CN1567095A

CN1567095A - 光阻剥离方法

Info

Publication number: CN1567095A
Application number: CN 03137356
Authority: CN
Inventors: 张毅; 卢添荣
Original assignee: RiTdisplay Corp
Current assignee: RiTdisplay Corp
Priority date: 2003-06-19
Filing date: 2003-06-19
Publication date: 2005-01-19

Abstract

一种光阻剥离方法，用来剥离有机电激发光显示面板表面上的光阻，该光阻剥离方法包括：以一剥离单元提供剥离液以去除该有机电激发光显示面板表面上的光阻。以一清洗单元喷洒一清洗溶液以移除该有机电激发光显示面板表面上残留的剥离液。以一吹干单元吹干该有机电激发光显示面板。以一传送单元连续传送的方式将该有机电激发光显示面板传送至该剥离单元、该清洗单元以及该吹干单元中。以一控制单元控制该传送单元的传送顺序与传送时间，以精确地控制该有机电激发光显示面板于每一个单元中的处理时间。

Description

光阻剥离方法

技术领域

本发明是有关一种光阻剥离的方法，特别是有关于一种聚亚醯胺层的图案显影后的光阻剥离的方法。

背景技术

有机电激发光显示器(organic light emitting display，OLED)具有自发光、高亮度、高对比、宽视角、驱动电压低与高速应答等优点，为目前新世代显示器中最被寄予厚望的平面显示器。然而由于其技术较新、发展相较于其它显示器晚，技术尚未完全成熟，故目前全世界仅有日本Pioneer有小尺寸的产品推出，显示OLED在商品化过程还有许多的障碍有待克服，特别是对量产化的技术而言。

光阻剥离(stripping)是在半导体或显示器的黄光微影工艺的最后一道步骤，将上道蚀刻步骤中保护图案的光阻去除，避免光阻残留污染下一道黄光微影工艺，以获得干净的有线路图案基板。对OLED面板每一道的电极接线层、ITO(铟锡氧化物)阳极层、隔离层等结构层的微影图案定义后的光阻剥离工艺而言，由于所使用的ITO基板表面较现今半导体电路所使用的磊晶硅基板粗糙，使得光阻不易从ITO表面被剥离，容易有光阻的残留现象发生在显示面板的ITO表面。一旦光阻残留于显示面板表面，特别是在ITO阳极发光区，就会阻挡后续有机发光层与阴极材料的蒸镀，使得显示面板产生暗点，降低显示品质与工艺量率；再者，因为后续工艺所蒸镀的有机电子发光膜层厚度非常薄，由于光阻残留造成的厚度不均，易造成电场分布不均，甚至组件短路，进而影响显示器的寿命。

在常用的技术中并无特别针对OLED工艺中光阻剥离时所遭遇上述困难的解决方法，有鉴于此，本发明提供一OLED面板光阻剥离方法，可以提供一高洁净度及量产工艺流畅化的光阻剥离工艺，不仅具有连续化高产能的优点、适用于不同世代基板尺寸的操作弹性，并同时满足OLED基板在光阻剥离后洁净的需求。

一般而言，定义非感光型聚亚醯胺(Non-photosensitive polyimide)层的图案使用的材质为光阻层，聚亚醯胺本身具有较佳的热安定性、机械安定性、电安定性以及光安定性，可以使有机电激发光显示面板具有较佳的发光稳定度与较长的使用寿命。制作的方法包含有涂布聚亚醯胺或是聚亚醯胺前躯体(precursor)，图布一光阻层于聚亚醯胺层之上，依序进行预烤、曝光、曝光后烤、显影、剥离、高温烘烤等工艺，以定义出聚亚醯胺的图案。其中，公知剥离光阻技术在传统的集成电路、光电工艺中，是将硅基板置于吸盘上旋转，而后由喷嘴分别喷洒剥离液与水洗液，最后再高速旋干；但随着显示器尺寸往新世代推进而加大，与显示器玻璃基板较硅基板重很多的双重效应影响，使得传统转盘设计无法负荷如此大的重量与高速旋转下的离心力，使得光阻剥离效果不均、剥离不干净造成光阻残留，而大大降低显示组件的合格率。而因此或改采将显示基板浸泡在不同的碱性剥离槽与水洗槽的方式进行，但却无法连续操作每一个步骤，必须通过人为传送的方式将显示面板取出并装载至另一个机台中，因此整个显影工艺的时程会延长许多，不利于量产作业，也不利于大面积的显示面板制造。此外，由于人为因素不易控制，常会在传送过程中产生延误或是损坏，因此一般的显影设备根本无法精确地控制剥离时间，也不能确保剥离工艺的品质。

