CN2541872Y - 光阻剥离装置 - Google Patents

Abstract

一种光阻剥离装置，用来剥离有机电激发光显示面板表面上的光阻。该装置包括：剥离单元，用来提供剥离液以去除该有机电激发光显示面板表面上的光阻；清洗单元，用来喷洒一清洗溶液以移除该有机电激发光显示面板表面上残留的剥离液；吹干设备，用来吹干该有机电激发光显示面板；传送滚轮，以连续传送的方式将该有机电激发光显示面板传送至该剥离单元、该清洗单元以及该吹干单元中；控制单元，用来控制该传送单元的传送顺序与传送时间，以精确地控制该有机电激发光显示面板在每一个单元中的处理时间。

Description

光阻剥离装置

本实用新型涉及一种光阻剥离的装置，特别涉及一种聚酰亚胺层的图案显影后的光阻剥离的装置。

有机电激发光显示器(organic light emitting display，OLED)具有自发光、高亮度、高对比、宽视角、驱动电压低与高速应答等优点，是目前新世代显示器中最被寄予厚望的平面显示器。然而由于其技术较新、发展较其它显示器晚，技术尚未完全成熟，所以目前全世界仅有日本的Pioneer有小尺寸的产品推出。显示器OLED在商品化过程还有许多的障碍有待克服，特别是对批量生产的技术而言。

光阻剥离(stripping)是在半导体或显示器的黄光微影工艺的最后一道步骤，就是将上道蚀刻步骤中保护图案的光阻去除，避免光阻残留污染下一道黄光微影工艺，以获得干净的有线路图案的基板。对OLED面板每一道的电极接线层、ITO(铟锡氧化物)阳极层、隔离层等结构层的微影图案定义后的光阻剥离工艺而言，由于所使用的ITO基板表面较现今半导体电路所使用的磊晶硅基板粗糙，使得光阻不易从ITO表面被剥离，容易有光阻的残留现象发生在显示面板的ITO表面。一旦光阻残留于显示面板表面，特别是在ITO阳极发光区，就会阻挡后续有机发光层与阴极材料的蒸镀，使得显示面板产生暗点，降低显示品质与工艺合格率。再者，因为后续工艺所蒸镀的有机电子发光膜层厚度非常薄，由于光阻残留造成的厚度不均，易造成电场分布不均，甚至组件短路，进而影响显示器的寿命。

一般而言，定义非感光型聚酰亚胺(Non-photosensitive polyimide)层的图案使用的材质为光阻层，聚酰亚胺本身具有较好的热稳定性、机械稳定性、电稳定性以及光稳定性，可以使有机电激发光显示面板具有较好的发光稳定度与较长的使用寿命。制作的方法包含有涂布聚酰亚胺或是聚酰亚胺前躯体(precursor)，图布一光阻层于聚酰亚胺层之上，依次进行预烤、曝光、曝光后烤、显影、剥离、高温烘烤等工序，以定义出聚酰亚胺的图案。其中，公知的剥离光阻技术在传统的集成电路、光电工艺中，是将硅基板置于吸盘上旋转，而后由喷嘴分别喷洒剥离液与水洗液，最后再高速旋干。但随着显示器尺寸往新世代推进而加大，与显示器玻璃基板较硅基板重很多的双重效应影响，使得传统的转盘设计无法负荷如此大的重量与高速旋转下的离心力，使得光阻剥离效果不均、剥离不干净造成光阻残留，而大大降低显示组件的合格率。因此改用将显示基板浸泡在不同的碱性剥离槽与水洗槽的方式进行，但却无法连续操作每一个步骤，必须通过人为传送的方式将显示面板取出并装载至另一个机台中。因此整个显影工艺的时程会延长许多，不利于批量生产作业，也不利于大面积的显示面板制造。此外，由于人为因素不易控制，常会在传送过程中产生延误或是损坏，因此一般的显影设备根本无法精确地控制剥离时间，也不能确保剥离工艺的品质。

