CN1848002A - 工艺参数与规格的控制方法及*** - Google Patents

Abstract

本发明揭露一种工艺参数与规格的控制方法及***。此方法是采用原控制工程的规格控制信息，另外将前工程的工艺条件一起纳入考量来达到规格转换的控制。并在后工程因前工程的制造条件不同而采用不同的制造配方来因应时，能透过规格转换来达到不同的规格控制，并非一般放宽规格限制或使用单一规格限制。而在规格转换控制前，***会自动检查相关的设定，如果因相关信息的不足导致***无法转换规格时，***会自动停止控制机台的操作，以避免使用到错误的规格控制。

Description

工艺参数与规格的控制方法及***

技术领域

本发明涉及一种工艺参数与规格的控制方法，且特别涉及一种参考前工程的工艺条件，而达到规格转换控制的一种工艺参数与规格的控制方法。

背景技术

在目前工厂制造指示***中，以下简称基准情报***，对在线所有产品的各个工艺都会依工程师的需求订定制造规格(Specification)。而在博塞顿制造执行***(Poseidon manufacturing execution system)，以下简称MES，的控制中，会依基准情报所下的指示，按照该产品的产品别(Prod ID)或制造方式(Technology)，再配合上工程码(Process code)及机台(Tool)的变化来订定不同的规格控制。意即在相同的条件下，包括相同产品别、制作方式，以及工程码，只能依据不同的目前机台来达到区分不同的规格控制。

对产品工程品质的控制方面，基准情报***由先前信息收集功能(Feedforward function)来控制。此功能会收集前工程的机台信息例如制造规格，以及制造配方(Recipe)，来决定控制工程机台的制造配方。但因功能开发未尽完善，以致在线产品若只参考上述功能中前工程的制造规格以及制造配方，将无法针对各个机台订定不同的制造规格。现行作法只能将目标物的制造规格放宽，无法量身订作属于该机台本身的制造规格。

在一案例中，如果由前工程所生产的膜厚的段差不同，将使得后工程的湿蚀刻(Wet)机台使用不同的制造配方来制造。若无法对于不同的制造配方来制定合乎其工艺的规格，则将造成机台的制造品质不稳定。

在另一案例中，前工程的关键层例如晶体管控制(TG)层蚀刻后，由扫描式电子显微镜(Scanning electron microscope，SEM)所量测出来的关键尺寸(Critical dimension，CD)值会影响某些电性参数而致影响良率(Yield)。而改由后工程自我对准控制***(Self alignment control，SAC)以注入的方式采用不同剂量(Dosage)来调整电性。但由于目前的规格制定宽松，若机台出现异常或内部程序执行错误，可能无法实时发现并作处理。

发明内容

本发明的目的就是在提供一种工艺参数与规格的控制方法，使得制造执行子***能将原控制工程的规格控制信息以及前工程的工艺条件一起纳入考量。而能够依据后工程机台的不同，订定属于该机台的制造规格而达到严格控制产品规格的成果。

本发明的另一目的就是在提供一种工艺参数与规格的控制方法，其中包括设定一控制参数组，并在取得所有控制参数组中的参数值后，能够依据预定条件来决定下一个制造步骤，若信息取得量不足，则停止控制机台的操作。

本发明的又一目的在提供一种工艺参数与规格的控制***，其一并考量控制机台与先前机台的各种参数，藉此以提供控制机台一个更精确的产出规格。

本发明提出一种工艺参数与规格的控制方法。首先从至少一个先前机台中收集相关信息，接着根据所收集的相关信息决定控制机台的产出规格。其中，先前机台是在控制机台之前对同一批目标物进行处理的机台。

依照本发明的较佳实施例所述的工艺参数与规格的控制方法，其中决定控制机台的产出规格时，从先前机台中所收集的相关信息包括先前机台的制造配方、制造机台与制造参数。

依照本发明的较佳实施例所述的工艺参数与规格的控制方法，其中，更参考控制机台的制造机台种类及控制机台的制造配方。

依照本发明的较佳实施例所述的工艺参数与规格的控制方法，最后则以产出规格判定由控制机台对目标物所进行的处理是否合乎标准。

本发明提出一种工艺参数与规格的控制方法，其中包括设定一控制参数组，以及收集控制参数组中的控制参数的参数值。其中，控制参数组中的至少一部份控制参数的参数值是从至少一个先前机台中收集而得。然后，根据控制参数组的参数值决定一控制机台的一产出规格，并在控制参数组中的参数值取得量少于一预定条件时，停止控制机台的操作。其中，该先前机台是在控制机台之前对同一批目标物进行处理的机台。

