CN1737593A - 显示面板检查装置及检查方法 - Google Patents

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Abstract

一种可显著降低设备成本、可缩短检查时间的显示面板检查装置和检查方法，该显示面板检查装置具有：图像检测部(10)，根据检测信号使显示面板(工件)亮灯，通过拍摄亮灯图像来获得图像检测数据；数据存储部(20)，能够把这些图像检测数据作为与各显示面板的对应的数据来存储多个显示面板的数据；数据处理部(30)，通过分别读出被存储在数据存储部中的图像检测数据并实施图像处理，进行各显示面板的质量判定，在进行多个显示面板的检查处理时，图像检测部和数据处理部独立地进行检查处理。图像检测部向数据存储部输出识别检测对象的各个显示面板的识别数据和它们的图像检测数据，数据存储部构建管理识别数据和与其对应的图像检测数据的数据库。

Description

显示面板检查装置及检查方法
技术领域
本发明涉及显示面板检查装置及检查方法。
背景技术
等离子显示面板、液晶显示面板、有机EL面板等的显示面板，对形成面板后的显示面板进行针对白色发光的亮度不均、针对黑色显示的亮点、颜色不均显示、像素缺陷、边缘试验(相对输入信号量的发光量)等的检查，根据该检查结果进行成品的质量管理。
作为此时使用的显示面板检查装置，使用如图1所示的装置，该装置具有承载显示面板J1的检查台J2，在该检查台J2的左右，配置将完成检测的显示面板J1从J2取下的卸载机J3、和把新的要进行检测的显示面板J1安装在检查台J2上的装载机J4，在检查台J2的侧方设置探针(亮灯电路)J5，其连接显示面板J1的连接端子，用于使显示面板J1亮灯，在显示面板J1的上方配置CCD照相机J6，在该CCD照相机J6连接数据处理部J7。并且，该显示面板检查装置中除显示面板J1以外的所有构成部件整体构成一个检测装置。数据处理部J7由AD转换器J71、运算电路J72、图像存储器J73、和显示电路J74构成。
在利用这种显示面板检查装置进行检查时，从装载机J4向检查台J2供给显示面板J1并把其放置在规定的位置上，然后，将探针J5与该显示面板J1连接并供给亮灯信号。之后，设在显示面板J1上的CCD照相机J6拍摄显示面板J1的整个显示区域，把其亮灯亮度作为视频信号发送给数据处理部J7。在数据处理部J7对被发送来的视频信号进行数字化处理，并作为灰度显示数据存储在图像存储器J73中。然后，读出存储在该图像存储器J73中的数据，进行基于该检测值的检查(参照下述专利文献1)。
专利文献1日本专利特开平6-222315号公报
在这种以往的显示面板检查装置的检查中，伴随显示面板的高精细化和大画面化存在大量的检测信息，或者随着上述的亮度不均、亮点、颜色不均显示、像素缺陷、边缘检测等检查项目的增多，在利用CCD照相机获取图像检测数据后，数据处理部的处理需要大量时间。并且，显示面板在从被放置在显示面板检查装置上到结束数据处理部的处理结束并判定质量合格与否期间，形成了在放置有显示面板的状态下的待机，所以这将大大影响显示面板检查装置的生产节拍，不能进行高生产效率的检查处理。
并且，为了即使用这种显示面板检查装置又能满足显示面板制作及整个检查检测线的生产时间要求，需要导入多台相同的显示面板检查装置，由此会因设置空间和装置单价问题而产生设备投资额高涨的问题。另外，在进行面板生产的过程中，在产生计划变更等与要求的面板生产时间不一致的情况下，需要增加设置一套显示面板检查装置，因此存在着在装置调试、设置空间、装置价格等方面，无法避免追加投资额的高涨，且不能获得生产调整的自由度的问题。
并且，在使用多台显示面板检查装置的情况下，获取图像检测数据时的调整变复杂，并且容易产生因机器差异造成的检测偏差，因此，不利于进行质量管理。
发明内容
本发明把解决这些问题作为课题的一例。即，本发明的目的在于，可以省空间、低成本地进行高生产效率的检查处理，在确保高生产效率的同时减少获取图像检测数据时的调整，并且消除因机器差异造成的检测偏差，可以实现良好的质量管理等。
为了达到上述目的，本发明的显示面板检查装置及检查方法至少具备下面的各项发明的结构。
