CN1920613A - 微镜设备及其阵列 - Google Patents

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Abstract

公开了一种微镜设备及其阵列，其中在远离镜板的位置形成外框架，由此减少镜板的动态变形，防止从镜板反射的光束的恶化，且使得能够维持镜板的平衡。使得支撑镜板的光圈的框架结构随着远离镜板的中心轴变细，由此很大程度地减少镜板的动态变形，且减轻设备的重量。

Description

微镜设备及其阵列
本申请要求于2005年8月26日提交的韩国专利申请Nos.2005-0078755的在先申请日的权益和优先权权利，将其在此完全包括并引入作为参考。
技术领域
本申请涉及微镜设备及其阵列。
背景技术
随着近来光学设备的发展，使用光作为输入和输出大量信息和用于信息传输的介质的多种技术正在发展。在这些技术中，有一种扫描从比如条形码扫描仪或扫描激光显示器的光源发出的光束的方法。
根据其应用，要求光束扫描技术在扫描速度和范围上变化。在现有光束扫描技术中，主要通过控制光束关于操作镜，比如电流镜或旋转多角镜的反射面的入射角度来实现多种扫描速度和范围。
事实上，电镀镜适于需要几十赫兹(Hz)的扫描速度的应用，而多角镜能够实现几千赫兹(kHz)的扫描速度。
根据现有技术的发展，做出更多努力来应用光束扫描技术到新的设备和改进现有的具有应用了光束扫描技术的设备的性能。其代表性实例是投影显示***，HMD(头部安装显示器)和激光打印机。
在其中采用这种高空间分辨率的光束扫描技术的***中，通常提供扫描镜用于允许高的扫描速度和大的角位移或倾角。
参考图1，示意性地示出采用多角镜的现有扫描设备。在扫描设备中，如图1所示，从光源10发出的光束通过包括多种透镜的光学单元11，且由多角镜12反射。当由在多角镜12下形成的驱动马达13转动多角镜12时，以由多角镜12的转动方向(A)定义的方向扫描入射光束。
总的来说，通常将多角镜12安装在以高速转动的旋转马达13上，使得扫描速度取决于多角镜12的角速度，或和其成正比。
因为扫描速度取决于多角镜12的旋转角速度，或和其成正比，马达的有限的旋转速度造成多角镜12的扫描速度的增加受限，造成高分辨率显示的困难或不足。
另外，因为具有摩擦噪声的基本问题的驱动马达，难以减少***的总尺寸和功耗，且因为其复杂的结构造成生产成本增加。作为解决这些问题的尝试之一，提出了微镜。
参考图2，示意性地示出采用微镜的现有扫描设备。在扫描设备中，如图2所示，从光源20发出的光束通过包括多种透镜的光学单元21，且由微镜22反射。
换句话说，微镜22关于作为在微镜22的两侧形成的轴的转矩光束23转动，使得能够以由微镜22的旋转方向(B)定义的方向扫描在微镜22上入射的光束。
对于微镜22，其允许扫描设备双向和以几十KHz的高速扫描，使得其适于高分辨率显示。但是，如果在困难条件下以高扫描速度驱动微镜，如图3所示，微镜22产生动态偏移，从而扭曲反射面，造成反射光束恶化。
可以根据任意特定应用以多种形状制造微镜22，且通常以方形、三角形、圆形、椭圆形和菱形制造和使用微镜22。微镜22根据其形状显示出多种动态偏移。
图5是说明了图4的圆形微镜的动态偏移的仿真的视图，其中图4的圆形微镜关于由转矩光束28定义的轴转动到两个方向，以产生如图5所示的动态偏移。
发明内容
因此，做出本发明以解决上述问题，且本发明的目的是提供一种微镜设备及其阵列，配置其以在远离镜板的位置形成外框架，由此减少镜板的动态偏移和防止从镜板反射的光束的恶化。
