CN202257028U - Lcd曝光平台装置及曝光*** - Google Patents

Lcd曝光平台装置及曝光*** Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种LCD曝光平台装置及曝光***，所述LCD曝光平台装置用于放置基板，包括：平台，其上表面与所述基板的底面接触；多个移位顶针，横向平行于所述平台上表面，其针头对应于所述基板的侧面，通过所述移位顶针移动推动所述基板水平移位。本实用新型只需移动基板，避免了平台或整个LCD曝光平台装置的移动，使操作更加方便，且因平台始终保持固定位置，可适当降低对其强度的要求。此外，基板在移位及曝光过程中，始终与平台贴合，避免了基板与平台分离的过程，缩短了曝光工艺的制作时间，使整个液晶面板制作更加高效。

Description

LCD曝光平台装置及曝光***
技术领域
本实用新型涉及LCD曝光技术，特别涉及一种LCD曝光平台装置及曝光***。
背景技术
在LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)面板制作过程中，特别是TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)LED面板的制作工艺，需要在TFT基板上溅射金属材料、绝缘层等，并反复经过多次曝光之后，形成具有栅极、源极、漏极、像素电极和保护层等的TFT阵列，或在彩色滤光基板上涂敷微细颜料，经曝光后形成彩色滤光图案。
在现有的LCD曝光***中，包括有平台装置和照射装置，将基板放置于平台装置的平台上，在进行曝光时，需通过移动平台，使基板的待曝光区域移动到照射装置的曝光区域。由于现有平台装置比较笨重，致使平台的移动过程很不方便。另有一种LCD曝光***采用夹具将基板抬起，只需小幅度移动平台装置，使基板与平台装置产生相对位移，放下基板后，将平台装置退回到原位，使照射装置的曝光区域到达基板要求的待曝光区域，并进行曝光，该LCD曝光***中需要多次将基板与平台装置分离，基板的制作成型时间较长。
实用新型内容
本实用新型的主要目的为提供一种操作方便、基板制作工时短的LCD曝光平台装置及曝光***。
本实用新型提出一种LCD曝光平台装置，包括：
平台，其上表面与所述基板的底面接触；
多个移位顶针，平放在所述平台的上表面，分布于所述基板的各侧；
多个驱动机构，分别与所述基板各侧的移位顶针连接，驱动所述移位顶针与所述基板的侧面接触，进而移动所述基板。
优选地，所述移位顶针的轴线与对应的基板侧面垂直，所述驱动机构沿所述移位顶针的轴线方向驱动所述移位顶针移动。
优选地，所述移位顶针的轴线与对应的基板侧面平行，所述驱动机构沿垂直于所述移位顶针轴线的方向驱动所述移位顶针移动。
优选地，所述移位顶针以至少两个为一组，分布在所述基板的各侧，且每一组中的移位顶针两两相互平行。
优选地，所述平台设置有多个通气孔，该通气孔的下方通气端经通气管道连接外置的吹/吸气装置。
优选地，所述通气孔的轴线垂直于所述平台的上表面。
优选地，所述LCD曝光平台装置还包括多个支撑顶针，分别与所述驱动机构连接，所述平台还设置有多个轴线垂直于所述平台上表面的通孔，所述支撑顶针穿过所述通孔，受所述驱动机构驱动沿所述通孔移动。
优选地，所述通孔为至少三个，各通孔之间的连线构成多边形。
本实用新型还提出一种LCD曝光***，用于对基板进行曝光，包括：
LCD曝光平台装置；和
照射装置，位于所述基板上方，照射所述基板的曝光面。
优选地，所述LCD曝光***还包括：
吹\吸气装置，其通气端经通气管道与通气孔相连。
本实用新型只需移动基板，避免了平台或整个LCD曝光平台装置的移动，使操作更加方便，且因平台始终保持固定位置，可适当降低对其强度的要求。此外，基板在移位及曝光过程中，始终与平台贴合，避免了基板与平台分离的过程，缩短了曝光工艺的制作时间，使整个液晶面板制作更加高效。
附图说明
图1为本实用新型第一实施例中LCD曝光平台装置的俯视图；
图2为本实用新型第二实施例中LCD曝光平台装置的俯视图，该实施例LCD曝光平台装置中设有垂直于基板侧面的移位顶针；
图3为本实用新型第三实施例中LCD曝光平台装置的俯视图，该实施例LCD曝光平台装置中设有平行于基板侧面的移位顶针；
图4为图1所示第一实施例中通气孔吹气时的LCD曝光平台装置的侧视图；
图5为图1所示第一实施例中通气孔吸气时的LCD曝光平台装置的侧视图；
图6为本实用新型第四实施例中支撑顶针托起基板时的LCD曝光平台装置的侧视图；
图7为图6所示第四实施例中支撑顶针下降放下基板时的LCD曝光平台装置的侧视图；
图8为本实用新型第五实施例中LCD曝光***的侧视图，该实施例LCD曝光***用于对基板进行曝光；
图9为图8所示第五实施例中准备进行第三次曝光时的LCD曝光***的俯视图。
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1所示，图1为本实用新型第一实施例中LCD曝光平台装置的俯视图，该实施例LCD曝光平台装置包括：
平台11，其上表面与基板20的底面接触；
