CN1533909A - 液滴喷射设备及液滴喷射设备用的喷射控制方法 - Google Patents

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Abstract

一种喷墨设备(100),具有喷墨头(114),响应喷射波形,以液滴的形式喷射液体,所述液体由液体储存箱(150)提供。喷墨设备还具有:确定单元(174),用于确定液体储存箱(150)中的液体的测量粘度是否处于可喷射液体的范围内;以及控制单元(176),当确定单元(174)的确定结果是肯定的时,向喷墨头(114)中液滴的喷射施加与测量粘度相对应的喷射波形,而当确定单元(174)的确定结果是否定的时,中断喷墨头(114)中液滴的喷射。

Description

液滴喷射设备及液滴喷射设备用的喷射控制方法
技术领域
本发明涉及一种用于喷射液滴的液滴喷射设备,以及还涉及一种光学设备、一种电子设备、一种电子光学设备的制造方法和一种液滴喷射设备用的喷射控制方法。
背景技术
在如喷墨设备等用于喷射液滴并使液滴附着于目标材料的液滴喷射设备的现有技术应用中,存在固有的问题。此问题在于,由液滴喷射设备喷射的液体的粘度的改变。由于周围温度的变化、液体溶剂的蒸发及其他原因引起了液体粘度的变化。
为了解决液体粘度变化的问题,公知的技术是,借助于与具有使墨水通过的墨水通路的头底座(head base)紧密接触地设置的PTC(正温度系数)热敏电阻,来控制墨水通路中的温度。在喷墨头中,将PTC(正温度系数)热敏电阻用于控制加热器,以保持其自身的温度,而且与此同时,将其用作用于检测其自身温度的温度传感器,从而将墨水通路控制在固定的温度,借此克服经过一段时间后将会发生的墨水粘度的变化的问题。通过使用喷墨头,能够在达到预设温度时,减少加热器的温度上升时间,以精确控制温度,并减少加热器容量。
存在另一种用于控制喷墨头中的墨水粘度的技术,其中借助于与墨水喷嘴和流路相邻设置的第一加热器,使墨水加热,从而将墨水喷嘴和流路中的墨水粘度降低到低于固定值,并借助于与墨水储存器相邻的第二加热器,将墨水储存器保持在熔点或以上、墨水喷嘴和流路温度以下的温度范围内。
上述两种技术都采用了温度控制技术,通过加热液体来获得估计粘度。尽管现有技术通过加热液体能够使液体粘度下降,但液体粘度事实上受到了除温度上升以外的其他因素的影响,例如,由于如周围温度和湿度等因素的影响。使墨水的温度稳定需要一定的时间,这是因为需要遵循以下的顺序处理:测量温度,检测固定温度,由加热器加热,改变墨水的温度,以及获得由顺序处理所得到的条件改变。因此,不能迅速而精确地使液体达到预定的粘度。此外,一些类型的液体的粘度改变很快,而且随着温度的变化发生极大的变化;而其他液体的粘度可能很少改变,或者非常慢。因此,通过使加热温度发生改变,难以确定是否已经获得了所需的液体粘度。
发明内容
考虑到上述问题,构思本发明,而且本发明的目的是提供一种依照液体粘度的变化来控制液滴的喷射的液滴喷射设备,以及提供一种电子光学设备、一种电子设备、一种电子光学设备的制造方法以及一种液滴喷射设备的喷射控制方法。
(1)为了解决上述问题,本发明的一种液滴喷射设备包括:液体储存装置,用于储存液体;液滴喷射头,通过向其施加喷射波形,以液滴的形式,喷射从所述液体储存装置提供的液体;测量装置,用于测量储存在所述液体储存装置中的液体的粘度;确定装置,用于确定所测量的液体粘度是否处于可喷射液体范围内;存储装置,用于存储与设置在可喷射液体范围内的粘度相对应的一个或多个喷射波形;以及控制装置,如果确定的结果是肯定的,则向所述液滴喷射头中的喷射施加喷射波形,所述喷射波形是存储在所述存储装置中并与由所述测量装置所测量的粘度相对应的一个喷射波形。
通过这种结构,能够通过查询液体的粘度,直接施加适当的喷射波形。
(2)在一个优选实施例中,如果由所述确定装置确定的结果是否定的,所述控制装置中断(suspend)所述液滴喷射头中的喷射。
通过这种结构,能够中断具有过高粘度的液体的喷射,可以影响所需液滴的产生。
(3)在另一优选实施例中,所述液滴喷射设备还包括粘度改变装置,用于改变所述液体储存装置中的液体的粘度,其中如果确定的结果是否定的,所述控制装置中断所述液滴喷射头中的液体的喷射,以及通过所述粘度改变装置,改变所述液体储存装置中的液体的粘度,并使所述粘度达到可喷射的液体的范围内。
通过这种结构,能够响应液体粘度的变化,代替为了喷射液滴而施加的喷射波形。也能够中断具有粘度的预定范围之外的粘度的液体的喷射的驱动,以及在中断期间,按照需要改变液体的粘度,使液体变为适当的喷射粘度。
(4)此外,本发明提供了一种液滴喷射设备,包括:液体储存装置,用于储存液体;液滴喷射头,以液滴的形式,喷射从所述液体储存装置提供的液体;测量装置,用于测量储存在所述液体储存装置中的液体的粘度;确定装置,用于确定所测量的液体粘度是否处于可喷射的液体的范围内;粘度改变装置,用于改变所述液体储存装置中的液体的粘度;以及控制装置,如果确定的结果是否定的,则中断所述液滴喷射头中的液体的喷射,以及通过所述粘度改变装置,改变所述液体储存装置中的液体的粘度,并使所述粘度达到可喷射的液体的范围内。