再者针对工艺的化学稳定性而言，特别是有机电激发光显示器结构中所使用的聚酰亚胺材质，由于必须经过最后一道220～350℃高温烘烤后才会具备高的电气、机械、热与化学稳定性。而在此之前其化学性质尚未稳定，容易受到碱性物质等化学药剂的破坏。所以对于聚酰亚胺层的剥离而言，传统技术中用来剥离光阻的碱性物质如氢氧化钠、氢氧化钾，也会导致聚酰亚胺的分解、剥落。因此，在进行光阻层的剥离时，需要做精确的剥离时间控制与选择适当的剥离药剂，避免剥离时聚酰亚胺层遭受剥离液破坏而使图案定义面积的规格改变甚至造成整片聚酰亚胺层剥离脱落，以提高显示器的工艺合格率与规格稳定性。

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一OLED面板光阻剥离装置。

本实用新型的另一目的在于提供一OLED面板光阻剥离装置，可以供批量生产工艺流畅化的运作。

本实用新型的又一目的在于提供一OLED面板光阻剥离装置，适用于不同世代基板尺寸的操作弹性，并同时满足OLED基板在光阻剥离后洁净的需求。

本实用新型提供一OLED面板光阻剥离装置，可以提供一高洁净度及批量生产工艺流畅化的光阻剥离。不仅具有连续化高产量的优点、适用于不同世代基板尺寸的操作弹性，并同时满足OLED基板在光阻剥离后洁净的需求。本实用新型提供一种剥离装置，用来针对图案化聚酰亚胺层之后，进行光阻剥离。请参照图1，光阻剥离装置包含了以传送滚轮200来连结三个工作单元，包括剥离单元300、清洗单元400及吹干设备500，以及一控制设备600来控制传送滚轮的传送顺序与传送时间。另外可以包括一承载单元(未绘出于图1上)，承载单元用来装载待剥离处理的显示面板，或以提供一缓冲区使光阻曝光完后的显示面板直接进行光阻剥离工艺来取代承载单元。另外可以包括一下载单元(未绘出于图1上)，下载单元用来装载剥离处理完成的显示面板，或以提供一缓冲区使显示面板直接进入下游的高温烘烤模块来取代下载单元。

传送滚轮的功能是用来提供连续传送的方式，将有机电激发光显示面板依次传送至剥离单元、清洗单元以及吹干设备中。传送滚轮是由轮轴及安装于轮轴两端的两滚轮所组成的，其中滚轮包括具有承接功能的内缘及具有限制功能的外缘两个部分。具有承接功能的内缘用以承接有机电激发光显示面板，具有限制功能的外缘用以固定有机电激发光显示面板位于传输滚轮单元上的横向位置。借着滚轮的转动来传输置于其上的有机电激发光显示面板。

剥离单元至少包括了正丁基乙酯(n-Butyl acetate，NBA)剥离槽和异丙醇(Isopropyl Alcohol，IPA)剥离清洗槽。正丁基乙酯剥离槽至少包括了储槽、供液***及反应室。储槽的功能是用于储存正丁基乙酯，而通过供液***将正丁基乙酯供应至反应室，而与在反应室内来回传送的有机电激发光显示面板上的光阻作用而将光阻剥离，使有机电激发光显示面板于反应室内来回传送，可促使剥离效果均匀性更好。供液***将位于储槽内的正丁基乙酯吸入反应室内，以浸泡、喷洒或一边浸泡一边喷洒的方式用正丁基乙酯来溶解并去除位于有机电激发光显示面板表面上的光阻，而使光阻脱离有机电激发光显示面板表面。剥离单元至少包括一个正丁基乙酯剥离槽，若包括一个以上的正丁基乙酯剥离槽，这些正丁基乙酯剥离槽的排列方式可以为并联、串联或并串联的方式排列。并联排列的优点在于可以同时处理更大量的有机电激发光显示面板，串联的优点在于可以以连续二次以上的正丁基乙酯处理而使得光阻的剥除更干净，而并串联更兼具两者的优点。两个以上的正丁基乙酯剥离槽还可在更换正丁基乙酯时避免光阻剥离装置的停摆，而使生产的速度不受影响。

