CN203607380U - 具防呆机构的晶舟抽片移转治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是有关于一种具防呆机构的晶舟抽片移转治具，包括有:一承置台、一滑设于承置台的滑杆、一固设于滑杆上的立杆及一固设于立杆上的推杆，防呆机构包括有:二压柱、四挡块、一第一连杆及一第二连杆。二压柱穿设于承置台上，包括有一第一压柱及一第二压柱;四挡块设置于承置台下方，包括有一第一挡块、一第二挡块、一第三挡块及一第四挡块;第一连杆，分别连接第二压柱及第二挡块与第三挡块;第二连杆则分别连接第一压柱及第一挡块与第四挡块。由此，可避免因置放于承置台上的二个晶舟未确实定位时，移动晶圆所可能造成晶圆碰撞或刮伤。
Description
技术领域
本实用新型是关于一种晶舟抽片移转治具，特别是有关于一种具防呆机构的晶舟抽片移转治具。
背景技术
请参阅图1是已知晶舟(cassette)的抽片移转示意图，一般而言，多个晶圆(wafer)91是先一起存放于一具有多个承置槽901的第一晶舟90内，每一晶圆91分别存放于每一承置槽901，以方便作业人员或机器设备的机械手臂取拿。
如图1所示，晶圆91在后续流程中检验时，若有必要，需从第一晶舟90中进行抽片移转至第二晶舟95的承置槽951，以检验晶圆91是否正常。其转换过程是先将第一晶舟90与第二晶舟95分别依序相邻置放于工作桌上，作业人员再利用右手握住真空笔去吸附取拿第一晶舟90的晶圆91的支持框，此时作业人员需避免真空笔去碰触到晶圆91的晶面，再将晶圆91放置于第二晶舟95的承置槽951上。
于转换过程中，若真空笔的吸力突然不够，或者作业人员突然碰触到真空笔的吸力释放键，则晶圆91会滑落，容易导致晶圆91刮伤、缺角或破片等情形。此时，若作业人员正好跨越第一晶舟90与第二晶舟95的上方，则将造成多片晶圆91相互碰撞而导致刮伤碎裂，并非十分理想。
请参阅图2是另一已知晶舟抽片移转治具的抽片移转示意图，其是利用一晶舟抽片移转治具来将第一晶舟88上的多个晶圆881移转至第二晶舟89上，该治具包括有：一具有多个支撑座85的承置台80、一滑杆81、一立杆82、及一推杆84。立杆82固设于滑杆81的一端，且立杆82具有一直向槽孔821。推杆84的二端分别固设有一推铲842及一操作杆83，操作杆83可滑设于立杆82的直向槽孔821中，故推杆84可通过操作杆83来调整推杆84的高度，以选择所要移转的第一晶舟88上的晶圆881，将的移转至第二晶舟89上。
图2所示的晶舟抽片移转治具，并无防呆的机构，需操作人员先确认二个对应的晶舟的位置，保持精确的位置，方能进行晶圆的转换作业，然操作人员有时会疏忽，没有确认晶舟摆放位置是否正确，即进行晶圆的转换作业，容易导致晶圆于转换时，产生晶圆刮伤、破裂等意外，亦非十分理想，尚有改善的空间。
创作人原因于此，本于积极发明创作的精神，亟思一种可以解决上述问题的“具防呆机构的晶舟抽片移转治具”，几经研究实验终至完成本实用新型。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是在提供一种具防呆机构的晶舟抽片移转治具，以便能当置放于承置台上的二个晶舟未确实定位时，晶舟抽片移转治具的滑块会阻挡滑杆的左右滑移，使得推杆无法左右滑移，亦即使作业人员无法利用推杆上的推铲来移转晶圆，可避免因晶舟未确实定位时，仍移动晶圆所可能造成晶圆碰撞或刮伤。
为达成上述目的，本实用新型的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，该晶舟抽片移转治具包括有：一承置台、一滑设于该承置台的滑杆、一固设于该滑杆上的立杆及一固设于该立杆上的推杆，其特征在于，该防呆机构包括有：
二压柱，穿设于该承置台，包括有一第一压柱及一第二压柱；
四挡块，设置于该承置台下方，包括有一第一挡块、一第二挡块、一第三挡块及一第四挡块；
一第一连杆，分别与该第二压柱、该第二挡块及该第三挡块相连；以及
一第二连杆，分别与该第一压柱、该第一挡块及该第四挡块相连。
其中，该第一连杆连结一第一枢转轴。
其中，该第二连杆连结一第二枢转轴。
其中，该滑杆上连结一滑块，该第一压柱可选择式下压或未下压，对应促使该第一挡块及该第四挡块底缘的水平高度高于或低于该滑块顶缘的水平高度。
其中，该第二压柱可选择式下压或未下压，对应地促使该第二挡块及该第三挡块底缘的水平高度高于或低于该滑块顶缘的水平高度。
该防呆机构还包括有一复位连杆、一重力块、一横杆、一第一支杆及一第二支杆，该复位连杆、该重力块及该横杆依序相连，该横杆与该第一连杆相连，该第一支杆的二端分别与该横杆及该第四挡块相连，该第二支杆的二端分别与该横杆及该第一挡块相连。