本发明提供一种显示面板检查装置，其特征在于，具有：图像检测部，根据检测信号使显示面板亮灯，通过拍摄亮灯图像获得图像检测数据；数据存储部，能够把所述图像检测数据作为与各显示面板对应的数据来存储多个显示面板的数据；数据处理部，通过分别读出被存储在所述数据存储部中的图像检测数据并实施图像处理，进行各显示面板的质量判定，在进行多个显示面板的检查处理时，所述图像检测部和所述数据处理部独立地进行处理。
本发明还提供一种显示面板检查方法，利用显示面板检查装置进行显示面板检查，该显示面板检查装置具有：图像检测部，根据检测信号使显示面板亮灯，通过拍摄亮灯图像获得图像检测数据；数据存储部，把所述图像检测数据作为与各显示面板对应的数据进行存储；数据处理部，通过分别读出存储在所述数据存储部的图像检测数据并实施图像处理，进行各显示面板的质量判定，其特征在于，包括：图像检测工序，向所述图像检测部供给作为检测对象的显示面板，向所述数据存储部输出所述图像检测数据，并且排出检测完毕的显示面板，并供给作为检测对象的下一显示面板；数据处理工序，把从所述数据存储部输出的对应各显示面板的所述图像检测数据分配给等待进行处理的多个所述数据处理部，并实施所述图像处理。
附图说明
图1是表示现有技术的显示面板检查装置的说明图。
图2是表示本发明的实施方式的显示面板检查装置及检查方法的说明图。
图3是表示本发明的其他实施方式的显示面板检查装置及检查方法的说明图。
图4是表示本发明的实施方式的对于一个工件的各个处理工序的流程图。
图5是表示本发明的实施方式的检查工序和现有技术的检查工序的比较例的图。
图中：1、11～1N-工件；2-ID读取机；3-分配传送带；10、101～10N-图像检测部；20-数据储存部；30、301～30N-数据处理部。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的实施方式的显示面板检查装置及其检查方法。
图2是表示使用本发明的实施方式的显示面板检查装置的显示面板的整个检查工序的一例的概念图，在本发明的实施方式中，被检查的显示面板(工件)可以是LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示面板)、PDP(Plasma display Panel：等离子体显示面板)、有机EL(Electroluminescence：有机电致发光面板)等。
本发明的实施方式的显示面板检查装置具有：图像检测部10，根据检测信号使显示面板亮灯，通过拍摄亮灯图像获得图像检测数据；数据存储部20，把所获得的图像检测数据作为对应各显示面板的数据，可以存储多个显示面板的这些结果；数据处理部30，分别读出存储在该数据存储部20的图像检测数据并实施图像处理，由此进行各显示面板的质量判定，在进行多个显示面板的检查处理时，图像检测部10和数据处理部30独立进行处理。
具体讲，如图2所示，首先，作为图像检测工序，利用ID读取机2识别一个显示面板(以下称为工件1)的被预先标记在工件主体上的独立ID序号，然后载入图像检测部10。在图像检测部10，工件1被放置在检查台11上，使触头12接触工件1，以便使工件能够对应检测信号而亮灯。然后，使工件对应检测信号而亮灯，利用CCD照相机等的图像处理用照相机C拍摄亮灯图像。
并且，在这些检测信号的检查项目中，主要进行基于白色发光的亮度不均的质量判定、像素欠缺的质量判定、基于黑色显示的亮点的质量判定、基于RBG显示的颜色不均的质量判定、边缘试验(相对施加电压的发光试验)等，在基于所有检查项目的照相机拍摄结束后，图像检测部10在检测出已完成针对所设置的工件1的图像检测数据的获取之后，输出排出信号。这样，工件1被临时存放在存放器ST中，并处于待机状态。
然后，作为数据记录工序，把这些结果即所获得的图像检测数据作为对应各个工件的数据，例如使用AD转换器进行数字化处理，并记录在可以存储多个显示面板的数据的数据存储部20中。此时，一起对应记录利用ID读取机2识别的独立ID序号与这些各个数据。另外，在该图中把工件1表示为(#1、D1)，表示数据存储部20对应ID序号#1同时记录各图像检测数据D1。
