CN1846873A - 操作用于液体计量供应的气动设备的方法以及气动设备 - Google Patents

操作用于液体计量供应的气动设备的方法以及气动设备 Download PDF

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Abstract

本发明涉及用于液体计量供应的气动设备(1)的操作以及尤其适于根据本发明操作的气动设备。该气动设备具有能借助于进口阀(10)连接到压缩空气源以及借助于出口阀(11)与周围环境相连接的压力容器(8)。为了供应液体，将压力脉冲施加于包含液体的液体容器(4)，因此压力容器(8)经由转换阀(17)暂时地连接到液体容器(4)。在压力脉冲结束之后，压力容器(8)中的压力增大到一个比压力脉冲期间要达到的设定值大的值。

Description

操作用于液体计量供应的气动设备的方法以及气动设备
技术领域
本发明涉及一种操作用于液体计量供应的气动设备的方法以及一种尤其在将半导体芯片安装到基片上时使用以便将预定量的胶粘剂涂敷于基片上的气动设备。
背景技术
这种气动设备适于粘性、胶粘或化学侵蚀性液体的计量供应。与机械泵相比，其优点在于磨损很小且更易于清洗。然而，其缺点是所供应液体的量不能在体积上如同例如中国专利申请CN 1250022A所述的机械泵那样确定。词语“计量供应”的意思是每次供应预定量的液体或一部分液体。
在安装半导体芯片时，经常使用包含银片的环氧树脂基胶粘剂。胶粘剂置于一个喷射器内，来自气动设备的压力脉冲施加于该喷射器以将胶粘剂一部分一部分地喷出。胶粘剂的涂敷借助于具有数个供胶粘剂流出并沉积在基片上的开口的分配器喷嘴，或者借助于仅具有一个供胶粘剂流出的开口的写喷嘴(writing nozzle)来进行。写喷嘴借助于能在两个水平方向上运动的驱动***来沿着预定的路径导向以使得沉积的胶粘剂在基片上形成预定的胶粘剂图案。例如从EP 1432013中可以得知这种具有能在两个水平方向上运动的写喷嘴的半导体安装装置。胶粘剂的供应之所以进行，是因为气动设备产生了正好与写喷嘴的写动作持续时间一样长的压力脉冲。从专利说明书US 5199607和US 5277333中可以得知能用于这种应用的气动设备。这些设备包括其压力水平由压力调节器进行调节的压力容器。这些设备具有两个明显的缺点：
液体供应量取决于喷射器的排空程度。为了保持液体供应量恒定，压力脉冲的长度要变化。这就妨碍了与写喷嘴的写动作之间的协调性。
压力脉冲的压力水平在液体供应过程中发生变化，因为压力调节器要补偿压力容器在压力脉冲开始时出现的压力损失。
发明内容
本发明的目标是开发一种用于液体计量供应的气动设备和/或一种操作这种气动设备以便与液体容器的排空程度无关地提供部分液体的方法。
一种用于液体计量供应的气动设备包括：能通过第一阀连接到压缩空气源和通过第二阀连接到周围环境的压力容器；以及压力传感器，所述压力传感器测量压力容器中的压力并且其输出信号被用来借助于两个阀来调整或调节压力容器中的压力。而且，气动设备包括有负压容器，该负压容器至少在两个压力脉冲之间的较长时间暂停期间连接到包含液体的容器以防止液体流出或滴落。为了供应液体，液体容器暂时连接到压力容器，即一个压力脉冲施加于液体容器。一个重要的要求是，液体容器中的压力pB在压力脉冲期间应尽可能地恒定。一方面，本发明涉及这种气动设备的操作。根据本发明的操作方法的特征在于，在一个压力脉冲结束后压力容器中的压力增加到比压力脉冲期间所要维持的压力水平pB1大的压力水平pT2。因此，为了将压力脉冲施加于液体容器以供应一部分液体，液体容器被暂时连接到压力容器。在液体容器已经与压力容器断开之后，压力容器中的压力被增大到大于压力水平pB1的压力水平pT。