CN1485612A

CN1485612A - Pdp面板的介质检查装置

Info

Publication number: CN1485612A
Application number: CNA031031870A
Authority: CN
Inventors: k 殷; 殷琸
Original assignee: Micro Inspection Inc
Current assignee: Micro Inspection Inc
Priority date: 2002-09-25
Filing date: 2003-02-08
Publication date: 2004-03-31
Anticipated expiration: 2023-02-08
Also published as: KR20040029194A; JP2004119365A; KR100491987B1; CN1246690C

Abstract

本发明提供一种PDP面板的介质检查装置，检查形成于PDP面板的上板玻璃上的介质的均一性和质量，其通过利用测试静电电容的非接触式静电电容接近传感器探头进行无损检查，可以检查广泛区域的介质的涂敷状态和质量，且因是无损检查，检查后的产品还可以使用，所以提高了成品率，另外通过全数检查，提高了产品可靠性。该检查装置包括：第1及第2短路块，向PDP面板的所有总线电极提供基准电压；静电电容接近传感器探头，运用非接触方式边扫描总线电极上的介质表面，边根据介质厚度和介电常数的变化，用电压值输出与总线电极之间的静电电容的变化；和控制单元，控制传感器探头，并根据其输出电压判断介质的状态。

Description

PDP面板的介质检查装置

技术领域

本发明涉及一种PDP面板的介质检查装置，具体讲，所涉及的PDP面板的介质检查装置，为检查形成于PDP面板的上板玻璃上的介质的均一性和质量，通过利用测试静电电容的非接触式静电电容接近传感器探头进行无损检查，可以检查广泛区域的介质的凃敷状态和质量。

技术背景

近年使用的图像显示元件有阴极射线管(CRT)和平板显示元件的液晶显示元件(LCD)、等离子显示面板(PDP)等。

这些图像显示元件中，阴极射线管在画质和亮度方面和其他元件比，具有出类拔萃的优良性能。但是，因体积大且重，具有不适合用于大型屏幕的缺点。

另一方面，平板显示元件和阴极射线管比，具有体积和重量都非常小的优点，所以其应用有逐渐扩大的趋势，作为下一代显示元件，其研究活动在频繁展开。

一般，PDP(Plasma display Panel)利用上板玻璃和下板玻璃以及它们之间的隔板，向密闭的玻璃间送入Ne+Ar、Ne+Xe等气体，通过两极和阴极的电极施加电压，使氖光发光，所以被称为作为显示光使用的电子显示装置。

因此，等离子显示器将对面的上板玻璃和下板玻璃的纵图形电极和横图形电极间构成的交叉点作为放电单元，通过使该放电单元导通/关断，来显示各种文字和图形等。

另外，PDP是发光型的，可以显示鲜明的大型画面，所以在FA(工场自动化)方面被广泛使用，但现在随着该显示装置的小型轻量化、高性能化，同时又被广泛应用到个人计算机等OA(办公自动化)方面。特别是，PDP作为大型显示装置面板，不仅显示质量高，而且响应速度快，所以被应用于壁挂式TV上，需求激增。

这种PDP的构成是，在形成于上板玻璃和下板玻璃的电极图形的交叉点，利用由等离子产生的放电实现发光，所以形成于上板玻璃和下板玻璃的电极图形的电气特性决定了成品率。

图1表示形成于普通PDP的上板玻璃和下板玻璃的电极图形，(A)是形成于上板玻璃的电极图形，(B)是形成于下板玻璃的电极图形，图2是说明普通PDP面板的单元结构的截面图。

如这些附图所示，在上板玻璃10和下板玻璃20上形成电极图形12、22后，在上板玻璃10的电极图形12的透明电极上形成总线电极14，从而形成第1介质层16和保护膜MgO层18。在下板玻璃20的地址电极22上形成第2介质层24后，形成用于区分单元的分隔壁26，向分隔壁26内凃敷荧光体28及密封材料30。

这样，形成PDP的上板10和下板20后，使总线电极14和地址电极22相互垂直交叉状粘在一起，然后进行排气和封入气体，完成PDP面板。

之后，测试PDP面板的各种特性后，向上板的总线电极施加电源，在使形成一定量的等离子的状态下，通过地址电极选择适合单元，所选单元中的等离子被激活，荧光体开始发光，即可以作为显示装置使用。

