CN1730276A - 粘性膜粘贴装置 - Google Patents

Abstract

一种粘性膜粘贴装置，为检测粘附地设置在膜供给带的基带上的粘性膜，粘性膜的前端被检测，该检测以检测传感器的辊接触器的预定移位量的检测为基础，辊接触器可在粘性膜的厚度方向上移位。基于来自检测传感器的检测信号，给送辊及其它被控制以将膜供给带进给预定的进给量，直至粘性膜的前端经由引导部件靠近膜供给带的折返点。该装置能灵活地运行，以用于各种类型的、不同尺寸的粘性膜，以将任何尺寸的粘性膜单独设置在预定的粘贴位置。

Description

粘性膜粘贴装置

技术领域

本发明涉及一种粘性膜粘贴装置，在对各类衬底，如用于液晶显示的半导体衬底和玻璃衬底，进行表面处理的过程中，该装置用于将粘性膜粘贴到衬底的一个表面，该粘性膜具有与衬底形状相应的形状。

背景技术

至今，已经提出了各种类型的膜粘贴装置，该装置将粘性膜粘贴到每个各种不同类型的衬底的一个表面上，该粘性膜具有与每个衬底的形状相应的形状。

例如，日本未经审查的专利公报H7(1995)-195527号公开了一种粘性膜粘贴装置，该装置具有如下结构。膜检测机构检测最前面的其中一张粘性膜已达到固定位置，该粘性膜被布置在由膜进给装置进给的膜供给带上。基于该检测结果，膜供给带的进给被停止。在该停止位置，粘性膜相对于衬底的相对位置和相对角度被校正。然后，衬底和膜供给带被同步输送，连续在带折返点处将粘性膜从膜供给带上剥离，以将粘性膜粘在衬底上。

在′527公报公开的粘性膜粘贴装置中，粘性膜被以预定的间隔纵向布置在膜供给带上，当粘性膜被顺序输送至预定的粘贴位置时，在膜供给带的进给过程中，每张粘性膜的出现首先通过反射光敏传感器被检测，该光敏传感器被设置在膜检测机构中。进一步地，当另一个反射光敏传感器根据每张粘性膜的尺寸检测到每张粘性膜的后端时，在该时刻，膜供给带的进给被停止。该停止位置被设为预定的粘贴位置。

如上所述，′527公报中的粘性膜粘贴装置被布置为：通过利用光敏传感器控制膜供给带的进给，将设置在膜供给带上的每张粘性膜放置于预定的位置。然而，在粘性膜由具有透光特性的透明或半透明的膜制成的情况下，对于某些光学传感器，如该光传感器，可靠地检测该粘性膜的出现是非常困难的。在该情况下，粘性膜不能被稳定地设置在适当的位置。

为避免上述缺陷，传感器而不是光敏传感器被用于检测粘性膜，以使，即使粘性膜具有透光特性，也能被设置在预定的位置。

例如，日本专利3174917号公开了一种粘性带粘贴装置，该装置布置为：通过利用传感器而不是光传感器检测可脱离膜上的每个粘性带的边缘，将连续粘附在可脱离膜上的粘性带设置于预定的位置。

特别地，粘性带粘贴装置通过使用限位开关检测到，每个被粘附在可脱离膜上的粘性带被置于预定的位置。正方形轮被置于限位开关的末端，该轮一与每个粘性带的边缘相接触就被转动，并因此，限位开关的杆被很大程度地移动。从而，检测到粘性带处于预定的位置。

从′917专利的图3了解到，通过限位开关检测的每个粘性带的边缘为后端，以将每个粘性带置于预定的位置，此刻，每个粘性带的边缘被通过限位开关检测。

然而，′917专利中公开的粘性带粘贴装置需要：每个粘性带的前端被布置在预定的粘贴位置，此刻，布置在可脱离膜上的每个粘性带的后端被通过限位开关检测。因此，在限位开关的正方形轮和剥离盘的前端之间的路径长度需等于每个粘性带的尺寸，该剥离盘将每个粘性带从可脱离膜剥离。