然后，作为数据处理工序，在工件1被存放在存放器ST中的期间，所拍摄的这些图像检测数据D1和ID序号#1被从数据存储部20输出。数据处理部30对检查对象的工件1进行作为合格品是否合适的质量判定。将这些质量判定结果、即工件1的合格与否判定结果与ID序号#1一起再次追加记录在数据存储部20中。并且，存放在存放器ST中的工件1根据数据处理部30的显示面板排出信号被卸载，并从这些一系列的检查装置中排出。
另外，在本发明的实施方式的显示面板检查装置中，具有：面板供给单元(图2中未图示的装载机)，向图像检测部10供给作为检测对象的显示面板(工件)；面板存放单元(存放器ST)，用于存放从图像检测部10排出的检测完毕的显示面板，图像检测部10检测到完成针对所设置的显示面板(工件)的图像检测数据的获取之后，输出显示面板排出信号，并把显示面板(工件)临时存放在存放器ST中。之后，一直到工件N，同样依次实施图像检测、数据记录、数据处理。数据存储部20存储这些多个显示面板(工件)的ID序号、图像检测数据、质量判定结果等。
另外，图像检测部10在检测出已检测完毕的显示面板(工件)的排出之后，向所述面板供给单元(装载机)输出显示面板供给信号。具体讲，图像检测部10利用照相机C拍摄工件1的图像检测数据，在这些所有检查项目结束后，输出从装载机供给下一工件2的命令。即，图像检测部10在结束工件1的拍摄后，把工件1排出到存放器ST中，并装载下一工件2，进行开始工件2的检查的准备，然后与工件1相同，获得对工件2拍摄形成的图像检测数据。对以后的工件也相同。
根据这种图2所示的实施方式，在连续进行多个工件的检查处理时，图像检测部10和数据处理部30独立进行检查处理，由此图像检测部10和数据处理部30可以利用较短的检查时间进行不同工件的检测或数据处理，所以能够在不影响显示面板检查装置的生产节拍的情况下活用显示面板检查装置，能够进行高效的工件检查。
下面，如图3所示，说明本发明的其他实施方式的显示面板检查装置。对与图2所示实施方式的显示面板检查装置相同的内容省略说明。图3所示显示面板检查装置设有多个图像检测部10(设为图像检测部101～10N)，并且设置相同数量的数据处理部30(设为数据处理部301～30N)。以下，详细说明各构成要素。
根据该图，工件11～1N分别经过一系列的制造工序从上游被设置在分配传送带3上，然后通过ID读取机2识别被预先标记在各工件主体上的独立识别数据即ID序号。相反，也可以在识别ID序号后设置在分配传送带3上。并且，分配传送带3从多个图像检测部10(在该图中表示设置N台图像检测部101～10N的示例)中选择最先开始检查的图像检测部，把各工件11～1N依次配置在该检查装置上。该图表示在图像检测部101～10N的各检查台111～11N上分别设置工件11～1N，使触头121～12N接触各工件的示例。另外，工件11～1N的总数N和图像检测部101～10N的总数N也可以不一致。
首先，作为图像检测工序，各图像检测部101～10N使用CCD照相机等的图像处理用照相机C1～CN，收集各工件11～1N的图像检测数据D1～DN。这些检查项目与图2所示实施方式相同，主要进行基于白色发光的亮度不均的质量判定、像素欠缺的质量判定、基于黑色显示的亮点的质量判定、基于RBG显示的颜色不均的质量判定、边缘试验(相对施加电压的发光试验)等，在基于所有检查项目的照相机拍摄结束后，各图像检测部101～10N输出显示面板排出信号。随之，检测完毕的各工件11～1N分别被储存在对应的存放器ST1～STN中，并处于待机状态。
然后，作为数据记录工序，这些各个工件11～1N的图像检测数据D1～DN，与预先置于各工件上的独立ID一起被记录在数据存储部20中，在该图中表示为(#11、D1)～(#1N、DN)，表示数据存储部20对应ID序号#11～#1N记录各图像检测数据D1～DN。为了记录这些各个数据，优选数据存储部20使用具有大容量的备份保存用的硬盘等构建数据库。
然后，作为数据处理工序，数据处理部301～30N输出从数据存储部20获得的各个工件11～1N的图像检测数据，并分配给合适的各数据处理部301～30N，对上述项目数量进行基于检查的质量判定，然后向在存放器ST1～STN中待机的各个工件11～1N输出排出命令。于是，对应的工件被排出，并被输送到后面工序。即，各个数据处理部301～30N的质量判定结果与ID序号一起被追加记录在数据存储部20中，储存在各存放器ST1～STN中的各个工件11～1N被卸载，并从这些一系列的检查装置中排出。