再者针对工艺化学稳定性而言，特别是有机电激发光显示器结构中所使用的聚亚醯胺材质，由于必须经过最后一道220～350℃高温烘烤后才会具备高电气、机械、热与化学安定性。而在此之前其化学性质尚未稳定，容易受到碱性物质等化学药剂的破坏。所以对于聚亚醯胺层的剥离而言，传统技术中用来剥离光阻的碱性物质如氢氧化钠、氢氧化钾，亦会导致聚亚醯胺的分解、剥落。因此，在进行光阻层的剥离时，需要做精确的剥离时间控制与选择适当的剥离药剂，避免剥离时聚亚醯胺层招受剥离液破坏，使图案定义面积的规格改变甚至造成整片聚亚醯胺层剥离脱落，以提升显示器的工艺合格率与规格稳定性。

发明内容

本发明的目的是提供一OLED面板光阻剥离方法，可以提供一高洁净度的光阻剥离工艺。

本发明的另一目的是提供一OLED面板光阻剥离方法，可以供一量产工艺流畅化的运作。

本发明的又一目的是提供一OLED面板光阻剥离方法，适用于不同世代基板尺寸的操作弹性，并同时满足OLED基板在光阻剥离后洁净的需求。

为达到上述目的，本发明提供一种剥离方法，该方法包括：

该有机电激发光显示面板置于一传输滚轮单元上；

该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第一正丁基乙酯剥离槽中；

在该第一正丁基乙酯剥离槽中，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻；

该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第二正丁基乙酯剥离槽中；

在该第二正丁基乙酯剥离槽中，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻；

该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一异丙醇剥离清洗槽中；

在该异丙醇剥离清洗槽中，提供异丙醇以去除残留于该有机电激发光显示面板表面的光阻及正丁基乙酯；

该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第一清洗槽中；

以去离子水喷洒该有机电激发光显示面板表面，以洗掉残留的异丙醇；

该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第二清洗槽中；

该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一吹干单元中；

以一风刀清除附着于该有机电激发光显示面板表面的去离子水。

详述之，本发明提供的一种剥离方法，是用来针对图案化聚亚醯胺层之后，进行光阻剥离工艺。光阻剥离方法包含了以传送单元来连结三个工作单元，包括剥离单元、清洗单元及吹干单元，以及一控制单元来控制传送单元的传送顺序与传送时间。

传送单元的功能是用来提供连续传送的方式，将有机电激发光显示面板依序传送至剥离单元、清洗单元以及吹干单元中。传送单元更包括了传输滚轮单元。传输滚轮单元是由轮轴及安装于轮轴两端的两滚轮所组成的，其中滚轮包括具有承接功能的内缘及具有限制功能的外缘两个部分。具有承接功能的内缘是用以承接有机电激发光显示面板，具有限制功能的外缘是用以固定有机电激发光显示面板位于传输滚轮单元上的横向位置。借着滚轮的转动来传输置于其上的有机电激发光显示面板。

剥离单元至少包括了正丁基乙酯(n-Butyl acetate，NBA)剥离槽和异丙醇(Isopropyl Alcohol，IPA)剥离清洗槽。正丁基乙酯剥离槽至少包括了储槽、供液***及反应室。储槽的功能是在储存正丁基乙酯，而经由供液***将正丁基乙酯供应至反应室，而与位于反应室内来回传送的有机电激发光显示面板上的光阻作用而将光阻剥离，使有机电激发光显示面板于反应室内来回传送，可促使剥离效果均匀性更好。供液***将位于储槽内的正丁基乙酯唧入反应室内，以浸泡、喷洒或一边浸泡一边喷洒的方式用正丁基乙酯来溶解并去除位于有机电激发光显示面板表面上的光阻，而使光阻脱离有机电激发光显示面板表面。剥离单元至少包括一个正丁基乙酯剥离槽，若包括一个以上的正丁基乙酯剥离槽，这些正丁基乙酯剥离槽的排列方式可以为并联、串联或并串联的方式排列。并联排列的优点在于可以同时处理更大量的有机电激发光显示面板，串联的优点在于可以以连续二次以上的正丁基乙酯处理而使得光阻的剥除更干净，而并串联更兼具两者的优点。两个以上的正丁基乙酯剥离槽更可在更换正丁基乙酯时避免光阻剥离装置的停摆，而使生产的速度不受影响。