在上述装置中，设有限位开关的带检测机构被基本固定，以使在限位开关的正方形轮和剥离盘的前端之间的路径长度被确定为固定长度。该装置可被运行，以用于具有统一大小、布置在脱带上的粘性带；然而，该装置不适合于不同大小的粘性带，这些粘性带用于不同大小的衬底。

虽然带检测机构可根据每个粘性带的尺寸被自由移动，但是调整带检测装置的位置的工作将极其麻烦。

发明内容

考虑到上述情况，已经作出了本发明，其目的是克服上述问题并提供一种粘性膜粘贴装置，该装置通过可靠地检测每张粘性膜的边缘能够将粘性膜设置在预定的粘贴位置，即使粘性膜是具有透光特性的膜；每张粘性膜以预定的间隔粘附并布置在基带上。

本发明的另一个目的是提供一种粘性膜粘贴装置，该装置能灵活地运行，以用于各种类型的、不同尺寸的粘性膜，以将任何尺寸的粘性膜单独设置在预定的粘贴位置。

本发明的其它目的和优点将在下面的描述中部分地被阐述，并从该描述中部分地变清楚，或通过本发明的实施可以被得知。本发明的目的和优点可通过特别地在附加的权利要求中指出的手段及组合被实现、获得。

(1)为实现本发明的目的，提供一种粘性膜粘贴装置，该装置包括：带进给装置，用于进给膜供给带，在该膜供给带上，每张具有预定形状的粘性膜被以预定间隔、沿基带的纵向布置；膜剥离装置，用于把将向后折叠膜供给带引导至折返点，并将每张粘性膜在折返点处从基带上剥离；粘贴辊，置于折返点附近，并且可沿上、下方向移动；以及粘贴台，用于在其上放置衬底，粘性膜将被粘贴在每张衬底上；粘贴辊和粘贴台被相对于彼此移动，由此通过膜剥离装置顺序地将每张粘性膜从基带上剥离，并通过粘贴辊将每张粘性膜粘贴到每个衬底上，其中，粘性膜粘贴装置还包括：检测装置，其包括可在每张粘性膜的厚度方向上移位的接触器，该粘性膜被粘附地设置在膜供给带的基带上，该膜供给带由带进给装置进给，当接触器的预定移位被检测到时，检测装置被调整以检测每张粘性膜的一端；以及控制装置，用于基于从检测装置输出的检测信号控制带进给装置，以使膜供给带被以预定的进给量进给，直至粘性膜的前端靠近折返点。

(2)在粘性膜粘贴装置(1)中，优选地，被粘附地设置在基带上的粘性膜包括大量各种尺寸的粘性膜，以及，控制装置根据每张粘性膜的尺寸改变预定进给量。

(3)在粘性膜粘贴装置(2)中，优选地，检测装置的接触器包括辊接触器，该辊接触器设有可转动的辊，该装置还包括引导杆，该引导杆具有一平支撑面，并且隔着膜供给带面向辊接触器布置。

(4)在粘性膜粘贴装置(3)中，优选地，辊接触器在非运行过程中被分离引导杆的支撑面，该过程中，膜供给带不被带进给装置进给。

(5)优选地，粘性膜粘贴装置(2)还包括设定装置，用于根据大量粘性膜的各种尺寸设置预定的进给量，其中，控制装置基于预定进给量控制带进给装置进给膜供给带，该预定进给量由设定装置根据粘性膜的各种尺寸设置。