在本发明的方面中，微镜设备包括：镜板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架，其在远离镜板的周界的位置形成；多个连接件，其连接镜板到外框架；和一对弹性柔性结构，其基于镜板对称地形成，且连接到外框架和用于从下面浮动镜板和外框架的一对支撑件。
在本发明的另一方面中，微镜设备包括：镜板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架，其在远离镜板的周界的位置形成；多个连接件，其连接镜板到外框架；万向节，其在远离外框架的周界的位置形成；一对内部弹性柔性结构，其连接万向节和外框架且基于镜板对称地形成；和一对外部弹性柔性结构，其基于镜板对称地形成，且连接到万向节和用于从下面浮动镜板、外框架和万向节的一对支撑件。
在本发明的又一方面中，微镜设备阵列包括：基底；和在基底的上表面上以行和列的阵列形成的微镜设备，其中微镜设备包括：镜板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架，其在远离镜板的周界的位置形成；多个连接件，其连接镜板到外框架；和弹性柔性结构，其基于镜板对称地形成，且连接到外框架和用于从下面浮动镜板和外框架的一对支撑件。
附图说明
图1是采用现有多角镜的光束扫描设备的示意性透视图；
图2是采用微镜设备的现有光束扫描设备的示意性透视图；
图3是说明了微镜设备的动态偏移的示意图；
图4是说明了根据现有技术的圆形微镜的示意性透视图；
图5是说明了图4的圆形微镜设备的动态偏移的仿真的视图；
图6是说明了根据本发明的微镜设备的示例性实施例的透视图；
图7是说明了根据本发明的微镜设备的连接件的示意性概念图；
图8是说明了根据本发明的微镜设备的动态偏移的仿真的视图；
图9是说明了根据本发明的微镜设备的另一示例性实施例的透视图；
图10是说明了根据本发明的图9的微镜设备的连接件的示意性概念图；
图11是说明了根据本发明的微镜设备的连接件的形状的透视图；
图12是说明了根据本发明的镜板的框架形状的透视图；
图13是说明了根据本发明另一实施例的镜板的框架形状的透视图；
图14是说明了根据本发明又一实施例的镜板的框架形状的透视图；
图15是说明了根据本发明的电磁力驱动类型的微镜设备的示意图；
图16是说明了根据本发明的由电磁力驱动到X轴方向的微镜设备的示意图；
图17是说明了根据本发明的由电磁力驱动到Y轴方向的微镜设备的示意图；
图18是说明了根据本发明的由静电力驱动的微镜设备的示意图；
图19是说明了图18的微镜设备的梳齿类型电极之间产生的静电力的示意图。
具体实施方式
下面详细参考本发明的优选实施例，在附图中示出了其实例。在任何可能的地方，在所有附图中使用相同的参考数字表示相同或类似的部分。这些实施例不仅提供本发明的示例性教导，而且以充分的细节描述以使得本领域普通技术人员能够实现本发明。因此，在适于避免模糊本发明的地方，省略本领域普通技术人员熟知的某些信息的描述。
图6是说明了根据本发明的微镜设备的示例性实施例的透视图。参考图6，微镜设备包括：镜板(51)，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架(52)，其在远离镜板(51)的周界的位置形成；多个连接件(53A、53B、54)，其连接镜板(51)到外框架(52)；和一对弹性柔性结构(55)，其关于镜板(51)对称地形成，且连接到外框架(52)和用于从下面浮动(float)镜板(51)和外框架(52)的一对支撑件(75)。
在镜板(51)的周界，设置了和镜板(51)同心形成的外框架(52)以分散镜板(51)的动态变型，且镜板(51)和外框架(52)关于作为轴的弹性柔性结构(55)同步转动，以反射入射光束到预定方向。