这样，就产生了以下行为：在一个压力脉冲开始时，压力容器中的压力降低而液体容器中的压力增大，直到压力容器中的压力和液体容器中的压力相等并达到基本上恒定的压力水平。压力水平pT2被选择为使得液体容器中的压力的统计平均值达到期望的设定值pB1。利用不断地调节压力容器内压力的气动设备以及在液体供应期间即压力脉冲持续期间关掉对压力容器内压力的压力调节的气动设备可以实现本发明的操作。因此，根据本发明，利用不断地调节压力容器内压力的气动设备，对于压力脉冲的持续期间，压力被调节到值pB1，并且在压力脉冲之间的暂停期间，被调节到值pT2。然而利用在压力脉冲结束之后将压力容器中的压力增大到值pT2并且在液体供应期间即压力脉冲持续期间不对压力容器中的压力进行调节或调整的气动设备，能特别好地实施本发明。因此，每次在下一压力脉冲施加于液体容器之前，压力容器中的压力采取值pT2。
借助于其它可选的措施还能改进根据本发明的操作。首先是压力传感器测量在压力形成之后达到的压力水平pB1，1st并调节在下一压力脉冲开始之前压力容器中的压力pT2以使得压力水平pB下次(或统计平均值)达到预定的设定值pB1。因此，就防止了压力水平pB1，1st由于液体容器的排空动作而产生的变化。用作第一个措施的替代方案的第二个措施在于，在压力脉冲期间测量液体容器中(或者气动设备输出处)压力的变化，计算压力的时间积分并且然后在下一压力脉冲开始之前调整压力容器中要达到的压力pT2以使得压力的时间积分的统计平均值保持恒定。利用这种不对压力容器中的压力进行调节而是对其进行设定的气动设备，第三个措施在于，在每次结束压力脉冲之后，压力容器中首先产生比期望压力更高的压力并且随后将压力降低到期望值。这样，就能增大压力容器中要设定的压力水平的准确性，尤其是以相对低的压力水平。
因此，本发明一方面涉及用于液体计量供应的气动设备的操作，其中气动设备具有可借助于进口阀连接到压力空气源以及借助于出口阀连接到周围环境的压力容器，其中为了供应液体，压力容器暂时地通过转换阀连接到包含液体的液体容器，其中在液体供应之前，压力容器中的压力增加到一个比液体供应期间所要维持的设定值大的值。
另外，优选地，测量压力容器中或压力容器和液体容器之间的连接管线中或者液体容器中将近液体供应结束时增大的压力水平pB1并考虑所测量压力水平pB1确定和调整下一次液体供应之前压力容器中要达到的压力的设定值，以使得在连续操作期间，压力水平pB1达到统计平均上的相同值。
尤其是，液体容器中的压力水平pB(t)优选地作为时间t的函数进行测量并且计算积分 其中压力水平pB(t)在时刻t1超过第一预定阈值并且在时刻t2降低到第二预定阈值之下，并且其中函数g(pB)是给定的权重函数，并且考虑到该积分将下一次液体供应之前压力容器中要达到的压力pT的预定值确定和调整为使得在连续的操作中该积分的统计平均值达到了相同值。
另一方面，本发明涉及一种气动设备，其包括：压力容器、布置在压力容器和压缩空气源之间的第一进口阀、布置在压力容器和周围环境之间的第一出口阀、负压容器、布置在负压容器和周围环境之间的第二进口阀、布置在负压容器和负压源之间的第二出口阀、布置在压力容器和气动设备的输出之间的第一转换阀、以及控制装置，所述控制装置被编程为使得第一进口阀中断压力容器和压缩空气源之间的连接并且第一出口阀中断压力容器和周围环境之间的连接，同时依据压力，第一转换阀将压力容器连接到液体容器。
利用这种气动设备，在液体供应结束时，压力容器中的压力水平优选地设置为压力容器首先借助于进口阀连接到压力空气源并随后借助于出口阀连接到周围环境以使得压力首先增大到设定值之上并随后降低到设定值。
气动设备优选地包括有布置在第一转换阀和负压容器之间的第二转换阀。
