JP2003251261A - 液滴吐出方法ならびにこの液滴吐出方法を用いて製造されたデバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】潤滑油や樹脂などといった高粘度の液体であっ
ても、液体を変質、変性させることなく吐出することの
できるインクジェット式吐出方法を提供する。 【解決手段】第１予備吐出工程において、機能性液体の
粘度を吐出ヘッドから吐出が可能な粘度まで低下させる
温度Ｔ１まで加熱して、機能性液体を所定領域以外に吐
出する。第２予備吐出工程において、吐出ヘッドの温度
を温度Ｔ１から機能性液体を変質、変性させない温度で
あって、かつ、本吐出工程においても吐出の継続が可能
な温度温度Ｔ２まで低下させながら機能性液体を所定領
域以外に吐出する。その後本吐出工程において、吐出ヘ
ッドの温度を温度Ｔ２に保持しながら機能性液体を所定
領域に吐出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタあるいはインクジェットプロッタなどで用いられ
ている記録方式を応用したインクジェット式吐出方法に
関する。更に詳しくは、高粘度の液体の吐出が可能で、
精密機械装置、カラーフィルタ、マイクロレンズ等の製
造に好適に採用できるインクジェット式吐出方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットプリンタやインクジェッ
トプロッタなどのインクジェット式装置に用いられてい
る吐出ヘッドは、たとえば、図５に示すように、ノズル
形成板２１０、キャビティ形成板２２０、および振動板
２３０を備えている。キャビティ形成板２２０は、キャ
ビティ（圧力発生室）２２１、側壁（隔壁）２２２、リ
ザーバ２２３、および導入路２２４を備えている。キャ
ビティ２２１は、シリコン等の基板をエッチングするこ
とにより形成され、吐出直前のインクを貯蔵する空間に
なっている。側壁２２１は、キャビティ２２１間を仕切
るように形成され、リザーバ２２３は、インクを各キャ
ビティ２２１に充たすための流路になっている。導入路
２２４は、リザーバ２２３から各キャビティ２２１にイ
ンクを導入可能に形成されている。

【０００３】ノズル形成板２１０は、キャビティ形成板
２２０に形成されたキャビティ２２１の各々に対応する
位置にノズル開口２１１が位置するよう、キャビティ形
成板２２０の一方の面に有機系あるいは無機系の接着剤
で貼り合わされている。ノズル形成板２１０を貼り合わ
せたキャビティ形成板２２０は、さらに筐体２２５に納
められて吐出ヘッド２００を構成している。

【０００４】振動板２３０は、キャビティ形成板２２０
の他方の面に有機系あるいは無機系の接着剤で貼り合わ
されている。振動板２３０の各キャビティ２２１の位置
に対応する部分にはそれぞれ圧力発生素子としての圧電
振動子（図示せず）が設けられている。また、振動板２
３０のリザーバ２２３の位置に対応する部分には、供給
口（図示せず）が形成されており、インクタンク（図示
せず）に貯蔵されてるインクをキャビティ形成板２２０
の内部に供給可能になっている。

【０００５】このようなインクジェット式装置によれ
ば、インクに代えて、潤滑油や樹脂等の液体を吐出すれ
ば、これらの液体を、対象物に非接触でかつ対象物上の
所定領域に高い精度で塗布できるという利点がある。従
って、精密機械装置の組み立てや電気光学装置を構成す
る各種基板を製造するのに利用できる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インクジェット式装置は、あくまで粘度の低いインクを
吐出することを前提に設計され、潤滑油や樹脂などの液
体を吐出することが想定されていない。特に、潤滑油や
樹脂などは、粘度が高くなりがちであるが、従来のイン
クジェット式装置の吐出ヘッドから吐出できるのは、ご
く限られた粘度の液体に限られるという問題点がある。

【０００７】そこで、液体を加熱してその粘度を低下さ
せることにより、吐出ヘッドからの吐出を可能とするこ
とが考えられる。しかし、この場合、吐出が可能な粘度
となるまで液体を加熱しようとすると、液体が熱により
変質、変性してしまうおそれがある。そのため、加熱で
きる温度には限界があり、液体が変質、変性しない程度
の加熱温度では充分に粘度が低下せず、依然として吐出
ができないという問題があった。

【０００８】以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、
潤滑油や樹脂などといった高粘度の液体であっても、液
体を変質、変性させることなく吐出することのできるイ
ンクジェット式吐出方法を提供すると共に、マイクロレ
ンズ、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンス
（ＥＬ）装置、精密機械装置等の製造を可能とするイン
クジェット式吐出方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者は上記課題を検
討した結果、一旦液体を吐出可能な粘度となる温度まで
加熱して吐出すると、その後液体の温度が吐出不能な粘
度となる温度まで低下しても、なお、継続して吐出可能
であることを見出した。また、吐出しない程度の波形を
ヘッドに加え続けておけば、一旦液体を吐出可能な粘度
となる温度まで加熱して吐出するのと同様の効果が得ら
れることを見出した。すなわち、変質、変性させること
なく吐出できる液体の範囲を拡大できることを見出し
た。

【００１０】すなわち、本発明は、吐出ヘッドのノズル
開口から対象物の所定領域に機能性液体を吐出する液滴
吐出方法において、少なくとも前記ノズル開口に位置す
る機能性液体を温度Ｔ１まで加熱して前記機能性液体を
前記所定領域以外に吐出する第１予備吐出工程と、前記
第１予備吐出工程の後、前記ノズル開口に位置する機能
性液体の温度を温度Ｔ１から温度Ｔ２まで低下させなが
ら前記機能性液体を前記所定領域以外に吐出する第２予
備吐出工程と、前記第２予備吐出工程の後、前記ノズル
開口に位置する機能性液体の温度を温度Ｔ２に保持しな
がら前記機能性液体を前記所定領域に吐出する本吐出工
程とを有し、前記温度Ｔ１は、前記機能性液体の粘度を
前記吐出ヘッドから吐出が可能な粘度まで低下させる温
度であり、前記温度Ｔ２は、前記機能性液体を変質、変
性させない温度であって、かつ、本吐出工程においても
吐出の継続が可能な温度であることを特徴とする液滴吐
出方法を提供する。