参考图7，外框架(52)远离镜板(51)，且在连接一对弹性柔性结构(55)的第一线(P1)上形成连接外框架(52)到镜板(51)的多个连接件(53A、53B、54)，且其包括关于镜板(51)对称地形成的第一连接件(54)，和在垂直于第一线(P1)的第二线(P2)上形成，且关于镜板(51)对称地形成的第二连接件。
优选地，在垂直于第一线(P1)的第二线(P2)上形成第二连接件，且其包括关于镜板(51)对称地形成的连接件(53A-1，53A-2，53B-1，53B-2)，以最小化微镜的动态偏移。
因为第二连接件包括关于镜板(51)对称地形成、且每个在垂直于第一线(P1)的第二线(P2)上形成的连接件(53A-1，53A-2，53B-1，53B-2)，在镜板(51)和外框架(52)之间由连接件(53A-1，53A-2，53B-1，53B-2)形成空间(91，92)，由此允许由外框架(52)吸收镜板(51)的动态偏移。
没有第二连接件，镜板(51)和外框架(52)将直接连接，且如果镜板和外框架直接连接而没有第二连接件，外框架(52)不能吸收动态偏移，且仅像镜板(51)一样抖动。
同时，可不在连接一对弹性柔性结构(55)的第一线(P1)上形成第一连接件(54)，但是必须在垂直于第一线(P1)的第二线(P2)上形成第二连接件。
弹性柔性结构(55)用于连接外框架(52)到一对支撑件(75)以从下面浮动镜板(51)和外框架(52)，且在驱动微镜设备时用作旋转轴以提供恢复扭矩。在这时，示意性地示出支撑件(75)的一部分。如上所述，在镜板(51)的周界形成外框架(52)且其关于由弹性柔性结构(55)定义的轴旋转的情况中，镜板(51)的动态偏移能够由外框架(52)吸收，以使得能够保持镜板(51)的平衡。
图8是说明了根据本发明的微镜设备的动态变型的仿真的视图，其中注意到相比根据现有技术的图5所示的情况微镜的动态变形显著减少。
图9是说明了根据本发明的微镜设备的另一示例性实施例的透视图。微镜设备包括：镜板(51)，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架(52)，其在远离镜板(51)的周界的位置形成；多个连接件(53A，53B，54)，其连接镜板(51)到外框架(52)；万向节(56)，其在远离外框架(52)的周界的位置形成；一对内部弹性柔性结构(57)，其连接万向节(56)和外框架(52)且关于镜板(51)对称地形成；和一对外部弹性柔性结构(58)，其关于镜板(51)对称地形成，且连接到万向节(56)和用于从下面浮动镜板(51)、外框架(52)和万向节(56)的一对支撑件(75)。
在镜板(51)的周界，设置了和镜板(51)同心形成且远离镜板(51)的外框架(52)，且在外框架(52)的周界，形成了和镜板(51)同心形成并远离外框架(52)的万向节(56)。
参考图10，在连接一对弹性柔性结构(55)的第一线(P1)上形成连接外框架(52)到镜板(51)的多个连接件(53A，53B，54)，且该多个连接件(53A，53B，54)包括关于镜板(51)对称地形成并在垂直于第一线(P1)的第二线(P2)上形成的第一连接件(54)，和在连接一对弹性柔性结构(55)的第一线(P1)上形成，且关于镜板(51)对称地形成的第二连接件。
万向节(56)由内部弹性柔性结构(57)连接外框架(52)，且其由在垂直于内部弹性柔性结构(57)的线上对称地形成的外部弹性柔性结构(58)连接到支撑件(75)。
外部弹性柔性结构(58)通过连接万向节(56)到支撑件(75)，来从下面浮动镜板(51)、外框架(52)和万向节(56)。在这时示意性示出支撑件(75)的一部分。
内部和外部弹性柔性结构(57，58)在驱动微镜设备时提供恢复扭矩且用作旋转轴。