从而,在一个优选实施例中,所述液滴喷射设备可以中断具有预定范围之外的粘度的液体的喷射,以及在中断期间,按照需要改变液体的粘度,并使液体变为适当的喷射粘度。
(5)此外,按照上述(1)到(4)中的任何一个所述的本发明的液滴喷射设备的所述测量装置包括:电极单元,浸入在所述液体储存装置中的液体中;振荡频率测量单元,用于测量所述电极单元的振荡频率;以及粘度测量单元,根据测量的振荡频率与所述电极单元的固有振荡频率之间的比,测量粘度。
(6)此外,本发明提供了一种按照上述(1)到(5)之一所述的液滴喷射设备,其中对所述液滴喷射设备的使用在于:喷射用于打印的打印液体、用于形成导体图案的导电液体、用于形成显示设备中的滤色器的液晶材料或液体材料、用于形成EL(电致发光)层的EL材料的液体、用于形成抗蚀层的抗蚀液体、包含生化材料的生化液体和用于形成微透镜阵列的透光材料的液体之一。
附图说明
图1是示出了按照本发明第一实施例的喷墨设备的结构的示意图。
图2是示出了存储在喷墨设备的粘度测量设备中的粘度设定表的示例的示意图。
图3是示出了设置在喷墨设备的驱动控制电路中的“与”电路的示意图。
图4是示出了喷墨设备的操作的流程图。
图5是示出了喷墨设备的操作的示例的时序图。
图6是示出了喷墨设备的操作的示例的时序图。
图7是示出了按照本发明第二实施例的喷墨设备的结构的示意图。
图8是示出了喷墨设备的操作的流程图。
图9是示出了喷墨设备的操作的示例的时序图。
图10是示出了按照喷墨设备的修改的操作的流程图。
图11是示出了通过使用按照本发明的喷墨设备而制造的电子光学设备的示意图。
图12是示出了其上安装有电子光学设备的电子设备的示意图,通过使用按照本发明的喷墨设备制造所述电子光学设备。
具体实施方式
此后,将参照附图,对本发明的实施例进行描述。
<第一实施例>
喷墨设备100的结构:
首先,将参照图1,对按照本发明的喷墨设备100的结构进行描述。
图1是示出了按照本发明的喷墨设备100的示例的功能性结构的示意图。喷墨设备100是用于使包含如银微粒和C14H30(十四烷)等的液滴在特定的位置附着于基片126的设备,并在基片126上形成所需的导电薄膜图案。
喷墨设备100在底座102上具有X方向驱动设备110,作为用于运送头单元的装置,以及Y方向驱动设备120,作为用于运送基片的装置。下部底座102具有头驱动控制电路130。应当注意的是,在附图中,X方向、Y方向和Z方向彼此正交。
X方向驱动设备110包括X方向驱动电动机111、X方向驱动轴112和喷墨头114。X方向驱动电动机111在以预定的间隔(例如,10ms)从X方向驱动电路(未示出)接收到用于使喷墨头114进行扫描的X扫描驱动信号时,沿X方向驱动轴112运送喷墨头114。类似地,Y方向驱动设备120包括Y方向驱动电动机121、Y方向驱动轴122和基片支撑板124。Y方向驱动电动机121在从Y方向驱动电路(未示出)接收到用于使基片支撑板124进行扫描的Y扫描驱动信号时,沿Y方向驱动轴122运送基片支撑板124。将作为从喷墨头向其喷射液滴的对象的基片126通过真空吸引装置(未示出)固定于基片支撑板124,并随着基片支撑板124的运动,由其进行运送。
头驱动控制电路130,与X方向驱动设备110或Y方向驱动设备120的扫描的停止同步,产生表示驱动液滴的喷射的开始的喷射启动信号PTS1(打印定时信号1)。头驱动控制电路130响应喷射启动信号PTS1,读出要从喷墨头114的喷射喷嘴喷射出的液滴的喷射数据,并将其提供给喷墨头114。头驱动控制电路130的驱动波形数据发生单元134从其中存储了与喷射数据相对应的驱动波形数据的驱动波形数据存储单元132中读取出驱动波形数据,并产生具有由驱动波形数据所指示的波形的驱动波形信号COM。然后,驱动波形数据发生单元134,与由喷墨头114提供的喷射数据同步,向喷墨头114提供所产生的驱动波形信号COM。驱动波形数据发生单元134也接收表示代替驱动波形数据的代替指示信号,该信号是由粘度测量设备140提供的信号(稍后进行详细描述),并改变要施加于喷墨头114的驱动波形信号COM的驱动波形数据。
根据所提供的喷射数据和驱动波形信号COM,将所需的喷射驱动电压施加于喷墨头114。
与此同时,通过供给管116向喷墨头114提供从粘度测量设备140的液体储存箱150传输过来的液体。喷墨头114,响应所需喷射驱动电压的施加,压缩并膨胀内室(未示出),在内室中填充液体,从而从喷嘴喷射所需体积的液滴。
在喷墨设备100中还设置有粘度测量设备140,通过使用液晶振荡器来测量液体的粘度。
粘度测量设备140提供了其中设置有晶体振荡器的测量电路162。晶体振荡器与浸入在液体154中的电极单元160相连。测量电路162在电极单元160测量晶体振荡器的振荡频率,此振荡频率依赖于电极单元160浸入其中的液体154的粘度。测量电路162计算晶体振荡器的测量振荡频率与固有振荡频率之间的比,并依照基于比值的函数***,测量填充在液体储存箱150中的液体的粘度。应当注意的是,液体储存箱150具有用于搅动液体的搅动单元152。