【００１１】また、本発明は、吐出ヘッドのノズル開口
から対象物の所定領域に機能性液体を吐出する液滴吐出
方法において、 少なくとも前記ノズル開口に位置する
機能性液体の温度を温度Ｔ１まで加熱して前記機能性液
体を前記所定領域以外の領域に吐出する第１予備吐出工
程と、前記ノズル開口に位置する機能性液体の温度を温
度Ｔ１から温度Ｔ２まで低下させながら前記機能性液体
を前記所定領域以外の領域に吐出する第２予備吐出工程
と、前記ノズル開口に位置する機能性液体の温度を温度
Ｔ２に保持しながら前記機能性液体を前記所定領域に吐
出する本吐出工程とを有し、前記温度Ｔ１は、前記機能
性液体の粘度を前記吐出ヘッドから吐出が可能な粘度ま
で低下させる温度であり、前記温度Ｔ２は、前記機能性
液体を変質、変性させない温度であって、かつ、本吐出
工程において吐出が可能な温度であることを特徴とする
液滴吐出方法を提供する。

【００１２】また、本発明は、キャビティと該キャビテ
ィと連通するノズル開口とを有する吐出ヘッドを用い、
前記キャビティ内の機能性液体を加圧して、前記ノズル
開口から対象物の所定領域に前記機能性液体を吐出する
液滴吐出方法において、 前記吐出ヘッドを温度Ｔ１ま
で加熱して前記機能性液体を前記所定領域以外の領域に
吐出する第１予備吐出工程と、前記吐出ヘッドの温度を
温度Ｔ１から温度Ｔ２まで低下させながら前記機能性液
体を前記所定領域以外の領域に吐出する第２予備吐出工
程と、前記吐出ヘッドの温度を温度Ｔ２に保持しながら
前記機能性液体を前記所定領域に吐出する本吐出工程と
を有し、 前記温度Ｔ１は、前記機能性液体の粘度を前
記吐出ヘッドから吐出が可能な粘度まで低下させる温度
であり、前記温度Ｔ２は、前記機能性液体を変質、変性
させない温度であって、かつ、本吐出工程において吐出
が可能な温度であることを特徴とする液滴吐出式吐出方
法を提供する。

【００１３】上記各発明によれば、予備吐出工程では、
対象物の所定領域以外に機能性液体を吐出する。すなわ
ち、対象物以外の場所に捨てたり、対象物の所定領域外
に吐出したりする。また、微振動を与える工程では、吐
出を行わない。そのため、温度Ｔ１が、前記機能性液体
を変質、変性させる温度であっても、所定領域に変質、
変性した機能性液体を吐出することを回避できる。ま
た、本吐出工程において予備吐出工程の温度より低温で
吐出を継続できるので、機能性液体を変質、変性させる
ことなく吐出することができる。

【００１４】本発明では、前記第１予備吐出工程におい
て、前記機能性液体が貯蔵されたタンクから前記機能性
液体を前記吐出ヘッドに供給する液供給路の全部又は一
部を温度Ｔ１まで加熱することができる。この場合、吐
出ヘッド内に収容される機能性液体の容量が少ない場合
にも、吐出開始に充分な量の機能性液体を加熱すること
ができる。

【００１５】また、前記全工程を通じて、前記機能性液
体が貯蔵されたタンクを温度Ｔ２以下で加熱することが
できる。この場合、第１予備吐出工程において、機能性
液体を温度Ｔ１までスムーズに加熱ができると共に、本
吐出工程において、機能性液体の温度を温度Ｔ２に保持
することが容易となる。

【００１６】本発明において、機能性液体は印刷や記録
を行う一般的なインクに限らず、いわゆる液滴吐出方式
で吐出される液体全般を意味する。たとえば、各種の樹
脂状の液体や潤滑油等を機能性液体として用いることが
できる。

【００１７】そこで、本発明は、前記機能性液体がマイ
クロレンズの形成材料であることを特徴とすることがで
きる。すなわち、本発明により、マイクロレンズの形成
材料を基板にドット状に吐出して、マイクロレンズを製
造することができる。また、本発明は、前記機能性液体
がカラーフィルタの形成材料であることを特徴とするこ
とができる。すなわち、本発明により、カラーフィルタ
の形成材料を基板に吐出して、カラーフィルタを製造す
ることができる。

【００１８】また、本発明は、前記機能性液体が有機エ
レクトロルミネッセンス装置の形成材料であることを特
徴とすることができる。すなわち、本発明により、有機
エレクトロルミネッセンス装置の形成材料を基板に吐出
して、有機エレクトロルミネッセンス装置を製造するこ
とができる。なお、有機エレクトロルミネッセンス装置
の形成材料としては、たとえば、発光層形成材料、正孔
注入／輸送層形成材料等が挙げられる。

【００１９】また、本発明は、前記機能性液体が潤滑油
であることを特徴とすることができる。すなわち、本発
明により、潤滑油を精密機械装置等に吐出することがで
きる。また、本発明は、本発明に係る液滴吐出方法によ
り製造されたことを特徴とするデバイスを提供する。

【００２０】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係る実施形態につ
いて詳細に説明する。 （インクジェット式装置の全体構成）図１は、本発明を
適用した液滴吐出装置であるインクジェット式装置の全
体構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、本
形態のインクジェット式装置１は、吐出ヘッド群１０
０、Ｘ方向駆動モータ２、Ｘ方向駆動軸４、Ｙ方向駆動
モータ３、Ｙ方向ガイド軸５、制御装置６、ステージ
７、クリーニング機構部８、および基台９を有してい
る。

【００２１】吐出ヘッド群１００は、複数の吐出ヘッド
Ｈを備えており、機能性液体が貯蔵されたタンク５００
から供給パイプ４００（各吐出ヘッドＨ毎に対応する液
供給路の集合）を介して供給された機能性液体を、各吐
出ヘッドＨから吐出するようになっている。ここで、吐
出ヘッド群１００、タンク５００、および供給パイプ４
００には、後述するように、第１ないし第３のヒータ３
１０、３２０、３３０が各々設けられている。

【００２２】ステージ７は、吐出ヘッド群１００から機
能性液体が吐出される基板Ｗを載置するためのものであ
り、この基板Ｗを所定の基準位置に固定する機構を有し
ている。

【００２３】Ｘ方向駆動軸４は、ボールねじなどから構
成され、端部にはＸ方向駆動モータ２が接続されてい
る。このＸ方向駆動モータ２は、ステッピングモータな
どであり、制御装置６からＸ軸方向の駆動信号が供給さ
れると、Ｘ方向駆動軸４を回転させる。このＸ方向駆動
軸４が回転すると、吐出ヘッド群１００がＸ方向駆動軸
４上をＸ方向に移動する。

【００２４】Ｙ方向ガイド軸５もボールねじなどから構
成されているが、基台９上に所定位置に配置されてい
る。このＹ方向ガイド軸５上にステージ７が配置され、
このステージ７はＹ方向駆動モータ３を備えている。こ
のＹ方向駆動モータ３は、ステッピングモータなどであ
り、制御装置６からＹ軸方向の駆動信号が供給される
と、ステージ７は、Ｙ方向ガイド軸５に案内されながら
Ｙ方向に移動する。このようにしてＸ軸方向の駆動とＹ
軸方向の駆動とを行うことにより、吐出ヘッド群１００
を基板Ｗ上の任意の場所に移動させることができる。

