘起部边缘、底板在喷嘴侧的边缘在竖直方向上为由中心往外依次设置，所述底板在喷嘴侧的边缘处在喷嘴在坩埚侧边缘与翘起部边缘连线的下方。
进一步地，底板在喷嘴侧的边缘与翘起部边缘在竖直方向上两者间距一厘米以上。
进一步地，喷嘴在坩埚侧边缘与翘起部边缘在竖直方向上两者间距一厘米以上。
进一步地，所述喷嘴为多个，多个喷嘴置于同一水平面上。
进一步地，还包括水平往复运动机构，水平往复运动机构用于带动坩埚和防尘装置在基板放置平台上方往复运动，或者：水平往复运动机构用于带动基板放置平台在坩埚和防尘装置下方往复运动。
进一步地，所述坩埚为线性蒸镀源坩埚。
进一步地，多孔分散板由耐高温的金属材料或合金制成。
进一步地，防尘装置由耐高温的金属材料或合金。
区别于现有技术，上述技术方案采用基板在下，蒸镀机构在上的蒸镀方式，通过基板放置平台对基板整体支撑避免基板产生弯曲，从而避免弯曲对基板厚度和尺寸的限制；同时通过防尘装置可以有效防止颗粒掉落，从而防止掩膜板出现塞孔。
附图说明
图1为改进前的一般蒸镀方式的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的蒸镀机构的示意图；
图3为本发明实施例的坩埚以及防尘装置位置示意图。
附图标记说明：
100、改进前的基板； 101、改进前的基板支架； 102、改进前的坩埚；
201、喷嘴； 202、加热装置； 203、蒸镀材料；
204、多孔分散板； 206、防尘装置； 2061、防尘板；
2062、底板； 2063、2064是防尘板边界处的翘起部；
207、蒸镀材料的蒸气；208/209/210、蒸镀时的蒸气的边界；
211、坩埚； 212、基板放置平台运动方向；
213、坩埚和防尘装置运动方向； 301、基板放置平台；
302、基板放置平台上的基板； 303、掩膜板；
401/406、是防尘板在竖置方向上的边界；
402/405、是底板在竖置方向上的边界；
403/404、是坩埚在竖直方向上的边界。
具体实施方式
为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
参见图1，改进前技术一般在蒸镀时，采用基板100在上，蒸镀源的坩埚102在下的方式蒸镀；由于基板只有边缘非蒸镀区域有基板支架101支撑，中间没有支撑结构，所以不可避免的会产生弯曲。基板尺寸越大，基板厚度越薄，弯曲就越大；弯曲限制了基板的尺寸和厚度，不利于生产效率的提高的成本节约。
参见图2，本发明提供了一种新的蒸镀机构，该机构的特点是基板在下，蒸镀机构在基板上方，该蒸镀机构应当置于真空腔中。该蒸镀机构主要包含坩埚211和防尘装置206，坩埚优选为线性蒸发源坩埚。基板放置在基板放置平台301上面，掩膜板303放在基板302上面。坩埚211内部是蒸镀材料(如有机材料)203，坩埚211外部有加热装置202，加热装置包覆在坩埚上可以实现整个坩埚的加热。204是内部的多孔分散板，可以使蒸镀材料蒸气均匀喷出，多孔分散板204一般由耐高温(＞500℃)的金属材料或合金(钛、铝、铁、铜等)制成。坩埚211有一个或者多个供蒸镀材料蒸气喷出的喷嘴201(出气孔)。该蒸镀机构的下部是防尘装置206，防尘装置206一般由耐高温(＞500℃)的金属材料或合金(钛、铝、铁、铜等)制成。防尘装置实现对蒸汽的遮挡，避免蒸汽蒸镀到基板放置平台上。防尘装置面积应当大于坩埚和喷嘴的面积，可以为一个单独的板。或者在某些实施例中，防尘装置206由防尘板2061和底板2062两部分构成，防尘板2061在底板2062上部，两者之间有一定的间隙；防尘板2061的边缘向上有翘起部2063和2064，翘起部2063为靠近喷嘴一侧的翘起部。以及参见图2，301是腔室底部的基板放置平台，302是置于平台上的基板，303是302上的掩膜板。
本发明在使用的时候，基板302可以平放在基板放置平台301的底面上，基板的镀膜面朝上。由于镀膜面朝上，基板的背面可以用一平面来支撑，基板就不会产生弯曲，使基板和掩膜板更好的贴合在一起，基板就不受尺寸和厚度的限制，无需较厚基板。而后蒸镀的时候坩埚上朝下设置的喷嘴可以让蒸汽由上往下蒸镀到基板上，完成蒸镀。
参见图2，加热装置202加热蒸镀材料203，蒸镀材料203气化形成蒸气207，蒸气207以一定角度从喷嘴201喷出，合理的设计翘起部2063的高度以及角度，可以避免蒸镀材料蒸气207蒸镀在底板2062上面。208/209/210为蒸汽形成的边界示意图。