多个移位顶针121，平放在平台11的上表面，分布于基板20的各侧；
多个驱动机构14，分别与基板20各侧的移位顶针121连接，驱动移位顶针121与基板20的侧面接触，进而移动基板20。
本实施例将移位顶针121的针头与基板20的侧面接触，并通过驱动机构14驱动移位顶针121移动，推动基板20在平台11上移动，只需移动基板20到所需的曝光区域并完成曝光，避免了对平台11或整个LCD曝光平台装置的移动，使操作更加方便，且因平台11始终保持固定位置，可适当降低对其强度的要求。此外，基板20在移位及曝光过程中，始终与平台11贴合，避免了基板20与平台11分离的过程，缩短了曝光工艺的制作时间，使整个液晶面板制作更加高效。
上述移位顶针121至少为四个，分别靠近基板20的四个侧面。
本实施例在基板20的四个侧面分别对应一个移位顶针121，四个移位顶针121相互配合，即可达到对基板20定位的目的，如果在基板20的各个侧面上增加对应的移位顶针121，则可更好的使基板20的移动方向和移动位置保持平衡，有利于准确到达曝光区域，确保曝光质量。
如图2所示，图2为本实用新型第二实施例中LCD曝光平台装置的俯视图，该实施例LCD曝光平台装置中设有垂直于基板侧面的移位顶针。
移位顶针121的轴线与对应的基板20侧面垂直，驱动机构14沿移位顶针121的轴线方向驱动移位顶针121移动。
移位顶针以至少两个为一组，分布在基板的各侧，且每一组中的移位顶针两两相互平行。
本实施例中各个移位顶针121分别对应于基板20的各个侧面，通过驱动机构14控制各个方向的移位顶针121沿其杆体所在直线方向移动，驱动机构14可为马达。当各个移位顶针121的针头均分别与对应的基板20侧面接触时，两对边的移位顶针121相配合，保持一致的运动方向和路程，以控制基板20与移位顶针121的运动方向和路程也保持一致，实现移位顶针121推动基板20到达所需曝光区域。本实施例中将移位顶针121设为八个，基板20的四个侧面分别对应两个移位顶针121，通过对一个侧面上的两个接触点同时施加相同大小的力，可使基板20的移动方向保持平衡，以保证基板20到达正确的曝光区域，避免因曝光位置发生偏差而造成光刻不到位，确保了曝光质量，且经曝光后的基板20上各个曝光模块的边界位置相互平行，方便后续工艺顺利进行，如组装或切割等。
如图3所示，图3为本实用新型第三实施例中LCD曝光平台装置的俯视图，该实施例LCD曝光平台装置中设有平行于基板侧面的移位顶针。
移位顶针121的轴线与对应的基板20侧面平行，驱动机构14沿垂直于移位顶针121轴线的方向驱动移位顶针121移动。
本实施例中，通过驱动机构14驱动移位顶针121沿垂直于移位顶针121轴线的方向移动，使移位顶针121的杆体推动基板20移动，可减小马达的纵向驱动行程。
参照图4和图5，图4为图1所示第一实施例中通气孔吹气时的LCD曝光平台装置的侧视图；图5为图1所示第一实施例中通气孔吸气时的LCD曝光平台装置的侧视图。
平台11设置有多个通气孔131，该通气孔131的下方通气端经通气管道31连接外置的吹/吸气装置30。
通气孔131的轴线垂直于平台11的上表面。
其中，外置的吹/吸气装置30可为厂务的进/出气设备。
如图4所示，本实施例中，当需要在水平方向上移动基板20的位置时，利用外置的吹/吸气装置30向通气孔131吹气，通过吹入的气流对接触在通气孔131上方的基板20施加力，吹气的施力大小略大于或等于基板20的重力，使基板20微微抬起，方便移位顶针121推动基板20在水平方向上移动。
如图5所示，本实施例中，当移动基板20到达曝光区域，利用外置的吹/吸气装置30经通气孔131吸气，通过气流的吸引力将基板20固定在平台11的上表面，保证曝光时基板20位置不变，确保曝光质量。
参照图6和图7，图6为本实用新型第四实施例中支撑顶针托起基板时的LCD曝光平台装置的侧视图；图7为图6所示第四实施例中支撑顶针下降放下基板时的LCD曝光平台装置的侧视图。
LCD曝光平台装置还包括多个支撑顶针122，分别与驱动机构14连接，平台11还设置有多个轴线垂直于平台11上表面的通孔132，支撑顶针122穿过通孔132，受驱动机构14驱动沿通孔132移动。
如图6所示，本实施例在曝光前，将基板20放置于支撑顶针122上，通过支撑顶针122下降，使基板20到达平台11的上表面；
如图7所示，本实施例在曝光后，基板20回到最初的原始位置，支撑顶针122上升，托起基板20，将曝光后的基板20从支撑顶针122上卸下。
支撑顶针122使基板20加载到平台11或从平台11上卸载的操作过程更加方便。
此外，本实用新型实施例中，通孔132为至少三个，各通孔132之间的连线构成多边形。通孔132的分布位置不在同一条直线上，以使穿过通孔132的支撑顶针122的端部的连线可构成一个用于支撑基板20的平面，以保证基板20可稳定放置于支撑顶针122上，该平面应尽量保持与平台11的上表面平行，组合成一个水平的托盘，使放置于针头上的基板20平衡，避免因针头位置高低不平造成基板20倾斜或掉下。还可设置更多的支撑顶针122，以保证基板20的平衡。但是支撑顶针122的数量不宜过多，避免因过多的支撑顶针122占用通孔132而导致平台11上用于设置通气孔131的空间减少，造成吹气或吸气时气流的施力大小达不到抬起基板20或固定基板20所需力的大小。此外，通孔132与支撑顶针122均与平台的上表面垂直，一方面更加有利于支撑顶针122在通孔132中移动；另一方面，也有利于支撑顶针122在托起基板20时施力均匀，确保基板20的平衡，避免因施力不均造成基板20倾斜或掉下。并且，各个支撑顶针122在通孔132中穿过，支撑顶针122长度须大于通孔132的高度，该高度即平台11的厚度，确保支撑顶针122上升时伸出通孔132，以托起基板20。