根据上述装置(1)，粘性膜被粘附在膜供给带的基带上，当粘性膜被带进给装置进给时，粘性膜的边缘被基于检测装置的接触器的预定移位量的检测结果而检测，该接触器可在粘性膜的厚度方向上移位；并且，带进给装置还被控制装置基于从检测装置输出的检测信号而控制，以预定进给量进给膜供给带，直至粘性膜的前端被置于靠近折返点。利用该结构，即使粘性膜是具有透光特性的膜，该粘性膜被以预定间隔粘附并布置在基带上，每张粘性膜的边缘也可通过检测装置的接触器被明确地检测到，并且，每张粘性膜可被设置在与膜供给带的折返点相对应的预定粘贴位置上。即使当膜供给带的路径长度被设定成固定的长度时，膜供给带根据每张不同尺寸的粘性膜进给预定量，该路径长度存在于所置检测装置的位置和膜供给带的折返点之间。本发明的粘性膜粘贴装置可被灵活地对任何尺寸的粘性膜进行操作，并将每张粘性膜设置在预定的粘贴位置。

上述粘贴装置被如此布置，以使基于当检测装置检测到每张粘性膜的边缘时输出的检测信号，带进给装置以预定量进给膜供给带，设置每张粘性膜在预定的粘贴位置，该粘贴位置与膜供给带的折返点相对应。检测装置在粘贴装置中所处的位置可被自由设定，可使得拥有高度的粘贴装置的设计自由。

根据粘性膜粘贴装置(2)，控制装置根据粘性膜的每个不同尺寸改变膜供给带的预定进给量，该膜供给带就由带进给装置进给。在检测装置检测到每张粘性膜的边缘之后，通过根据每张粘性膜的尺寸改变带的预定进给量，膜供给带可被进给。因此，任何尺寸的粘性膜可被单独设置在预定的粘贴位置上。

粘性膜粘贴装置(3)还包括引导杆，该杆有一平支撑面，被面向检测装置的辊接触器布置，该辊接触器设有可转动的辊，该辊将膜供给带***引导杆和辊接触器之间。为了膜供给带上的每张粘性膜的检测，辊接触器被压靠引导杆的支撑面。因此，检测装置可明确检测到辊接触器相对于每张粘性膜的厚度的移位，由此稳定检测到每张粘性膜的端部。

粘性膜粘贴装置(4)被如此布置，以使检测装置的辊接触器在非运行过程中被于引导杆的支撑面分离，该过程中，带进给装置不进给膜供给带。因此，将膜供给带沿预定路径放置于粘贴装置内的工作被容易地实现。进一步地，肯定能预防辊接触器上的不必要的应力，以长期稳定地保持检测装置的检测准确性。

粘性膜粘贴装置(5)被如此布置，以使预定进给量可由设定装置根据粘性膜的每个不同尺寸来设定，以及，控制装置基于预定进给量控制带进给装置进给膜供给带，该预定进给量与由设定装置设定的每个尺寸相对应。该粘贴装置可被灵活地对任何尺寸的粘性膜进行操作，并以预定量可靠地进给膜供给带。

附图说明

这些附图被并入并组成了该说明书的一部分，图解说明了本发明的实施例，并且，与描述一起，用以阐明本发明的目的、优点和原理。

这些图中，

图1是粘性膜粘贴装置的侧视图；

图2是膜粘贴单元的放大图，该单元被安装到粘性膜粘贴装置上；

图3是膜供给带的透视放大图；

图4是检测传感器及其***装置的放大图；

图5是该检测传感器进一步的放大图；

图6是示意性平面图，表示检测传感器和引导杆之间的关系；

图7是引导部件及其***装置的示意性放大图；

图8是用于该粘性膜粘贴装置的驱动***的示意性说明图；和

图9A至9D是说明图，表示由引导部件剥离粘性膜的操作，以及由粘贴辊粘贴粘性膜的操作。

具体实施方式

现在，粘性膜粘贴装置的优选实施例的详细描述将被参考附图给出，该装置体现了本发明。首先，本实施例中的粘性粘贴装置(9-5)的示意性结构将参考图1和2说明。图1是该粘性膜粘贴装置的侧视图。图2是膜粘贴单元的放大图，该单元被安装到该粘性膜粘贴装置上。