【００２５】後述の図２を参照して後述するように、制
御装置６は、吐出ヘッド群１００に機能性液体の吐出制
御用の信号を供給する駆動信号制御装置３１を備えてい
る。また、制御装置６は、Ｘ方向駆動モータ２およびＹ
方向駆動モータ３に吐出ヘッド群１００とステージ７と
の位置関係を制御する信号を供給するヘッド位置制御装
置３２を備えている。また、制御装置６は、後述の図４
に示す温度制御部３００を備えている。

【００２６】クリーニング機構部８は、吐出ヘッド群１
００をクリーニングする機構を備えている。このクリー
ニング機構部８は、Ｙ方向の駆動モータ（図示せず）を
備えており、この駆動モータの駆動により、クリーニン
グ機構部８はＹ方向ガイド軸５に沿って移動する。この
ようなクリーニング機構部８の移動も制御装置６によっ
て制御される。

【００２７】（吐出動作に関する制御系の構成）図２
は、本形態のインクジェット式装置１の制御系を示すブ
ロック図である。図２に示すように、本形態のインクジ
ェット式装置１において、制御装置６は、パーソナルコ
ンピュータなどから構成された駆動信号制御装置３１
と、ヘッド位置制御装置３２とを備えている。

【００２８】駆動信号制御装置３１は、吐出ヘッド群１
００を駆動するための波形を出力する。また、駆動信号
制御装置３１は、例えば、複数の吐出ヘッドＨのうち、
いずれの吐出ヘッドＨを用いて、どのタイミングで機能
性液体を吐出するかを示すビットマップデータも出力す
る。

【００２９】ここで、駆動信号制御装置３１は、アナロ
グアンプ３３と、タイミング制御回路３４とに接続され
ている。アナログアンプ３３は、上記波形を増幅して所
定の駆動電圧を得る回路である。タイミング制御回路３
４は、クロックパルス回路を内蔵しており、前記のビッ
トマップデータ、及びクロックパルス回路によって決定
される駆動周波数に従って、機能性液体の吐出タイミン
グを制御する回路である。

【００３０】アナログアンプ３３とタイミング制御回路
３４はいずれも、中継回路３５に接続され、この中継回
路３５は、タイミング制御回路３４から出力された所定
の駆動周波数のタイミング信号に従ってアナログアンプ
から出力された駆動電圧を吐出ヘッド群１００に出力す
る。

【００３１】なお、ヘッド位置制御装置３２は、吐出ヘ
ッド群１００とステージ７との位置関係を制御するため
の回路であり、駆動信号制御回路３１と協動して吐出ヘ
ッド群１００から吐出された機能性液体の液滴が基板Ｗ
上の所定の位置に着弾するように制御する。このヘッド
位置制御装置３２は、Ｘ−Ｙ制御回路３７に接続されて
おり、このＸ−Ｙ制御回路３７に対して吐出ヘッド群１
００とステージ７との相対位置に関する情報を出力す
る。

【００３２】Ｘ−Ｙ制御回路３７は、Ｘ方向駆動モータ
２およびＹ方向駆動モータ３に接続されており、ヘッド
位置制御装置３２から出力された信号に基づいて、Ｘ方
向駆動モータ２およびＹ方向駆動モータ３に対して、Ｘ
軸方向における吐出ヘッド群１００の位置、およびＹ軸
方向におけるステージ７の位置を制御する信号を出力す
る。

【００３３】（吐出ヘッドＨの構成）図３は、本形態の
インクジェット式装置１の吐出ヘッド群１００を構成す
る、個々の吐出ヘッドＨの分解斜視図である。図３に示
すように、本形態の吐出ヘッドＨは、概ね、ノズル形成
板押え１１０、ノズル形成板１２０、キャビティ形成板
１３０、振動板１４０、ケース１５０、圧力発生素子ア
センブリ１６０、ヒータハウジング１７０から構成され
ている。そして、ヒータハウジング１７０に、第１のヒ
ータ３１０として個々の吐出ヘッドＨ毎に設けられたカ
ートリッジヒータ１８０と、個々の吐出ヘッドＨ毎に設
けられた温度センサ１９０とが組み込まれている。

【００３４】まず、ノズル形成板押え１１０は矩形の金
属材などから構成され、それには、Ｌ字形状の貫通溝１
１１が形成されている。ノズル形成板押え１１０には、
四隅に貫通孔１１２が形成されているとともに、貫通溝
１１１を挟む両側には位置決め用の小孔１１３が形成さ
れている。さらに、ノズル形成板押え１１０には、余剰
な液を除去するための吸引パイプ１１６が接続されてい
る。

【００３５】ノズル形成板１２０は矩形の金属板であ
り、その中央にノズル開口１２１が形成されている。ノ
ズル形成板１２０には、四隅に貫通孔１２２が形成され
ているとともに、ノズル開口１２１を挟む両側には位置
決め用の小孔１２３が形成されている。ここで、ノズル
形成板１２０は、ノズル形成板押え１１０をノズル形成
板１２０の下面に重ねたとき、貫通孔１１２、１２２同
士が重なり、位置決め用の小孔１１３、１２３同士が重
なるように形成されている。

【００３６】なお、機能性液体が親水性を有する場合に
は撥水性の表面処理が施されたノズル形成板１２０を使
用し、機能性液体が撥水性を有する場合には親水性の表
面処理が施されたノズル形成板１２０を使用する。これ
により、機能性液体がノズル開口１２１の周辺に付着し
にくいという効果がある。また、ノズル開口１２１の大
きなノズル形成板１２０を使用するほど、高い粘度の機
能性液体を吐出しやすい。一方、機能性液体の粘度が低
い場合にはノズル開口１２１の小さなノズル形成板１２
０を使用する方が吐出量が安定する。

【００３７】キャビティ形成板１３０は、ノズル形成板
１２０より大きめの矩形のシリコン基板などから構成さ
れ、それには、ノズル開口１２１と連通可能な位置に形
成されたキャビティ（圧力発生室）１３１と、このキャ
ビティ１３１に対して括れ部分を介して接続するリザー
バ１３２とからなる流路１３３が形成されている。キャ
ビティ形成板１３０には、キャビティ形成板１３０の下
面にノズル形成板１２０を重ねたときにノズル形成板１
２０の貫通孔１２２と重なる４つの貫通孔１３４と、小
孔１２３と重なる位置決め用の小孔１３５とが形成され
ている。さらに、キャビティ形成板１３０において、そ
の長手方向の中央からリザーバ１３２が形成されている
領域にかけては、６つの貫通孔１３６が形成されている
とともに、小孔１３５よりもやや大きめの２つの位置決
め用孔１３７も形成されている。

