CN204668280U - 检测治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于检测技术领域，尤其涉及一种检测治具，包括夹持部，所述夹持部包括：U型上体，U型下体；其中，所述U型上体与所述U型下体对接的“U”型内侧形成有凹槽；连接部，所述连接部固设于所述夹持部“U”型外侧的底部；手持部，所述手持部与所述夹持部通过所述连接部固定连接。与现有技术相比，本实用新型有益效果为：在使用过程中，仅仅需要将待检测物放置于凹槽内，夹持部即可将待检测物固定夹持，工作人员单手握持手持部，即可实现检测，不必担心在检测过程中待检测物滑落。

Description

检测治具

技术领域

本实用新型属于检测技术领域，尤其涉及一种检测治具。

背景技术

在半导体的生产制造过程中，通常需要对片状物品(晶圆或者玻璃)的表面进行检测，否则对表面不符合要求的片状物品做进一步加工会导致材料的浪费，同时会使得生产成本提高，以及生产效率降低。

现有的片状物品的表面检测主要有两种方法，一种是采用手持方法，即检测人员双手手持片状物品置于强光下检测，在检测人员手持不当或施压不均的情况下，容易造成片状物品掉落；同时，由于检测人员是用手持片状物品，极易给片状物品造成污染；另外，在检测人员手持过程中，片状物品的部分表面会被遮挡，所以需要调整片状物品的手持部位才能对片状物品进行完整的检测，故不能一次完成检测，需要二次手持操作，进而使得检测效率较低；另一种虽然可采用真空吸笔进行检测，但仍需工作人员手持片状物品进行辅助操作，即此种方法也会对片状物品的表面产生污染。

实用新型内容

本实用新型就是针对上述问题，提供一种检测方便、检测效率高、成本低廉的检测治具。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，一种检测治具，包括：

夹持部，所述夹持部包括：

U型上体，与所述U型上体相匹配的U型下体；其中，所述U型上体与所述U型下体对接的“U”型内侧形成有凹槽；

连接部，所述连接部固设于所述夹持部“U”型外侧的底部；

手持部，所述手持部与所述夹持部通过所述连接部固定连接。

上述的检测治具，其中，所述U型上体和所述U型下体的“U”型两侧分别均对称开设有孔洞。

上述的检测治具，其中，所述U型上体和所述U型下体通过对所述孔洞插接螺栓进行固定连接。

上述的检测治具，其中，所述凹槽的宽度为1mm-1.2mm，所述凹槽的深度为2mm-3mm。

上述的检测治具，其中，所述手持部的表面设有滚花摩擦面。

上述的检测治具，其中，所述检测治具以所述手持部轴线呈对称设置。

上述的任一种检测治具，其中，还包括：

固定部，所述固定部设置有凹槽，所述手持部插接于所述固定部的凹槽中。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

在使用过程中，仅仅需要将待检测物放置于凹槽内，夹持部即可将待检测物固定夹持，工作人员单手握持手持部，即可进行检测，不必担心在检测过程中待检测物滑落。工作人员在放置待检测物时，凹槽仅接触待检测物的边缘即可夹持待检测物，不需要接触待检测物的整体或接触较大的面积，不会对待检测物造成污染，同时利用上述的夹持部对待检测物进行一次夹持操作即可实现对待检测物的完整检测，其检测效率较高，同时成本也较低。

附图说明

图1为本实用新型检测治具的结构示意图；

图2为本实用新型的U型上体的结构示意图；

图3为本实用新型的U型下体的结构示意图；

图4为本实用新型的固定部的结构俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。本实用新型保护范围不仅局限于以下内容的表述。

可以理解的是，以下关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例中所描述的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。

如图1～3所示，一种检测治具，其中：包括：

夹持部1，所述夹持部1包括：

U型上体101，与所述U型上体101相匹配的U型下体102；其中，所述U型上体101与所述U型下体102对接的“U”型内侧形成有凹槽103；

连接部2，所述连接部2固设于所述夹持部1“U”型外侧的底部；

手持部3，所述手持部3与所述夹持部1通过所述连接部2固定连接。

本实用新型的工作原理是：本实用新型提供的一种检测治具，包括夹持部1，包括夹持部1包括一U型上体101，与所述U型上体101相匹配的U型下体102，所述U型上体101与所述U型下体102对接的“U”型内侧形成有凹槽103。在使用过程中，仅仅需要将待检测物放置于凹槽103内，夹持部1即可将待检测物固定夹持，工作人员单手握持手持部3，即可实现检测，不必担心在检测过程中待检测物滑落。工作人员在放置待检测物时，凹槽103仅接触待检测物边缘的无效区域即可夹持住待检测物，并不需要接触待检测物的有效区域，相应的就不会对待检测物的表面造成污染，同时夹持部1仅仅需要一次夹持待检测物即可实现对待检测物的完整检测，其检测效率较高，同时成本较较低。

