CN1292106C - 铝酸钇晶体的生长方法 - Google Patents
铝酸钇晶体的生长方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1292106C CN1292106C CN 200510027322 CN200510027322A CN1292106C CN 1292106 C CN1292106 C CN 1292106C CN 200510027322 CN200510027322 CN 200510027322 CN 200510027322 A CN200510027322 A CN 200510027322A CN 1292106 C CN1292106 C CN 1292106C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crystal
- crucible
- growth
- yttrium aluminate
- yap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
一种属于光电子材料技术领域的铝酸钇晶体的生长方法,本发明在YAP晶体生长后期,即晶体等径部分达到预定尺寸后,为避免晶体开裂,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长晶体一段时间,最后分六阶段缓慢降至室温,在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零,若没有被拉出保温罩,则继续上引,为防止晶体被扭断,埚内余料凝固前需关掉晶转,开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离,即可得到完整的YAP晶体。本发明简单易行,可操作性强,不但减少了晶体开裂的几率,而且提高了铝酸钇晶体的成品率和光学均匀性,节约了电能,降低了生产成本。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种光电子材料技术领域的方法,具体地说,一种铝酸钇晶体的生长方法。
背景技术
YAP(铝酸钇)是一种性能优良的激光晶体基质材料,分子式为YAlO3,在YAP晶体结构中氧十二面体中的Y-O键长(2.65)大于YAG(钇铝石榴石)晶体中的Y-O键长(2.45),这种基质结构有利于激活离子的掺入。且Y3+离子半径与稀土离子半径较为接近,因此掺入一定数目的Nd3+、Ho3+、Tm3+、Er3+离子取代YAP晶格中Y3+的格位,不会引起晶格发生大的畸变;同时YAP基质也可掺入过渡族离子(Fe3+、Co3+、Ni3+)作为激活剂制成激光晶体,这些过渡族离子取代YAP晶格中Al3+的格位。由于YAP晶体物理性质的各向异性,其热膨胀系数沿不同晶轴差异相当大,沿a、b、c轴热膨胀系数分别为4.2×10-6/℃,11.7×10-6/℃,5.1×10-6/℃,故YAP系列晶体在较大的温度梯度下极易开裂。采用提拉法生长晶体时,当晶体尺寸达到预定长度后,常常采用快速提拉法或手动提拉法使晶体脱离熔体。但是晶体在脱离熔体的瞬间将受到很大的热冲击,易使晶体出现开裂。
经对现有技术的文献检索发现,中国专利公开号:1544711,发明名称为:硅酸钆单晶体的生长方法,该方法在硅酸钆晶体生长后期,采取一定的收尾工艺使晶体的尾部与肩部形状对称,可减少晶体开裂的几率。但此方法实际操作起来较为复杂,且激光棒的选取是在晶体的等径部分,尾部形状漂亮与否,其实际意义不大。另外,此专利虽也提到了缓慢降温,但并没有给出具体的操作方法。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足,提供一种铝酸钇激光晶体的生长方法,使其解决晶体容易开裂的问题,提高晶体成品率。
本发明是通过以下技术方案实现的,本发明在提拉法生长中,采取下列收尾降温程序:在YAP晶体生长后期,即晶体等径部分达到预定尺寸后,为避免晶体开裂,减慢提拉速度,由1.5mm/h降为1.0mm/h,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度为8-10mm,最后分六阶段缓慢降至室温,在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零,若没有被拉出保温罩,则继续上引,为防止晶体被扭断,埚内余料凝固前需关掉晶转,开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离,即可得到完整的YAP晶体。
本发明具体步骤如下:
(1)采用中频感应加热提拉法生长铝酸钇晶体,发热体为铱坩埚,原料为Al2O3(99.995%),Y2O3(99.999%),掺杂为高纯的稀土氧化物Tm2O3(99.999%)或Nd2O3(99.999%)。原料经称配、研混均匀后,在液压机上压紧成块并在1300℃高温下烧结发生固相反应,烧结好的原料置于铱坩埚中,并将以下方向:[100]、[010]或[001]的YAP籽晶装入籽晶夹头中,一并装入单晶炉膛内;
(2)单晶炉抽高真空,用氧化锆作保温罩及保温材料,采用惰性气体保护,生长温度1900℃,提拉速度1.5mm/h,晶体转速25rpm,并采用蓝宝石片及刚玉片以营造更好的保温***,提供适合晶体生长的热场。
(3)严格执行烤晶、下种、缩颈、缓慢放肩、收肩、均衡控制等径阶段,尤其是等径阶段,即使直径有变化,也要控制成渐变的,避免因晶体直径突变造成内部应力集中而形成开裂。
(4)晶体等径部分达到预定尺寸后,缓慢收尾。为避免晶体出现开裂,减慢提拉速度,由1.5mm/h降为1.0mm/h,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,恒温生长晶体长度8-10mm。
