CN205521021U - 一种用于t-EBSD测试的样品夹具 - Google Patents

Abstract

一种用于t-EBSD测试的样品夹具，它涉及一种试验器具。为解决现有t-EBSD测试过程中薄样品需用粘胶粘在夹具上的缺陷，试样固定不理想则会出现移动，导致最终图像漂移，试验失败的问题。它包括基台和两组压片，每组压片主要由第一直段、第二直段和第三直段组成；基台为横截面为倒直角梯形的六棱柱，大底边所在的大底面上靠近斜面处开设有矩形台阶，所述大底面上沿基台的长度方向并排设置有两个压片；第二直段的一端与第三直段的一端连接并形成夹角，第一直段的一端通过安装在大底面上的弹簧铰链与第二直段的一端连接；本实用新型用于样品测试。

Description

一种用于t-EBSD测试的样品夹具

技术领域

本发明涉及一种试验器具，具体涉及一种用于t-EBSD测试的样品夹具。

背景技术

在扫描电子显微镜（SEM）中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成“衍射花样”，这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样（Electron Back-scattering Patterns，简称EBSP）晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射（Electron Backscattered Diffraction，简称EBSD）或取向成像显微技术（Orientation Imaging Microscopy，简称OIM）等。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射（给出结晶学的数据）。

采用传统EBSD模式时，入射电子与块状样品的作用范围大，产生背散射电子的横向区域宽度通常大于150nm，因此传统EBSD空间分辨率差；采用t-EBSD模式入射电子穿透样品，其横向扩展区域通常小于100nm，使得相分辨率高。

目前所采用的测试方法是将样品夹在样品夹台上，再将样品夹台固定在一个倾斜70°的支架上。由于样品夹台较重，在实验过程中会发生图像的漂移，导致结果存在较大误差，另外，一个夹台上只能加持一个样品，测试效率较差。

发明内容

本发明为解决现有t-EBSD测试过程中薄样品需用粘胶粘在夹具上的缺陷，试样固定不理想则会出现移动，导致最终图像漂移，试验失败的问题，进而提出一种用于t-EBSD测试的样品夹具

本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是：

一种用于t-EBSD测试的样品夹具包括基台和两组压片，每组压片主要由第一直段、第二直段和第三直段组成；基台为横截面为倒直角梯形的六棱柱，倒直角梯形的大底边与斜边之间的夹角β为70°，大底边所在的大底面上靠近斜面处开设有矩形台阶，矩形台阶的台面至大底面的距离h为0.1mm，所述大底面上沿基台的长度方向并排设置有两个压片；第

第二直段的一端与第三直段的一端连接并形成夹角，该夹角朝向大底面，第三直段的另一端置于半圆形台阶的上部，第一直段的一端通过安装在大底面上的弹簧铰链与第二直段的一端连接，第一直段的另一端向倒直角梯形的直腰延伸；

本实用新型具有以下有益效果：

一、可将t-ebsd薄试样稳固的固定在夹具体的半圆形台阶上，不会出现试样移动，导致最终图像漂移。

二、由于样品夹具的台阶在长度方向及宽度方向都与夹具的边缘平行，很好的解决了传统胶粘方法难以控制水平度及垂直度的问题。

三、由于是利用压片固定，解决了利用粘胶将样品粘在夹具上后必须静置一段时间以便胶水挥发，防止污染真空室的问题，节约了试验用时。

四、利用压片固定，解决了试样背面残余粘胶污染试样的问题，可以重复利用此试样进行其他实验。

五、由于样品夹具的台阶在长度方向及宽度方向都与夹具的边缘平行，利用压片及样品夹具台阶边缘固定试样，可多次将同一试样固定在同一位置，重复定位效果好。

附图说明

图1是本实用新型的主视图，图2是图1的左视图，图3是图1的俯视图，图4是图1的局部放大图，图5是本实用新型用于t-EBSD测试时放置在样品台上配合使用时的主视图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1-图5说明，本实施方式的一种用于t-EBSD测试的样品夹具包括基台1-1和两个压片，每个压片主要由第一直段1-2、第二直段1-3和第三直段1-4组成；基台1-1为横截面为倒直角梯形的六棱柱，倒直角梯形的大底边与斜边之间的夹角β为70°，大底边所在的大底面1-1-1上靠近斜面处开设有矩形台阶1-5，矩形台阶1-5沿基台1-1的长度方向设置，矩形台阶的台面1-5-1至大底面1-1-1的距离h为0.1mm，所述大底面1-1-1上沿基台1-1的长度方向并排设置有两个压片；

