CN201559124U - 研磨头组件的清洗装置以及化学机械研磨设备 - Google Patents
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Owner name: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING Free format text: FORMER OWNER: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION Effective date: 20130226 |
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C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
COR | Change of bibliographic data |
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