为了避免压力波动，优选地在压力容器和第一转换阀之间布置有节流阀。
下面将基于气动设备的实施例和附图更详细地解释本发明。
附图说明
包含于说明书并构成说明书一部分的附图示出了本发明的一个或多个实施例，并且连同详细描述一起用来解释本发明的原理和实施。
附图并不是按比例的。在附图中：
图1示出了根据本发明的气动设备的示意性设计图，
图2示出了不同压力的时间曲线，和
图3示出了根据图1的气动设备，其还结合有压力调节器。
具体实施方式
图1示出了根据本发明的用于液体计量供应的气动设备1的示意图，这种气动设备尤其适于执行根据上述发明的方法。设备1包括：输入2，用于供应由外部压缩空气源所产生的压缩空气；以及通过管连接到液体容器4的输出3。设备1由完成三个子功能的三个气动子组5-7所构成。第一子组5产生供应液体所需的高压力。第二子组6产生用来防止液体滴落的保持负压。第三子组7控制液体的供应。
第一子组5包括：压力容器8；测量压力容器8中的压力PT的第一压力传感器9；用于形成压力的进口阀10；以及用于降低压力容器8中的压力的出口阀11。进口阀10将压力容器8连接到输入2。出口阀11将压力容器8与周围空气相连。第一子组5还包括用于控制阀10和11的驱动器以及用于对压力传感器9所传送的输出信号进行测定的测定电路。
第二子组6包括：文丘里喷嘴12，其连接到输入2并且因此被供应有用于产生负压的压缩空气；负压容器13；用于降低负压容器13内的负压的进口阀14；用于增大负压容器13内的负压的出口阀15；以及测量负压容器13内的负压或低压的压力传感器16。进口阀14将负压容器13与周围空气相连。出口阀15将负压容器13连接到文丘里喷嘴12。第二子组6还包括用于控制阀14和15的驱动器，以及用于对第二压力传感器16所传送的输出信号进行测定的测定电路。
第三子组7包括：第一转换阀17，其将压力容器8或负压容器13与气动设备1的输出3相连；第二转换阀18，其布置在第一转换阀17和负压容器13之间并使得能通过周围空气来降低液体容器4中的压力；以及第三压力传感器19，其布置在输出3处或液体容器4内。第三子组7还包括用于控制两个转换阀17和18的驱动器以及用于对第三压力传感器19所传送的输出信号进行测定的测定电路。
阀10、11、14、15、17和18的特征在于以下特点：
—它们是仅具有两个阀位置A和B的阀，在电源发生故障时，所述阀采取预定的阀位置，也就是图1中标识为位置A的阀位置。
—它们是快速作用阀或高速阀，其转换时间介于两毫秒和最多约四毫秒之间。
控制装置20控制气动设备1。控制装置20具有接口21以使得能根据主要情况(master instance)对气动设备1的操作进行控制。根据本发明的气动设备1被开发来用于安装半导体芯片的自动装配机上以将胶粘剂涂敷于基片。自动装配机包括将胶粘剂涂敷于基片的分配站以及将半导体芯片置于基片上的粘合站。分配站包括分配喷嘴或可移动的写喷嘴。在涂敷胶粘剂期间，分配喷嘴保持静止，写喷嘴执行写运动。具有胶粘剂的液体容器4或者静止地布置在分配站上或者安装在使写喷嘴在基片之上移动的写头上。液体容器4的输出直接地或通过管连接到分配喷嘴或写喷嘴。气动设备1的输出3通过管连接到液体容器4。借助于将操作气动设备1所必要的数据通过接口21传输到控制装置20的计算机来控制自动装配机。
气动设备1由所述三个子组5-7组成。两个转换阀17和18布置为尽可能地接近液体容器4。由于空间的原因，具有压力容器8的第一子组5和具有负压容器13的第二子组6安装为远离两个转换阀17和18一定距离。气动设备1的这种分散构造会产生由于出现在压力容器8和第一转换阀17之间的连接管线中的偏转所引起的不利压力波。为此，有利地是将节流阀22结合入靠近压力容器8的连接管线以防止压力容器8处的偏转。作为定义，节流阀22是连接管线中的锥体，其所需的角度最好根据经验来确定。