本发明另提出一种工艺参数与规格的控制***。此控制***包括情报提供子***、规格转换控制子***与工艺控制子***。其中，情报提供子***收集与控制机台相关的信息，以及与在该控制机台之前对同一批目标物进行处理的先前机台相关的信息。规格转换控制子***根据与控制机台以及先前机台相关的信息来设定控制机台的产出规格。工艺控制子***则根据此一产出规格以控制控制机台的制造参数。

根据上述，原本有需要做规格转换的产品，需要基准情报人员的介入，以人工的方式将该产品转换制造流程，以期达到不同规格的要求。待该产品结束工艺后再转回原制造流程。本发明因可以事先设定相关数据，***便会依照设定来转换规格，因此可以减少大量人工操作，更可以避免产生一些不必要的人为错误。

有些生产的控制因工艺的因素无法转换制造流程，为了合乎所有产品的规格，必需放宽该规格的上下限，而有可能产生一些无法预期的问题。本发明因对于规格要求更严谨，致使不同的产品皆能符合其规定的目标值，相对地产品的品质也能够获得提升。

有些前工程的机台特性相同，但制造出来的目标物规格却大不相同，因而无法相互调记运用。本发明因可依照前工程各机台的不同特性来决定控制工程的规格，故可以达到机台相互调配、提升产能的功效。另外，本发明亦可以自动检查规格是否正确，以期减少使用到错误规格控制的机会。

为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明一较佳实施例所绘示的一种工艺规格转换的控制***方块图。

图2是依照本发明一较佳实施例所绘示的一种规格转换的控制装置方块图。

图3是依照本发明一较佳实施例所绘示的一种规格转换的控制步骤。

附图符号说明

110：前工程

120：制造信息

130、240：控制工程

140：规格控制信息

150：规格转换控制

160：后工程

210：前工程制造信息

211：制造机台

212：制造配方

213：制造参数

220：规格控制信息

221：产品别

222：控制站点

223：控制机台

224：规格转换方式

230：控制***

231：基准情报子***

232：制造执行子***

233：规格转换控制子***

S310：基准情报子***收集制造信息

S320：制造执行子***下载制造信息

S330：判断信息是否充足

S340：若信息不足则停止制造

S350：若信息充足则进行规格转换

具体实施方式

图1是依照本发明一较佳实施例所绘示的一种工艺规格转换的控制***方块图。首先从前工程110的机台中收集制造信息120并导入规格转换控制***150。而当目标物到达控制工程130的站点时，控制工程130中的制造执行子***会将使用者预先设定的规格控制信息140下载至规格转换控制***150。经由该***进行规格转换后，再将工艺规格传回控制工程130的站点，最后再据以规定后工程160的工艺规格。

图2是依照本发明的另一较佳实施例所绘示的一种工艺参数与规格的控制***的***方块图。在本实施例中，此控制***230包括了一个基准情报子***231，一个制造执行子***232，以及一个规格转换控制子***233。

在控制***230中，首先可在基准情报子***231内设定控制信息。这些控制信息可以包含前工程的制造信息210及符合该控制工程站点的规格控制信息220。其中，前工程的制造信息210包括例如制造机台(Tool)211、制造配方(Recipe)212，以及制造参数(Parameter)213。另外，规格控制信息则可以包括例如产品别221、控制站点222、控制机台223，以及规格转换方式224。

在基准情报子***231中将设定完成后，基准情报子***231会自动将控制信息下载至制造执行子***232。当目标物到达控制站点后，制造执行子***232会将下载的控制信息传到规格转换控制子***233中，而规格转换控制子***233则根据这些控制信息来进行当前控制机台的规格转换。然后，这些经由规格转换后所得的控制信息，可能包含当前控制机台的新制造参数或新产出规格等，会被传回制造执行子***232。最后并由制造执行子***232将制造信息导入控制工程机台240(亦即所要控制的当前控制机台)来控制其工艺。