通过连接线164,向用于确定粘度的粘度确定设备170传输指示了由测量电路162测量的粘度的数据。粘度确定设备170的确定单元174根据接收到的数据确定所测量的粘度是否处于预设在存储单元172中的粘度设定范围内。
现在,将参照图2,给出对存储在存储单元172中的、指示了粘度设定的粘度设定表的示例的解释。
在存储单元172中,该粘度设定表示出了八个粘度设定,每个设定对应于特定水平的粘度。例如,沿粘度设定表的行方向,存储了与“波形信号值:000”、“粘度范围(mPa·s):到13.0”相对应的粘度设定。“粘度范围(mPa·s):到13.0”表示液体的粘度低于13.0mPa·s。类似地,在另一粘度设定中,存储了与“波形信号值:001”、“粘度范围(mPa·s):13.0到13.5”相对应的粘度设定。“粘度范围(mPa·s):13.0到13.5”表示液体的粘度在从13.0mPa·s开始但低于13.5mPa·s的范围内。类似地,在另一粘度设定中,存储了与“波形信号值:111”、“粘度范围(mPa·s):16.0到16.5”相对应的粘度设定。“粘度范围(mPa·s):16.0到16.5”表示液体的粘度在从16.0mPa·s开始但低于16.5mPa·s的范围内。
如果由确定单元174确定所测量的粘度处于粘度设定范围内,即低于16.5mPa·s,粘度测量设备140的控制单元176通过连接线178向头驱动控制电路130传输用于指示“打开”的指示信号READY,以便使在X方向驱动设备110或Y方向驱动设备120的扫描运动结束时所传输的喷射启动信号PTS1有效。控制单元176也通过连接线178向头驱动控制电路130传输与图2所示的粘度设定表中的一个粘度设定相对应的波形信号值。另一方面,如果由确定单元174确定所测量的粘度并未处于粘度设定范围内(即,低于16.5mPa·s),控制单元176通过连接线178向头驱动控制电路130传输指示“关闭”的指示信号READY,以便使在X方向驱动设备110或Y方向驱动设备120的扫描运动结束时所传输的喷射启动信号PTS1无效。
图3示出了头驱动控制电路130的电路图,头驱动控制电路130依照从粘度测量设备140传输过来的、指示“打开”或“关闭”的指示信号READY,使指示驱动喷射的开始的喷射启动信号PTS1有效或无效。
当向其提供喷射启动信号PTS1时,以及当指示信号READY表示“打开”时,“与”电路300传输与喷射启动信号PTS1相对应的喷射启动信号PTS2。相反,在指示信号READY表示“关闭”的同时提供了喷射启动信号PTS1的情况下,“与”电路300不传输喷射启动信号PTS2。
喷墨设备100的操作:
接下来,将参照概念性地示出了相关时序和操作的图4所示的流程图和图5和图6所示的时序图,给出对喷墨设备100的操作和效果的解释。
粘度测量设备140通过电极单元160按照预定的间隔(例如,5秒)测量液体储存箱150中的液体154的粘度(步骤S401)。例如,假设在步骤S401中对具有初始粘度13.3mPa·s的液体的粘度进行测量,粘度为14.1mPa·s(此后,称为测量粘度14.1mPa·s)。
应当注意的是,对测量粘度14.1mPa·s进行测量的时间对应于图5中的时序图所示的时间t12。
粘度测量设备140的确定单元174读取出存储在存储单元172中的粘度设定表(图2)(步骤S402),并确定测量粘度14.1mPa·s是否处于粘度设定范围内,即低于16.5mPa·s(步骤S403)。
在这种情况下,粘度测量设备140的确定部分174确定测量粘度1.4.1mPa·s处于粘度设定的范围内(步骤S403;是)。确定部分174还选择和读取出与测量粘度14.1mPa·s相对应的波形信号值“011”(步骤S404)。
粘度测量设备140的控制单元176通过连接线178向头驱动控制电路130传输用于以与读取出的波形信号值“011”相对应的驱动波形信号COM代替与针对初始粘度13.3mPa·s而设置的波形信号值“001”相对应的驱动波形信号COM的代替指示信号。当头驱动控制电路130接收到代替指示信号时,头驱动控制电路130的驱动波形数据发生单元134从其中存储了驱动波形信号COM的驱动波形数据存储单元131中读取出与波形信号值“011”相对应的驱动波形数据,并产生驱动波形信号COM(步骤S405)。然后,头驱动控制电路130的驱动波形数据发生单元131提供与读取出的波形信号值“011”相对应的驱动波形信号COM,代替与波形信号值“001”相对应的驱动波形信号COM。
之后,喷墨设备100通过使用粘度测量设备140,按照预定的时间间隔执行与上述步骤S401到S405所述相同的操作,例如,如图5的时序图所示,针对从执行了下一粘度测量的时间t45到产生了下一喷射启动信号PTS1的时间t5的时间段。
现在,将给出对在图4所示的步骤S401中对初始粘度为13.3mPa·s的液体154进行测量,其粘度为30.0mPa·s的情况进行解释。执行粘度测量的时间点对应于图6中的时间t12。