异丙醇剥离清洗槽排列在正丁基乙酯剥离槽之后，剥离单元至少包括一个异丙醇剥离清洗槽，若包括一个以上的异丙醇剥离清洗槽，这些异丙醇剥离清洗槽亦可如正丁基乙酯剥离槽的排列方式排列，端视生产上的需求而定。异丙醇剥离清洗槽的目的一方面是在将有机电激发光显示面板表面上的残留的光阻去除干净，另一方面是在将残留于有机电激发光显示面板表面上正丁基乙酯置换。异丙醇剥离清洗槽也包括了储槽、供液***及反应室。储槽的功能是在储存异丙醇，而经由供液***将异丙醇供应至反应室来清洗位于反应室内的有机电激发光显示面板。因为异丙醇的沸点较低，故在此均采浸泡而不用喷洒的方式来清洗有机电激发光显示面板，以减少异丙醇蒸气的产生。剥离单元中的设备均采用防爆不锈钢设计，以提高设备的安全系数。在正丁基乙酯槽及异丙醇槽中并设计有废弃回收***。位因应异丙醇的低沸点，在异丙醇槽中并有冷凝***的设计，以符合环保的要求。

清洗单元安置于剥离单元之后，清洗单元的功能是用来喷洒清洗溶液，清洗溶液主要是去离子水(De-ion Water，DIW)，以清洗溶液移除残留于有机电激发光显示面板表面的异丙醇。清洗单元至少包括一个清洗槽。清洗槽也包括了储槽、供液***及反应室。储槽的功能是在储存去离子水，而经由供液***将去离子水供应至反应室以喷洒的方式来清洗位于反应室内的有机电激发光显示面板上残留的异丙醇。一般而言是采用串联两个清洗槽的设计，其目的是在通过连续两次的清洗而能有效的洗去有机电激发光显示面板上残留的异丙醇。由第二清洗槽所收集使用过的去离子水可以供第一清洗槽之用，更能有效的节省水资源。

吹干单元安置于清洗单元之后，吹干单元的功能是用来移除有机电激发光显示面板残留的去离子水。吹干单元包括采用风刀(AirKnife)来进行吹干的动作。

控制单元的功能是用来控制传送单元的传送顺序与传送时间，以精确地控制有机电激发光显示面板于剥离单元、清洗单元及吹干单元中的处理时间。剥离单元可以适用于和显影单元及高温烘烤单元连结，依据维修需要以及显影工艺的要求来弹性选择使用显影单元。此剥离装置亦可适用于不同尺寸有机电激发光显示面板的连续自动化量产。

附图说明

图1为根据本发明所提供的光阻剥离装置；

图2为本发明中所运用的传输滚轮单元；

图3A为本发明所运用的正丁基乙酯剥离槽；

图3B为本发明所运用的异丙醇剥离清除槽；

图4为本发明所运用的清除槽；

图5为根据本发明所提供的光阻剥离装置进行光阻剥离的第一方法；

图6为根据本发明所提供的光阻剥离装置进行光阻剥离的第二方法；以及

图7为根据本发明所提供的光阻剥离装置进行光阻剥离的第三方法。

10、20、30、40、50、60、70、80、90：有机电激发光显示面板

100：光阻剥离装置

200：传送单元

210：传输滚轮单元

220：轮轴

230：滚轮

240：内缘

250：外缘

300：剥离单元

310、510、520、810、820、910、920、930：正丁基乙酯剥离槽

312、322、412：储槽

314、324、414：供液***

316、326、416：反应室

320、530、830、940：异丙醇剥离清洗槽

400：清洗单元

410、540、550、840、850、950、960：清洗槽

500、560、860、970：吹干单元

600：控制单元

700：显影单元

具体实施方式

实施例1

请参照图1，图1为聚亚醯胺层的图案显影后的光阻剥离装置。光阻剥离装置100包含了以传送单元200来连结三个工作单元，包括剥离单元300、清洗单元400及吹干单元500以及一控制单元600来控制传送单元200的传送顺序与传送时间。