如图8所示，图8为本实用新型第五实施例中LCD曝光***的侧视图，该实施例LCD曝光***用于对基板进行曝光，包括：
LCD曝光平台装置；和
照射装置40，位于基板20上方，照射基板20的曝光面。
本实施例中，首先将基板20放置于升起的支撑顶针122上，通过支撑顶针122下降，使基板20放置于平台11；利用外置的吹/吸气装置30向通气孔131吹气，使基板20微微抬起，并通过移位顶针121在其杆体方向上的水平移动，推动基板20移动到照射装置40下方的曝光区域；利用外置的吹/吸气装置30向通气孔131吸气，使基板20固定在平台11上，并移走移位顶针121，通过基板20上方的照射装置40对基板20的待曝光区域进行曝光，形成曝光模块；完成曝光后，再次利用外置的吹/吸气装置30向通气孔131吹气，通过移位顶针121推动基板20到最初的原始位置，升起支撑顶针122，基板20被托起，将基板20从LCD曝光平台装置上卸下。本实施例只需通过移位顶针121移动基板20到所需的曝光区域并完成曝光，避免了对平台11或整个LCD曝光平台装置的移动，使操作更加方便；且因平台11始终保持固定位置，可适当降低对其强度的要求。此外，基板20在移位及曝光过程中，通过吹/吸气装置30使基板20微微抬起，基板20与平台11之间基本保持贴合状态，避免了基板20与平台11分离的过程，缩短了曝光工艺的制作时间，使整个液晶面板制作更加高效。
如图9所示，图9为图8所示第五实施例中准备进行第三次曝光时的LCD曝光***的俯视图。
本实施例中，经过两次曝光后，基板20上已形成了两个曝光模块21，移位顶针121将基板20的第三个待曝光区域移动到照射装置40下方，供照射装置40曝光。本实施例多次利用移位顶针121移动基板20，避免了对平台11或整个LCD曝光平台装置的移动，使操作更加方便，适当降低了对平台11的强度要求，且避免了基板20与平台11分离的过程，缩短了曝光工艺的制作时间，使整个液晶面板制作更加高效。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种LCD曝光平台装置，其特征在于，包括：
平台，其上表面与所述基板的底面接触；
多个移位顶针，平放在所述平台的上表面，分布于所述基板的各侧；
多个驱动机构，分别与所述基板各侧的移位顶针连接，驱动所述移位顶针与所述基板的侧面接触，进而移动所述基板。
2.根据权利要求1所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述移位顶针的轴线与对应的基板侧面垂直，所述驱动机构沿所述移位顶针的轴线方向驱动所述移位顶针移动。
3.根据权利要求1所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述移位顶针的轴线与对应的基板侧面平行，所述驱动机构沿垂直于所述移位顶针轴线的方向驱动所述移位顶针移动。
4.根据权利要求1或2所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述移位顶针以至少两个为一组，分布在所述基板的各侧，且每一组中的移位顶针两两相互平行。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述平台设置有多个通气孔，该通气孔的下方通气端经通气管道连接外置的吹/吸气装置。
6.根据权利要求5所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述通气孔的轴线垂直于所述平台的上表面。
7.根据权利要求6所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，还包括多个支撑顶针，分别与所述驱动机构连接，所述平台还设置有多个轴线垂直于所述平台上表面的通孔，所述支撑顶针穿过所述通孔，受所述驱动机构驱动沿所述通孔移动。
8.根据权利要求7所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述通孔为至少三个，各通孔之间的连线构成多边形。
9.一种LCD曝光***，用于对基板进行曝光，其特征在于，包括：
如权利要求1至8任一项所述的LCD曝光平台装置；和
照射装置，位于所述基板上方，照射所述基板的曝光面。
10.根据权利要求9所述的LCD曝光***，其特征在于，还包括：
吹\吸气装置，其通气端经通气管道与通气孔相连。
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