JP2016139015A - ミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、及び画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
<画像表示装置としてのプロジェクターの構成>
図1は、画像表示装置としてのプロジェクターの光学系を示す模式図である。以下、プロジェクターの光学系を、図1を参照しながら説明する。
図2は、ミラーデバイスの構成を示す模式図である。図3及び図4は、図2に示すミラーデバイスのA−A’線に沿う模式断面図であると共に、ミラーデバイスのミラーの動作を示す模式断面図である。以下、ミラーデバイスの構成及び動作を、図2〜図4を参照しながら説明する。
図7は、ミラーデバイスの製造方法を工程順に示すフローチャートである。図8及び図9は、ミラーデバイスの製造方法のうち一部を工程順に示す模式断面図である。以下、ミラーデバイスの製造方法を、図7〜図9を参照しながら説明する。
<ミラーデバイスの構成>
図10は、第2実施形態のミラーデバイスの構成及び動作を示す模式断面図である。以下、ミラーデバイスの構成及び動作を、図10を参照しながら説明する。
図11及び図12は、第2実施形態のミラーデバイスの製造方法のうち一部を工程順に示す模式断面図である。以下、ミラーデバイスの製造方法を、図7、図11、及び図12を参照しながら説明する。
上記したように、ミラー102,302の四隅に薄膜部を設けることに限定されず、例えば、ミラー102,302が動作した際に接触する部分のみに薄膜部を設けるようにしてもよい。また、四隅に薄膜部を設けることに限定されず、対向する2つの角部に薄膜部を設けるようにしてもよい。
上記した第1実施形態のように、フォトリソグラフィ法及びエッチング法を用いてテーパー状に形成することに限定されず、例えば、別の基板にテーパー状のミラーを形成し、そのミラーを転写法を用いて支持部105と接続させるようにしてもよい。また、転写法の場合、形成しやすい順テーパーに形成し、基板300に対して逆テーパーになるように転写することが好ましい。
上記したように、テーパーの端部はストレート部分があってもいいし、尖った状態であってもよい。なお、強度の面からはストレート部分があった方が好ましい。
上記したように、ミラー102を角部の方向に傾けることに限定されず、以下のようにしてもよい。図13は、ミラーデバイスを上方から見た概略平面図である。図13は、ミラー102の対向する2辺の側に、電極202が設けられている。そして、ミラー102は、対向する2辺の方向に傾斜する。なお、ミラー102の厚みが薄くなる領域は、図13に示すように、ミラー102の4辺全てにテーパーを形成してもよいし、電極202が配置された対向する2辺のみをテーパーにするようにしてもよい。
上記したように、ミラーデバイス100が搭載される画像表示装置としては、プロジェクター1000の他、ヘッドアップディスプレイ(HUD)、ヘッドマウントディスプレイ(HMD)、モバイルミニプロジェクター、車載機器、オーディオ機器、露光装置や照明機器など各種電子機器に用いることができる。
Claims (13)
- 基板と、
前記基板の一方の面に前記基板と離間するように配置された複数のミラーと、
前記基板と前記ミラーとの間に配置され、前記ミラーを支持するように前記ミラーの一部と接続された支持部と、
前記基板と前記ミラーとの間に、前記ミラーの他の一部と重なるように配置された第1電極と、を備え、
前記ミラーは、前記支持部と接続された第1部分と、前記第1電極と重なる部分である第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の部分である第3部分と、を含み、
前記ミラーの第2部分の厚さは、前記第3部分の厚さよりも薄いことを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項1に記載のミラーデバイスであって、
前記基板と前記ミラーとの間に、前記ミラーの前記第1部分及び前記第2部分とは異なる部分と重なるように配置された第2電極を備え、
前記ミラーは、前記第2電極と重なる部分である第4部分と、前記第1部分と前記第4部分との間の部分である第5部分と、を含み、
前記ミラーの第4部分の厚さは、前記第5部分の厚さよりも薄いことを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項1又は請求項2に記載のミラーデバイスであって、
前記ミラーの前記第2部分は、前記ミラーの辺に沿うように配置されていることを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項3に記載のミラーデバイスであって、
前記ミラーの前記第4部分は、前記ミラーの辺に沿うように配置され、
前記第2部分及び前記第4部分は、互いに対向する2辺に沿うようにそれぞれ配置されていることを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項1又は請求項2に記載のミラーデバイスであって、
前記ミラーの前記第2部分は、前記ミラーの角部に配置されていることを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項5に記載のミラーデバイスであって、
前記ミラーの前記第4部分は、前記ミラーの角部に配置され、
前記第2部分及び前記第4部分は、互いに対角に位置する2つの角部にそれぞれ配置されていることを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載のミラーデバイスであって、
前記第2部分は、前記ミラーの中央から端部に向かって徐々に薄くなるテーパー状に形成されていることを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項1乃至請求項6いずれか一項に記載のミラーデバイスであって、
前記第2部分は、前記ミラーの中央から端部に向かって段階的に薄くなる段差状に形成されていることを特徴とするミラーデバイス。 - 基板の一方の面側に犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層にミラーの支持部となる開口孔を形成する工程と、
前記犠牲層の上及び前記開口孔の中に第1ミラー膜を成膜する工程と、
前記第1ミラー膜のうち前記ミラーとなる領域の前記基板側の端部側が中央と比較して薄くなる少なくとも第2部分を形成する工程と、
前記犠牲層を除去して前記ミラーを形成する工程と、
を有することを特徴とするミラーデバイスの製造方法。 - 請求項9に記載のミラーデバイスの製造方法であって、
前記第2部分を形成する工程は、前記第1ミラー膜の上のうち前記ミラーとなる領域にレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして前記第1ミラー膜に等方性のエッチング処理を施す工程と、
を有することを特徴とするミラーデバイスの製造方法。 - 請求項9に記載のミラーデバイスの製造方法であって、
前記第2部分を形成する工程は、前記第1ミラー膜の上に、前記第1ミラー膜よりエッチングレートが小さい第2ミラー膜を成膜する工程と、
前記第2ミラー膜の上のうち前記ミラーとなる領域にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記第1ミラー膜及び前記第2ミラー膜にエッチング処理を施す工程と、
を有することを特徴とするミラーデバイスの製造方法。 - 基板の一方の面側に犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層にミラーの支持部となる開口孔を形成する工程と、
前記開口孔の中にミラー膜を形成する工程と、
前記犠牲層及び前記開口孔の上に、前記ミラーにおける前記基板側の端部側の厚みが中央の厚みと比較して薄くなる少なくとも第2部分が形成された前記ミラーを転写して、前記開口孔の前記ミラー膜と接続する工程と、
を有することを特徴とするミラーデバイスの製造方法。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載のミラーデバイスを備えることを特徴とする画像表示装置。
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