传送单元200的功能是用来提供连续传送的方式，将有机电激发光显示面板依序传送至剥离单元300、清洗单元400以及吹干单元500中。请参照图2，传送单元200更包括了传输滚轮单元210。传输滚轮单元210是由轮轴220及安装于轮轴两端的两滚轮230所组成的，其中滚轮230包括具有承接功能的内缘240及具有限制功能的外缘250两个部分。具有承接功能的内缘240是用以承接有机电激发光显示面板10，具有限制功能的外缘系用以固定有机电激发光显示面板10位于传输滚轮单元上的横向位置。借着滚轮230的转动来传输置于其上的有机电激发光显示面板10。

请继续参照图1，有机电激发光显示面板10由传输滚轮单元210自显影单元700传送至剥离单元300。剥离单元300至少包括了正丁基乙酯剥离槽310和异丙醇剥离清洗槽320。有机电激发光显示面板10被送入正丁基乙酯剥离槽310，请参照图3A，正丁基乙酯剥离槽310至少包括了储槽312、供液***314及反应室316。储槽312的功能是在储存正丁基乙酯，而经由供液***314将正丁基乙酯供应至反应室316，而与位于反应室316内来回传送的有机电激发光显示面板10上的光阻作用而将光阻剥离，使有机电激发光显示面板10于反应室316内来回传送，可促使剥离效果均匀性更好。供液***314将位于储槽312内的正丁基乙酯唧入反应室316内，以浸泡、喷洒或一边浸泡一边喷洒的方式用正丁基乙酯来溶解并去除位于有机电激发光显示面板10表面上的光阻，而使光阻脱离有机电激发光显示面板10表面。请参照图3B，异丙醇剥离清洗槽330也包括了储槽332、供液***334及反应室336。储槽332的功能是在储存异丙醇，而经由供液***334将异丙醇供应至反应室336来清洗位于反应室内的有机电激发光显示面板10。因为异丙醇的沸点较低，故在此均采浸泡而不用喷洒的方式来清洗有机电激发光显示面板10，以减少异丙醇蒸气的产生。剥离单元中的设备均采用防爆不锈钢设计，以提高设备的安全系数。在正丁基乙酯槽310、320及异丙醇槽330中并设计有废弃回收***。位因应异丙醇的低沸点，在异丙醇槽330中并有冷凝***的设计，以符合环保的要求。

请继续参照图1，清洗单元400安置于剥离单元300之后，清洗单元400的功能是用来喷洒清洗溶液，清洗溶液主要是去离子水，以清洗溶液移除残留于有机电激发光显示面板10表面的异丙醇。清洗单元400至少包括一个清洗槽410。请参照图4，清洗槽410也包括了储槽412、供液***414及反应室416。储槽412的功能是在储存去离子水，而经由供液***414将去离子水供应至反应室416以喷洒的方式来清洗位于反应室416内的有机电激发光显示面板上残留的异丙醇。一般而言是采用串联两个清洗槽340、350的设计，其目的是在通过连续两次的清洗而能有效的洗去有机电激发光显示面板10上残留的异丙醇。由第二清洗槽所收集使用过的去离子水可以供第一清洗槽之用，更能有效的节省水资源。

请继续参照图1，吹干单元500安置于清洗单元400之后，吹干单元500的功能是用来移除有机电激发光显示面板10残留的去离子水。吹干单元500包括采用风刀来进行吹干的动作。

控制单元600的功能是用来控制传送单元200的传送顺序与传送时间，以精确地控制有机电激发光显示面板10于剥离单元300、清洗单元400及吹干单元500中的处理时间。剥离单元300可以适用于和显影单元700连结，依据维修需要以及显影工艺的要求来弹性选择使用显影单元。此剥离装置亦可适用于不同尺寸有机电激发光显示面板10的连续自动化量产。