气动设备1被构造为使得在电源发生故障时，第二转换阀18之外的所有阀都采取位置A而第二转换阀18首先采取位置B并且只是在过去预定时间之后才采取位置A，以使得液体容器4中的过压在液体容器4连接到负压容器13之前首先被降低到环境压力。
另外，控制装置20能被编程为使得，其检测何时压力容器8中的压力或负压容器13中的负压不能形成，这表示压力供应的故障，并且其随后将所有的阀移动到位置A以使得即使压力供应故障也不会有液体能流出，因为如前那样第二转换阀18首先采取位置B并且只是在已经过去预定时间之后才采取位置A。
气动设备1能采取两个位置V和P。在状态V，其向输出3供应保持负压，在状态P，其向输出3供应压缩空气。下面将描述从状态V变化到状态P而开始的循环，即该循环开始于压力脉冲的施加。在状态V，阀10、11、14、15、17和18处于图1中标识为阀位置A的位置。要变化的信号在适当的时间从自动装配机的计算机传输到控制装置20，从而执行以下步骤：
1.转换阀17从位置A变化到位置B：依据压力，液体容器4现在连接到压力容器8以使得液体容器4中的压力pB增大并达到几乎恒定的压力水平pB1。
现在将负压容器13与液体容器4脱离并准备下一动作。在压力脉冲结束时，每次将要从液体容器4排出的空气仅仅流入负压容器13但是还没有经由文丘里喷嘴12排出时，负压容器13中的压力稍微增大。因此负压容器13如下这样排空：
2A.出口阀15从位置A变化到位置B：依据压力，负压容器13现在连接到文丘里喷嘴12以使得负压容器13中的负压再次增大。
2B.一旦来自第二压力传感器16的输出信号指示负压已经达到预定值pV1，出口阀15就从位置B变化返回到位置A。此后，进口阀14从位置A变化到位置B：依据压力，负压容器13现在与周围空气相连接以使得负压容器13中的负压再次降低。
2C.一旦来自第二压力传感器16的输出信号指示负压容器13中的负压已经达到预定值pV2，进口阀14就从位置B变化到位置A。
在负压容器13中，现在其中的负压的压力水平为pv2。
一旦压力脉冲的给定持续时间已经过去，那么气动设备1就从状态P变化到状态V：
3.在变化之前，利用第一压力传感器9测量压力容器8中的压力水平并将其存储为值pB1。
4.第二转换阀18从位置A变化到位置B。这个步骤是也可以更早地执行的准备步骤，例如在步骤1之后立即执行。
5.第一转换阀17从位置B变化到位置A：液体容器4和压力容器8之间的连接被中断。因为第二转换阀18处于位置B，依据压力，液体容器4现在就与周围环境相连接。因此液体容器4中的过压就降低，并且没有给负压容器13加载。
步骤4和5的交错保证了，与两个转换阀17和18由于误差所引起的转换延迟无关，在过压降低之前，液体容器不是暂时地连接到负压容器13。
状态P现在就结束并随后是过渡阶段T，这个过渡阶段一直持续到液体容器4中的压力降低到周围环境中的压力。
在液体容器4中，发生保持负压的增大并且同时压力容器8准备好下次压力脉冲的传送。
利用第三压力传感器19来监视出口3处的压力pB。
6A.一旦压力传感器19的输出信号指示压力pB已经降低到几乎周围环境压力的水平，第二转换阀18从位置B转换到位置A。液体容器4现在连接到负压容器13。液体容器4中的压力因此就降低到几乎负压容器13中的压力水平。
6B1.进口阀10从位置A转换到位置B：压缩空气现在供应到压力容器8。用第一压力传感器9连续地测量压力容器中的压力pT。一旦压力传感器9的输出信号指示压力pT已经达到预定值pT1，进口阀10就从位置B转变回到位置A。
6B2.出口阀11从位置A转换到位置B：依据压力，压力容器8现在与周围环境相连接以使得压力pT再降低。