粘度测量设备140的确定单元174读取出存储在存储单元172中的粘度设定表(图2)(步骤S402),并确定测量粘度14.1mPa·s是否处于粘度设定范围内,即低于16.5mPa·s(步骤S403)。在这种情况下,确定单元174确定测量粘度30.0mPa·s不处于粘度设定的范围内(步骤S403;否)。
于是,如图6所示,与执行步骤S403的时间点t12同步,粘度测量设备140的控制单元176通过连接线178传输指示“关闭”的指示信号READY,以便使喷射启动信号PTS1无效。将指示信号READY施加于如图3所示的“与”电路300。由于在图6所示的时间点t2,信号READY指示“关闭”,在时间t2并未出现针对喷射启动信号PTS2的投影点。因此,中断喷射驱动(步骤S411)。此时,也中断X方向驱动设备110或Y方向驱动设备的驱动,并一直不恢复,直到恢复了喷射驱动为止。
在上述示例中,给出了对其中测量粘度为30.0mPa·s高于粘度设定的上限的情况的解释。但是,这也可以是如果测量粘度相反低到如5.0mPa·s,应当中断喷射驱动器的情况。在这种情况下,记录对应于图2中的波形信号值“000”,可以设置“12.5到13.0”的粘度范围。从而,通过设置粘度设定中的下限,在测量粘度过低而不适于喷射时,也可以中断喷射驱动器。
如前所述,按照本实施例的喷墨设备100响应液体粘度的变化,依照喷射数据,替代要施加的驱动波形信号,并且也考虑到具有超过预定粘度范围的高粘度的液体,中断喷射驱动器。因此,能够根据液体的粘度,直接应用适当的驱动波形信号;并中断对具有可能影响到所需液滴的产生的高或低粘度的液体的喷射的驱动。
<第二实施例>
按照第二实施例的喷墨设备的结构:
接下来,将给出对按照第二实施例的喷墨设备的解释。应当注意的是,本实施例的喷墨设备尤其在粘度测量设备140的结构上与图1所示不同。此后,将参照图7给出对用在本实施例中的粘度测量设备140A的解释。应当注意的是,为了避免相同解释的重复,将相同的参考数字应用在与图1中的喷墨设备100相似结构的组件上。在下面的其他实施例中也将采用这种相同的参考数字。
粘度测量设备140A提供了其中设置有晶体振荡器的测量电路162。晶体振荡器与浸入在液体154中的电极单元160相连。测量电路162测量晶体振荡器在电极单元160处的振荡频率,此振荡频率依赖于其中浸入了电极单元160的液体154的粘度。测量电路162计算晶体振荡器的测量振荡频率与固有振荡频率之间的比值,并根据该比值,测量填充在液体储存箱150中的液体的粘度。在液体储存箱150的底部表面处,设置了温度改变单元700,通过以高温和高压阀加热或者通过制冷阀制冷来改变液体的粘度。粘度确定设备170A的控制单元176A具有与图1所示的控制单元176相同的功能,而且如果确定单元174并未确定测量粘度处于粘度设定内(低于16.5mPa·s),也通过连接线178A提供用于驱动温度改变单元700的电压。
按照第二实施例的喷墨设备的操作:
接下来,将参照概念性地示出了相关时序和操作的图8所示的流程图和图9所示的时序图,给出对本实施例的喷墨设备的操作和效果的解释。省略了与图4所示相同的步骤S401到S405的详细解释。在以下的描述中,假定在与图2所示的前述粘度设定表相对应的本实施例的粘度设定表中,对于波形信号值“000”,设定从10.0mPa·s开始到低于16.5mPa·s的粘度范围。
由粘度测量设备140A利用电极单元160对其初始粘度为13.3mPa·s的液体154的测量显示当前液体154的粘度为32.0mPa·s(步骤S401)。
进行粘度测量的时间点对应于图9所示时序图的时间t12。
粘度测量设备140A的确定单元174读取出存储在存储单元172中的粘度设定表(步骤S402),并检查测量粘度32.0mPa·s是否处于粘度设定的范围内,即从10.0mPa·s开始到低于16.5mPa·s的范围内(步骤S403)。
在这种情况下,粘度测量设备140A的确定单元174确认32.0mPa·s的测量粘度不处于粘度设定的范围内。
接下来,执行与图4中的步骤S411相同的操作(S801)。
与此同时,当确认在步骤S401中所测得的32.0mPa·s的粘度超出了粘度设定范围的上限时(步骤S802;是),粘度测量设备140A的控制单元176A通过连接线178A向温度改变单元700提供电压,以便加热液体储存箱150(步骤S803-1)。
停止电压提供的时间对应于根据由粘度测量设备140A之后执行的另一粘度测量确定测量粘度处于粘度设定的范围内的时间。如果确定测量粘度处于粘度设定的范围内,粘度测量设备140A的控制单元176A停止向温度改变单元700提供电压(步骤S804-1)。
应当注意的是,其中执行步骤S801到S804的时间段对应于从时间t2到时间t232的时间段:图9中的时序图的t2表示由“与”电路(图2)根据喷射启动信号PTS1和指示“关闭”的指示信号READY确认中断喷射驱动的时间;而t232表示根据另一测量确认测量粘度处于粘度设定的范围内的时间。
接下来,粘度设备140A的控制单元176A通过连接线178向头驱动控制电路130提供表示“打开”的指示信号READY,以便使喷射启动信号PTS1有效。结果,恢复喷射驱动(步骤S805)。