【００３８】なお、流路１３３の断面積の大きなキャビ
ティ形成板１３０を使用するほど、高い粘度の機能性液
体を吐出しやすい。一方、機能性液体の粘度が低い場合
には流路１３３の断面積の小さなキャビティ形成板１３
０を使用する方が吐出量が安定する。

【００３９】振動板１４０は、キャビティ形成板１３０
と略同じ大きさの矩形の金属板から構成され、それに
は、振動板１４０をキャビティ形成板１３０の上面に重
ねたときに、キャビティ形成板１３０のキャビティ１３
１と重なる領域に肉薄の振動板部１４１が形成されてい
るとともに、リザーバ１３２と重なる領域には、供給口
１４２、および肉薄の伝熱部１４３が形成されている。
また、振動板１４０にはキャビティ形成板１３０の貫通
孔１３４、貫通孔１３６、位置決め用孔１３７と各々、
重なる貫通孔１４４、貫通孔１４６、位置決め用孔１４
７が形成されている。

【００４０】ケース１５０は、振動板１４０と略同じ大
きさの厚手の金属材から構成され、それには、振動板１
４０をケース１５０の下面に重ねたときに、キャビティ
１３１と重なる領域には素子配置用の第１の開口１５１
が形成され、伝熱部１４３と重なる領域には第２の開口
１５２が形成されている。また、ケース１５０には、振
動板１４０の貫通孔１４４、貫通孔１４６、位置決め用
孔１４７と各々、重なるねじ孔１５４、ねじ孔１５６、
位置決め用孔１５７が形成されている。

【００４１】ここで、ケース１５０は内部が部分的に中
空であり、ケース１５０の下面には振動板１４０の供給
口１４２と重なる第１の供給口（図示せず）が形成され
ているとともに、ケース１５０の後端面には、第１の供
給口と連通する第２の供給口（図示せず）が形成されて
いる。本形態では、ケース１５０の第２の供給口に対し
て、タンク５００（図１を参照）から延びてきた供給パ
イプ４００の吐出ヘッドＨ毎に対応する液供給路１０７
が、メッシュフィルタ１０８を介して接続されている。

【００４２】このように構成したケース１５０の下面に
対して、振動板１４０、キャビティ形成板１３０、ノズ
ル形成板１２０、およびノズル形成板押え１１０がこの
順に重ねた状態で取り付けられる。

【００４３】それにはまず、ケース１５０の下面に振動
板１４０、およびキャビティ形成板１３０をこの順に重
ねた状態で、各位置決め孔１３７、１４７、１５７に対
して位置決めピン１０１を差し込んでこれらの板材を位
置決めした後、ねじ（図示せず）を貫通孔１３６、１４
６を介してねじ孔１５６に止めてケース１５０の下面
に、振動板１４０、およびキャビティ形成板１３０をこ
の順に重ねた状態で固定する。

【００４４】次に、キャビティ形成板１３０の下面にノ
ズル形成板１２０、およびノズル形成板押え１１０をこ
の順に重ねた状態で、各位置決め用の小孔１１３、１２
３、１３５に対して位置決めピン１０３を差し込んでこ
れらの板材を位置決めした後、ねじ（図示せず）を貫通
孔１１２、１２２、１３４、１４４を介してねじ孔１５
４に止め、ケース１５０の下面に対して、振動板１４
０、キャビティ形成板１３０、ノズル形成板１２０、お
よびノズル形成板押え１１０をこの順に重ねた状態で固
定する。

【００４５】これに対して、ケース１５０の上方では、
圧電振動子からなる圧力発生素子１６１を備える圧力発
生用素子アセンブリ１６０をその下端側から素子配置用
の第１の開口１５１に装着する。この際、圧力発生用素
子アセンブリ１６０の下端部（圧力発生素子１６１の下
端部）と振動板１４０の振動板部１４１とを接着剤で固
定する。

【００４６】また、ケース１５０の上方には、圧力発生
用素子アセンブリ１６０に被さるように、金属製のヒー
タハウジング１７０を取り付ける。ここで、ヒータハウ
ジング１７０には、それをケース１５０の上方に重ねた
ときに、ケース１５０に形成されたねじ孔（図示せず）
に重なる貫通孔が形成されている。従って、ヒータハウ
ジングの貫通孔からケース１５０のねじ孔に対してねじ
（図示せず）を各々止めれば、ケース１５０の上方にヒ
ータハウジング１７０を固定することができる。

【００４７】ここで、ヒータハウジング１７０には、横
方向に貫通するヒータ装着孔１７２が形成されており、
このヒータ装着孔１７２には、丸棒状のカートリッジヒ
ータ１８０が装着される。また、ヒータハウジング１７
０の上面に形成されている段差部分を利用して、一点鎖
線で示すように、温度センサ１９０が搭載され、この温
度センサ１９０は、Ｌ字プレートやねじ（図示せず）に
よってヒータハウジング１７０に固定されている。

【００４８】このように構成した吐出ヘッドＨにおい
て、図２を参照して説明した中継回路３５から圧力発生
素子１６１に所定の駆動電圧を印加すると、この圧力発
生素子１６１の変形に伴って、振動板１４０の振動板部
１４１が振動する。その間に、キャビティ１３１の容積
が膨張した後、キャビティ１３１の容積が収縮し、キャ
ビティ１３１に正圧が発生する。その結果、キャビティ
１３１内の機能性液体は、ノズル開口１２１から液滴と
して基板Ｗ上の所定位置に吐出される。

【００４９】（温度制御のための構成）図４は、図１に
示すインクジェット式装置の温度制御のための構成を示
すブロック図である。図４に示すように、吐出ヘッド群
１００には第１のヒータ３１０、および第１の温度セン
サ３１５（図３の温度センサ１９０の集合）を設けると
ともに、タンク５００に対しては、第２のヒータ３２
０、および第２の温度センサ３２５を設ける。さらに、
供給パイプ４００には、第３のヒータ３３０、および第
３の温度センサ３３５を設ける。なお、各部位には、保
温材なども配置されるが、図４には図示を省略してあ
る。