异丙醇剥离清洗槽排列在正丁基乙酯剥离槽之后，剥离单元至少包括一个异丙醇剥离清洗槽，若包括一个以上的异丙醇剥离清洗槽，这些异丙醇剥离清洗槽也可如正丁基乙酯剥离槽的排列方式排列，而视生产上的需求而定。异丙醇剥离清洗槽的目的一方面是在将有机电激发光显示面板表面上的残留光阻去除干净，另一方面是在将残留于有机电激发光显示面板表面上正丁基乙酯置换。异丙醇剥离清洗槽也包括了储槽、供液***及反应室。储槽的功能是用于储存异丙醇，而通过供液***将异丙醇供应至反应室来清洗位于反应室内的有机电激发光显示面板。因为异丙醇的沸点较低，所以在此均采用浸泡而不用喷洒的方式来清洗有机电激发光显示面板，以减少异丙醇蒸气的产生。剥离单元中的设备均采用防爆不锈钢设计，以提高设备的安全系数。在正丁基乙酯槽及异丙醇槽中并设计有废料回收***。为适应异丙醇的低沸点，在异丙醇槽中并有冷凝***的设计，以符合环保的要求。

清洗单元安置于剥离单元之后，清洗单元的功能是用来喷洒清洗溶液，清洗溶液主要是去离子水(De-ion Water，DIW)，以清洗溶液移除残留于有机电激发光显示面板表面的异丙醇。清洗单元至少包括一个清洗槽。清洗槽也包括了储槽、供液***及反应室。储槽的功能是用于储存去离子水，而通过供液***将去离子水供应至反应室以喷洒的方式来清洗位于反应室内的有机电激发光显示面板上残留的异丙醇。一般而言是采用串联两个清洗槽的设计，其目的是在通过连续两次的清洗而能有效的洗去有机电激发光显示面板上残留的异丙醇。由第二清洗槽所收集使用过的去离子水可以供第一清洗槽之用，更能有效的节省水资源。

吹干设备安置于清洗单元之后，吹干设备的功能是用来移除有机电激发光显示面板残留的去离子水。吹干设备包括采用风刀(Air Knife)来进行吹干的动作。

控制设备的功能是用来控制传送滚轮的传送顺序与传送时间，以精确地控制有机电激发光显示面板于剥离单元、清洗单元及吹干设备中的处理时间。剥离单元可以适用于和显影单元及高温烘烤单元连结，依据维修需要以及显影工艺的要求来弹性选择使用显影单元。此剥离装置亦可适用于不同尺寸有机电激发光显示面板的连续自动化批量生产。

为使本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细的说明：

图面说明：

图1是根据本实用新型所提供的光阻剥离装置；

图2是本实用新型中所运用的传输滚轮单元；

图3A是本实用新型所运用的正丁基乙酯剥离槽；

图3B是本实用新型所运用的异丙醇剥离清除槽；

图4是本实用新型所运用的清除槽；

图5是根据本实用新型所提供第一实施例的光阻剥离装置；

图6是根据本实用新型所提供第二实施例的光阻剥离装置；

图7是根据本实用新型所提供第三实施例的光阻剥离装置。

附图标记说明：

10、20、30、40、50、60、70、80、90：有机电激发光显示面板

100：光阻剥离装置

200：传送滚轮

210：传输滚轮单元

220：轮轴

230：滚轮

240：内缘

250：外缘

300：剥离单元

310、510、520、810、820、910、920、930：正丁基乙酯剥离槽

312、322、412：储槽

314、324、414：供液***

316、326、416：反应室

320、530、830、940：异丙醇剥离清洗槽

400：清洗单元

410、540、550、840、850、950、960：清洗槽

500、560、860、970：吹干设备

600：控制设备

700：显影单元

实施例一：

请参照图1，是聚酰亚胺层的图案显影后的光阻剥离装置。光阻剥离装置100包含了以传送滚轮200来连结三个工作单元，包括剥离单元300、清洗单元400及吹干设备500以及一控制设备600来控制传送滚轮200的传送顺序与传送时间。

传送滚轮200的功能是用来提供连续传送的方式，将有机电激发光显示面板依次传送至剥离单元300、清洗单元400以及吹干设备500中。请参照图2，传送滚轮200还包括了传输滚轮单元210。传输滚轮单元210是由轮轴220及安装于轮轴两端的两滚轮230所组成的，其中滚轮230包括具有承接功能的内缘240及具有限制功能的外缘250两个部分。具有承接功能的内缘240用以承接有机电激发光显示面板10，具有限制功能的外缘250用以固定有机电激发光显示面板10位于传输滚轮单元上的横向位置。借着滚轮230的转动来传输置于其上的有机电激发光显示面板10。