另外，在本实施方式中，表示设置多个图像检测部101～10N、并设置与其对应的数量相同的数据处理部301～30N的示例，但是，在本发明中，对图像检测部和数据处理部的数量没有特别限制，即，根据数据处理工序的处理时间设置数据处理部的数量。例如，也包括对1台图像检测部设置2台数据处理部等情况。并且，这种情况下，数据存储部20把对应各显示面板的图像检测数据分配输出给等待进行处理的多个数据处理部301～30N。并且，数据存储部20也可以根据需要设置多个。
根据这种实施方式，在各图像检测部10中，在对工件1进行基于拍摄的图像检测工序、进行数据记录工序、并存放在存放器ST中的期间，可以在进行工件1的数据处理工序的同时，在相同图像检测部10设置下一个其他工件，并进行图像检测工序、数据记录工序的处理。即，在本实施方式中，可以并行进行图像检测工序和数据处理工序的处理，可以实现高效的检查工序。
并且，根据这种实施方式，在数据记录工序的数据存储部20记录各工件11～1N的图像检测数据和检查结果并数据库化，由此可达到容易了解产品检测数据的效果。具体讲，能够对工件的制造工序进行反馈，并且能够改善制造工序中的不良因素，提高完成品的成品率。并且，针对合格品，在销往市场后，也能够根据ID序号容易进行具有这些工件(显示面板)的产品的质量管理等。
下面，图4是表示一个工件1经过图像检测工序、数据记录工序、数据处理工序、直到工件排出的流程(工序S101～S114)的流程图。以下进行详细说明。另外，图像检测工序对应S101～S105、S107，数据记录工序对应S106，数据处理工序对应S109～S113。
工件1被设置在分配传送带3上，并且通过ID读取机2识别独立ID序号(S101)，然后把工件选择放置在各图像检测部101～10N中的空闲装置中(S102)。然后，对工件1实施校准处理把其配置在规定的位置上(S103)，压接触头12，使显示面板亮灯，同时使用检测信号发生器使基于对应检查项目的检测信号的检查图形亮灯(S104)。然后，使用高精细照相机(例如CCD照相机)拍摄面板的检查图像(S105)。
进行了数字化处理的图像检测数据与工件1的ID序号一起被记录保存在数据存储部20中(S106，数据记录工序)。另外，在检测其他检查项目时，返回S104，再次使基于对应各检查项目的检测信号的检查图形亮灯并进行拍摄，并且与ID序号一起被记录保存在数据存储部20中。通过在所有的检查项目中进行记录保存，完成图像检测工序(S101～S105、S107)，释放触头12。
然后，工件1被存放在存放器ST1中(S108)。与该S108同时，被记录保存在数据存储部20中的工件1的图像检测数据进入数据处理工序，通过具有高速运算处理装置的数据处理部30进行处理。通过该高速运算处理装置，首先进行图像读出并去除检测***的变形(S109)。然后，进行特征量的抽取(S110)，之后进行缺陷抽取，并且根据该特征量的大小对检查项目进行是否有缺陷的质量判定(S111)。
然后，在还有其他检查项目时返回S109，对所有检查项目进行检测***的偏差去除、特征量的抽取、缺陷抽取、检查的质量判定(S109～S111)。
在通过缺陷抽取(S111)输出的检查值处于适当范围内时，判断为合适的工件，相反处于适当范围外时，判断为不合适的工件，把这些合格与否信息与该工件的ID序号一起记录保存在数据存储部20中，进行所有检查项目的结果输出(S113)，数据处理部301对储存工件1的存放器ST1输出使排出工件1的命令，结果，工件1被排出(S114)。由此，完成一系列的图像检测工序、数据记录工序、数据处理工序。
并且，在工件1被存放在存放器ST1中后(S108)，在分配传送带3上等待处理的下一工件通过工序S102被设置在图像检测部101上，开始下一工件的图像检测工序的图像检测，具体如上所述。
这样，在对一个工件实施图像检测工序后，可以一面实施数据处理工序一面在图像检测工序并行处理下一工件，所以能够缩短检查时间。考虑到至少现有技术在第一个工件结束所有工序之前不能进行下一工件的处理，所以在本发明的实施方式中明显缩短了检查时间。
