CN201655771U - 一种全自动硅片上下料机 - Google Patents
一种全自动硅片上下料机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201655771U CN201655771U CN2009202828730U CN200920282873U CN201655771U CN 201655771 U CN201655771 U CN 201655771U CN 2009202828730 U CN2009202828730 U CN 2009202828730U CN 200920282873 U CN200920282873 U CN 200920282873U CN 201655771 U CN201655771 U CN 201655771U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film magazine
- silicon chip
- sucker
- unit
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 56
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 56
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 46
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 13
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000012634 fragment Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 241000252254 Catostomidae Species 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000007306 turnover Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
Description
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009202828730U CN201655771U (zh) | 2009-12-24 | 2009-12-24 | 一种全自动硅片上下料机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009202828730U CN201655771U (zh) | 2009-12-24 | 2009-12-24 | 一种全自动硅片上下料机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201655771U true CN201655771U (zh) | 2010-11-24 |
Family
ID=43121015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009202828730U Expired - Fee Related CN201655771U (zh) | 2009-12-24 | 2009-12-24 | 一种全自动硅片上下料机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201655771U (zh) |
Cited By (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102152604A (zh) * | 2010-11-29 | 2011-08-17 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 太阳能电池印刷机硅片传输翻转装置 |
CN102244141A (zh) * | 2011-06-21 | 2011-11-16 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 在线式全自动硅片上下料机 |
CN102315145A (zh) * | 2011-09-23 | 2012-01-11 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室 |
CN102358449A (zh) * | 2011-06-21 | 2012-02-22 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 全自动硅片装片机 |
CN102569490A (zh) * | 2010-12-17 | 2012-07-11 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 传输控制方法和装置、及传输装置和电池片加工设备 |
CN102653859A (zh) * | 2012-05-10 | 2012-09-05 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种石墨舟自动装卸片升降传递装置 |
CN102699587A (zh) * | 2012-07-02 | 2012-10-03 | 深圳市索阳新能源科技有限公司 | 太阳能电池片的单焊及串焊一体设备 |
CN102765595A (zh) * | 2012-02-20 | 2012-11-07 | 上海功源电子科技有限公司 | 自动收料机 |
CN102795494A (zh) * | 2012-08-03 | 2012-11-28 | 立晔科技股份有限公司 | 芯片进料装置 |
CN102820248A (zh) * | 2012-08-15 | 2012-12-12 | 先进光电器材(深圳)有限公司 | 固晶机进料*** |
CN102861734A (zh) * | 2012-10-17 | 2013-01-09 | 如皋市大昌电子有限公司 | 一种二极管自动化清洗装置 |
CN103160804A (zh) * | 2011-12-12 | 2013-06-19 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种工件定位*** |
CN103579060A (zh) * | 2012-08-08 | 2014-02-12 | 库特勒自动化***(苏州)有限公司 | 硅片上料方法 |
CN103811375A (zh) * | 2012-11-07 | 2014-05-21 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 分批处理硅片的装卸载装置和设备及方法 |
CN104307759A (zh) * | 2014-09-25 | 2015-01-28 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种适用于硅片品质分选设备的上料***及上料方法 |