请继续参照图1，有机电激发光显示面板10由传输滚轮单元210自显影单元700传送至剥离单元300。剥离单元300至少包括了正丁基乙酯剥离槽310和异丙醇剥离清洗槽320。有机电激发光显示面板10被送入正丁基乙酯剥离槽310，请参照图3A，正丁基乙酯剥离槽310至少包括了储槽312、供液***314及反应室316。储槽312的功能是储存正丁基乙酯，而通过供液***314将正丁基乙酯供应至反应室316，而与位于反应室316内来回传送的有机电激发光显示面板10上的光阻作用而将光阻剥离，使有机电激发光显示面板10于反应室316内来回传送，可促使剥离效果均匀性更好。供液***314将位于储槽312内的正丁基乙酯吸入反应室316内，以浸泡、喷洒或一边浸泡一边喷洒的方式用正丁基乙酯来溶解并去除位于有机电激发光显示面板10表面上的光阻，而使光阻脱离有机电激发光显示面板10表面。请参照图3B，异丙醇剥离清洗槽320也包括了储槽322、供液***324及反应室326。储槽322的功能是储存异丙醇，而通过供液***324将异丙醇供应至反应室326来清洗位于反应室内的有机电激发光显示面板10。因为异丙醇的沸点较低，故在此均采用浸泡而不用喷洒的方式来清洗有机电激发光显示面板10，以减少异丙醇蒸气的产生。剥离单元中的设备均采用防爆不锈钢设计，以提高设备的安全系数。在正丁基乙酯槽310及异丙醇槽320中并设计有废弃回收***。为适应异丙醇的低沸点，在异丙醇槽320中并有冷凝***的设计，以符合环保的要求。

请继续参照图1，清洗单元400安置于剥离单元300之后，清洗单元400的功能是用来喷洒清洗溶液，清洗溶液主要是去离子水，以清洗溶液移除残留于有机电激发光显示面板10表面的异丙醇。清洗单元400至少包括一个清洗槽410。请参照图4，清洗槽410也包括了储槽412、供液***414及反应室416。储槽412的功能是储存去离子水，而通过供液***414将去离子水供应至反应室416以喷洒的方式来清洗位于反应室416内的有机电激发光显示面板上残留的异丙醇。一般而言是采用串联两个清洗槽340、350的设计，其目的是在于通过连续两次的清洗而能有效的洗去有机电激发光显示面板10上残留的异丙醇。由第二清洗槽所收集使用过的去离子水可以供第一清洗槽之用，更能有效的节省水资源。

请继续参照图1，吹干设备500安置于清洗单元400之后，吹干设备500的功能是用来移除有机电激发光显示面板10残留的去离子水。吹干设备500包括采用风刀来进行吹干的动作。

控制设备600的功能是用来控制传送滚轮200的传送顺序与传送时间，以精确地控制有机电激发光显示面板10于剥离单元300、清洗单元400及吹干设备500中的处理时间。剥离单元300可以适用于和显影单元700连结，依据维修需要以及显影工艺的要求来弹性选择使用显影单元。此剥离装置亦可适用于不同尺寸有机电激发光显示面板10的连续自动化批量生产。

实施例二：

请参照图1，图1是聚酰亚胺层的图案显影后的光阻剥离装置。光阻剥离装置100包含了以传送滚轮200来连结三个工作单元，包括剥离单元300、清洗单元400及吹干设备500以及一控制设备600来控制传送滚轮200的传送顺序与传送时间。

传送滚轮200装置及功能同实施例一中所述。请参照图5，有机电激发光显示面板10(未绘出图上)传送至正丁基乙酯剥离槽510进行第一次正丁基乙酯处理，接着送入正丁基乙酯剥离槽520。正丁基乙酯剥离槽520的目的是进一步有效地去除经过第一次正丁基乙酯处理后仍可能残留在机电激发光显示面板10表面的光阻。