产生这种等离子时，为使和电荷的累积及放出相关的特性随介质特性而变化，介质必须均匀形成于PDP面板上。

因此，为检查介质的形成状态，如图3所示，在形成透明电极12和总线电极14的上板玻璃10的前面形成介质42。

然后，在上板面板40的多个位置上形成掩模后，进行蚀刻，形成多个试样槽45。

形成这种试样槽45后，通过利用这些试样槽45测试介质42的厚度，来判断介质42是否均匀形成于上板面板40上。

但是，这种方法，作为试样检查形成40～50个上板后，形成用于检查各个介质的试样槽，形成有试样槽的产品在检查后是不能使用的。过去，采用这种蚀刻形成于上板的介质，形成试样槽来测试介质厚度的物理性破坏检查方法，所以检查介质后的产品不能使用，因此和全数检查比，具有成品率低的问题。

在上板上形成试样槽后，为了仅测试试样槽的厚度，具有相同厚度时，介质的材料不均一，有不能测试可变介电常数的问题。

较宽的上板中，在任意位置形成多个试样槽，为判断上板整体，具有必须用局部数据判断整体的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种PDP面板的介质检查装置，为检查形成于上板玻璃的介质的均一性和质量，通过用测试静电电容的非接触探头进行无损检查，可以检查广泛区域的介质的凃敷状态和质量。

为实现上述目的，本发明提供一种PDP面板介质检查装置，用于检查PDP面板的电气特性，其特征在于，包括：第1及第2短路块，向所述PDP面板的所有总线电极提供基准电压；静电电容接近传感器探头，运用非接触方式边扫描形成于所述总线电极上的介质表面，边根据所述介质厚度和介电常数的变化，用电压值输出与所述总线电极之间的静电电容的变化；和控制单元，不仅控制所述静电电容接近传感器探头，还根据所述静电电容接近传感器探头的输出电压判断所述介质的状态。

如上所述，根据本发明，为检查形成于PDP面板的上板玻璃上的介质的均一性和质量，通过利用测试静电电容的非接触式静电电容接近传感器探头进行无损检查，可以检查广泛区域的介质的凃敷状态和质量。

另外，因为是采用检查静电电容变化的无损检查方法，所以进行介质检查后，面板还可以使用，提高了成品率。

通过全数检查，来检查所有面板的缺陷，从而提高产品可靠性。

此外，为检查面板全面的介电常数，不仅是局部厚度，还可以检查因介质材料的不均一产生的介电常数的变化。

另一方面，本发明的PDP面板的介质检查装置中，所述静电电容接近传感器探头的组成包括：交流电源，供给交流电；传感器电极，并联连接所述交流电源，和所述总线电极一起形成电容；放大器，并联连接所述传感器电极，对根据形成于所述总线电极上的所述介质的介电常数可以变化的电压，进行放大并产生输出电压；保护屏蔽环，连接所述放大器的输出端，配置在所述传感器电极周围，屏蔽所述传感器电极；和空气恒压垫，在所述面板对面的底部形成空气喷嘴。

具有这种构成的本发明的PDP面板的介质检查装置，向PDP面板的所有总线电极施加基准电压后，通过静电电容接近传感器探头边扫描形成于PDP面板上的介质表面，边根据在所有总线电极和静电电容接近传感器探头电极之间发生的静电电容的变化来测试介质的特性，从而不仅可以检查介质的厚度分布，还可以检查介质材料的均一性等。

附图说明

图1表示形成于普通PDP的上板玻璃和下板玻璃的电极图形。

图2是说明普通PDP面板的单元结构的截面图。

图3是表示为利用现有技术检查PDP面板的介质，***了虚拟图形时的状态。

图4是简略表示本发明的PDP面板的介质检查装置的方框构成图。

图5表示本发明的PDP面板的介质检查装置的探头结构。

图6表示利用本发明的PDP面板介质检查装置的测试状态。

实施方式

以下，参照附图说明本发明的最佳实施方式。实施方式并不限定本发明的权利范围，只不过是作为例子提出，和现有构成相同的部分使用相同标号和名称。

图4是简略表示本发明的PDP面板的介质检查装置的方框构成图，图5表示本发明的PDP面板的介质检查装置的探头结构。

如这些附图所示，用于检查PDP面板的电气特性的本发明的介质检查装置，具有向PDP面板40的所有总线电极14供给基准电压的第1短路块50和第2短路块55。本发明的介质检查装置的组成还包括：静电电容接近传感器探头60，运用非接触方式边扫描形成于总线电极14上的介质42的表面，边根据介质42的介电常数的变化，以输出电压值Vout表示与总线电极14之间的静电电容的变化；控制单元90，不仅控制所述静电电容接近传感器探头60，还根据静电电容接近传感器探头60的输出电压Vout判断介质42的状态；输入单元70，由触摸屏和键盘或鼠标等组成，向控制单元90输入命令；显示单元80，由TFT-LCD等组成，根据所述控制单元90的控制，显示检查装置的工作状态等；和总线网络100，提供控制单元90和外部装置之间的接口。