6B3.一旦压力传感器9的输出信号指示压力已经达到预定值pT2，出口阀11就从位置B转变回到位置A。压力容器8中现在为压力pT2。根据在步骤3中测量的压力pB1，值pT2优选地设置为pT2＝pB1+△p，其中值△p由控制装置20确定为使得压力水平pB1达到预定的设定值。
气动设备1现在就处于状态V并准备好下一压力脉冲的传送。
所述的过程步骤1至6B3限定了气动设备1的最佳操作。根据本发明操作的最重要因素是，当气动设备1处于状态P时，两个阀10和11处于并保持在位置A，以使得压力容器8中的压力在压力脉冲期间没有被重新调节。步骤2B、2C、3、6B2和6B3可以被省略。在压力脉冲期间压力容器的压力调节被关掉时，根据背景技术中所引用的US5199607或US5277333的气动设备能依照根据本发明的操作方法进行操作。然而，除了这种测量之外，它们的操作也能进一步改进。这在下面将进一步解释。
也能以不同的方式设定负压容器13中的负压，尤其，负压容器13中的负压可以不断地调节。压力脉冲结束时液体容器4中的压力降低也能以不同的方式进行。
图2示出了负压容器13中的压力pV、压力容器8中的压力pT以及液体容器4中的压力在根据上述步骤的操作过程中所获得的时间曲线。为了清楚了示出事实，曲线并不是按比例地给出。上述操作方法的步骤1至6B3也标记在时间轴t上。压力pA表示周围环境中的环境压力。从图2中能看出，压力容器8中的压力在压力脉冲开始时降低，因为体积由于液体容器4的死容积和连接管线而增大。由于压力脉冲的结果，压力容器8中的压力因此就不得不再次形成。
根据本发明的设备具有以下优点：
——由于压力容器8中的压力在压力脉冲的传送期间没有被重新调节，液体容器4中出现的压力水平pB1仍然保持恒定。
——在下一压力脉冲的传送之前在压力容器8中形成的压力水平pT2与压缩空气源的压力波动无关。
——步骤6B1和步骤6B2所述的在压力容器8中形成压力的两阶段方法使得能够准确地设定压力水平pT2，尤其是低的压力水平pT2，因为要设定低的压力水平pT2，步骤6B1中的压力相对快速地增大，因为压力差很大，而步骤6B2中的压力相对缓慢地降低，因为随后压力差很小。
——每个阀在每个循环中仅切换两次，也就是从位置A到位置B并再返回到位置A。
——在电源发生故障时，所有的阀转入位置A。依据压力，负压容器13与文丘里喷嘴12以及周围环境分离，但是连接到液体容器4。因此这样就防止了液体流出。依据压力，压力容器8也与压缩空气源以及周围环境分离。
在排空液体容器4的过程中，压力脉冲的形状会发生变化。这样，每个压力脉冲的液体供应量也变化。因此，有利地是在气动设备1的输出3处用第三压力传感器19测量压力pB的变化并且为每个压力脉冲计算积分 I n = ∫ t 1 t 2 p B ( t ) dt , 其中时间t1表示压力pB(t)超过预定阈值的时刻，时间t2表示压力pB(t)降低到低于相同阈值或不同的预定阈值的时刻，并且其中下标n用作压力脉冲的编号。阈值被确定为使得积分In尽可能地与液体供应量成比例。可选地，积分也能通过用权重函数g(pB)来权重而形成为 I n = ∫ t 1 t 2 g ( p B ( t ) ) p B ( t ) dt , 其中权重函数g(pB)模拟液体流速对当前压力pB的依赖度。权重函数g(pB)例如形式可以为g(pB)＝g0+g1*pB，其中g0和g1是常量。计算的积分In然后被用来重新调节压力容器8中的压力水平pT2以使得下一压力脉冲中的积分In+1为相同的大小：In+1＝In。在步骤6B3，然后将压力水平例如设定到值pT2＝pB1*In/In+1+△p。可选地，脉冲持续时间可以以因数In/In+1来扩展。这种方法在这里仅仅从是从原理上进行描述但是实际上其优选地根据通常容许的统计方法来执行以使得积分的统计平均值达到了相同值，这种方法确保了每个压力脉冲的液体供应量与液体容器4的排空程度无关。