请参照图5，接着，有机电激发光显示面板10被送入异丙醇剥离清洗槽530。异丙醇剥离清洗槽530排列在正丁基乙酯剥离槽520之后，其目的一方面是在将有机电激发光显示面板10表面上的残留光阻去除干净，另一方面是洗掉残留于有机电激发光显示面板10表面上的正丁基乙酯。

请继续参照图5，有机电激发光显示面板10在离开异丙醇槽530将被传送滚轮200送入清洗槽540以去离子水进行清洗。请继续参照图5，有机电激发光显示面板10进行第一次清洗后将被送入清洗槽550进行第二次去离子水清洗，以确保能将残留的异丙醇清洗干净。

有机电激发光显示面板10经过清洗槽540及清洗槽550两次去离子水的喷洒清洗后，接着，送入吹干设备560以风刀来进行吹干的动作。经过这一连串的步骤，完成有机电激发光显示面板10表面上光阻的剥离。

实施例三：

请参照图1，图1是聚酰亚胺层的图案显影后的光阻剥离装置。光阻剥离装置100包含了以传送滚轮200来连结三个工作单元，包括剥离单元300、清洗单元400及吹干设备500以及一控制设备600来控制传送滚轮200的传送顺序与传送时间。

传送滚轮200装置及功能同实施例一中所述。请参照图6，有机电激发光显示面板20(未绘出于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽810，以正丁基乙酯剥离有机电激发光显示面板20上的光阻。接着，有机电激发光显示面板30(未绘出于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽820，以正丁基乙酯剥离有机电激发光显示面板30上的光阻。其中，正丁基乙酯剥离槽810与正丁基乙酯剥离槽820为并联排列。而正丁基乙酯的提供方式亦如实施例一中所述。如此并联排列的优点在于可以同时处理更大量的有机电激发光显示面板。当然，如此并联排列不只适用于两个正丁基乙酯剥离槽的排列。

请继续参照图6，在经过正丁基乙酯的处理后，有机电激发光显示面板20被送入异丙醇剥离清洗槽830，同时，有机电激发光显示面板40(未绘出于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽810进行正丁基乙酯的处理。异丙醇剥离清洗槽830排列在正丁基乙酯剥离槽810、820之后，其目的一方面是在将有机电激发光显示面板20表面上的残留光阻去除干净，另一方面是洗掉残留于有机电激发光显示面板20表面上正丁基乙酯。

请继续参照图6，待有机电激发光显示面板20经异丙醇处理过之后，送入清洗槽840。接着，有机电激发光显示面板30被送入异丙醇剥离清洗槽830，同时，有机电激发光显示面板50(未绘出于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽820进行正丁基乙酯的处理。

有机电激发光显示面板20经过清洗槽840及清洗槽850两次去离子水的喷洒清洗后，接着，送入吹干设备860以风刀来进行吹干的动作。经过这一连串的步骤，完成有机电激发光显示面板20表面上光阻的剥离。

实施例四：

请参照图1。光阻剥离装置100包含了以传送滚轮200来连结三个工作单元，包括剥离单元300、清洗单元400及吹干设备500以及一控制设备600来控制传送单元200的传送顺序与传送时间。

传送滚轮200装置及功能同实施例一中所述。请参照图7，有机电激发光显示面板60(未绘出于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽910，以正丁基乙酯剥离有机电激发光显示面板60上的光阻。接着，有机电激发光显示面板70被送入正丁基乙酯剥离槽920，以正丁基乙酯剥离有机电激发光显示面板70(未绘出于图上)上的光阻。其中，正丁基乙酯剥离槽910与正丁基乙酯剥离槽920为并联排列。在经过第一道正丁基乙酯的处理后，请参照图6B，有机电激发光显示面板60被送入正丁基乙酯剥离槽930。同时，有机电激发光显示面板80(未绘出于图上)被送入正丁基乙酯剥离槽910进行正丁基乙酯的处理。其中，正丁基乙酯剥离槽930和正丁基乙酯剥离槽910及正丁基乙酯剥离槽920为串联排列。第二道正丁基乙酯的处理可以确保光阻被完全的清除。