在图1和2中，粘性膜粘贴装置1包括装置主体2，该主体含有一工作基座3，粘贴单元4被安装在该基座上。粘贴单元4被悬挂在嵌入装置主体2的横梁5上，并被布置成利用未示出的驱动装置、沿图1中的箭头A所示的方向往复运动。置于粘贴单元4下方的是驱动机构8，用于上、下移动台7，半导体衬底6(见图3)被放置在该台上，该驱动机构8用于移动被设置在粘贴装置1内的各种工件。应指明的是，驱动机构8的结构广为人知，其详细描述在此被省略。

如图2所示，粘贴单元4包括一对主框架9(图2仅示出一个主框架9，其被置于相对于牵引页的远侧)，该对主框架9悬挂在横梁5上。一对侧框架10(图2仅示出一个侧框架10，其被置于相对于牵引页的远侧)被分别设置在主框架9内。

被可转动地支撑在主框架9之间的是卷轴11，膜供给带12(下文中提到)被以卷绕的状态缠绕在该卷轴11上。而且，卷取轴13被支撑在主框架9之间，以缠绕基带12A，在此之前，粘性膜12B如下文所述被从膜供给带12剥离。

膜供给带12的结构在下面参考图3说明。图3是膜供给带的透视放大图。在图3中，膜供给带12由基带12A和粘性膜12B形成，基带12A由连续的长条形透明膜构成，每张粘性膜12B是无色的，具有透光特性并被粘附。粘性膜12B被粘贴在基带12A上，并沿基带12A的纵向以预定间隔布置。每张粘性膜12B被设计为其外直径小于环形架40，该环形架被置于粘贴台7的适当位置上。

要注意的是，如上构造的膜供给带12被引导部件14的前缘折返，并被引引导卷取轴13，引导部件14的前缘被形成为像刀刃。该实施例中，当膜供给带12被引导部件14的前缘折返时，粘性膜12B被从基带12A上剥离，并被一体地粘贴在半导体衬底6和环形架40上。粘性膜12B的该粘贴操作将在后面提到。

在侧框架10之间，一对给送辊15、引导辊16和17、一对牵引辊18，以及三个引导辊19、20和21以该顺序、从膜供给带12的上游侧沿膜供给带12的进给方向被可转动地布置。

其中一个给送辊15由未示出的电机驱动转动，由此从卷轴11放出膜供给带12。

检测传感器22被置于给送辊15和引导辊16之间的基本上的中心处，以检测膜供给带12上的粘性膜12B。

下面参考图4至6解释检测传感器22的结构。图4是检测传感器及其***装置的放大图；图5是该检测传感器进一步的放大图；以及图6是示意平面图，表示检测传感器和引导杆之间的关系。

检测传感器22包括一所谓的移位传感器，该移位传感器用来测量例如薄膜的厚度。该传感器22设有辊接触器23，该辊接触器23可在与粘性膜12B的厚度方向相对应的方向(图2、4和5中的右和左方向)上被移位，粘性膜12B被粘贴在膜供给带12的基带12A上，膜供给带12由给送辊15进给。可转动的辊24被安装到辊接触器23的一端。检测传感器22隔着安装基座25被安装在主框架9上。具有一平支撑面的引导杆27被隔着膜供给带12、面向检测传感器22的辊接触器23布置，该膜供给带12被***在引导杆27和辊接触器23之间。

检测传感器22内部设有推力弹簧，该弹簧在图4和5中向左推动辊接触器23；并且还设有电磁铁(未示出)，用于克服弹簧的推力，在图4和5中向右移动辊接触器23。

在粘贴粘性膜12B的操作中，电磁铁被驱动，使辊接触器23克服弹簧的推力在图4和5中向右凸出。辊接触器23的辊24隔着膜供给带12与引导杆27的支撑面26相接触，膜供给带12由给送辊15进给。由于粘性膜12在处于辊24与膜供给带12相接触的状态下被如上所述地输送，辊24与粘性膜12的前端接触。然后，辊24被逐渐向左移位，该移位归因于粘性膜12B的厚度。在辊24的左向移位量(距离)超过预定值的时刻，代表检测到粘性膜12B的信号被输送至放大器28，并在该放大器中被放大(见图4)，该放大器置于检测传感器22的上方。该放大信号然后通过控制器39被输出至序列发生器33，该序列发生器33在下文中提到，控制器39被设置在放大器28内。