图3是依照本发明的另一较佳实施例所绘示的一种工艺参数与规格的控制方法的规格转换的控制步骤。步骤S310，由基准情报子***收集相关的制造信息，其中包括前工程制造信息以及规格控制信息。当所有制造信息收集完成时则进行步骤S320，由制造执行子***自基准情报子***下载制造信息。步骤S330，在规格转换控制前，***会自动检查该制造信息是否充足。步骤S340，如果因目标物的前工程信息或规格控制信息等条件的信息不足而导致规格转换控制子***无法转换规格时，***会自动发出警示(Alarm)，而该目标物也无法进入机台而停止制造，以避免使用到错误的规格控制。步骤S350，如果数据充足，则将制造信息导入规格转换控制子***进行规格转换。

在先前案例中，由前工程所生产的膜厚的段差不同，将使得后工程的湿蚀刻机台使用不同的制造配方来制造。若使用本实施所述的参数与规格的控制方法，则可对于不同的制造配方来制定合乎其工艺的规格，则将改进机台的制造品质不稳定的问题。

在先前另一案例中，前工程的关键层例如晶体管控制层蚀刻后，由扫描式电子显微镜所量测出来的关键尺寸值会影响某些电性参数而致影响良率。而改由后工程自我对准控制***以注入的方式采用不同剂量来调整电性。若使用本实施所述的参数与规格的控制方法，则可对于不同的制造机台来制定合乎其工艺的规格，并可在机台出现异常或内部程序执行错误时，实时发现并作处理。

综上所述，在本发明的规格转换控制子***的控制之下，除了原控制工程的规格控制信息之外，另将前工程的工艺条件一起纳入考量，所以能够依据后工程机台的不同，订定属于该机台的制造规格而达到严格控制产品规格的成果，改进一般工艺所采用的规格放宽或统一制定单一规格的缺点。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。

Claims (11)

1.一种工艺参数与规格的控制方法，包括：

从至少一个先前机台以及一控制机台中收集相关信息；以及

根据所收集的相关信息，决定该控制机台的一产出规格，

其中，该先前机台是在该控制机台之前对同一批目标物进行处理的机台。

2.如权利要求1所述的工艺参数与规格的控制方法，更包括：

根据所收集的相关信息，决定该控制机台的制造参数。

3.如权利要求1所述的工艺参数与规格的控制方法，其中，从该先前机台中所收集的相关信息包括该先前机台的制造配方、制造机台与制造参数。

4.如权利要求1所述的工艺参数与规格的控制方法，其中，从该控制机台中收集的相关信息包括该控制机台的制造机台种类及该控制机台的制造配方。

5.如权利要求1所述的工艺参数与规格的控制方法，更包括：

以该产出规格判定由该控制机台对目标物所进行的处理是否合乎标准。

6.一种工艺参数与规格的控制方法，包括：

设定一控制参数组；

收集该控制参数组中的控制参数的参数值，其中，该控制参数组中的至少一部份控制参数的参数值是从至少一个先前机台中收集而得；以及

根据该控制参数组的参数值决定一控制机台的一产出规格，并在该控制参数组中的参数值取得量少于一预定条件时，停止该控制机台的操作，

其中，该先前机台是在该控制机台之前对同一批目标物进行处理的机台。

7.如权利要求6所述的工艺参数与规格的控制方法，其中，该控制参数组包括产品别、控制站点、控制机台、前工程制造信息与规格转换方式其中之一。

8.如权利要求6所述的工艺参数与规格的控制方法，其中，从至少一个先前机台中收集而得的该控制参数组中的至少一部份控制参数的参数值，包括该先前机台的制造配方、制造机台与制造参数。

9.一种工艺参数与规格的控制***，包括：

一基准情报子***，收集与一控制机台相关的信息以及与在该控制机台之前对同一批目标物进行处理的一先前机台相关的信息；

一规格转换控制子***，根据与该控制机台相关的信息以及与该先前机台相关的信息，设定该控制机台的一产出规格；以及

一制造执行子***，根据该产出规格以控制该控制机台的制造参数。

10.如权利要求9所述的工艺参数与规格的控制***，其中，与该控制机台相关的信息包括该控制机台的识别参数以及该控制机台所在的控制站点。

11.如权利要求9所述的工艺参数与规格的控制***，其中，与该先前机台相关的信息包括该先前机台的制造配方、制造机台与制造参数。

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