参见图2，防尘板2061在上面，蒸气207可以蒸镀到防尘板2061上，随着蒸气207在防尘板2061上的累积，防尘板2061上很容易产生颗粒，产生的颗粒容易掉落，如果掉落到303掩膜板上面，就会造成掩膜板塞孔，引起点缺陷；为了改善颗粒掉落的情况，增加了底板2062；由于防尘板2061的遮挡，蒸气207并不能直接蒸镀在底板2062上面，所以底板2062可以保持洁净的状态，从而避免颗粒掉落。
如图3所示，虚线401，402，403，404，405，406都是表示坩埚211、防尘板2061以及底板2062在竖置方向上的边界(边缘)位置示意图；401和406是底板2062边界，402和405是防尘板2061的边界，403和404是坩埚211和喷嘴201的边界。401在402的右侧并且两者之间的距离在1cm以上，可以保证底板2062上的颗粒掉落在防尘板2061上，不会掉落到掩膜板303上面；通过合理的设计翘起部2063的高度和角度，以及402和403之间的距离，可以保证防尘板2061挡住材料蒸气207，底板2062不被镀上材料；402在403的右侧并且距离在1cm以上，坩埚211上掉落的颗粒可以被防尘板2061挡住，不掉落到底板2062上；另一侧也是类似的原理，404，405，406依次从右向左，间隔都在1cm以上。如上设置，可以保证：底板2062不被蒸气207镀到，坩埚掉下来的颗粒只能落在防尘板2061上，从而使得底板2062保持洁净的状态；底板2062保持洁净状态，颗粒掉落在303掩膜板上的几率就会大大减小。这样可以有效的防止颗粒掉落在掩膜板上(掉落的颗粒会堵住掩膜板上的孔，造成点缺陷)。
参见图2，为了实现均匀蒸镀，蒸镀机构或者基板两者之一必须做往复运动；212是基板放置平台301，302，303的运动方向，213是蒸镀机构(坩埚和防尘装置)的运动方向；只要两者之一可以实现往复运动，就可以实现材料的均匀蒸镀。在上述喷嘴是多个的实施例中，优选地，喷嘴处在一个直线上，而后往复运动的方向优选与喷嘴所在的直线方向垂直，可以实现方形平面的蒸镀。通过往复运动机构(如电动轨道)实现往复运动时，应当让喷嘴蒸汽的边界处在基板平面内，避免对基板外的结构进行蒸镀。
需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本发明的专利保护范围。因此，基于本发明的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本发明专利的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种蒸镀机构，其特征在于：包括坩埚和防尘装置，坩埚置于所述防尘装置上方，坩埚内部用于填充蒸镀材料，坩埚外壁包覆设置有加热装置，坩埚中部设置有多孔分散板，坩埚上部侧壁设置有供蒸镀材料蒸汽喷出的喷嘴，喷嘴与坩埚内部连通，所述喷嘴倾斜向下指向在防尘装置下方一侧的基板放置平台，基板放置平台的底面为平面，基板放置平台用于由上往下依次放置掩膜板和待蒸镀的基板。
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：防尘装置包括底板和防尘板，防尘板设置在底板上，防尘板在喷嘴侧设置有翘起部，所述喷嘴在坩埚侧边缘、翘起部边缘、底板在喷嘴侧的边缘在竖直方向上为由中心往外依次设置，所述底板在喷嘴侧的边缘处在喷嘴在坩埚侧边缘与翘起部边缘连线的下方。
3.根据权利要求2所述的一种蒸镀机构，其特征在于：底板在喷嘴侧的边缘与翘起部边缘在竖直方向上两者间距一厘米以上。
4.根据权利要求2所述的一种蒸镀机构，其特征在于：喷嘴在坩埚侧边缘与翘起部边缘在竖直方向上两者间距一厘米以上。
5.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：所述喷嘴为多个，多个喷嘴置于同一水平面上。
6.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：还包括水平往复运动机构，水平往复运动机构用于带动坩埚和防尘装置在基板放置平台上方往复运动，或者：水平往复运动机构用于带动基板放置平台在坩埚和防尘装置下方往复运动。
7.根据权利要求1到6任意一项所述的一种蒸镀机构，其特征在于：所述坩埚为线性蒸镀源坩埚。
8.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：多孔分散板由耐高温的金属材料或合金制成。
9.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：防尘装置由耐高温的金属材料或合金。
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