CN104518047A (zh) * | 2013-09-27 | 2015-04-15 | 中电电气(上海)太阳能科技有限公司 | 太阳能电池组件传输装置 |
CN105336648A (zh) * | 2015-11-26 | 2016-02-17 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种堆叠基板的抓取分离装置及抓取分离方法 |
CN106024687A (zh) * | 2014-10-17 | 2016-10-12 | 华开朗 | 一种晶片盘推送装置 |
CN106129184A (zh) * | 2016-08-23 | 2016-11-16 | 昊诚光电(太仓)有限公司 | 一种pe扩散自动上下料装置 |
CN106252265A (zh) * | 2016-09-25 | 2016-12-21 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种集成电路封装线的过渡装置 |
CN107785300A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-09 | 南通皋鑫电子股份有限公司 | 一种真空式吸盘装置 |
CN110067023A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-07-30 | 江苏德润光电科技有限公司 | 一种便捷上料的自清洁黑硅制备用反应装置 |
CN111627851A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-09-04 | 山东元旭光电股份有限公司 | 一种上片机用晶圆自动上料装置 |
CN113421843A (zh) * | 2021-05-06 | 2021-09-21 | 上海大族富创得科技有限公司 | 一种硅片存储装置及其位置控制、自动测量间距控制方法 |
-
2009
- 2009-12-24 CN CN2009202828730U patent/CN201655771U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102152604A (zh) * | 2010-11-29 | 2011-08-17 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 太阳能电池印刷机硅片传输翻转装置 |
CN102152604B (zh) * | 2010-11-29 | 2013-10-30 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 太阳能电池印刷机硅片传输翻转装置 |
CN102569490A (zh) * | 2010-12-17 | 2012-07-11 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 传输控制方法和装置、及传输装置和电池片加工设备 |
CN102569490B (zh) * | 2010-12-17 | 2015-04-15 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 传输控制方法和装置、及传输装置和电池片加工设备 |
CN102244141A (zh) * | 2011-06-21 | 2011-11-16 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 在线式全自动硅片上下料机 |
CN102358449A (zh) * | 2011-06-21 | 2012-02-22 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 全自动硅片装片机 |
CN102244141B (zh) * | 2011-06-21 | 2012-12-12 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 在线式全自动硅片上下料机 |
CN102315145A (zh) * | 2011-09-23 | 2012-01-11 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室 |
CN103160804A (zh) * | 2011-12-12 | 2013-06-19 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种工件定位*** |
CN103160804B (zh) * | 2011-12-12 | 2015-04-15 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种工件定位*** |
CN102765595A (zh) * | 2012-02-20 | 2012-11-07 | 上海功源电子科技有限公司 | 自动收料机 |
CN102653859A (zh) * | 2012-05-10 | 2012-09-05 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种石墨舟自动装卸片升降传递装置 |
CN102699587B (zh) * | 2012-07-02 | 2015-04-22 | 深圳时代得天自动化设备有限公司 | 太阳能电池片的单焊及串焊一体设备 |
CN102699587A (zh) * | 2012-07-02 | 2012-10-03 | 深圳市索阳新能源科技有限公司 | 太阳能电池片的单焊及串焊一体设备 |
CN102795494A (zh) * | 2012-08-03 | 2012-11-28 | 立晔科技股份有限公司 | 芯片进料装置 |
CN103579060A (zh) * | 2012-08-08 | 2014-02-12 | 库特勒自动化***(苏州)有限公司 | 硅片上料方法 |
CN102820248A (zh) * | 2012-08-15 | 2012-12-12 | 先进光电器材(深圳)有限公司 | 固晶机进料*** |
CN102820248B (zh) * | 2012-08-15 | 2014-10-01 | 先进光电器材(深圳)有限公司 | 固晶机进料*** |
CN102861734A (zh) * | 2012-10-17 | 2013-01-09 | 如皋市大昌电子有限公司 | 一种二极管自动化清洗装置 |
CN102861734B (zh) * | 2012-10-17 | 2015-10-14 | 如皋市大昌电子有限公司 | 一种二极管自动化清洗装置 |
CN103811375A (zh) * | 2012-11-07 | 2014-05-21 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 分批处理硅片的装卸载装置和设备及方法 |
CN103811375B (zh) * | 2012-11-07 | 2016-08-31 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 分批处理硅片的装卸载装置和设备及方法 |