执行步骤S805的时间对应于时序图图9所示的接收到喷射启动信号PTS2的时间t3。另一方面,例如,如果在步骤S802中确认测量粘度是5.0mPa·s,则粘度测量设备140A的控制单元176A通过连接线178A向温度改变单元700提供电压,以便对液体储存箱150进行冷却(步骤S803-2)。当根据由粘度测量设备140A之后所执行的另一粘度测量,确认测量粘度处于粘度设定的范围内时,粘度测量设备140A的控制单元176停止向温度改变单元700提供电压(步骤S804-2)。
如前所述,通过使用按照本实施例的喷墨设备,能够响应液体粘度的变化,替代要提供用于喷墨液滴的驱动波形信号。也能够中断对具有预定范围之外的粘度的液体的驱动喷射,并在中断期间改变粘度,从而使粘度变化为适于喷射。因此,能够根据液体的实际粘度施加驱动波形信号,并中断具有太高或太低而可能影响所需液滴的产生的粘度的液体的喷射驱动。
对第二实施例的喷墨设备的修改:
可以将以下修改应用于以上参照图7到图9所述的喷墨设备的使用。
本修改的喷墨设备与第二实施例所述的喷墨设备部分不同。在本修改中,喷墨设备并不执行与上述步骤S404和S405相对应的操作,而且图8流程图所示的前述步骤S403的操作也部分不同。而且,本修改的结构(参见图7)与上述实施例的区别在于:在存储在存储单元172中的粘度设定表中所包含的数据、以及确定单元174的确定处理。此后,将参照图7和图10,给出对此修改的解释。
在按照本修改的喷墨设备的存储单元中,所述存储单元对应于存储单元172,存储了要喷射的液体的粘度范围,例如“粘度范围(mPa·s):13.0到15.0”。
与确定单元174相对应的本示例的确定单元确定测量粘度是否处于所需的粘度范围内。
如果确定单元确定测量粘度处于所需的粘度范围内,控制单元176A依照事先设置的驱动波形信号COM,进行随后的喷射驱动。另一方面,如果确定测量粘度不处于所需的范围内,控制单元176A执行如图10所示的步骤S801到S805。
从而,按照本实施例的喷墨设备,能够中断具有预定范围之外的粘度的液体的喷射驱动,而且在中断期间,能够适当地加热或冷却液体储存箱,以使粘度变得适于喷射。因此,能够中断具有太高或太低而可能因此影响所需液滴的产生的粘度的液体的喷射驱动。
多种示例:
在第一和第二实施例中所描述的喷墨设备只是示例,而本发明并不局限于前述实施例,在不偏离本发明的范围和精神的前提下,可以对其进行多种修改和改进。
在上述第二实施例中,如图9所示,加热液体所需的时间段依赖于由粘度测量设备140A所测得的粘度是否改变并达到粘度的预定范围。但是,通过考虑液体的类型以及液体粘度变化的差别,可以根据相关曲线图预设加热液体所需的时间段和温度。在这种情况下,将基于相关曲线图的粘度变化表存储在用于向温度改变单元700提供电压的控制单元176A中。控制单元176A依照粘度变化表,提供与用于加热液体的温度相对应的电压电平相应的时间。这也可以应用于第二实施例所示的修改。
此外,假定在按照第一实施例的喷墨设备中,以预定的间隔(例如,5秒)来执行粘度测量。但是,通过预设开始测量时间,可以根据预设时间启动粘度测量。可选地,粘度测量的开始可以与提供喷射启动信号PTS1同步。这也可以应用于第二实施例及其修改。
此外,第一实施例中的喷墨设备通过使用具有喷射启动信号PTS1和指示信号READY的“与”电路300来确定喷射的中断。但是,可以根据施加到X方向驱动设备110或Y方向驱动设备120上的驱动电压的出现来确定喷射的中断。
在前述第一和第二实施例及其多种应用中,作为使包含导电材料的液滴附着在基片126上的特定位置上的设备,给出了对每个喷墨设备的解释。但是,此外,液滴喷射设备可以用于以彩色液体打印纸张、制造EL(电致发光)元件、抗蚀剂形成、形成滤色器或将液晶材料封装在液晶显示设备的玻璃衬底上、制造微透镜阵列、以及喷射用于测量生物物质的液体。
例如,本发明的喷墨设备可以是用于形成如空穴传送发射层和电子传送层等有机EL元件的层的设备,或者是用于形成无机EL元件的荧光发射层的设备。此外,本发明的喷墨设备可以是以下各种设备中的任何一个:用于涂覆光刻处理中的抗蚀剂以形成特定导电薄膜图案的设备;用于在微透镜阵列的制造中将光透射材料涂覆在包括多个凸出部分的母盘上的设备;用于喷射用于确定或测量如DNA(脱氧核糖核酸)等注入到如试管等容器中的生物物质的类型或质量的催化剂的设备;用于将众所周知的生物物质喷射到如培养皿等容器上的设备;等等。
<电子光学设备和电子设备>
现在,将给出对具有通过使用上述两个实施例中或其他多种应用中的液滴喷射设备而形成的滤色器的电子光学设备的描述,以及将给出对采用上述电子光学设备作为其显示单元的电子设备的描述。
图11是具有滤色器的电子光学设备的截面视图。如图所示,粗略地描述,电子光学设备1140包括用于向观察者侧发光的背光***1142和用于有选择地透射从背光***1142发射的光的无源型液晶显示板1144。液晶显示板1144包括基片1146、电极1148、定向膜1150、隔板1152、定向膜1154、电极1156和滤色器1160。由本发明的液滴喷射设备形成包括在滤色器1160中的红光滤色器1132R、绿光滤色器1132G和蓝光滤色器1132B的图案,并具有与设计值相同的厚度。而且,在每个滤色器1132R、1132G和1132B的背面,设置有用于保护每个滤色器的保护层1158。