从图2中能看出，一旦转换阀17在步骤1中从位置A运动到位置B，液体容器4中的压力pB增大到值pB1。与此同时，压力容器8中的压力pT从开始值pT2下降到值pB1。一旦液体容器4中的压力已经达到值pB1，其仍然保持几乎不变，因为在液体供应时死容积仅仅稍微地增大。压力水平pB1相当于在液体供应期间所要维持的设定压力水平。原则上，在从步骤1直到步骤5中是否重新调节了设定压力水平并不重要。因此本发明也可以用压力容器8中的压力pT被不断地调节的气动设备来实施，例如利用根据US5199607或US5277333的气动设备或根据图3扩展有压力调节器23的气动设备。控制装置20把待调节的压力设定值发送给压力调节器23并且压力调节器23控制进口阀10和出口阀11。
对压力pT进行长期调节的操作如下这样进行：
1.气动设备处于状态V，即液体容器4供应有保持负压。根据本发明，压力容器8中的压力pT现在被调节到比液体供应期间所要保持的设定压力水平pB1大的压力水平pT2。
2.为了供应液体，液体容器4连接到压力容器8；并且对于根据图3的设备，将转换阀17从位置A转换到位置B。气动设备现在处于位置P。
3.对压力容器8中的压力进行调节的压力调节器23的设定值从值pT2降低到值pB1。
4.为了结束液体供应，将液体容器4与压力容器8分离开；并且对于根据图3的设备，将转换阀17从位置B转换到位置A。
5.对压力容器8中的压力进行调节的压力调节器23的设定值又从值pB1增大到值pT2。
因此，在这种操作模式下，原则上，在液体容器4与压力容器8分离开时压力容器8中的压力pT被调节到值pT2，而在液体容器4连接到压力容器8时被调节到值pB1。然而，应当说明的是，用于压力调节器23的设定值从值pT2降低到值pB1的时刻也能处于液体容器4连接到压力容器8稍微之前或稍微之后以使得液体供应开始时的设定值pB1能以最佳的方式实现，即尽可能地快且没有过度，即不希望的摆动。
随着液体容器4排空程度的增大，压力水平pT2增大并且因此差值△p＝pT2-pB1也增大。因此有利地是在校准步骤首先确定液体容器4被排空时要采取的压力水平pT2e并由此计算差值△pe＝pT2e-pB1，并且随后监视生产中的压力差值△p并在压力差值△p已经达到预定水平k*△pe或k*(△pe-△pf)时产生警报信号，其中参数k小于1，例如k＝0.8，并且其中△pf表示液体容器4为满时所要采取的压力差值并且最迟在压力差值△p达到值△pe时产生停止信号。
虽然已经示出和描述了本发明的实施例和应用，但是对于受益于本发明的本领域技术人员来说，在不偏离本文创造性概念的前提下，显然可以有除上述之外的很多其它变型。因此本发明仅受限于所附权利要求及其等同概念的实质。

Claims (12)

1.一种操作用于从包含液体的液体容器(4)中计量地供应液体的气动设备的方法，所述方法包括步骤：
暂时地将液体容器(4)连接到压力容器(8)以将压力脉冲施加于液体容器(4)以便供应一部分液体，其中压力脉冲达到压力水平pB1，和
在液体容器(4)已经与压力容器(8)断开之后，将压力容器(8)中的压力增大到大于压力水平pB1的压力水平pT2。
2.根据权利要求1的方法，其特征在于，在液体容器(4)与压力容器(8)断开之前测量压力水平pB1，以及调节压力水平pT2以使得压力水平pB1的统计平均值达到相同的值。
3.根据权利要求1的方法，其特征在于，在压力容器(4)或附近将压力水平pB(t)测量为时间t的函数并且计算积分
Figure A2006100735380002C1
