CN203209360U

CN203209360U - 一种led测试机台的清针装置

Info

Publication number: CN203209360U
Application number: CN 201220652766
Authority: CN
Inventors: 肖志国; 林娟; 唐勇; 任永硕
Original assignee: Dalian Meiming Epitaxial Wafer Technology Co Ltd
Current assignee: Dalian Meiming Epitaxial Wafer Technology Co Ltd
Priority date: 2012-12-03
Filing date: 2012-12-03
Publication date: 2013-09-25
Anticipated expiration: 2022-12-03

Abstract

一种LED测试机台的清针装置，包括监测装置、清洗装置、干燥装置和控制装置。所述监测装置位于测试机台探针的水平位置；所述清洗装置包括容器瓶、电磁阀、液体导管和导流线；容器瓶通过液体导管与导流线连接，通过电磁阀与外部气源连接；所述干燥装置包括吹气装置、气体导管和电磁阀；吹气装置通过气体导管、电磁阀与外部气源连接。监测装置CCD用以监测探针的脏污情况，清洗装置用以流出清洗液而清洗探针，连接氮气源的干燥装置，用以吹干有残留清洗液的探针，控制装置控制整个清针装置的工作。本实用新型可以避免由于探针脏污导致的点测时发生的偏差，使点测数据更准确，提高芯片测试和分级的准确性。

Description

一种LED测试机台的清针装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种LED测试机台的清针装置。

背景技术

LED的出现和发展引起了一场席卷全球的固态照明革命，现已进入功能性照明领域，并逐步进入普通照明领域。LED的光效远远高于传统的照明与显示光源，显示出较好的节能效果，如在景观照明上可节能70%，液晶电视背光源可节能50%，道路照明可节能50%以上。2015年如果我国半导体照明产品能够进入30%的普通照明市场，将可每年节电约1000亿度，为单位GDP能耗降低贡献一个百分点，减少CO₂、SO₂、粉尘排放1.5亿吨。因此LED产业作为绿色产业倍受各国高度重视。

LED是一种非常有用及有效的光源，优点是亮度高、工作电压低、功耗小、微型化、易与集成电路匹配、驱动简单、寿命长、耐冲击、性能稳定等。然而，LED因其体积小、定向发射光、高亮度、PN结电特性等特点，在品质的评价和检测方法方面产生许多问题。要使封装后的成品LED更准确，首先要保证芯片测试的准确性。所以，芯片的测试是极其重要的部分。

在常规的测试过程中，测试机的探针在点测整张晶圆过程中（尤其是芯片尺寸较小的情况），探针会容易黏附上脏物，包括周围环境的灰尘杂质或者芯片上的金属屑或者残胶，如果黏附上脏物的探针继续进行点测，脏物会遮挡一部分芯片发出的光，导致最后得到的测试亮度比芯片实际亮度低，这将严重影响芯片测试和分级的准确性，直接导致封装后成品参数的偏离，对分选以及封装工作带来了很大的困难。

发明内容

本实用新型的目的在于解决目前LED芯片点测过程中，由于探针脏污而影响了测试结果的现象。

为解决以上问题，本实用新型提供一种LED测试机台的清针装置：包括监测装置、清洗装置、干燥装置和控制装置；

所述监测装置位于测试机台探针的水平位置；

所述清洗装置包括容器瓶、电磁阀、液体导管和导流线，容器瓶通过液体导管与导流线连接，通过电磁阀与外部气源连接；

所述干燥装置包括吹气装置、气体导管和电磁阀；吹气装置通过气体导管、电磁阀与外部气源连接；

所述控制装置内设有控制程序，控制整个清针装置的工作。

一种优选方案为所述监测装置为图像传感器。

一种优选方案为所述导流线采用玻璃纤维。

本实用新型的监测装置用来监测探针的脏污情况，可采用图像传感器CCD实现。

清洗装置的容器瓶用来盛装清洗液，如酒精；清洗装置的导流线位于测试机台探针的上方；当需要清洗探针时，由电磁阀控制进入容器瓶的气体流量，使清洗液经由液体导管、导流线流到探针上，从而带走探针上的脏物。玻璃纤维是一种绝缘性好、无污染，抗腐蚀的线性物质，是导流线的优选材料。