通过隔板1152彼此面对的两个定向膜1150和1154之间的空间封装了液晶。在将驱动信号提供给电极1148和1156时,针对与每个滤色器1132R、1132G和1132B相对应的每个区域,液晶有选择地透射从背光***1142发出的光。
接下来,图12是具有安装在其上的电子光学设备1140的移动电话1200的外部视图。在此图中,移动电话1200除了包括多个操作按钮1210、接收器1220和话筒1230以外,还包括具有滤色器的电子光学设备1140作为用于显示如电话号码等多种信息的显示单元。
除了移动电话1200以外,借助于本发明的液滴喷射设备所制造的电子光学设备1140可以用作多种电子设备的显示单元,例如,计算机、投影仪、数码照相机、摄像机、PDA(个人数字助理)、车载设备、影印机或音频设备等。

Claims (25)

1、一种液滴喷射设备,包括:
液体储存装置,用于储存液体;
液滴喷射头,通过向其施加喷射波形,以液滴的形式,喷射从所述液体储存装置提供的液体;
测量装置,用于测量储存在所述液体储存装置中的液体的粘度;
确定装置,用于确定所测量的液体粘度是否处于可喷射的液体的范围内;
存储装置,用于存储与设置在所述可喷射的液体的范围内的粘度相对应的喷射波形;以及
控制装置,如果所述确定的结果是肯定的,则向所述液滴喷射头中的喷射施加喷射波形,所述喷射波形是存储在所述存储装置中并与由所述测量装置所测量的粘度相对应的一个喷射波形。
2、按照权利要求1所述的液滴喷射设备,
其特征在于如果由所述确定装置确定的结果是否定的,所述控制装置中断所述液滴喷射头中的喷射。
3、按照权利要求2所述的液滴喷射设备,其特征在于还包括:
粘度改变装置,用于改变所述液体储存装置中的液体的粘度,
其中如果所述确定的结果是否定的,所述控制装置中断所述液滴喷射头中的液体的喷射,以及通过所述粘度改变装置,改变所述液体储存装置中的液体的粘度,并使所述粘度达到所述可喷射的液体的范围内。
4、按照权利要求1到3之一所述的液滴喷射设备,
其特征在于所述测量装置包括:
电极单元,浸入在所述液体储存装置中的液体中;
振荡电路,与所述电极相连;
振荡频率测量单元,用于测量所述振荡电路在所述电极单元处的振荡频率;以及
粘度测量单元,根据测量的振荡频率与所述电极单元的固有振荡频率之间的比,测量粘度。
5、按照权利要求1到3之一所述的液滴喷射设备,
其特征在于对所述液滴喷射设备的使用在于:喷射用于打印的打印液体、用于形成导体图案的导电液体、用于形成显示设备中的滤色器的液晶材料或液体材料、用于形成EL(电致发光)层的EL材料的液体、用于形成抗蚀层的抗蚀剂液体、包含生化材料的生化液体和用于形成微透镜阵列的透光材料的液体之一。
6、一种通过使用按照权利要求1到3之一所述的液滴喷射设备制造的电子光学设备。
7、一种其上安装有电子光学设备的电子设备,通过使用按照权利要求1到3之一所述的液滴喷射设备制造所述电子光学设备。
8、一种通过使用按照权利要求1到3之一所述的液滴喷射设备制造电子光学设备的制造方法。
9、按照权利要求4所述的液滴喷射设备,
其特征在于对所述液滴喷射设备的使用在于:喷射用于打印的打印液体、用于形成导体图案的导电液体、用于形成显示设备中的滤色器的液晶材料或液体材料、用于形成EL(电致发光)层的EL材料的液体、用于形成抗蚀层的抗蚀剂液体、包含生化材料的生化液体和用于形成微透镜阵列的透光材料的液体之一。
10、一种通过使用按照权利要求4所述的液滴喷射设备制造的电子光学设备。
11、一种其上安装有电子光学设备的电子设备,通过使用按照权利要求4所述的液滴喷射设备制造所述电子光学设备。
12、一种通过使用按照权利要求4所述的液滴喷射设备制造电子光学设备的制造方法。
13、一种通过使用按照权利要求5所述的液滴喷射设备制造的电子光学设备。
14、一种其上安装有电子光学设备的电子设备,通过使用按照权利要求5所述的液滴喷射设备制造所述电子光学设备。
15、一种通过使用按照权利要求5所述的液滴喷射设备制造电子光学设备的制造方法。
16、一种液滴喷射设备,包括:
液体储存装置,用于储存液体;
液滴喷射头,以液滴的形式,喷射从所述液体储存装置提供的液体;
测量装置,用于测量储存在所述液体储存装置中的液体的粘度;
确定装置,用于确定所测量的液体粘度是否处于可喷射的液体的范围内;
粘度改变装置,用于改变所述液体储存装置中的液体的粘度;以及
控制装置,如果所述确定的结果是否定的,则中断所述液滴喷射头中的液体的喷射,以及通过所述粘度改变装置,改变所述液体储存装置中的液体的粘度,并使所述粘度达到可喷射的液体的所述范围。
17、按照权利要求16所述的液滴喷射设备,
其特征在于所述测量装置包括:
电极单元,浸入在所述液体储存装置中的液体中;
振荡电路,与所述电极相连;
振荡频率测量单元,用于测量所述振荡电路在所述电极单元处的振荡频率;以及