并且，在数据处理工序中使用可以高速运算处理的数据处理部，与像以往基于目视的监视器检查那样的仅利用人眼进行的检查不同，可以进行高效的图像处理。因此，与现有技术相比，可以大幅削减负责检查的人员。
下面，图5表示将本发明的实施方式的检查工序与现有技术的检查工序进行比较的一例。图5(a)表示现有技术的工件处理，图5(b)表示使用本发明实施方式的显示面板检查装置及其检查方法的工件处理。在这些图中，表示图像检测工序A、数据记录工序B、数据处理工序C。
在图5(a)所示现有技术的工件处理中，为了容易与图5(b)所示本发明的实施方式的工件处理比较，在一个装置检测线(例如，装置检测线L1)，对一个工件连续进行图像检测工序A、数据记录工序B、数据处理工序C，在结束数据处理工序C后，向检查装置供给下一工件。并且，作为这些图5(a)、(b)中的检查条件，从上游供给一个工件的工件供给周期设为10秒/1个。并且，把分配传送带3的处理时间设为10秒/1个，处理时间合计为30秒/1个(其中在图像检测工序A(包括数据记录工序B)的合计为10秒/1个，在数据处理工序C为20秒/1个)。
以下，说明图5(a)所示现有技术的工件处理。在这些处理中，使用以往的装置检测线L1、L2、L3计三台，以10秒/1个的比率供给工件。在该图(a)中，表示顺序向装置检测线L1、L2、L3供给工件。如果只观察装置检测线L1，在时间T＝0时供给的工件W1，在10秒后的T＝10时进行工件设置，在T＝20秒之前的10秒期间，通过图像检测工序A、数据记录工序B进行图像检测处理及数据记录。然后，在T＝20～40之前的20秒期间，经过数据处理工序C进行图像处理。并且，在T40时从装置检测线L1被排出，同时来自上游的下一工件W4在装置检测线L1上被进行工件设置，并进行相同处理。对其他装置检测线L2、L3也进行相同处理(参照图5(a))。
这样，根据图5(a)，工件排出是10秒/1个，在从T＝0时供给工件W1到T＝70之前排出4个工件(工件W1～W4)，而需要的设备是如上所述的三台，即装置检测线L1、L2、L3。
下面，说明图5(b)所示使用本发明的实施方式的显示面板检查装置的检查方法的工件处理。为了获得与图5(a)所示工件处理相同的结果(在T＝0～70期间排出3个工件)，在本发明的实施方式中，作为图像检测工序A使用1台图像检测部，作为数据记录工序B准备1台大容量的硬盘，作为数据处理工序C使用2台数据处理部DS1、DS2即可实现。即，在本发明的实施方式中，图像检测部10和数据处理部30的设置数量根据各装置的处理时间确定设置台数。
具体讲，在T＝0时供给的工件W1通过分配传送带3，于T＝10时被放置在图像检测部10。在T＝10～20期间，通过图像检测工序A、数据记录工序B进行图像检测处理及数据记录，于T＝20时在存放器ST1待机，同时通过图像检测工序A获得的工件W1的图像检测数据转入数据处理部DS1的数据处理工序C。在数据处理部DS1中，在T＝20～40的20秒期间实施图像处理和记录。然后，工件W1在T＝40时被从存放器ST1排出。
从上游供给的工件W2在工件W1的检查装置设置之后(T＝20)，马上通过同一图像检测部10实施图像检测工序A、数据记录工序B，于T＝30时在存放器ST1待机，同时向另外的数据处理部DS2发送图像检测数据，转入数据处理工序C。并且，在20秒后的T＝50时从存放器ST2排出。以后，对工件W3以后的工件处理也相同。
因此，根据该图(b)，本发明的实施方式仅使用1台图像检测部10、1台数据存储部20、2台数据处理部DS1、DS2，即可在T＝0-70期间完成与该图(a)所示的工件处理结果相同内容的排出3个工件W1、W2、W3的动作，这些数据处理部DS1、DS2由于主要用于处理基于检查的质量判定，所以也可以利用计算机等代替。
这样，在本发明的实施方式的图5(b)中，数据记录工序B和数据处理工序C仅利用大容量的硬盘和可以高速运算处理的数据处理装置(例如计算机等)即可完成处理，所以能够将设备成本抑制得比较低。
即，在重新替换这些装置时不需要庞大的设备成本。假定需要增加设置设备时，由于可以根据各装置的处理时间确定需要的设备的台数，所以只要导入的图像检测工序的检查装置、数据记录工序的记录装置、数据处理工序的数据处理部中的任意一种即可，可以利用最低限的导入成本和设备成本增加设置设备。