上述的检测治具，其中，所述U型上体101和所述U型下体102的“U”型两侧分别均对称开设有孔洞4。进一步地，所述U型上体101和所述U型下体102通过对所述孔洞4插接螺栓进行固定连接。由于采用螺栓将U型上体101和U型下体102连接，所以其结构简单，且装卸方便。

进一步地，所述U型上体101可以通过至少一颗螺栓固定连接所述U型下体102。由于通过螺栓将U型上体101和U型下体102固定连接，其连接方式简单，且易于拆卸，其中螺栓的数量也可为2颗、4颗、8颗等，此处不做具体限定。

上述的检测治具，其中所述凹槽103的宽度为1mm-1.2mm，例如1mm、1.1mm或1.2mm等；所述凹槽103的深度为2mm-3mm，例如2mm、2.5mm或3mm等。因待检测物的厚度最大不超过0.725mm，故而将凹槽的宽度设计为1mm-1.2mm，方便待检测物放置于凹槽103中，另外待检测物的边缘3mm区域通常为无效区域，故而在检测过程中，将待检测物的无效区域放置于凹槽103中，避免对待检测物的有效区域造成污染。

下面列举一具体实施例进行详细阐述，以直径为200mm的晶圆为待检测物进行为例，将上述的检测治具设计为：所述夹持部1的外侧长度为232mm、所述夹持部1的内侧长度为195mm；所述凹槽103呈U型，所述凹槽103的开口宽度为204mm；所述U型上体101、U型下体102的内侧底部圆弧半径均为97.5mm。检测过程中，将晶圆的边缘放置于凹槽103内，即可实现夹持并可继续做检测。此处的具体尺寸仅仅为一种较佳的实施方式，并非是对本申请做的技术限定。

作为进一步优选实施方案，上述的检测治具，其中：所述检测治具以所述手持部3轴线呈对称设置。将检测治具以手持部3的轴线为对称轴线，使得检测治具为一个水平方向的对称装置，当待检测物品为对称物品，将检测治具设计为对称装置，用以进一步牢固夹持对称物品。

作为进一步优选实施方案，上述的检测治具，其中：所述手持部3设置有滚花摩擦面。将手持部3设置为滚花手柄装置，提高检测治具的防滑效果。

如图1和图4所示，作为进一步优选实施方案，一种检测治具，还包括固定部5，所述固定部5设置凹槽51，所述手持部3插装于所述固定部5的凹槽51中。在所述检测治具不使用的过程中，将检测治具的手持部3插装于所述固定部5的凹槽51中，摆放方便。再次使用检测治具时，直接从固定部5中拔出检测治具的手持部3即可。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种检测治具，其特征在于，包括：

夹持部，所述夹持部包括：

U型上体，与所述U型上体相匹配的U型下体；其中，所述U型上体与所述U型下体对接的“U”型内侧形成有凹槽；

连接部，所述连接部固设于所述夹持部“U”型外侧的底部；

手持部，所述手持部与所述夹持部通过所述连接部固定连接。

2.根据权利要求1所述的检测治具，其特征在于，所述U型上体和所述U型下体的“U”型两侧分别均对称开设有孔洞。

3.根据权利要求2所述的检测治具，其特征在于，所述U型上体和所述U型下体通过对所述孔洞插接螺栓进行固定连接。

4.根据权利要求1所述的检测治具，其特征在于，所述凹槽的宽度为1mm-1.2mm，所述凹槽的深度为2mm-3mm。

5.根据权利要求1所述的检测治具，其特征在于，所述手持部的表面设有滚花摩擦面。

6.根据权利要求1所述的检测治具，其特征在于，所述检测治具以所述手持部轴线呈对称设置。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的检测治具，其特征在于，还包括：

固定部，所述固定部设置有凹槽，所述手持部插接于所述固定部的凹槽中。