换句话说，关于由内部弹性柔性结构(57)定义的轴(如图9所示连接X到X’的轴，且在下文中称为X轴)转动外框架(52)，且万向节(56)关于由外部弹性柔性结构(58)定义的轴(如图9所示连接Y到Y’的轴，且在下文中称为Y轴)旋转。
这种结构的微镜设备能够提供关于两个轴的自由的旋转移动。换句话说，关于由内部弹性柔性结构(57)定义的X轴的旋转移动和关于由外部弹性柔性结构(58)定义的Y轴的旋转移动都是可能的，且移动到每个轴方向不受万向节(56)结构影响，使得能够进行独立控制，从而能够具体实现在二维平面内具有任意角度的微镜设备。
在图6和9中，以比如圆形形状，或椭圆形形状或三角形形状的多种形状之一制造镜板。根据镜板(51)的形状以多种形状制造外框架(52)和万向节(56)。在这时，以菱形或钻石形状形成镜板(51)。
但是，优选地以圆形或椭圆形制造镜板(51)以最小化镜板(51)的动态变型，且优选地以环形形状制造外框架(52)和万向节(56)。
另外，可以以不同位置、形状和数目制造连接外框架(52)到镜板(51)第一和第二连接件，且如果第一和第二连接件的位置和形状改变，微镜设备的动态变形的形状也改变。但是，如果外框架(52)由镜板(51)和单一连接件连接，不能由外框架(52)吸收动态变型，且如果第一和第二连接件太宽，动态变形显著增加，这应该在制造中考虑。
可以根据微镜设备的驱动方向和驱动方法，以比如转矩光束类型、V形光束类型和弯曲类型形状的多种形状形成连接微镜到支撑件(75)的弹性柔性结构，且其组合也是可能的。
图11是说明了具有和图6不同形状的连接件的示例性实施例的透视图，其中垂直于第一连接件(54)的第二连接件在两个区域包括多个(两个)连接件，而且在图11的每个(两个)区域形成单一连接件(61)。
如图11所示，如果单独地形成第二连接件，其容易制造，且这种结构可应用于具有两个旋转轴的微镜设备。
微镜设备的镜板包括具有用于反射入射光束的反射面的光圈，和用于支撑光圈并防止镜板在扫描期间动态变型的支撑框架。反射面优选地由金属膜，介质膜和由两个元素分层的膜之一制成。
另外，支撑框架可具有和光圈相同的形状，但是其它形状可包括，例如，钻石或五星形状的单一结构，或以确定形状排列的结构。
图12是说明了根据本发明的镜板的框架的示例性形状的透视图，其中支撑框架(59)具有锯齿性阵列的形状，其一部分被对称地V切割。
如果以圆形光圈(60)上的锯齿形阵列的支撑框架(59)形成镜板，而不是圆形光圈(60)上的圆形支撑框架，支撑框架的质量和惯性部分降低，由此使得能够限制微镜设备的动态变形。
换句话说，由从旋转轴到镜板的远端的长度(也就是，镜板的形状)和镜板的厚度确定微镜设备的动态变形的总变型，其中，当支撑框架的厚度具有比光圈大的值时，驱动微镜设备时由支撑框架确定动态变形的大小。
因此，如果部分移开支撑框架(59)以获得阵列的锯齿形形状，支撑框架的质量和惯性部分降低，由此使得能够限制微镜设备的动态变形。
另外，如果以阵列的锯齿形形状形成支撑框架，如图12所示，而不是以预定形状的单一结构，优点在于随着动态变形的效果减小，镜板的光圈的总强度增强。
当驱动微镜设备时，如果质量从镜板的中心到其周界逐渐减少，动态变形减小。类似的，能够通过采用占据镜板的质量的很大一部分的任意类型的支撑框架减少动态变形，制造支撑框架从而从镜板的中心到其周界质量减少。
例如，如图13所示，如果使用具有锯齿形形状的阵列且具有从镜板的中心到其周界逐渐减小的厚度的支撑框架(59)，能够充分减少支撑框架的质量和惯性，以很大程度地限定动态变形。