并且，实质上利用图像检测工序的1台图像检测部10作为检查工序的检测线进行工作就足够，与现有技术相比，可以节省设备的设置空间，并且在设备成本上明显降低成本。
并且，本发明的实施方式通过图像检测工序收集检查数据，然后把工件存放在存放器中，在数据处理工序另外仅处理检查数据，在此期间对下一工件实施相同的图像检测工序，所以能够使图像检测工序和数据处理工序独立地进行检查处理，特别是在并行进行两种处理的情况下，一个工件安装在检查装置上的时间非常短，能够实现高效的显示面板的检查。
如上所述，本发明的实施方式的显示面板检查装置及其检查方法，可以独立进行起到检查工序的检测线作用的图像检测工序和数据处理工序的检查处理，所以能够并行进行图像检测工序和数据处理工序的处理，提高生产性。
并且，根据工件数据处理工序的处理时间设置数据处理工序的数据处理部的数量，由此使用台数较少的检查装置即可完成处理，简化使用多个检查装置时的获取图像检测数据时的调整，可以降低产生由于各检查装置之间的机器差异造成的测定偏差(像差等)的可能性，能够进行良好的质量管理。
并且，由于分别独立地进行检查数据收集和基于检查的质量判定，并且并行地进行这些检查处理，所以能够明显降低对一个工件的检查时间，可以实现空间节省和装置单价的低成本化，能够事先抑制设备投资额的高涨。并且，对难以预测的面板生产过程中的计划变更等的情况，也由于可以增加设置图像检测装置和数据存储装置、数据处理装置等必要设备，所以能够有效利用此前的设备，可以灵活对应这些计划变更。

Claims (8)

1.一种显示面板检查装置，其特征在于，具有：
图像检测部，根据检测信号使显示面板亮灯，通过拍摄亮灯图像获得图像检测数据；
数据存储部，能够把所述图像检测数据作为与各显示面板对应的数据来存储多个显示面板的数据；
数据处理部，通过分别读出被存储在所述数据存储部中的图像检测数据并实施图像处理，进行各显示面板的质量判定，
在进行多个显示面板的检查处理时，所述图像检测部和所述数据处理部独立地进行处理。
2.根据权利要求1所述的显示面板检查装置，其特征在于，所述图像检测部向所述数据存储部输出识别检测对象的各个显示面板的识别数据和所述图像检测数据，
所述数据存储部构建管理所述识别数据和与其对应的图像检测数据的数据库。
3.根据权利要求1或2所述的显示面板检查装置，其特征在于，具有：向所述图像检测部供给作为检测对象的显示面板的面板供给单元；存放从所述图像检测部排出的检测完毕的显示面板的面板存放单元，
所述图像检测部在检测到完成了对所设置的显示面板的图像检测数据的获取之后，输出显示面板排出信号。
4.根据权利要求3所述的显示面板检查装置，其特征在于，所述图像检测部在检测到已排出检测完毕的显示面板之后，向所述面板供给单元输出显示面板供给信号。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的显示面板检查装置，其特征在于，具有多个所述数据处理部，所述数据存储部把对应各个显示面板的图像检测数据分配输出给等待进行处理的所述数据处理部。
6.一种显示面板检查方法，利用显示面板检查装置进行显示面板检查，该显示面板检查装置具有：图像检测部，根据检测信号使显示面板亮灯，通过拍摄亮灯图像获得图像检测数据；数据存储部，把所述图像检测数据作为与各显示面板对应的数据进行存储；数据处理部，通过分别读出存储在所述数据存储部的图像检测数据并实施图像处理，进行各显示面板的质量判定，其特征在于，包括：
图像检测工序，向所述图像检测部供给作为检测对象的显示面板，向所述数据存储部输出所述图像检测数据，并且排出检测完毕的显示面板，并供给作为检测对象的下一显示面板；
数据处理工序，把从所述数据存储部输出的对应各显示面板的所述图像检测数据分配给等待进行处理的多个所述数据处理部，并实施所述图像处理。
7.根据权利要求6所述的显示面板检查方法，其特征在于，对多个显示面板并行进行所述图像检测工序的各个处理和所述数据处理工序的各个处理。
8.根据权利要求6或7所述的显示面板检查方法，其特征在于，根据所述数据处理工序的处理时间设定所述数据处理部的数量。
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