在没有粘贴粘性膜12B的操作被进行的情况下，检测传感器22内的电磁铁不被驱动，使得辊接触器23被推力弹簧的推力向左推动。辊接触器23的辊24因此被分离引导杆27的支撑面26。

回到图2作进一步解释，引导部件14具有一形成为像刀刃的前缘，如图7所示，该引导部件14被置于引导辊16和17之间。该引导部件14在其前缘折返膜供给带12，该膜供给带12通过给送辊15被从卷轴11输送。该由引导部件14完成的折返使粘性膜12B从基带12A上脱落，该粘性膜12B被粘附地设置在膜供给带12上。

靠近引导部件14的边缘布置的是可上、下移动的粘贴辊29。在粘贴粘性膜12B的操作中，粘贴单元4沿横梁5被移向台7，直至已从基带12A上脱落的粘性膜12B被设定在环形架40的粘贴起始位置上，该环形架40被置于台7上。随后，该粘贴辊29被气缸30向下移动以按压粘性膜12B，由此将粘性膜12B粘贴到环形架40和半导体衬底6的表面上。该操作结合粘贴单元4的移动被顺序地进行。

进一步地，粘性膜12B已通过引导部件14从基带12A上脱落，该基带12A被该对牵引辊18牵引(下面的一个辊被可转动地驱动)，且被引导辊19、20和21依次引导，并被缠绕在卷取轴13上。应注意，卷取轴13被可转动地驱动，与上述给送辊15和牵引辊18同步。

下面参考图8和9解释如上构造的膜粘贴装置1的操作。图8是用于粘性膜粘贴装置的驱动***的示意性说明图；以及图9A至9D为说明图，表示由引导部件剥离粘性膜的操作和由粘贴辊粘贴粘性膜的操作。

膜粘贴装置的驱动***首先参考图8描述。在图8中，其中一个给送辊15设有编码器32，该编码器计算形成在编码盘(未示出)内的缝的固定数量，并将编码盘每次转动的编码脉冲输出到序列发生器33，该编码盘被安装到给送辊15的辊轴15A上。

控制器39设置在检测传感器22内，该控制器39被连接到序列发生器33上。当基带12A上的粘性膜12B，被如上所述通过检测传感器22的辊接触器23检测到时，来自控制器39的检测信号被传输至序列发生器33。

而且，序列发生器33被连接到主CPU34，以允许两者之间的各种信号的通讯。驱动电机(未示出)用于可转动地驱动给送辊15，该电机被连接到电机驱动器35上，该电机驱动器控制驱动电机的转动。特别地，该电机驱动器基于来自主CPU34的控制信号控制驱动电机的转动。

操作面板36用于设置各种状态，该面板被连接到主CPU34。例如，欲使用的粘性膜12B的尺寸根据环形架40的尺寸而变化。因此，在环形架40的尺寸被改变的情况下，膜供给带12的进给量通过操作面板36根据环形架40的尺寸被设定。

粘贴粘性膜12B的操作由驱动***执行，该操作在下面解释。通过操作面板36的操作，膜供给带12的进给量被根据粘性膜12B的尺寸设置，该进给量与欲用在粘性膜粘贴装置1中的环形架40的尺寸相对应。此时，环形架40的尺寸通常是大量预定的不同尺寸中的一个。因此，与环形架40的尺寸相对应的膜供给带12的大量进给量可被提前设定，以允许从预定的不同进给量中选择理想的进给量。