粘度测量单元,根据测量的振荡频率与所述电极单元的固有振荡频率之间的比,测量粘度。
18、按照权利要求16所述的液滴喷射设备,
其特征在于对所述液滴喷射设备的使用在于:喷射用于打印的打印液体、用于形成导体图案的导电液体、用于形成显示设备中的滤色器的液晶材料或液体材料、用于形成EL(电致发光)层的EL材料的液体、用于形成抗蚀层的抗蚀剂液体、包含生化材料的生化液体和用于形成微透镜阵列的透光材料的液体之一。
19、一种通过使用按照权利要求16所述的液滴喷射设备制造的电子光学设备。
20、一种其上安装有电子光学设备的电子设备,通过使用按照权利要求16所述的液滴喷射设备制造所述电子光学设备。
21、一种通过使用按照权利要求16所述的液滴喷射设备制造电子光学设备的制造方法。
22、一种用于控制液滴喷射设备的喷射控制方法,所述液滴喷射设备通过向其施加喷射波形,以液滴的形式喷射液体,所述液体由用于储存液体的液体储存装置提供,所述方法包括:
第一步骤,测量所述液体储存装置中的液体粘度;
第二步骤,确定液体的测量粘度是否处于可喷射的液体的范围内;以及
当所述第二步骤中的确定结果是肯定的时将与所述第一步骤中所测得的粘度相对应的喷射波形施加于喷射的步骤。
23、按照权利要求22所述的用于控制液滴喷射设备的喷射控制方法,其特征在于还包括:
第三步骤,当所述第二步骤中的确定结果是否定的时,中断液滴的喷射。
24、按照权利要求23所述的用于控制液滴喷射设备的喷射控制方法,
其特征在于所述第三步骤还用于改变所述液体储存装置中的液体的粘度,并使所述粘度达到可喷射的液体的所述范围内。
25、一种用于控制液滴喷射设备的喷射控制方法,所述液滴喷射设备以液滴的形式喷射液体,所述液体由用于储存液体的液体储存装置提供,所述方法包括:
第一步骤,测量所述液体储存装置中的液体的粘度;
第二步骤,确定测量粘度是否处于可喷射的液体的范围内;以及
中断液滴的喷射以及改变所述液体储存装置中的液体的粘度并使所述粘度达到可喷射的液体的所述范围内的步骤。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102673142A (zh) * 2011-03-11 2012-09-19 精工爱普生株式会社 流体排出装置
CN101790839B (zh) * 2007-08-01 2013-03-27 并木精密宝石株式会社 透镜致动器的驱动方法
CN105398216A (zh) * 2014-09-10 2016-03-16 精工爱普生株式会社 液体喷出装置及其控制方法、设备驱动程序和印刷***
CN107538915A (zh) * 2016-06-29 2018-01-05 佳能株式会社 喷墨打印装置及控制方法
WO2024037034A1 (zh) * 2022-08-16 2024-02-22 海南摩尔兄弟科技有限公司 电子雾化装置、电池杆、雾化器及其控制方法、存储介质

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101041087B1 (ko) * 2004-11-17 2011-06-13 삼성전자주식회사 배향제 분사장치
JP2009128537A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Seiko Epson Corp カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置および電子機器
JP2009128536A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Seiko Epson Corp カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置および電子機器
JP2009128535A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Seiko Epson Corp カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置および電子機器
FR2940627B1 (fr) * 2008-12-30 2014-09-12 Mgi France Dispositif d'impression par jet d'encre d'une composition de vernis pour substrat imprime.
JP5742368B2 (ja) * 2011-03-29 2015-07-01 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
JP2013208760A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Seiko Epson Corp 印刷装置および印刷方法
CN103316814A (zh) * 2013-06-06 2013-09-25 苏州阿斯兰自动化科技有限公司 一种自动印胶机构