其中压力水平pB(t)在时刻t1超过第一预定阈值并且在时刻t2降低到第二预定阈值之下，并且其中函数g(pB)是给定的权重函数，以及调节压力水平pT2以使得积分的统计平均值为相同值。
4.根据权利要求1的方法，其中压力容器(8)可借助于进口阀(10)连接到压缩空气源并且可借助于出口阀(11)与周围环境相连接，其特征在于，在压力容器(8)连接到液体容器(4)时，进口阀(10)将压力容器(8)和压缩空气源之间的连接保持为中断并且出口阀(11)将压力容器(8)和周围环境之间的连接保持为中断。
5.根据权利要求2的方法，其中压力容器(8)可借助于进口阀(10)连接到压缩空气源并且可借助于出口阀(11)与周围环境相连接，其特征在于，在压力容器(8)连接到液体容器(4)时，进口阀(10)将压力容器(8)和压缩空气源之间的连接保持为中断并且出口阀(11)将压力容器(8)和周围环境之间的连接保持为中断。
6.根据权利要求3的方法，其中压力容器(8)可借助于进口阀(10)连接到压缩空气源并且可借助于出口阀(11)与周围环境相连接，其特征在于，在压力容器(8)连接到液体容器(4)时，进口阀(10)将压力容器(8)和压缩空气源之间的连接保持为中断并且出口阀(11)将压力容器(8)和周围环境之间的连接保持为中断。
7.根据权利要求4的方法，其特征在于，压力容器(8)中的压力水平通过以下步骤设定在压力水平pT2：
借助于进口阀(10)将压力容器(8)连接到压缩空气源以将压力容器(8)中的压力增大到高于压力水平pT2，
将压力容器(8)与压缩空气源断开，
借助于出口阀(11)将压力容器(8)与周围环境相连接，和
在压力水平已经达到其预定值pT2时，将压力容器(8)与周围环境断开。
8.根据权利要求5的方法，其特征在于，压力容器(8)中的压力水平通过以下步骤设定在压力水平pT2：
借助于进口阀(10)将压力容器(8)连接到压缩空气源以将压力容器(8)中的压力增大到高于压力水平pT2，
将压力容器(8)与压缩空气源断开，
借助于出口阀(11)将压力容器(8)与周围环境相连接，和
在压力水平已经达到其预定值pT2时，将压力容器(8)与周围环境断开。
9.根据权利要求6的方法，其特征在于，压力容器(8)中的压力水平通过以下步骤设定在压力水平pT2：
借助于进口阀(10)将压力容器(8)连接到压缩空气源以将压力容器(8)中的压力增大到高于压力水平pT2，
将压力容器(8)与压缩空气源断开，
借助于出口阀(11)将压力容器(8)与周围环境相连接，和
在压力水平已经达到其预定值pT2时，将压力容器(8)与周围环境断开。
10.一种气动设备，其具有输出(3)并且包括：
压力容器(8)，
布置在压力容器(8)和压缩空气源之间的进口阀(10)，
布置在压力容器(8)和周围环境之间的出口阀(11)，
布置在压力容器(8)和输出(3)之间的第一转换阀(17)，和
控制进口阀(10)、出口阀(11)和第一转换阀(17)的控制装置(20)，所述控制装置(20)被编程为使得，在第一转换阀(17)将压力容器(8)连接到液体容器(4)时，进口阀(10)将压力容器(8)和压缩空气源之间的连接保持为中断并且出口阀(11)将压力容器(8)和周围环境之间的连接保持为中断。
11.根据权利要求10的气动设备，还包括：
负压容器(13)，和
布置在第一转换阀(17)和负压容器(13)之间的第二转换阀(18)，其中该转换阀(18)将第一转换阀(17)连接到负压容器(13)或者将其与周围空气相连接。
12.根据权利要求10或11的气动设备，还包括布置在压力容器(8)和第一转换阀(17)之间的节流阀(22)。
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