参考图14，如果在支撑框架(59)的锯齿形阵列上形成多个沟槽(59-1)，优点在于进一步降低质量和惯性。沟槽(59-1)的形状可改变，但是在本发明中，沟槽的每个形状是类似蜂巢的六边形。如上所述，如果以沟槽形成具有多种形状的支撑框架结构，或者根据支撑框架的位置不同地调整厚度，能够减少微镜设备的动态变形。
同时，微镜设备另外需要驱动单元以应用驱动扭矩或驱动力作为实现扫描功能的方式，且可以采用静电方法、电磁方法、热方法或压电方法驱动微镜设备。
图15是说明了根据本发明的电磁力驱动类型的微镜设备的示意图。微镜设备包括：一对第一电极(73a，73b)，其在一对支撑件(75a，75b)之中的一个支撑件(75a)上形成；一对第二电极(73c，73d)，其在一对支撑件(75a，75b)之中的另一支撑件(75b)上形成；和一对导体(70-1，70-2)，其从第一电极(73a，73b)连接第二电极(73c，73d)。
如上所述，在弹性柔性结构(55)和外框架(52)的上半球上形成第一导体(70-1)，且在弹性柔性结构(55)和外框架(52)的下半球上形成第二导体(70-2)。第一和第二导体(70-1，70-2)电气连接在支撑件(75a，75b)上形成的电极(73a，73b，73c，73d)。
如果电流在第一和第二导体(70-1，70-2)上流动，根据Fleming的左手规则，外框架(52)的上半球以-z的方向接收力，而且外框架(52)的下半球以+z方向接收力，如图15所示，使得镜板(51)关于由弹性柔性结构(55)定义的轴旋转。
可以在一个单一导体中形成第一和第二导体(70-1，70-2)。换句话说，以被设置在对称形成的弹性柔性结构的一侧，伸出到外框架(52)上且在弹性柔性结构(55)的另一侧上再次接合的方式形成单一导体。
图16是说明了根据本发明由电磁力驱动到X轴方向的微镜设备的示意图，其中第一X轴驱动电极(32-1，32-2)在支撑件(75)的预定区域上形成，且电气连接第一X轴驱动电极(32-1，32-2)的第一导体(40)是在弹性柔性结构(58)、万向节(56)，内部弹性柔性结构(57)，镜板(51)和外框架(52)上连续形成的。
另外，在支撑件(75)的其它区域上形成第二X轴驱动电极(33-1，33-2)，且电气连接第二X轴驱动电极(33-1，33-2)的第二导体(41)是在弹性柔性结构(58)、万向节(56)，内部弹性柔性结构(57)，镜板(51)和外框架(52)上和第一导体(40)对称形成的。
如果应用电压到第一X轴驱动电极(32-1，32-2)和第二X轴驱动电极(33-1，33-2)，以允许电流(I22，I23)在第一和第二导体(40，41)中流动，镜板(51)关于X轴旋转到预定程度。
图17是根据本发明的由电磁力驱动到Y轴方向的微镜设备的示意图，其中电气连接在一对支撑件(75a，75b)上形成的第一Y轴驱动电极(31-1，31-2)的第一导体(42)是在外部弹性柔性结构(58)和万向节(56)上形成的。电气连接第二Y轴驱动电极(34-1，34-2)的第二导体(43)是在外部弹性柔性结构(58)和万向节(56)上形成的。因此，对称形成第一和第二导体(42，43)。
如果应用电压到第一Y轴驱动电极(31-1，31-2)和第二Y轴驱动电极(34-1，34-2)以允许电流在第一和第二导体(42，43)中流动，万向节(56)关于Y轴旋转到预定程度。
如图16和17所示，微镜设备能够关于由内部弹性柔性结构(57)定义的X轴旋转，还可关于由外部弹性柔性结构(58)定义的Y轴旋转，且移动到每个轴方向不由使得能够进行独立控制的万向节(56)结构影响，这样能够具体实现在2-D平面内具有随机角度的微镜设备。
图18是根据本发明的由静电力驱动的微镜设备的示意图。