【００５０】温度制御部３００は、図１に示す制御装置
６に設けられ、第１の温度センサ３１５、第２の温度セ
ンサ３２５、および第３の温度センサ３３５は、吐出ヘ
ッド群１００、タンク５００、および供給パイプ４００
に対する各温度監視結果を温度制御部３００に出力する
ように構成されている。そして、これらの温度センサ３
１５、３２５、３３５の温度監視結果に基づいて、温度
制御部３００は、第１のヒータ３１０、第２のヒータ３
２０、および第３のヒータ３３０を個別に制御する。こ
のため、本実施形態においては、吐出ヘッド群１００、
タンク５００、および供給パイプ４００の温度を各々独
立して所定の温度に制御することができる。

【００５１】さらに、吐出ヘッド群１００についは、個
々の吐出ヘッドＨに組み込まれた温度センサ１９０の温
度監視結果に基づいて、個々のカートリッジヒータ１８
０を個別に制御する。このため、本実施形態において
は、個別に加熱量を調整することができるので、個々の
吐出ヘッドＨ毎に温度が異ならないように、均一な温度
調整が可能である。また、個々の吐出ヘッドＨ間に断熱
材を設ければ、個々の吐出ヘッドＨ毎に、個別の温度と
なるように制御することも可能である。

【００５２】また、第３のヒータ３３０は、供給パイプ
４００全体に設けても良く、供給パイプ４００の吐出ヘ
ッド群１００近傍のみに設けても良い。また、供給パイ
プ４００の吐出ヘッド群１００近傍と、供給パイプ４０
０のタンク５００近傍とに別個に設けて、吐出ヘッド群
１００近傍の温度を、タンク５００近傍の温度よりも高
く設定できるようにしても良い。さらに、個々の吐出ヘ
ッドＨに対応する液供給路１０７の温度を、個別に設定
する必要がある場合は、個々の液供給路１０７毎にヒー
タを設けても良い。

【００５３】（吐出方法）図１に示すインクジェット式
装置で、基板Ｗに機能性液体を吐出する方法について説
明する。まず、第１予備吐出工程を行う。第１予備吐出
工程では、第１のヒータ３１０で吐出ヘッド群１００を
温度Ｔ１に加熱する。この温度Ｔ１は、機能性液体の粘
度を吐出ヘッドＨから吐出可能な粘度まで低下させる温
度である。または、予備吐出を行わず、吐出しない程度
の駆動波形をヘッドに印加して機能性液体に微振動を与
えてもよい。そして、この加熱の結果吐出が可能な粘度
となった機能性液体を、吐出ヘッドＨから吐出する。た
だし、このとき、吐出される機能性液体は基板Ｗ上の機
能性液体を吐出すべき領域（所定領域）には吐出せず、
基板Ｗ以外の場所、又は所定領域以外の基板Ｗ上に吐出
する。これにより、加熱により変質、変性している可能
性のある機能性液体を、所定領域に吐出することを回避
することができる。

【００５４】第１予備吐出工程においては、必要に応じ
て、第３のヒータ３３０で供給パイプ４００を温度Ｔ１
に加熱する。この供給パイプ４００の加熱は、吐出ヘッ
ド群１００内に収容される機能性液体の量が少量で、吐
出ヘッド群１００の加熱のみでは吐出が開始できない場
合に有効である。ただし、吐出ヘッド群１００のみの加
熱で吐出開始が可能であれば、供給パイプ４００の加熱
は行わないか、吐出ヘッド群１００の加熱温度よりも、
低い温度で加熱することが好ましい。これにより、変
質、変性する機能性液体の範囲を低く抑えることができ
る。

【００５５】次に、第２予備吐出工程を行う。第２予備
吐出工程では、第１のヒータ３１０による吐出ヘッド群
１００の加熱を中止する。また、供給パイプ４００を加
熱していた場合は、その加熱も中止する。そして、自然
放冷、又は水冷等の強制放冷により吐出ヘッド群１００
を温度Ｔ２まで冷却する。この温度Ｔ２は、機能性液体
を変質、変性せさない温度である。または、予備吐出を
行わず、吐出しない程度の駆動波形をヘッドに印加して
機能性液体に微振動を与えてもよい。そして、第２予備
吐出工程のこの放冷の期間中も、第１予備吐出工程に続
けて、機能性液体の吐出ヘッドＨからの吐出を継続す
る。このように、吐出を継続すると、機能性液体の粘度
が、本来であれば吐出が不可能となる温度以下となって
も吐出を継続させることができる。しかし、温度を低下
させすぎると、吐出の継続も困難となるので、温度Ｔ２
は、機能性液体の種類や吐出ヘッドの性能に応じた個別
の実験により、吐出継続が可能なことを確認できた温度
以上とする。

【００５６】この第２吐出工程において吐出される機能
性液体も、基板Ｗ上の機能性液体を吐出すべき領域（所
定領域）には吐出せず、基板Ｗ以外の場所、又は所定領
域以外の基板Ｗ上に吐出する。これにより、既に加熱の
影響により変質、変性している可能性のある機能性液体
を、所定領域に吐出することを回避することができる。

【００５７】次に、本吐出工程を行う。本吐出工程で
は、温度Ｔ２を維持しながら、第２予備吐出工程に続け
て、機能性液体の吐出ヘッドＨからの吐出を継続する。
このように、吐出を継続すると、温度Ｔ２における機能
性液体の粘度が、本来であれば吐出が不可能となる粘度
であっても吐出を継続させることができる。なお、温度
Ｔ２が雰囲気温度よりも高温の場合には、吐出ヘッド群
１００を加熱して、温度Ｔ２を維持できるようにする。

【００５８】この本吐出工程において吐出される機能性
液体は、基板Ｗ上の機能性液体を吐出すべき領域（所定
領域）には吐出する。この場合、機能性液体を変質、変
性せさない温度Ｔ２において吐出されるので、変質、変
性の懸念なく、所定領域に吐出することができる。

【００５９】なお、必要により、全吐出工程を通じて第
２のヒータ３２０でタンク５００を加熱して機能性液体
を予熱する。これにより、第１予備吐出工程において、
機能性液体を温度Ｔ１までスムーズに加熱ができると共
に、本吐出工程において、機能性液体の温度を温度Ｔ２
に保持することが容易となる。この場合、少なくとも、
長時間加熱しても機能性液体を変質、変性させないよ
う、加熱温度を低く抑えておく必要がある。予熱の目的
であること、長時間加熱することを考慮すると、タンク
５００の加熱温度は温度Ｔ２以下とするのが適当であ
る。

【００６０】（マイクロレンズの製造）上記実施形態の
吐出方法でマイクロレンズを製造する方法について説明
する。マイクロレンズは、透明基板にマイクロレンズの
形成材料を吐出して、これを硬化処理することにより製
造される。

