CN202643915U - 高精度槽体换热*** - Google Patents

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钱诚
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Abstract

本实用新型公开了一种高精度槽体换热***，其特征在于：它包括换热器、上槽体、下槽体、泵浦、过滤装置和水管，所述换热器、上槽体、下槽体、泵浦和过滤装置依次连接并形成回路，所述换热器通过冷热水交换管路连接冰水机，构成冷却水循环***。本实用新型的有益效果是：可以使药液在冷却***内充温度充分降低到最佳制绒温度。且温度分布均匀，解决了局部温度过高的问题。

Description

高精度槽体换热***
【技术领域】
本实用新型涉及一种多晶硅片制绒过程中槽体温度控制的技术，尤其涉及一种高精度槽体换热***。
【背景技术】
目前，公知的制多晶绒槽体温度控制方法为槽体中加入冷却细管，通过外部冰水机把冷水通过细管传入槽体内达到槽体温度控制的目的。但是这种常规的方法有极大的弊端，这种传统的冷却方式使得槽体内局部温度控制精度偏低，对硅片绒面产生极大影响，致使多晶绒面不均匀，绒面深度相差较大。致使硅片的反射率偏高影响电池效率。
【实用新型内容】
为了克服现有的制绒槽体冷却***对温度控制的不均匀，本着实用新型的一种优异制绒槽体冷却***，不仅准确控制槽体温度，并且能够充分忽略管路中对温度的影响。可使多晶绒面达到理想的效果。
本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种高精度槽体换热***，其特征在于：它包括换热器、上槽体、下槽体、泵浦、过滤装置和水管，所述换热器、上槽体、下槽体、泵浦和过滤装置依次连接并形成回路，所述换热器通过冷热水交换管路连接冰水机，构成冷却水循环***。
所述换热器和上槽体之间的水管支管上设有隔膜阀。
所述泵浦出口处设有泄压保护管路。
所述换热器上设有积液排放管路。
本实用新型的结构设计，使得药水在上层槽体循环过程中吸收热量，经循环***进入下槽体内。经泵浦和过滤器进入热交换装置，使之热量充分交换进入上槽体工作区域，完成整个循环。
本实用新型的有益效果是：可以使药液在冷却***内充温度充分降低到最佳制绒温度。且温度分布均匀，解决了局部温度过高的问题。
【附图说明】
图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
下面结合附图对本实用新型进一步详述：
如图1所示，一种高精度槽体换热***，其特征在于：它包括换热器1、上槽体2、下槽体3、泵浦4、过滤装置5和水管6，所述换热器1、上槽体2、下槽体3、泵浦4和过滤器5依次连接并形成回路，所述换热器1通过冷热水交换管路7连接冰水机8，构成冷却水循环***。
如图1所示，所述换热器1和上槽体2之间的水管支管9上设有隔膜阀10；所述泵浦4出口处设有泄压保护管路11；所述换热器1上设有积液排放管路12。
如图1所示，本实用新型的工作原理：冷水通过冰水机8从管路通过法兰连接进入换热器1，换热器1中冷却药液通过管路进入上槽体2，换热器1和上槽体2之间的水管支管9上设有隔膜阀10，调节控制各支管的流量；上槽体2经过反应后高温药水通过回流管路进入下槽体3内，下槽体3高温药水通过磁力泵浦4经过过滤器5进入换热器1，多余热量经过换热器1时被冰水吸收，这样低温药水通过管路进入上槽体1，达到工作时的需要温度。在此过程中通过了保护装置，如积液排放管路12、泄压保护管路11、隔膜阀10等流量调节装置等等，确保整个换热过程安全完成，实现冷却过程。
则本技术方案实施完毕。

Claims (4)

1.一种高精度槽体换热***，其特征在于：它包括换热器、上槽体、下槽体、泵浦、过滤装置和水管，所述换热器、上槽体、下槽体、泵浦和过滤装置依次连接并形成回路，所述换热器通过冷热水交换管路连接冰水机，构成冷却水循环***。
2.根据权利要求1所述的一种高精度槽体换热***，其特征在于：所述换热器和上槽体之间的水管支管上设有隔膜阀。
3.根据权利要求1所述的一种高精度槽体换热***，其特征在于：所述泵浦出口处设有泄压保护管路。
4.根据权利要求1所述的一种高精度槽体换热***，其特征在于：所述换热器上设有积液排放管路。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104112599A (zh) * 2014-06-27 2014-10-22 四川石棉华瑞电子有限公司 能够控制处理槽液体处于恒温状态的化成***
CN109473375A (zh) * 2017-09-08 2019-03-15 天津环鑫科技发展有限公司 一种利于均匀腐蚀的挖沟槽槽体
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