其中，该重力块呈契形状，该第一枢转轴穿设于该重力块及该第一连杆，该复位连杆可选择式内推或未内推，对应促使该四挡块底缘的水平高度高于或低于该滑块顶缘的水平高度。
其中，该承置台下底面设有多个支撑座，该滑杆穿设该多个支撑座。
其中，该复位连杆、该重力块及该横杆为一体式结构。
本实用新型的有益效果是，其可避免因晶舟未确实定位时，仍移动晶圆所可能造成晶圆碰撞或刮伤。
附图说明
以下，配合附图列举较佳实施例，用以对本实用新型的内容作进一步说明，其中：
图1是已知晶舟的抽片移转示意图。
图2是另一已知晶舟抽片移转治具的抽片移转示意图。
图3是本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的立体图。
图4是本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的另一不同视角立体图。
图5是本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的侧视示意图。
图6是本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的动作原理(一)示意图。
图7是本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的动作原理(二)示意图。
图8A是本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的复位动作原理(一)示意图。
图8B是本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的复位动作原理(二)示意图。
具体实施方式
请参阅图3与图4，其分别为本实用新型一较佳实施例具防呆机构的晶舟抽片移转治具二不同视角立体图。本实施例的晶舟抽片移转治具包括有：一承置台10、二滑设于承置台10的滑杆11、12、四支撑座15、16、17、18、一滑块33、一固设于滑杆19上的立杆14及一固设于立杆14的推杆13，推杆上固设有一推铲131，可用以移转晶舟(示于图6)上的晶圆(图未示)。
在本实施例中，滑杆11、12及滑杆19是经由滑块33而连成一体式结构。亦即，二滑杆11、12、滑杆19及滑块33是可一起水平左右连动滑移。另，滑杆11穿设于二支撑座15、16间，滑杆12穿设二支撑座17、18间，由此，使二滑杆11、12可平顺地水平左右滑移，进而使滑杆19也可平顺地水平左右滑移。
如图所示，晶舟抽片移转治具的防呆机构包括有：四压柱51、52、四挡块41、42、43、44、二第一连杆21、22、二第二连杆23、24、一复位连杆28、一横杆32、一第一支杆25、一第二支杆26及一重力块31。其中，四压柱51、52穿设于承置台10，四压柱包括有二第一压柱51及二第二压柱52。四挡块设置于承置台10下方，四挡块41、42、43、44包括有一第一挡块41、一第二挡块42、一第三挡块43及一第四挡块44。在本实施例中，复位连杆28、重力块31及横杆32是为一体式结构。
此外，第一连杆21分别与第二压柱52及第二挡块42相连，另第一连杆22则分别与第二压柱52及第三挡块43相连，二第一连杆21、22共同连结一第一枢转轴211。另外，第二连杆23分别与第一压柱51及第一挡块41相连，另第二连杆24则分别与第一压柱51及第四挡块44相连，第二连杆23连结一第二枢转轴231，另第二连杆24连结一第二枢转轴241。
请参阅图5、图6及图7，其分别本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的侧视示意图、及动作原理(一)(二)示意图，并请一并参阅图3。如图5所示，若承置台10上未置放任何晶舟时，四压柱51、52是凸出于承置台10上，此时，四挡块41、42、43、44会阻挡限制滑块33向左滑移，亦即，滑杆19不能向左滑移。
如图6所示，当要进行晶圆转换作业，亦即操作人员要将第一晶舟56上的晶圆移转至第二晶舟57(示于图7)上时，需第一晶舟56确实定位，方能通过第一晶舟56的重量将二第一压柱51下压，经由第二连杆23所连结的第二枢转轴231及第二连杆24所连结的第二枢转轴241，对应促使第一挡块41及第四挡块44可上移至其底缘的水平高度高于滑块33顶缘的水平高度。亦即，使第一挡块41及第四挡块44不会阻挡限制滑块33向左滑移，但此时第二挡块42及第三挡块43仍会阻挡限制滑块33向左滑移，滑杆19仍不能向左滑移。