【００６１】マイクロレンズの形成材料としては、たと
えば、ポリメチルメタクリレート、ポリヒドロキシエチ
ルメタクリレート、ポリシクロヘキシルメタクリレート
などのアクリル系樹脂、ポリジエチレングリコールビス
アリルカーボネート、ポリカーボネートなどのアリル系
樹脂、メタクリル樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエス
テル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系
樹脂、セルロース系樹脂、ポリアミド系樹脂、フッ素系
樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂など
の熱可塑性または熱硬化性の光透過性樹脂、又はこれら
の樹脂を混合したものが挙げられる。また、このような
光透過性樹脂にビイミダゾール系化合物などの光重合開
始剤を配合することにより、使用する光透過性樹脂を放
射線照射硬化型のものとして用いてもよい。

【００６２】透明基板としては、得られるマイクロレン
ズを例えばスクリーン用の光学膜などに適用する場合、
酢酸セルロースやプロピルセルロース等のセルロース系
樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリエステルなどの透明樹脂（光透過性樹脂）から
なる透明シートあるいは透明フィルムが用いられる。ま
た、マイクロレンズをマイクロレンズアレイなどに適用
する場合には、透明基板として、ガラス、ポリカーボネ
イト、ポリアリレート、ポリエーテルサルフォン、アモ
ルファスポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリメチルメタクリレートなどの透明材料（光透過
性材料）からなる基板が使用される。

【００６３】この透明基板には、マイクロレンズの形成
材料の吐出に先立ち、マイクロレンズの非形成箇所に撥
液パターンを、またマイクロレンズの形成箇所に親液パ
ターンを形成する。これにより、形成されるマイクロレ
ンズの形状を良好なものとすることができる。

【００６４】そして、この透明基板上のマイクロレンズ
の形成箇所にインクジエット式の吐出ヘッドから、マイ
クロレンズの形成材料を上記実施形態の吐出方法に従っ
て複数滴吐出する。この場合、マイクロレンズの形成材
料が高粘度であっても、上記吐出方法を採用することに
より、吐出が容易となる。そのため、一つのマイクロレ
ンズを形成するために必要な吐出数を少なくすることが
できる。

【００６５】その後、このようにして略半球状に形成し
たマイクロレンズの形成材料に対して、加熱処理、減圧
処理、加熱減圧処理などの乾燥処理、あるいは前述した
ように光透過性樹脂が放射線照射硬化型である場合に、
紫外線等の放射線照射処理を行うことにより、これを硬
化してマイクロレンズとする。

【００６６】このようにして得られたマイクロレンズ
は、例えば液晶プロジェクターシステムにおいて像を明
るくする目的でスクリーン表面に形成されるマイクロレ
ンズ、光ファイバの光インタコネクションやレーザー用
の集光素子、さらには固体撮像素子において入射光を集
めるためのレンズ、等として用いることができる。

【００６７】本実施形態の製造方法によれば、成形金型
を必要としないことなどによって製造コストの低減化を
図ることができる。また、本実施形態の製造方法により
製造されるマイクロレンズは、液滴の吐出個数によって
形成するマイクロレンズの大きさや形状が任意に決定で
きるので、所望する大きさや形状のものとすることが容
易で、設計通りの光学特性を発揮するものとなる。

【００６８】（カラーフィルタの製造）上記実施形態の
吐出方法でカラーフィルタを製造する方法について説明
する。カラーフィルタは、透明基板にカラーフィルタの
形成材料を吐出して、これを硬化処理することにより製
造される。

【００６９】カラーフィルタの形成材料としては、たと
えば、各色の無機顔料により着色したアクリル樹脂やポ
リウレタン樹脂等に、溶剤を加えたもの等が用いられ
る。

【００７０】透明基板としては、適度の機械的強度と共
に光透過性の高いものを用いる。例えば、透明ガラス基
板、アクリルガラス、プラスチック基板、プラスチック
フィルム及びこれらの表面処理品等が適用できる。

【００７１】この透明基板には、カラーフィルタの形成
材料の吐出に先立ち表面の撥液性を調整する処理を行
う。まず、カラーフィルタの非形成箇所にブラックマト
リックスを形成すると共に表面を撥液化する。またカラ
ーフィルタの形成箇所を親液化する。これにより、カラ
ーフィルタを正確に所定の箇所に設けることができる。
また、ブラックマトリクスにより、カラーフィルタ以外
の箇所から光が透過することを防止できる。また、異な
る色のカラーフィルタ形成材料同士が混合しないよう
に、バンクと呼ばれる隔壁を設けて区画してもよい。

【００７２】そして、この透明基板上のカラーフィルタ
の形成箇所にインクジエット式の吐出ヘッドから、カラ
ーフィルタの形成材料を上記実施形態の吐出方法に従っ
て複数滴吐出する。この場合、カラーフィルタの形成材
料が高粘度であっても、上記吐出方法を採用することに
より、吐出が容易となる。そのため、一つのカラーフィ
ルタを形成するために必要な吐出数を少なくすることが
できる。

【００７３】その後、このようにして吐出したカラーフ
ィルタの形成材料を加熱し、溶媒の除去乾燥を行って、
カラーフィルタとする。このようにして得られたカラー
フィルタは、例えば、液晶装置の一方の基板側に配置し
て、フルカラー表示が可能な液晶装置とすることができ
る。

【００７４】（有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）
装置の製造）上記実施形態の吐出方法で有機エレクトロ
ルミネッセンス装置を製造する方法について説明する。
有機エレクトロルミネッセンス装置の製造工程は、隔壁
形成工程と、正孔注入／輸送層形成工程と、発光層形成
工程と、陰極形成工程と、封止工程とから基本的に構成
される。これらの工程の内、上記実施形態の吐出方法を
好適に適用できるのは、正孔注入／輸送層形成工程と、
発光層形成工程である。

【００７５】隔壁形成工程では、必要に応じてＴＦＴ等
が予め設けられている基板に形成されたＩＴＯ等からな
る透明電極上に、各画素領域を隔てるバンク層（隔壁）
を形成する。

【００７６】正孔注入／輸送層形成工程では、有機エレ
クトロルミネッセンス装置の形成材料として、正孔注入
／輸送層形成材料を上記実施形態の吐出方法を用いて、
各画素領域に吐出する。正孔注入／輸送層形成材料とし
ては、たとえば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PED
OT)等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン
酸(PSS)等の混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を
用いることができる。極性溶媒としては、例えば、イソ
プロピルアルコール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−
ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３
−ジメチル−２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導
体、カルビト−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセ
テート等のグリコールエーテル類等を挙げることができ
る。吐出後の正孔注入／輸送層形成材料を乾燥処理して
正孔注入／輸送層形成材料に含まれる極性溶媒を蒸発さ
せることにより、正孔注入／輸送層が形成される。