实施例2

传送单元200装置及功能同实施例1中所述。请参照图5，有机电激发光显示面板10(未显示于图上)传送至正丁基乙酯剥离槽510进行第一次正丁基乙酯处理，接着送入正丁基乙酯剥离槽520。正丁基乙酯剥离槽520的目的在进一步有效地去除经过第一次正丁基乙酯处理后仍可能残留在机电激发光显示面板10表面的光阻。

请参照图5，接着，有机电激发光显示面板10被送入异丙醇剥离清洗槽530。异丙醇剥离清洗槽530排列在正丁基乙酯剥离槽520之后，其目的一方面是在将有机电激发光显示面板10表面上的残留的光阻去除干净，另一方面是洗掉残留于有机电激发光显示面板10表面上正丁基乙酯。

请继续参照图5，有机电激发光显示面板10在离开异丙醇槽530将被传送单元200送入清洗槽540以去离子水进行清洗。请继续参照图5，有机电激发光显示面板10进行第一次清洗后将被送入清洗槽550进行第二次去离子水清洗，以确保能将残留的异丙醇清洗干净。

有机电激发光显示面板20经过清洗槽540及清洗槽550两次去离子水的喷洒清洗后，接着，送入吹干单元560以风刀来进行吹干的动作。经过这一连串的步骤，完成有机电激发光显示面板20表面上光阻的剥离。

实施例3

传送单元200装置及功能同实施例1中所述。请参照图6，有机电激发光显示面板20(未绘示于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽810，以正丁基乙酯剥离有机电激发光显示面板20上的光阻。接着，有机电激发光显示面板30(未绘示于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽820，以正丁基乙酯剥离有机电激发光显示面板30上的光阻。其中，正丁基乙酯剥离槽810与正丁基乙酯剥离槽820为并联排列。而正丁基乙酯的提供方式亦如实施例1中所述。如此并联排列的优点在于可以同时处理更大量的有机电激发光显示面板。当然，如此并联排列不只适用于两个正丁基乙酯剥离槽的排列。

请继续参照图6，在经过正丁基乙酯的处理后，有机电激发光显示面板20被送入异丙醇剥离清洗槽830，同时，有机电激发光显示面板40(未绘示于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽810进行正丁基乙酯的处理。异丙醇剥离清洗槽830排列在正丁基乙酯剥离槽810、820之后，其目的一方面是在将有机电激发光显示面板20表面上的残留的光阻去除干净，另一方面是洗掉残留于有机电激发光显示面板20表面上正丁基乙酯。

请继续参照图6，待有机电激发光显示面板20经异丙醇处理过之后，送入清洗槽840。接着，有机电激发光显示面板30被送入异丙醇剥离清洗槽830，同时，有机电激发光显示面板50(未绘示于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽820进行正丁基乙酯之处理。

有机电激发光显示面板20经过清洗槽840及清洗槽850两次去离子水的喷洒清洗后，接着，送入吹干单元860以风刀来进行吹干的动作。经过这一连串的步骤，完成有机电激发光显示面板20表面上光阻的剥离。

实施例4

传送单元200装置及功能同实施例1中所述。请参照图7，有机电激发光显示面板60(未绘示于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽910，以正丁基乙酯剥离有机电激发光显示面板60上的光阻。接着，有机电激发光显示面板70被送入正丁基乙酯剥离槽920，以正丁基乙酯剥离有机电激发光显示面板70(未绘示于图上)上的光阻。其中，正丁基乙酯剥离槽910与正丁基乙酯剥离槽920为并联排列。在经过第一道正丁基乙酯的处理后，请参照第6B图，有机电激发光显示面板60被送入正丁基乙酯剥离槽930，同时，有机电激发光显示面板80(未绘示于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽910进行正丁基乙酯的处理。其中，正丁基乙酯剥离槽930和正丁基乙酯剥离槽910及正丁基乙酯剥离槽920为串联排列。第二道正丁基乙酯的处理可以确保光阻被完全的清除。