干燥装置的吹气装置可以设置在测试机台CHUCK盘侧面，通过气体导管、电磁阀连接外部气源，如氮气源；在清洗完探针之后，吹气装置对准探针，由电磁阀控制吹出氮气，将残留清洗液的探针吹干。

控制装置控制整个请针装置的工作。在芯片点测过程中，当探针上黏附脏物时，CCD监测到探针上有脏物，由控制程序发出一个信号给测试机台；测试机台收到信号后，装置芯片的CHUCK盘自动移开；盛装清洗液的容器瓶受到气体的压力后自动流出定量的清洗液，冲洗探针，将脏物带走；设置在CHUCK盘侧面的吹气装置，吹出氮气，将残留清洗液的探针吹干；探针吹干后，CHUCK盘再移回原来位置，继续进行点测。若清洗程序在设定的较短时间内连续启动超过3次，则发出报警信号，这样可以避免由于其他情况导致不断清洗探针的现象发生。

本实用新型可以避免由于探针脏污导致的点测时发生的偏差，使点测数据更准确，提高芯片测试和分级的准确性。本实用新型可用于测试蓝绿芯片的两个探针的测试机台，也可用于测试红黄芯片的一个探针的测试机台，以及其他需要通过探针测试并要求探针清洁的测试装置，根据实际需要调整液体导管和导流线的数量即可。

附图说明

图1 本实用新型一种实施例的正面示意图；

图2 本实用新型一种实施例的上面示意图；

其中1-监测装置；2-容器瓶；3-液体导管；4-导流线；5-吹气装置；6-气体导管。

具体实施方式

如图1、2所示，本实用新型提供一种LED测试机台的清针装置：包括监测装置、清洗装置、干燥装置和控制装置；监测装置位于测试机台探针的水平位置，这里采用图像传感器CCD；清洗装置包括容器瓶、电磁阀、液体导管和导流线，导流线为玻璃纤维；容器瓶通过液体导管与导流线连接，通过电磁阀与外部气源连接，这里采用氮气源；干燥装置包括吹气装置、气体导管和电磁阀，吹气装置通过气体导管、电磁阀与外部气源连接，这里采用氮气源；控制装置内设有控制程序，控制整个清针装置的工作。

芯片点测之前，通过CCD设定一个完好探针的初始图像，作为标准图像；芯片点测过程中，当探针上黏附脏物时，CCD监测到图像与标准图像不同，则由控制程序发出一个信号给测试机台；测试机台收到信号后，装置芯片的CHUCK盘自动移开；电磁阀控制流入容器瓶的氮气流量，盛装有酒精的容器瓶受到氮气的压力后流出一定量的酒精，酒精通过液体导管流出，经由导流线流到探针上，将脏物带走；设置在CHUCK盘侧面的吹气装置通过气体导管、电磁阀连接氮气源，清洗步骤结束后，吹气装置吹出氮气，将残留酒精的探针吹干；探针吹干后，CHUCK盘再移回原来位置，继续进行点测。

若清洗程序在设定的较短时间内连续启动超过3次，则发出报警信号，这样可以避免由于其他情况导致不断清洗探针的现象发生。

Claims

1.一种LED测试机台的清针装置，包括监测装置、清洗装置、干燥装置和控制装置；其特征在于，

所述监测装置位于测试机台探针的水平位置；

所述清洗装置包括容器瓶、电磁阀、液体导管和导流线；容器瓶通过液体导管与导流线连接，通过电磁阀与外部气源连接；

所述干燥装置包括吹气装置、气体导管和电磁阀；吹气装置通过气体导管、电磁阀与外部气源连接。

2.如权利要求1所述的LED测试机台的清针装置，其特征在于，所述监测装置为图像传感器。

3.如权利要求1所述的LED测试机台的清针装置，其特征在于，所述导流线采用玻璃纤维。