【００７７】次に、発光層形成工程では、有機エレクト
ロルミネッセンス装置の形成材料として、発光層形成材
料を上記実施形態の吐出方法を用いて、各画素領域の正
孔注入／輸送層上に吐出する。発光層形成材料は、各色
に対応した有機エレクトロルミネッセンス材料等の溶質
成分と非極性溶媒とから構成される。有機エレクトロル
ミネッセンス材料としては、フルオレン系高分子誘導体
や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェ
ニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカル
バゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、ク
マリン系色素、ローダミン系色素、その他ベンゼン誘導
体に可溶な低分子有機ＥＬ材料、高分子有機ＥＬ材料等
が挙げられる。非極性溶媒としては、先に形成した正孔
注入／輸送層に対して不溶なものが好ましく、例えば、
シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、ト
リメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等が挙げられ
る。吐出後の発光層形成材料を乾燥処理することにより
発光層形成材料に含まれる非極性溶媒を蒸発させること
により、発光層が形成される。

【００７８】次に陰極形成工程では、発光層及びバンク
層の全面に陰極を形成する。また、封止工程では、陰極
上の全面に熱硬化樹脂または紫外線硬化樹脂からなる封
止材を塗布し、封止層を形成する。さらに、封止層上に
封止用基板を積層する。以上の工程により有機エレクト
ロルミネッセンス装置を製造することができる。

【００７９】（精密機械装置への潤滑油の吐出）精密機
械の所定位置に、本実施形態の吐出方法により潤滑油を
吐出することができる。精密機械装置としては、たとえ
ば腕時計用のムーブメントが挙げられる。また、潤滑油
を吐出すべき所定位置としては、ムーブメントの軸受
部、歯車部などが挙げられる。

【００８０】

【実施例】（試料）機能性液体として、グリセリン、エ
チレングリコール、純水、及び界面活性剤（オルフィン
Ｅ１０１０、信越化学工業（株）製）を種々の割合で混
合した各種試料を調製した。表１に、各試料における各
成分の混合量を記す。

【００８１】 ［表１］ （単位ｍＬ） グリセリン エチレンク゛リコール 純水 界面活性剤 試料１ ０ 原液使用 ０ ０ 試料２ ２３１ ３３０ ５５ ５ 試料３ ２３０ ３００ ３７ ５．５ 試料４ １６ １６ １．７ ０．３ 試料５ 試料６ ２２ １８ ２．２ ０．３３ 試料７ 試料８ 試料９ ２００ ４５ ０ １．５

【００８２】（粘度測定）調製した各試料について２５
℃における粘度を測定した。また、試料５〜９について
は、温度を種々変更した際の粘度も測定した。粘度の測
定は、山一電機（株）製のディジタルビスコメータ Ｖ
Ｍ−１００を用いて測定し、容器に入れた被測定液体
を、さらに温度制御ができるようにした別の水が入った
容器につけて液体温度を一定に保ち測定した。その結果
を表２、表３に示す。

【００８３】

【００８４】 ［表３］ （単位ｍＰａ・ｓ） 25℃ 40℃ 45℃ 50℃ 55℃ 60℃ 65℃ 70℃ 75℃ 試料9 306 134 106 90.2 71.6 56.6 42.2 35.0 29.8

【００８５】（吐出ヘッドの吐出能力）エプソン社製の
液滴吐出ヘッドから、上記試料１〜９を吐出し、吐出の
可否を調べた。吐出の条件は、駆動電圧３２Ｖ、駆動周
波数１[Ｈｚ]とした。また、試料及び吐出ヘッドの温度
は２５℃に調整して吐出した。結果を表４に示す。

【００８６】 ［表４］ 吐出結果 試料１ 吐出可能 試料２ ９０分間連続して吐出確認し、その後手動で停止した。 試料３ ９０分間連続して吐出確認し、その後手動で停止した。 試料４ １５〜２０分間連続して吐出後、吐出不能となった。 試料５ 初めから吐出不能であった。 試料６ 初めから吐出不能であった。 試料７ 初めから吐出不能であった。 試料８ 初めから吐出不能であった。試料９ 初めから吐出不能であった。

【００８７】表４に示した結果から、本吐出ヘッドは粘
度５０ｍＰａ・ｓ前後の液体まで吐出可能であるが、そ
れ以上高い粘度では吐出が困難であることがわかった。

【００８８】（試料７の吐出）本吐出ヘッドの温度を、
４５℃に加熱して試料７の吐出を行った。試料７の４５
℃における粘度は３６．０ｍＰａ・ｓなので、この状態
での吐出に問題はなく、安定した状態で吐出が開始され
た。この４５℃における吐出を６０分間続けた後、吐出
を継続しつつ、吐出ヘッドの加熱を中止して自然放冷に
より、約７分かけて３０℃まで温度を低下させた。その
後、吐出ヘッドの温度を３０℃に保持しつつ、さらに吐
出を継続させたところ１０分以上連続して吐出が可能で
あった。この試料７の３０℃における粘度は７２．７ｍ
Ｐａ・ｓと高粘度であって、本来であれば吐出不能であ
る。しかし、一旦４５℃に加熱して３６．０ｍＰａ・ｓ
まで粘度を低下させると、その後温度が低下しても吐出
が継続できることがわかった。

【００８９】（試料９の吐出）本吐出ヘッドの温度を、
７０℃に加熱して試料９の吐出を行った。試料９の７０
℃における粘度は３５．０ｍＰａ・ｓなので、この状態
での吐出に問題はなく、安定した状態で吐出が開始され
た。この７０℃における吐出を１０分間続けた後、吐出
を継続しつつ、吐出ヘッドの加熱を中止して自然放冷に
より、約７分かけて５０℃まで温度を低下させた。その
後、吐出ヘッドの温度を５０℃に保持しつつ、さらに吐
出を継続させたところ６０分以上連続して吐出が可能で
あった。この試料９の５０℃における粘度は９０．２ｍ
Ｐａ・ｓと高粘度であって、本来であれば吐出不能であ
る。しかし、一旦７０℃に加熱して３５．０ｍＰａ・ｓ
まで粘度を低下させると、その後温度が低下しても吐出
が継続できることがわかった。

【００９０】なお、上記実施例では、本発明の液滴吐出
方法により製造されるデバイスの例として、マイクロレ
ンズ、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンス
装置を示したが、これに限定されるものではなく、例え
ばカラーフィルタの保護膜形成や半導体などの基板への
金属配線、メガネ等光学部品のハードコーティングな
ど、吐出ヘッドにより吐出される液体（微粒子が含有し
た液状体を含む）により成膜されて形成される様々なも
のに適用が可能である。