参考和图7相关的图18，基于连接一对弹性柔性结构(55)的第一线(P1)关于外框架(52)的一部分对称形成第一梳状电极(71)。换句话说，关于垂直于弹性柔性结构(55)形成的外框架(52)的一部分对称形成第一梳状电极(71)用于静电驱动。在这时，在和第一梳状电极(71)接合的下部形成第二梳状电极(没有示出)，其远离第一梳状电极(71)的下部。
如果应用电压到第一梳状电极(71)和第二梳状电极，在第一和第二梳状电极之间产生静电力，且产生互拉力由此驱动微镜设备。
现在参考图19，第一梳状电极(71-1)和第二梳状电极(71-2)每个隔开预定距离，且在和第一梳状电极(71-1)接合的区域形成第二梳状电极(71-2)。
如果应用电压(+)到第一梳状电极(71-1)且应用电压(-)到第二梳状电极(71-2)，在第一和第二梳状电极(71-1，71-2)之间产生互拉力，以驱动微镜设备。
如上所述，除了采用电磁力或静电力的驱动方法，可通过在微镜的一侧形成压电材料光圈，或通过结构的热变型驱动根据本发明的微镜设备。
另外，根据本发明的微镜设备可具体表现为其中由M行和N列的矩阵结构形成阵列的M×N微镜阵列。
换句话说，微镜设备阵列包括：基底；和在基底的上表面上以行和列的阵列形成的微镜设备，其中微镜设备包括：镜板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架，其在远离镜板的周界的位置形成；多个连接件，其连接镜板到外框架；和一对弹性柔性结构，其关于镜板对称地形成，且连接到外框架和用于从下面浮动镜板和外框架的一对支撑件。
另外，微镜设备阵列包括：基底；和在基底的上表面上以行和列的阵列形成的微镜设备，其中微镜设备包括：镜板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架，其在远离镜板的周界的位置形成；多个连接件，其连接镜板到外框架；万向节，其在远离外框架的周界的位置形成；一对内部弹性柔性结构，其连接万向节和外框架且关于镜板对称地形成；和一对外部弹性柔性结构，其关于镜板对称地形成，且连接到万向节和用于从下面浮动镜板、外框架和万向节的一对支撑件。
因此，根据本发明的微镜设备能够具体表现为基底上的M×N微镜阵列，其中由M个行和N个列的矩阵结构形成阵列。
如前所述，根据本发明的如上所述的微镜设备及其阵列的优点在于能够在远离镜板的位置形成外框架，由此减少镜板的动态变形，从而防止从镜板反射的光束的恶化，且使得能够维持镜板的平衡。
另外，另一优点在于支撑镜板的光圈的框架结构在远离镜板的中心轴时变细，由此很大程度地减少镜板的动态变形并降低设备的重量。
对于本领域普通技术人员来说很明显在这里描述了新的和有用的微镜设备及其阵列。考虑本发明的原理应用的很多可能的实施例，但是，应该认可这里关于附图所述的实施例仅是说明性的，且不应被认为限定本发明的范围。例如，本领域普通技术人员将任何可在不脱离本发明的精神的情况下，对设置和细节做出多种修改。因此，这里所述的本发明预期这种实施例在下面的权利要求及其等效物的范围之内。

Claims (20)

1.一种微镜设备，其包括：镜板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架，其在远离镜板的周界的位置形成；多个连接件，其连接镜板到外框架；和一对弹性柔性结构，其关于镜板对称地形成，且连接到外框架和用于从下面浮动镜板和外框架的一对支撑件。
2.如权利要求1所述的设备，其中，该镜板是圆形形状、椭圆形形状和三角形形状之一。
3.如权利要求1所述的设备，其中，该外框架是环形形状。
4.如权利要求1所述的设备，其中，该对弹性柔性结构的每一个是扭矩光束类型、V形光束类型和弯曲类型形状，或其组合之一。
5.如权利要求1所述的设备，其中，该反射面由金属膜、介质膜或由两个元素分层的膜制成。
