CN203278769U - 不规则栅阵的声表面波谐振器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型不规则栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，金属栅阵包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅组成的金属栅阵在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一开路栅和第二开路栅在x方向为周期分布，在y方向上具有小角度的倾斜。本实用新型消除高阶横波模式对谐振器频率特性的影响，提高SAW谐振器的频率响应性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种可以消除高阶横波模式干扰的声表面波谐振器，以实现优化频率响应，属于信号与信息处理领域。
背景技术
谐振器型声表面波（SAW）滤波器，由于其性能好、体积小、成本低，易于批量生产等特点，被广泛应用于电信领域中。
一般SAW谐振器，是在压电基片表面溅射金属叉指换能器（Interdigital Transducer，IDT）、和金属栅阵。但是，SAW谐振器结构中，叉指换能器为有限长的声孔径，会产生各种声波衍射效应。
文献“Analysis of general planar waveguides with n segments,”（IEEE Ultrason. Symp., pp.137–141, 2000.）指出，声表面波谐振器表面可以分为3个区域：金属化区域、自由表面区域和栅阵。不同区域之间的声波速度不同，特别是金属叉指电极和金属栅阵的周期性设计，导致其他横向声波干扰模式的并存。也就是除了携带主要声波信号的基波谐振模式以外，还存在一系列的束缚模(bound modes)、半束缚模(semi-bound modes)和辐射模式(radiation modes)等一系列的高阶横波模式。这些高阶横波模式的存在，会降低带外抑制，影响通带内的群延时，导致通带内不平坦，恶化SAW滤波器的频率响应特性。
为了消除高阶横波模式的影响，已经出现了几种声表面波谐振器的结构设计。
（1） 文献“GHz SAW resonators”( IEEE Ultrason. Symp., pp. 815–823,1979)中报道，采用变迹加权或者汇流条采用锯齿状设计，可用于平滑高阶横波模式引起的尖峰，但是这会增大器件尺寸，并且不能消除高阶横波模式的存在。
（2） 文献“Low resistance quartz resonators for automotive applications without spurious modes” (IEEE Ultrason. Symp., pp. 1326–1329, 2004.)报道，采用第一阶非对称基波模式携带声波信号，可以一定频率范围内抑制高阶横波模式的影响，但是该方法仅限于高阶横波模式比较少的情况，而且会引起一定的频率偏移。
因此，现有技术存在缺陷，有待于进一步改进和发展。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种消除高阶横波模式干扰的声表面波谐振器。
为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是：
不规则栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，其中，金属栅阵包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅组成的金属栅阵在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一开路栅和第二开路栅在x方向为周期分布，在y方向上具有小角度的倾斜。
所述的不规则栅阵的声表面波谐振器，其中，所述金属叉指换能器的厚度为1500埃，所述金属叉指换能器的金属指条周期λ为9.86微米，共219根指条，孔径大小为32λ。
所述的不规则栅阵的声表面波谐振器，其中，所述第一开路栅和第二开路栅的金属指条周期都是λ为9.9微米，每个栅阵包含184根指条，在y方向与y轴夹角为0.2°。
本实用新型提供的不规则栅阵的声表面波谐振器，在压电基片上溅射规则的金属叉指换能器，并且在所述规则的金属叉指换能器左侧设置第一开路栅，在右侧设置第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅在y方向上具有小角度的倾斜，所述不规则的第一开路栅和第二开路栅消除高阶横波模式对谐振器频率特性的影响，提高SAW谐振器的频率响应性能。
附图说明
图1为本实用新型声表面波谐振器上的反射栅阵不规则设计的结构示意图；
图2为本实用新型不规则栅阵的声表面波谐振器的反射系数S11图。
具体实施方式
下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
根据实用新型内容提供的不规则栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵；所述声表面波谐振器，如图1所示，所述金属叉指换能器两侧设置金属栅阵，金属栅阵具体的包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的开路栅，这里可以将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一开路栅和第二开路栅构成的金属栅阵在x方向为周期分布，在y方向上具有小角度的倾斜。
本实用新型所述叉指换能器的材料可以是铝、金等金属，这里不做限制。
所述的压电基片采用32°YX的石英材料。
所述不规则栅阵的声表面波谐振器，优选的，所述金属叉指换能器的厚度为1500埃，所述金属叉指换能器的金属指条 周期λ为9.86微米，共219根指条，孔径大小为32λ。
所述第一开路栅和第二开路栅的金属指条周期λ都为9.9微米，每个栅阵包含184根指条，在x方向为周期分布，在y方向与y轴夹角为0.2°。
以上优选实施例中，所述不规则栅阵的谐振器的反射系数S11如图2所示，从图中可以看出，采用第一开路栅和第二开路栅的不规则设计，可以消除归一化频率为0.99243处的高阶模式。
该优选实施例中,第一开路栅和第二开路栅的倾斜设置，为与y轴夹角为0.2°，该角度仅适用于本例给出的情况，具体倾斜角度的设置，是根据不规则栅阵的谐振器所采用的基片材料、叉指换能器的的金属材料、厚度，以及叉指换能器的周期等参数得到。
本实用新型提供的不规则栅阵的声表面波谐振器，在压电基片上溅射金属叉指换能器，并且在所述规则的金属叉指换能器左侧设置第一开路栅，在右侧设置第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅组成的金属栅阵在y方向上具有小角度的倾斜，所述不规则的第一开路栅和第二开路栅消除高阶横波模式对谐振器频率特性的影响，提高SAW谐振器的频率响应性能。
以上内容是对本实用新型的优选的实施例的说明，可以帮助本领域技术人员更充分地理解本实用新型的技术方案。但是，这些实施例仅仅是举例说明，不能认定本实用新型的具体实施方式仅限于这些实施例的说明。对本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演和变换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.不规则栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，其特征在于，金属栅阵包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的开路栅，将左侧的开路栅称作第一开路栅，将右侧的开路栅称作第二开路栅，所述第一开路栅和第二开路栅组成的金属栅阵在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一开路栅和第二开路栅在x方向为周期分布，在y方向上具有小角度的倾斜。
2.根据权利要求1所述的不规则栅阵的声表面波谐振器，其特征在于，所述金属叉指换能器的厚度为1500埃，所述金属叉指换能器的金属指条周期λ为9.86微米，共219根指条，孔径大小为32λ。
3.根据权利要求2所述的不规则栅阵的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一开路栅和第二开路栅的金属指条周期都是λ为9.9微米，每个栅阵包含184根指条，在y方向与y轴夹角为0.2°。
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Cited By (2)
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| CN112964384A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-06-15 | 山东深思智能科技有限公司 | 一种谐振器型无线无源温度传感器及工作方法 |
| CN116781029A (zh) * | 2023-07-10 | 2023-09-19 | 浙江星曜半导体有限公司 | 滤波器中谐振器的倾角确定方法、滤波器、射频芯片 |
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| CN112964384A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-06-15 | 山东深思智能科技有限公司 | 一种谐振器型无线无源温度传感器及工作方法 |
| CN112964384B (zh) * | 2021-03-16 | 2022-08-30 | 山东深思智能科技有限公司 | 一种谐振器型无线无源温度传感器及工作方法 |
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