WO2018024536A1 (en) * 2016-08-02 2018-02-08 OCE Holding B.V. Droplet property control in an inkjet print head
EP3623157B1 (en) * 2018-09-17 2021-06-30 Canon Production Printing Holding B.V. Method of controlling a jetting device

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59109370A (ja) * 1982-12-14 1984-06-25 Seiko Epson Corp インクジエツトヘツド
JPH03147851A (ja) * 1989-11-06 1991-06-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd インクジェットヘッド
CN1045745C (zh) * 1993-02-12 1999-10-20 特恩杰特有限公司 产生液滴的方法和装置
US6048050A (en) * 1993-10-21 2000-04-11 Xerox Corporation Electrorheological based droplet ejecting printer
JPH08310007A (ja) * 1995-05-19 1996-11-26 Oki Data:Kk シリアルプリンタ
EP0916505B1 (en) * 1997-04-16 2003-12-03 Seiko Epson Corporation Method of driving ink jet recording head
JP3488619B2 (ja) * 1998-02-20 2004-01-19 シャープ株式会社 インクジェットプリンタ装置
US6260408B1 (en) * 1998-05-13 2001-07-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Techniques for sensing the properties of fluids with a resonator assembly
EP1108541A4 (en) * 1998-07-29 2001-10-24 Nec Corp INK-JET RECORDING HEAD AND INK-JET RECORDER
US6540316B1 (en) * 1999-06-04 2003-04-01 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head and liquid discharge apparatus
JP2003084125A (ja) * 2001-07-04 2003-03-19 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶表示装置の製造方法及び製造装置、el発光層配設基板の製造方法及び製造装置、el発光装置の製造方法及び製造装置、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
JP3966034B2 (ja) * 2002-03-14 2007-08-29 セイコーエプソン株式会社 吐出パターンデータ生成方法および吐出パターンデータ生成装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101790839B (zh) * 2007-08-01 2013-03-27 并木精密宝石株式会社 透镜致动器的驱动方法
CN102673142A (zh) * 2011-03-11 2012-09-19 精工爱普生株式会社 流体排出装置
CN105398216A (zh) * 2014-09-10 2016-03-16 精工爱普生株式会社 液体喷出装置及其控制方法、设备驱动程序和印刷***
CN105398216B (zh) * 2014-09-10 2017-11-24 精工爱普生株式会社 液体喷出装置及其控制方法、印刷***
CN107538915A (zh) * 2016-06-29 2018-01-05 佳能株式会社 喷墨打印装置及控制方法
US10265951B2 (en) 2016-06-29 2019-04-23 Canon Kabushiki Kaisha Inkjet printing apparatus and control method
WO2024037034A1 (zh) * 2022-08-16 2024-02-22 海南摩尔兄弟科技有限公司 电子雾化装置、电池杆、雾化器及其控制方法、存储介质

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