6.如权利要求1所述的设备，其中，该连接外框架到镜板的多个连接件包括：第一连接件，其在连接该对弹性柔性结构的第一线上形成，且基于镜板对称形成；和第二连接件，其在垂直于第一线的第二线上形成，且基于镜板对称形成。
7.如权利要求1所述的设备，其中，该连接外框架到镜板的多个连接件包括：第一连接件，其在连接该对弹性柔性结构的第一线上形成，且基于镜板对称形成；和第二连接件，其关于垂直于第一线的第二线对称形成，且基于镜板对称形成。
8.如权利要求1所述的设备，其中，该支撑框架在其厚度上随着远离中心而变细。
9.如权利要求1所述的设备，其中，该支撑框架被部分以锯齿形状排列。
10.如权利要求1所述的设备，其进一步包括：一对第一电极，其在一对支撑件中的一个支撑件上形成；一对第二电极，其在该对支撑件的另一支撑件上形成；和一对导体，其在该对弹性柔性结构和外框架上形成从而从第一电极连接到第二电极。
11.如权利要求1所述的设备，其进一步包括：第一梳状电极，其基于连接该对弹性柔性结构的第一线在外框架的一部分上对称形成；和第二梳状电极，其在和第一梳状电极接合的下部部分处形成，且远离第一梳状电极的下部部分形成。
12.一种微镜设备，其包括：镜板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和设置在光圈下以支撑光圈的支撑框架；外框架，其在远离镜板的周界的位置形成；多个连接件，其连接镜板到外框架；万向节，其在远离外框架的周界的位置形成；一对内部弹性柔性结构，其连接万向节和外框架且基于镜板对称地形成；和一对外部弹性柔性结构，其基于镜板对称地形成，且连接到万向节和用于从下面浮动镜板、外框架和万向节的一对支撑件。
13.如权利要求12所述的设备，其中，该镜板是圆形形状、椭圆形形状和三角形形状之一。
14.如权利要求12所述的设备，其中，该反射面由金属膜、介质膜或由两个元素分层的膜之一制成。
15.如权利要求12所述的设备，其中，该连接外框架到镜板的多个连接件包括：连接件，其在连接该对弹性柔性结构的第一线上形成，且基于镜板对称形成；和其它连接件，其在垂直于第一线的第二线上形成，且基于镜板对称形成。
16.如权利要求12所述的设备，其中，该支撑框架的一部分被以锯齿形阵列形成。
17.如权利要求12所述的设备，其进一步包括：一对第一电极，其在一对支撑件中的一个支撑件上形成；一对第二电极，其在该对支撑件中的另一支撑件处形成；和一对导体，其在该对弹性柔性结构和外框架上形成从而从第一电极连接到第二电极。
18.如权利要求12所述的设备，其进一步包括：第一梳状电极，其基于连接该对弹性柔性结构的第一线在外框架的一部分上对称形成；和第二梳状电极，其在和第一梳状电极接合的下部部分处形成，且远离第一梳状电极的下部部分形成。
19.一种微镜设备阵列，其包括：基底；和在基底的上表面上以行和列的阵列形成的微镜设备，其中微镜设备包括：镜板，其包括以反射入射光束的反射面形成的光圈和在光圈下设置以支撑光圈的支撑框架；外框架，其在远离镜板的周界的位置形成；多个连接件，其连接镜板到外框架；和弹性柔性结构，其基于镜板对称地形成，且连接到外框架和用于从下面浮动镜板和外框架的一对支撑件。
20.如权利要求19所述的阵列，其中，该微镜设备进一步包括：万向节，其在远离外框架的周界的位置形成，且其中该弹性柔性结构包括：一对内部弹性柔性结构，其连接万向节和外框架且基于镜板对称地形成；和一对外部弹性柔性结构，其基于镜板对称地形成，且连接到万向节和用于从下面浮动镜板、外框架和万向节的一对支撑件。
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