一旦开始粘性膜12B的粘贴操作，检测传感器22中的电磁铁就被激励，使辊接触器23隔着膜供给带12与引导杆27的支撑面26相接触。同时，电机驱动信号被从主CPU34传输至电机驱动器35。基于来自主CPU34的电机驱动信号，引起电机驱动器35可转动地驱动电机，该电机使给送辊15转动。因此，膜供给带12由给送辊15进给，该膜供给带12由基带12A和粘性膜12B形成，粘性膜12B以预定间隔被粘附地布置在基带12A上。粘性膜12B的前端由检测传感器22通过辊接触器23检测。来自检测传感器22的检测信号在放大器28中被放大，然后通过控制器39被传输至序列发生器33。

一旦接收到来自检测传感器22的指示检测到粘性膜12B的信号，序列发生器33就传输指示接收到检测信号的信号到主CPU34。基于该信号，CPU34产生一指令信号到序列发生器33，以开始定位粘性膜12B的操作。来自检测传感器22的检测信号还用作触发信号，以使序列发生器33开始计算从编码器32输出的编码脉冲。当脉冲计数达到预定数时，序列发生器33产生一信号将该效果指示给主CPU34，该预定数与通过操作面板36设定的预定进给量相对应。

主CPU34产生一停止电机的信号到电机驱动器35，该电机可转动地驱动给送辊15。因此，电机驱动器35停止电机的转动，停止给送辊15的转动。此时，粘性膜12B的前端由引导部件14从基带12A上剥离，如图8所示。

随后，如图2所示，粘贴单元4被从图2所示的其位置向右移动预定的距离。粘贴辊29被设置成正好高于脱落的粘性膜12B的前端，如图8所示。然后，粘贴辊29被气缸30向下移动至粘性膜12B的粘贴起始位置。此时，脱落的粘性膜12B的前端被按压，并被粘贴在环形架40上，该环形架40设置在台7的预定位置上。同时，粘贴单元4在图8中被向右移动，膜供给带12的基带12A通过牵引辊18和卷取轴13的运转被顺次地引导卷取轴13，牵引辊18和卷取轴13被驱动与给送辊15同步转动。该状态下，膜供给带12上的粘性膜12B因此被引导部件14从基带12A上剥离，并同时被粘贴辊29粘贴在环形架40和半导体衬底6上。

在此，下面的说明将参考图9作出，该说明是关于在利用引导部件14将粘性膜12B从膜供给带12上剥离的同时，利用粘贴辊29将粘性膜12B一体地粘贴在环形架40和半导体衬底6上。图9A至9D是说明图，表示由引导部件剥离粘性膜的操作，以及由粘贴辊粘贴粘性膜的操作。

在图9中，如上所述，在存在于基带12A上的粘性膜12B的前端被检测传感器22中的辊接触器23检测到之后，膜供给带12通过给送辊15、牵引辊18和卷取轴13的运转被进给预定的进给量，直至从编码器32输出的编码脉冲的计数达到预定的数。在编码脉冲的计数达到预定的数的时刻，即，当膜供给带12被进给预定进给量时，膜供给带12的进给被停止。该状态如图9B所示。在该阶段，前端被稍微剥离的粘性膜12B的前端正好被置于粘贴辊29的下方。

然后，粘贴辊29被气缸30从图9B所示的状态向下移动。粘性膜12B的前端被粘贴在环形架40上，稍微位于环形架外边缘的内侧，该环形架40被设置在台7的适当位置上。该状态如图9C所示。

进一步地，粘贴单元4在图9中被向右移动，并且膜供给带12通过牵引辊18和卷取轴13的运转被顺序地输送向卷取轴13，牵引辊18和卷取轴13被驱动与给送辊15同步转动。这使得膜供给带12上的粘性膜12B被引导部件14顺序地从基带12A上剥离，并同时被粘贴辊29一体地粘贴到环形架40和半导体衬底6上。