第二直段1-3的一端与第三直段1-4的一端连接并形成夹角，该夹角朝向大底面1-1-1，第三直段1-4的另一端置于半圆形台阶1-5的上部，第一直段1-2的一端通过安装在大底面1-1-1上的弹簧铰链与第二直段1-3的一端连接，第一直段1-2的另一端向倒直角梯形的直腰延伸。

具体实施方式二：结合图4说明，本实施方式的矩形台阶的台面1-5-1至大底面1-1-1的距离h为0.1mm。如此设置，试样可放置于矩形台阶上，有利于测试。其它与具体实施方式一相同。

具体实施方式三：结合图4说明，本实施方式的第二段1-2-2和第三段1-2-3之间的夹角α为160°。如此设置，满足压片固定试样于半圆形台阶上。其它与具体实施方式一或二相同。

具体实施方式四：结合图1和图4说明，本实施方式的压片为不锈钢压片。强度大，满足设计要求和实际需要。其它与具体实施方式三相同。

具体实施方式五：结合图4说明，本实施方式的压片的厚度为2mm。如此设置，满足设计要求和实际需要。其它与具体实施方式一、二或四相同。

工作过程

结合图1-图5说明，矩形台阶处有两组压片来固定试样，第一直段2-2和第二直段2-3安有弹簧铰链，按压第一直段2-2的另一端，则可通过弹簧铰链的作用使第三直段2-4的另一端向上张开，将试样拨入矩形台阶上，松开压片的第三直段2-4，则试样就固定在矩形台阶中。

如图5所示，本实用新型的用于t-EBSD测试的样品夹具需放置在EBSD样品台上配合使用，将EBSD样品台滑块3-1沿导轨3-2滑至靠近限位块3-3时，可将用于t-EBSD测试的样品夹具安装在EBSD样品台滑块3-1的前端。

Claims (4)

1.一种用于t-EBSD测试的样品夹具，其特征在于：它包括基台(1-1)和两组压片，每组压片主要由第一直段(1-2)、第二直段(1-3)和第三直段(1-4)组成；基台(1-1)为横截面为倒直角梯形的六棱柱，倒直角梯形的大底边与斜边之间的夹角β为70°，大底边所在的大底面(1-1-1)上靠近斜面处开设有矩形台阶(1-5)，矩形台阶的台面(1-5-1)至大底面(1-1-1)的距离h为0.1mm，所述大底面(1-1-1)上沿基台(1-1)的长度方向并排设置有两个压片；第二直段(1-3)的一端与第三直段(1-4)的一端连接并形成夹角，该夹角朝向大底面(1-1-1)，第三直段(1-4)的另一端置于矩形台阶(1-5)的上部，第一直段(1-2)的一端通过安装在大底面(1-1-1)上的弹簧铰链与第二直段(1-3)的一端连接，第一直段(1-2)的另一端向倒直角梯形的直腰延伸。

2.根据权利要求1所述的一种用于t-EBSD测试的样品夹具，其特征在于：矩形台阶(1-5)的长度与基台一致，都为132mm，宽度为10mm，矩形台阶的台面(1-5-1)至大底面(1-1-1)的距离h为0.1mm。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于t-EBSD测试的样品夹具，其特征在于：第二段(1-2-2)和第三段(1-2-3)之间的夹角α为160°。

4.根据权利要求3所述的一种用于t-EBSD测试的样品夹具，其特征在于：压片为不锈钢压片且由铰链连接在基台大底面(1-1-1)上。