【００９１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェット式吐出方法によれば、一旦液体を吐出可能な粘度
となる温度まで加熱して吐出を開始し、その後液体の温
度を低下させてから本来吐出すべき箇所に吐出するの
で、高粘度の機能性液体を、変質、変性させることなく
吐出できる。したがって、本発明によれば、マイクロレ
ンズ、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンス
装置、精密機械装置等を、効率よく、しかも品質を低下
させずに製造することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明を適用したインクジェット式装置の構
成を示す概略斜視図である。

【図２】 図１に示すインクジェット式装置の吐出動作
に対する制御系の構成を示すブロック図である。

【図３】 図１に示すインクジェット式装置の吐出ヘッ
ドの構成を示す分解斜視図である。

【図４】 図１に示すインクジェット式装置の温度制御
のための構成を示すブロック図である。

【図５】 従来のインクジェット式装置の吐出ヘッドの
構成を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

１ インクジェット式装置 ３ Ｙ方向駆動モータ ４ Ｘ方向駆動軸 ５ Ｙ方向ガイド軸 ６ 制御装置 ７ ステージ ８ クリーニング機構部 ９ 基台 ３１ 駆動信号制御装置 ３２ ヘッド位置制御装置 １００ 吐出ヘッド群 ４００ 供給パイプ ５００ タンク １２１ ノズル開口 １３０ キャビティ形成板 ３００ 温度制御部 ３１０、３２０、３３０ ヒータ ３１５、３２５、３３５ 温度センサ Ｗ 基板

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H048 BA64 BB02 BB42 4D075 AC07 AC09 AC88 AC96 BB22X BB93X CA09 CB06 CB08 DA04 DA06 DB13 DB33 DB36 DB38 DB43 DB48 DB55 DC16 DC24 EA07 EA15 EA37 EB13 EB14 EB15 EB16 EB19 EB22 EB35 EB38 EB39 EB43 EB44 EC07 EC11 EC17 4F041 AA02 AA04 AA05 AB02 BA10 BA13 BA22 BA35 BA47 BA48

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吐出ヘッドのノズル開口から対象物の所
   定領域に機能性液体を吐出する液滴吐出方法において、 少なくとも前記ノズル開口に位置する機能性液体の温度
   を温度Ｔ１まで加熱して前記機能性液体を前記所定領域
   以外の領域に吐出する第１予備吐出工程と、前記ノズル
   開口に位置する機能性液体の温度を温度Ｔ１から温度Ｔ
   ２まで低下させながら前記機能性液体を前記所定領域以
   外の領域に吐出する第２予備吐出工程と、前記ノズル開
   口に位置する機能性液体の温度を温度Ｔ２に保持しなが
   ら前記機能性液体を前記所定領域に吐出する本吐出工程
   とを有し、 前記温度Ｔ１は、前記機能性液体の粘度を前記吐出ヘッ
   ドから吐出が可能な粘度まで低下させる温度であり、前
   記温度Ｔ２は、前記機能性液体を変質、変性させない温
   度であって、かつ、本吐出工程において吐出が可能な温
   度であることを特徴とする液滴吐出方法。
2. 【請求項２】 吐出ヘッドのノズル開口から対象物の所
   定領域に機能性液体を吐出する液滴吐出方法において、 少なくとも前記ノズル開口に位置する機能性液体の温度
   を温度Ｔ１まで加熱して、吐出しない程度の駆動波形を
   前記ヘッドに印加して、前記機能性液体に微振動を与え
   る工程と、前記ノズル開口に位置する機能性液体の温度
   を温度Ｔ１から温度Ｔ２まで低下させながら、吐出しな
   い程度の駆動波形をヘッドに印加して、前記機能性液体
   に微振動を与える工程と、前記ノズル開口に位置する機
   能性液体の温度を温度Ｔ２に保持しながら前記機能性液
   体を前記所定領域に吐出する本吐出工程とを有し、 前記温度Ｔ１は、前記機能性液体の粘度を前記吐出ヘッ
   ドから吐出が可能な粘度まで低下させる温度であり、前
   記温度Ｔ２は、前記機能性液体を変質、変性させない温
   度であって、かつ、本吐出工程において吐出が可能な温
   度であることを特徴とする液滴吐出方法。
3. 【請求項３】 キャビティと該キャビティと連通するノ
   ズル開口とを有する吐出ヘッドを用い、前記キャビティ
   内の機能性液体を加圧して、前記ノズル開口から対象物
   の所定領域に前記機能性液体を吐出する液滴吐出方法に
   おいて、 前記吐出ヘッドを温度Ｔ１まで加熱して前記機能性液体
   を前記所定領域以外の領域に吐出する第１予備吐出工程
   と、前記吐出ヘッドの温度を温度Ｔ１から温度Ｔ２まで
   低下させながら前記機能性液体を前記所定領域以外の領
   域に吐出する第２予備吐出工程と、前記吐出ヘッドの温
   度を温度Ｔ２に保持しながら前記機能性液体を前記所定
   領域に吐出する本吐出工程とを有し、 前記温度Ｔ１は、前記機能性液体の粘度を前記吐出ヘッ
   ドから吐出が可能な粘度まで低下させる温度であり、前
   記温度Ｔ２は、前記機能性液体を変質、変性させない温
   度であって、かつ、本吐出工程において吐出が可能な温
   度であることを特徴とする液滴吐出方法。
4. 【請求項４】 前記第１予備吐出工程において、前記機
   能性液体が貯蔵されたタンクから前記機能性液体を前記
   吐出ヘッドに供給する液供給路の全部又は一部を温度Ｔ
   １まで加熱することを特徴とする請求項３に記載の液滴
   吐出方法。
5. 【請求項５】 前記全工程を通じて、前記機能性液体が
   貯蔵されたタンクを温度Ｔ２以下で加熱することを特徴
   とする請求項３又は請求項４に記載の液滴吐出方法。
6. 【請求項６】 前記機能性液体がマイクロレンズの形成
   材料であることを特徴とする請求項１から請求項５の何
   れかに記載の液滴吐出方法。
7. 【請求項７】 前記機能性液体がカラーフィルタの形成
   材料であることを特徴とする請求項１から請求項５の何
   れかに記載の液滴吐出方法。
8. 【請求項８】 前記機能性液体が液状の有機エレクトロ
   ルミネッセンス装置の形成材料であることを特徴とする
   請求項１から請求項５の何れかに記載の液滴吐出方法。
9. 【請求項９】 前記機能性液体が潤滑油であることを特
   徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の液滴吐
   出方法。
10. 【請求項１０】 請求項１ないし請求項５のいずれかに
    記載の液滴吐出方法により製造されたことを特徴とする
    デバイス。