静电电容接近传感器探头60的组成包括：交流电源61，供给交流电；传感器电极63，并联连接交流电源61，和总线电极14一起形成电容；放大器62，并联连接传感器电极63，对随着形成于总线电极14上的介质的介电常数而变化的电压，进行放大并产生输出电压Vout；保护屏蔽环64，连接放大器62的输出端，配置在传感器电极63周围，屏蔽传感器电极63；和空气恒压垫65，在面板40对面的底部形成空气喷嘴66。

静电电容接近传感器探头60的输出电压Vout与总线电极14和传感器电极63之间的电容成反比，所以输出电压Vout与d/(εA)成正比关系。

此时，“d”是总线电极14和传感器电极63之间的距离，“ε”是介质42的介电常数，“A”表示传感器电极63的有效面积。

因此，在通过空气恒压垫65产生的浮起状态下，将静电电容接近传感器探头60以非接触方式并且和总线电极14对置的状态配置在已接地的目标面上，即有介质42的总线电极14上，然后向传感器电极63施加交流电源61，使传感器电极63产生电压。此时的电压与传感器电极63和总线电极14的间隔距离d成正比关系，与介质42的介电常数ε和传感器电极63的面积A成反比关系。所以，输出通过放大器62被放大的输出电压Vout。

但是，在检查装置的传感器电极63的有效面积一定，通过保护屏蔽环64屏蔽传感器电极63时，输出电压Vout取决于传感器电极63和总线电极14间的间隔距离d和介质42的介电常数ε，所以可以利用形成于PDP面板的介质42的每单位面积的静电电容值，检查目标介质部位的充电及放电特性。

图6表示利用本发明的PDP面板的介质检查装置进行测试时的状态。

如该图所示，首先，为了向PDP面板40两侧的总线电极14施加接地电压，向总线电极14的X端连接第1短路块50，向总线电极14的Y端连接第2短路块55后，施加接地电压。

然后，用有效面积大的传感器电极63以非接触方式边接触通过静电电容接近传感器探头60被施加了接地电压的总线电极14图形的上部，边测试因介电常数ε的变化而产生的电压的变化，检查介质42的特性。因此，不仅能对所有面板40进行全数检查，还能准确检测出有异常的部分。

另一方面，本实施方式中，如图5所示，所例举的该构成形式是，向1个测试探头模块安装1个传感器电极63，和与其对应的1个保护屏蔽环64，当然用其他形式也是可以实施的。例如，向1个测试探头模块安装多个传感器电极63，和与其分别对应的多个保护屏蔽环64，从而可以提高探头模块的扫描分辨率，减少检查面板所需时间。

Claims

1.一种PDP面板的介质检查装置，用于检查PDP面板的电气特性，其特征在于，该介质检查装置包括：

第1及第2短路块，向所述PDP面板的所有总线电极提供基准电压；

静电电容接近传感器探头，运用非接触方式边扫描所述总线电极上的介质表面，边根据所述介质厚度和介电常数的变化，用电压值输出与所述总线电极之间的静电电容的变化；和

控制单元，不仅控制所述静电电容接近传感器探头，还根据所述静电电容接近传感器探头的输出电压判断所述介质的状态。

2.根据权利要求1所述的PDP面板的介质检查装置，其特征在于，所述静电电容接近传感器探头包括：

交流电源，供给交流电；

传感器电极，并联连接所述交流电源，和所述总线电极一起形成电容；

放大器，并联连接所述传感器电极，对随着所述总线电极上的所述介质的介电常数而变化的电压，进行放大并产生输出电压；

保护屏蔽环，连接所述放大器的输出端，配置在所述传感器电极周围，屏蔽所述传感器电极；和

空气恒压垫，在其面对所述面板的底部有空气喷嘴。