CN104518047B (zh) * | 2013-09-27 | 2017-01-04 | 中电电气(上海)太阳能科技有限公司 | 太阳能电池组件传输装置 |
CN104518047A (zh) * | 2013-09-27 | 2015-04-15 | 中电电气(上海)太阳能科技有限公司 | 太阳能电池组件传输装置 |
CN104307759A (zh) * | 2014-09-25 | 2015-01-28 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种适用于硅片品质分选设备的上料***及上料方法 |
CN106024687B (zh) * | 2014-10-17 | 2019-01-18 | 嘉兴市南湖区翊轩塑料五金厂(普通合伙) | 一种晶片盘推送装置 |
CN106024684A (zh) * | 2014-10-17 | 2016-10-12 | 华开朗 | 一种晶片盘推送装置 |
CN106024687A (zh) * | 2014-10-17 | 2016-10-12 | 华开朗 | 一种晶片盘推送装置 |
CN105336648B (zh) * | 2015-11-26 | 2018-04-24 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种堆叠基板的抓取分离装置及抓取分离方法 |
CN105336648A (zh) * | 2015-11-26 | 2016-02-17 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种堆叠基板的抓取分离装置及抓取分离方法 |
CN106129184A (zh) * | 2016-08-23 | 2016-11-16 | 昊诚光电(太仓)有限公司 | 一种pe扩散自动上下料装置 |
CN106252265A (zh) * | 2016-09-25 | 2016-12-21 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种集成电路封装线的过渡装置 |
CN107785300A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-09 | 南通皋鑫电子股份有限公司 | 一种真空式吸盘装置 |
CN110067023A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-07-30 | 江苏德润光电科技有限公司 | 一种便捷上料的自清洁黑硅制备用反应装置 |
CN111627851A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-09-04 | 山东元旭光电股份有限公司 | 一种上片机用晶圆自动上料装置 |
CN111627851B (zh) * | 2020-07-29 | 2020-10-16 | 山东元旭光电股份有限公司 | 一种上片机用晶圆自动上料装置 |
CN113421843A (zh) * | 2021-05-06 | 2021-09-21 | 上海大族富创得科技有限公司 | 一种硅片存储装置及其位置控制、自动测量间距控制方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN201655771U (zh) | 一种全自动硅片上下料机 | |
CN201264722Y (zh) | 一种阵列机 | |
CN206914742U (zh) | 一种锂电池pack线分选段上壳上料机 | |
CN201663151U (zh) | 全自动硅片上下料机 | |
CN208932488U (zh) | 双工位自动下料装置 | |
CN108346826A (zh) | 一种锂电池封装设备 | |
CN107622966B (zh) | 一种光伏硅晶电池片花篮智能传输*** | |
CN205060982U (zh) | 一种升降式料盘上下料设备 | |
CN204977749U (zh) | 一种全自动玻璃面板印刷机 | |
CN213010802U (zh) | 一种料盘式自动供料收料机构 | |
CN114260273A (zh) | 用于手表盖板玻璃擦拭清洁的自动化擦拭机 | |
CN107622967B (zh) | 一种光伏硅晶电池片花篮输出姿态变换机构 | |
CN101409240B (zh) | 可使用芯片的智能标签及倒装芯片模块生产设备 | |
CN204625150U (zh) | 一种自动计量精准的涂料灌装设备 | |
CN107326317B (zh) | 一种双工位智能循环进出料装置 | |
CN202016749U (zh) | 一种硅片太阳能电池板堆栈装置 | |
CN104960964A (zh) | 浮法玻璃在线下取片垂直堆垛*** | |
CN203482578U (zh) | Lcd自动贴片生产线 | |
CN204416652U (zh) | 一种磁力皮带自动垛板机 | |
CN207158333U (zh) | 侧挂式四工位硅片吸盘搬运臂*** | |
CN201086848Y (zh) | 电磁铁水平移动式型钢自动包装机 | |
CN201178089Y (zh) | 可使用芯片的智能标签及倒装芯片模块生产设备 | |
CN216516997U (zh) | 一种建筑用砌墙机 | |
CN207497675U (zh) | 一种中空玻璃自动上下片的设备 | |
CN109230459A (zh) | 一种自动送饮水***盘组 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SUZHOU CSE SEMICONDUCTOR EQUIPMENT TECHNOLOGY CO., Free format text: FORMER OWNER: XU ZHULIN Effective date: 20130131 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 100000 XUANWU, BEIJING TO: 215000 SUZHOU, JIANGSU PROVINCE |
|
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20130131 Address after: Suzhou City, Jiangsu province Chunhui road 215000 Industrial Park Weiting town No. 5 kuachun industrial 5E unit Patentee after: Suzhou CSE Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd. Address before: 100000, Beijing Xuanwu District reservoir Camp No. 9 Patentee before: Xu Zhulin |
|
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20101124 Termination date: 20121224 |