在本实施例的膜粘贴装置1中，如上详细描述，膜供给带12通过给送辊15、牵引辊18、和卷取轴13的协调动作从卷轴11被进给，该膜供给带12具有粘性膜12B，其被粘附地设置在基带12A上。该粘性膜12B的检测通过检测粘性膜12B的前端进行，该检测基于这样的条件，即预定的移位量通过检测传感器22的辊接触器23被检测，该辊接触器可在粘性膜12B的厚度方向上移位。给送辊15等通过主CPU34、序列发生器33、电机驱动器35等而被控制，使膜供给带12进给预定的进给量，直至粘性膜12B的前端由引导部件14靠近膜供给带12的折返点，该控制基于从检测传感器22输出的检测信号。即使被以预定间隔粘贴在基带12A上的粘性膜12B是具有透光特性的无色膜，每张粘性膜12B的前端也能通过检测传感器22的辊接触器23而被可靠地检测。这使得有可能将每张粘性膜12B的前端放置在预定的粘贴点，该粘贴点与膜供给带12的折返点相对应。

膜供给带12的路径长度存在于所置检测传感器22的位置与膜供给带12的折返点之间，在该路径长度被定在固定长度的情况下，膜供给带12根据每张可用粘性膜12B的尺寸被进给预定量。因此，膜粘贴装置1可被灵活地操作用于各种类型的、具有不同尺寸的粘性膜12B，所以，所选定尺寸的粘性膜12B可被设置在预定的粘贴位置上。

而且，膜粘贴装置1被构造如下：膜供给带12通过给送辊15及其它部件被以预定量进给，该进给基于从检测传感器22输出的检测信号，该检测传感器22检测粘性膜12B的前端，以使粘性膜12B被设置在预定的粘贴位置上，该粘贴位置与膜供给带12的折返点相对应。因此，检测传感器22被置于膜粘贴装置1内的位置可被自由确定，能维持膜粘贴装置1高度的设计自由。

利用操作面板36的操作，进一步地，可根据具有不同尺寸的大量粘性膜12B的每个尺寸，适当地设定膜供给带12的预定进给量，该膜供给带12由给送辊15及其它部件进给。这使得有可能在根据粘性膜12B的每个尺寸改变膜供给带12的预定进给量的同时，进给膜供给带12。因此，任何尺寸的粘性膜12B可被单独地设置在预定的粘贴位置上。

而且，具有平支撑面26的引导杆27被面向检测传感器22的辊接触器23布置，该辊接触器23具有隔着膜供给带12的可转动的辊24。因此，为检测膜供给带12上的粘性膜12B，辊接触器23被压靠引导杆27的支撑面26，以使辊接触器23相对于粘性膜12B的厚度的移位可被安全地检测到。所以，粘性膜12B的前端可被稳定地检测到。

在膜供给带12没有被给送辊15及其它部件进给的非运行过程中，检测传感器22中的电磁铁不被激励，通过推力弹簧将检测传感器22中的辊接触器23与引导杆27的支撑面26分离。膜供给带12可被容易地沿预定路径布置在膜粘贴装置1内。能可靠地减小辊接触器23上的不必要的压力，并因此长期保持检测传感器22的稳定的检测准确性。

每张粘性膜12B具有不同尺寸，其预定进给量可按照每个尺寸、通过操作面板36被设置。主CPU34、序列发生器33及其它部件控制给送辊15及其它部件进给膜供给带12，该控制基于通过操作面板36设定的、与每个尺寸相对应的预定进给量。即使粘性膜12B的尺寸被改变成另一个尺寸，膜粘贴装置1也可灵活地操作用于已改变的尺寸，可靠地将膜供给带12进给预定的进给量。

本发明可被包含在其它的特定形式中，而不脱离本发明的精神或本质特征。

例如，上述实施例中，被布置为：利用检测传感器22的辊接触器23检测膜供给带12的每张粘性膜12B的前端。由于膜供给带12仅在每张粘性膜12B的任一端被检测到后才能被进给预定的进给量，例如，每张粘性膜12B的后端而不是其前端可能被检测到。