请继续参照图7，在完成正丁基乙酯的处理后，有机电激发光显示面板60被送入异丙醇剥离清洗槽940，有机电激发光显示面板70被送入正丁基乙酯剥离槽930，同时，有机电激发光显示面板90(未绘出图上)被送入正丁基乙酯剥离槽920进行正丁基乙酯的处理。异丙醇剥离清洗槽940排列在正丁基乙酯剥离槽930之后，其目的一方面是在将有机电激发光显示面板60表面上的残留光阻去除干净，另一方面是洗掉残留于有机电激发光显示面板60表面上正丁基乙酯。

而正丁基乙酯的提供方式亦如实施例一中所述。如此并串联排列的优点在于可以同时处理更大量的有机电激发光显示面板且可有效的去除光阻。当然，如此并串联排列不只适用于三个正丁基乙酯剥离槽的运用。

请继续参照图7，待有机电激发光显示面板60经异丙醇处理过之后，送入清洗槽950。接着，有机电激发光显示面板70被送入异丙醇剥离清洗槽940，同时，有机电激发光显示面板80被送入正丁基乙酯剥离槽930进行正丁基乙酯的处理。

有机电激发光显示面板60经过清洗槽950及清洗槽960两次去离子水的喷洒清洗后，接着，送入吹干设备970以风刀来进行吹干的动作。经过这一连串的步骤，完成有机电激发光显示面板60表面上光阻的剥离。

虽然本实用新型已以较佳实施例说明如上，但是其并非用来限定本实用新型，任何熟悉该技术的人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的变革和改进，但本实用新型的保护范围应当以权利要求限定的范围所界定的为准。

Claims (15)

1.一种光阻剥离装置，适用于剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻，其特征在于：该装置包括：

一剥离槽，该剥离槽内盛装剥离液；

一清洗槽，配置于剥离槽之后，该清洗槽内盛装清洗液；

一吹干设备，该吹干设备配置于该清洗槽之后；

一传送滚轮，该传送滚轮配置于该剥离槽、该清洗槽及该吹干设备之间；

一控制设备，该控制设备适于控制该传送滚轮的传送顺序与传送时间。

2.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于：该剥离液为正丁基乙酯。

3.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于：该剥离液为异丙醇。

4.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于：该剥离槽包括一储槽、一供应***及一反应室，其中该储槽与该反应室之间通过该供应***连接。

5.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于：该清洗槽包括一储槽、一供应***及一反应室，其中该储槽与该反应室之间通过该供应***连接。

6.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于：该清洗液为去离子水。

7.一种光阻剥离装置，适用于剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻，其特征在于：该装置包括：

复数个剥离槽，该些剥离槽内盛装剥离液；

至少一剥离清洗槽，该剥离清洗槽配置于该剥离槽之后；

复数个清洗槽，该些清洗槽配置于该剥离清洗槽之后，该些清洗槽内盛装清洗液；

一吹干设备，该吹干设备配置于该些清洗槽之后；

一传送滚轮，该传送滚轮配置于该些剥离槽、该剥离清洗槽、该些清洗槽及该吹干设备之间；

一控制设备，该控制设备适于控制该传送滚轮的传送顺序与传送时间。

8.根据权利要求7所述的光阻剥离装置，其特征在于：该剥离液为正丁基乙酯。

9.根据权利要求7所述的光阻剥离装置，其特征在于：该剥离清洗槽内装异丙醇。

10.根据权利要求7所述的光阻剥离装置，其特征在于：每一该些剥离槽包括一储槽、一供应***及一反应室，其中该储槽与该反应室之间通过该供应***连接。

11.根据权利要求7所述的光阻剥离装置，其特征在于：该剥离清洗槽包括一储槽、一供应***及一反应室，其中该储槽与该反应室之间通过该供应***连接。

12.根据权利要求7所述的光阻剥离装置，其特征在于：每一该些清洗槽包括一储槽、一供应***及一反应室，其中该储槽与该反应室之间通过该供应***连接。

13.根据权利要求7所述的光阻剥离装置，其特征在于：该清洗液为去离子水。

14.根据权利要求7所述的光阻剥离装置，其特征在于：该些剥离槽是并联、串联及并/串联其中之一。

15.根据权利要求7所述的光阻剥离装置，其特征在于：该些清洗槽是并联、串联及并/串联其中之一。

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