如图7所示，当第二晶舟57确实定位，方能通过第二晶舟57的重量将二第二压柱52下压，经由二第一连杆21、22所共同连结的第一枢转轴211，对应地促使第二挡块42及第三挡块43可上移至其底缘的水平高度高于该滑块33顶缘的水平高度。亦即，第二挡块42及第三挡块43不会阻挡限制滑块33向左滑移，此时，四挡块41、42、43、44皆不会阻挡限制滑块33向左滑移，滑杆19方能向左滑移。换言之，需第一晶舟56与第二晶舟57皆确实定位，方能执行晶圆的移转作业。
请参阅图8A及图8B，其分别为本实用新型一较佳实施例的具防呆机构的晶舟抽片移转治具的复位动作原理(一)及(二)示意图，并请一并参阅图3。本实施例的复位原理是通过复位连杆28、重力块31及横杆32依序相连，横杆32与二第一连杆21，22相连，第一支杆25的二端分别与横杆32及第四挡块44相连，第二支杆26的二端分别与横杆32及第一挡块41相连。
在本实施例中，重力块31是呈契形状，第一枢转轴211穿设于重力块31及二第一连杆21、22，当复位连杆28向右推时，可对应促使四挡块41、42、43、44上移至其底缘的水平高度高于滑块33顶缘的水平高度，此时，四挡块41、42、43、44皆不会阻挡限制滑块33向左滑移，滑杆19可左右滑移。
由此，本实施例的防呆机构，当置放于承置台10上的二个晶舟56、57未确实定位时，晶舟抽片移转治具的滑块33会阻挡滑杆19的向左滑移，使得推杆13无法前后滑移，亦即使作业人员无法移转晶圆，可避免因晶舟56、57未确实定位时，仍移动晶圆所可能造成晶圆碰撞或刮伤。
此外，本实施例的复位机构，当复位连杆28向右推时，可同时使四挡块41、42、43、44上移至其底缘的水平高度高于滑块33顶缘的水平高度，进而促使滑杆19可左右滑移，可便于操作人员排除故障。
上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
Claims (9)
1.一种具防呆机构的晶舟抽片移转治具，该晶舟抽片移转治具包括有：一承置台、一滑设于该承置台的滑杆、一固设于该滑杆上的立杆及一固设于该立杆上的推杆，其特征在于，该防呆机构包括有：
二压柱，穿设于该承置台，包括有一第一压柱及一第二压柱；
四挡块，设置于该承置台下方，包括有一第一挡块、一第二挡块、一第三挡块及一第四挡块；
一第一连杆，分别与该第二压柱、该第二挡块及该第三挡块相连；以及
一第二连杆，分别与该第一压柱、该第一挡块及该第四挡块相连。
2.如权利要求1所述的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，其特征在于，其中，该第一连杆连结一第一枢转轴。
3.如权利要求1所述的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，其特征在于，其中，该第二连杆连结一第二枢转轴。
4.如权利要求2所述的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，其特征在于，其中，该滑杆上连结一滑块，该第一压柱可选择式下压或未下压，对应促使该第一挡块及该第四挡块底缘的水平高度高于或低于该滑块顶缘的水平高度。
5.如权利要求4所述的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，其特征在于，其中，该第二压柱可选择式下压或未下压，对应地促使该第二挡块及该第三挡块底缘的水平高度高于或低于该滑块顶缘的水平高度。
6.如权利要求4所述的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，其特征在于，该防呆机构还包括有一复位连杆、一重力块、一横杆、一第一支杆及一第二支杆，该复位连杆、该重力块及该横杆依序相连，该横杆与该第一连杆相连，该第一支杆的二端分别与该横杆及该第四挡块相连，该第二支杆的二端分别与该横杆及该第一挡块相连。
7.如权利要求6所述的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，其特征在于， 其中，该重力块呈契形状，该第一枢转轴穿设于该重力块及该第一连杆，该复位连杆可选择式内推或未内推，对应促使该四挡块底缘的水平高度高于或低于该滑块顶缘的水平高度。
8.如权利要求1所述的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，其特征在于，其中，该承置台下底面设有多个支撑座，该滑杆穿设该多个支撑座。
9.如权利要求6所述的具防呆机构的晶舟抽片移转治具，其特征在于，其中，该复位连杆、该重力块及该横杆为一体式结构。
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