上述实施例中，环形架40和半导体衬底6被布置在台7上，在将粘性膜12B粘贴到环形架40上之前，该台7已被固定。并且粘贴单元4被移动、粘贴每张粘性膜12B的操作被重复。然而，本发明并不被限于该种结构。例如，粘贴单元4和粘贴台7可被构造成允许相对运动。换句话说，若粘贴单元4和粘贴台7可相对运动，上述粘贴每张粘性膜12B的操作可被进行。

此外，上述实施例中，膜供给带12的预定进给量通过操作面板36根据粘性膜12B的膜尺寸被提前设置，该进给量与环形架40的尺寸相对应，并且，膜供给带12被基于该提前设定的预定进给量进给。然而，本发明并不被限于该种结构。例如，一传感器可被设置，该传感器用于检测粘性膜12B的尺寸。在该情况下，膜供给带12的预定进给量被读取，并且膜供给带12被基于所读取的预定进给量而进给；该预定进给量已被提前存储，与由传感器检测的每张粘性膜12B的尺寸一致。

虽然，上述实施例中的粘性膜12B被一体地粘贴到半导体衬底6和环形架40上，但是该粘性膜12B可被仅直接粘贴在半导体衬底6上。

如上所述，本发明有可能提供一种粘性膜粘贴装置，该装置通过可靠地检测粘性膜的一端、能够将粘性膜设置在预定的粘贴位置上，即使粘性膜是具有透光特性的膜时也是如此，该粘性膜以预定间隔被粘附地布置在基带上；并且该装置能够灵活地操作用于各类不同尺寸的粘性膜，以将任何尺寸的粘性膜设置在预定的粘贴位置上。

Claims (5)

1.一种粘性膜粘贴装置，其包括：

带进给装置，用于进给膜供给带，每张具有预定形状的粘性膜沿基带的纵向被以预定间隔布置在该膜供给带上；

膜剥离装置，用于把将向后折叠的膜供给带引导至折返点，并将每张粘性膜在折返点处从基带上剥离；

粘贴辊，置于折返点附近，并且可沿上、下方向移动；以及

粘贴台，用于在其上放置衬底，粘性膜将被粘贴在每张衬底上；

粘贴辊和粘贴台被相对于彼此移动，由此通过膜剥离装置顺序地将每张粘性膜从基带上剥离，并通过粘贴辊将每张粘性膜粘贴到每个衬底上，

其中，粘性膜粘贴装置还包括：

检测装置，其包括可在每张粘性膜的厚度方向上移位的接触器，该粘性膜被粘附地设置在膜供给带的基带上，该膜供给带将由带进给装置进给，当接触器的预定移位被检测到时，检测装置适合于检测每张粘性膜的一端；以及

控制装置，用于基于从检测装置输出的检测信号控制带进给装置，以使膜供给带以预定的进给量被进给，直至粘性膜的前端靠近折返点。

2.根据权利要求1所述的粘性膜粘贴装置，其中，被粘附地设置在基带上的粘性膜包括数个不同尺寸的粘性膜，以及

控制装置根据每张粘性膜的尺寸改变预定进给量。

3.根据权利要求2所述的粘性膜粘贴装置，其中，检测装置的接触器包括辊接触器，该辊接触器设有可转动的辊，以及

该装置还包括引导杆，该引导杆具有一平支撑面，并且隔着膜供给带、面向辊接触器布置。

4.根据权利要求3所述的粘性膜粘贴装置，其中，辊接触器在非运行过程中被从引导杆的支撑面分离，在该过程中，膜供给带不被带进给装置进给。

5.根据权利要求2所述的粘性膜粘贴装置，还包括设定装置，用于根据数个粘性膜的不同尺寸设置预定的进给量，

其中，控制装置基于预定进给量控制带进给装置，以进给膜供给带，该预定进给量由设定装置根据粘性膜的不同尺寸设定。

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