请继续参照图7，在完成正丁基乙酯的处理后，有机电激发光显示面板60被送入异丙醇剥离清洗槽940，有机电激发光显示面板70被送入正丁基乙酯剥离槽930，同时，有机电激发光显示面板90(未绘示于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽920进行正丁基乙酯的处理。异丙醇剥离清洗槽940排列在正丁基乙酯剥离槽930之后，其目的一方面是在将有机电激发光显示面板60表面上的残留的光阻去除干净，另一方面是洗掉残留于有机电激发光显示面板60表面上正丁基乙酯。

而正丁基乙酯的提供方式亦如实施例1中所述。如此并串联排列的优点在于可以同时处理更大量的有机电激发光显示面板且可有效的去除光阻。当然，如此并串联排列不只适用于三个正丁基乙酯剥离槽的运用。

请继续参照图7，待有机电激发光显示面板60经异丙醇处理过之后，送入清洗槽950。接着，有机电激发光显示面板70被送入异丙醇剥离清洗槽940，同时，有机电激发光显示面板80被送入正丁基乙酯剥离槽930进行正丁基乙酯的处理。

有机电激发光显示面板60经过清洗槽950及清洗槽960两次去离子水的喷洒清洗后，接着，送入吹干单元970以风刀来进行吹干的动作。经过这一连串的步骤，完成有机电激发光显示面板60表面上光阻的剥离。

Claims

1.一种光阻剥离方法，适用来剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻，其特征是，该方法包括：

该有机电激发光显示面板置于一传输滚轮单元上；

2.如权利要求1所述的光阻剥离方法，其特征是，该传输滚轮单元传送该有机电激发光显示面板是以一控制单元来加以控制。

3.如权利要求1所述的光阻剥离方法，其特征是，提供正丁基乙酯处理该有机电激发光显示面板的方法系选自由喷洒及浸泡所组成的族群中的任意组合。

4.如权利要求1所述的光阻剥离方法，其特征是，提供异丙醇处理该有机电激发光显示面板的方法采浸泡法。

5.如权利要求1所述的光阻剥离方法，其特征是，提供去离子水处理该有机电激发光显示面板的方法采喷洒法。

6.如权利要求1所述的光阻剥离方法，其特征是，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻时，该有机电激发光显示面板于反应室内会来回传送。

7.一种光阻剥离方法，适用来剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻，其特征是，该方法包括：

该有机电激发光显示面板置于一传输滚轮单元上；

该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一正丁基乙酯剥离槽中；

在该正丁基乙酯剥离槽中，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻；

8.如权利要求7所述的光阻剥离方法，其特征是，该传输滚轮单元传送该有机电激发光显示面板是以一控制单元来加以控制。

9.如权利要求7所述的光阻剥离方法，其特征是，提供正丁基乙酯处理该有机电激发光显示面板的方法选自由喷洒及浸泡所组成的族群中的任意组合。

10.如权利要求7所述的光阻剥离方法，其特征是，提供异丙醇处理该有机电激发光显示面板的方法采浸泡法。

11.如权利要求7所述的光阻剥离方法，其特征是，提供去离子水处理该有机电激发光显示面板的方法采喷洒法。

12.如权利要求7所述的光阻剥离方法，其特征是，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻时，该有机电激发光显示面板于反应室内会来回传送。

13.一种光阻剥离方法，适用来剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻，其特征是，该方法包括：

以一传送单元传送该有机电激发光显示面板依序进入一剥离单元、一清洗单元及一吹干单元；

提供至少一次正丁基乙酯清洗该有机电激发光显示面板；

提供至少一次异丙醇清洗该有机电激发光显示面板；

提供复数次去离子水清洗该有机电激发光显示面板；以及

14.如权利要求13所述的光阻剥离方法，其特征是，该传送单元传送该有机电激发光显示面板是以一控制单元来加以控制。

15.如权利要求13所述的光阻剥离方法，其特征是，提供该正丁基乙酯处理该有机电激发光显示面板的方法选自由喷洒及浸泡所组成的族群中的的任意组合。

16.如权利要求13所述的光阻剥离方法，其特征是，提供该异丙醇处理该有机电激发光显示面板的方法采浸泡法。

17.如权利要求13所述的光阻剥离方法，其特征是，提供该些去离子水处理该有机电激发光显示面板的方法采喷洒法。

18.如权利要求13所述的光阻剥离方法，其特征是，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻时，该有机电激发光显示面板于反应室内会来回传送。