(5)分六阶段缓慢降至室温。在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零;若没有被拉出保温罩,则继续上引。为防止晶体被扭断,埚内余料凝固前需关掉晶转。开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离。具体降温方法如下:
①15℃/h,降温持续6h,1900℃-1810℃;
②20℃/h,降温持续9h,1810℃-1630℃;
③25℃/h,降温持续10h,1630℃-1380℃;
④30℃/h,降温持续12h,1380℃-1020℃;
⑤38℃/h,降温持续15h,1020℃-450℃;
⑥55℃/h,降温持续8h,450℃-室温。
降温过程共计60h,降温速度15-55℃/h。如果降温速度过快,即使原来晶体很好,也易出现开裂。若一直采用恒定慢速降温,则浪费电能,增加生产成本。
晶体生长后期采用上述的收尾和降温程序,大大减少了晶体开裂的几率。分析认为是:收尾程序避免了晶体生长结束时快速提拉对晶体造成的热冲击,减小了晶体内的温度梯度,有效改善了其热场,使晶体在有利于避免开裂的热场条件下生长;另一方面,多阶段的降温程序,减小了发生在生长腔内冷热气氛的对流,始终保持晶体有合适的温度梯度,克服了晶体严重开裂的现象。同时缓慢降温也是一种退火方法,不但可以减少晶体开裂的几率,也可提高晶体的光学均匀性。故采用上述方法后,显著减少了晶体开裂现象。在这些条件下我们能成功生长出不开裂、完整性好的YAP晶体。
本发明克服了原来YAP晶体易造成开裂缺陷的问题,简单易行,可操作性强,不但减少了晶体开裂的几率,而且提高了铝酸钇晶体的成品率和光学均匀性,节约了电能,降低了生产成本。
具体实施方式
实施例1:感应加热提拉法生长b轴Tm:YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的Tm:YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,生长b轴晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到70mm时,直接手动快速提拉晶体使其与熔体脱离,获得一根透明的b轴Tm:YAP晶体,重量为200g。晶体呈棕黄色,出现局部开裂现象。
实施例2:多阶段缓慢降温感应加热提拉法生长b轴Tm:YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的Tm:YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,选用b轴YAP晶体作籽晶,生长Tm:YAP晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到70mm时,提拉速度减慢至1.0mm/h,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度8-10mm。最后分六阶段缓慢降至室温。此时晶体未拉出保温罩,继续上引,等到余料接近凝固状态时,停止晶转。开炉后取出坩埚,将晶体与熔体在细径处分离,获得一根尺寸为Φ21×100mm的b轴Tm:YAP晶体,重量为250g。晶体呈棕黄色,未见开裂现象,完整性好,散射颗粒少,有较好的光学性能。
实施例3:多阶段缓慢降温感应加热提拉法生长c轴Tm:YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的Tm:YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,选用c轴YAP晶体作籽晶,生长Tm:YAP晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到75mm时,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度8-10mm。最后分六阶段缓慢降至室温。此时晶体未拉出保温罩,继续上引,等余料接近凝固状态时,停止晶转。开炉后取出坩埚,将晶体与熔体在细径处分离,获得一根尺寸为Φ21×110mm的c轴Tm:YAP晶体,重量为270g。晶体呈棕黄色,未见开裂现象,完整性好,散射颗粒少,有较好的光学性能。
实施例4:多阶段缓慢降温感应加热提拉法生长b轴Nd:YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的Nd:YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,选用b轴YAP晶体作籽晶,生长Nd:YAP晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到70mm时,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度8-10mm。最后分六阶段缓慢降至室温。此时晶体未拉出保温罩,继续上引,等余料接近凝固状态时,停止晶转。开炉后取出坩埚,将晶体与熔体在细径处分离,获得一根尺寸为Φ21×100mm的b轴Nd:YAP晶体,重量为250g。晶体为淡紫色,未见开裂现象,完整性好,散射颗粒少。
实施例5:感应加热提拉法生长纯YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,生长b轴晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到80mm时,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度8-10mm。最后分六阶段缓慢降至室温。此时晶体将被拉出保温罩,停止上引。等余料接近凝固状态时,停止晶转。开炉后取出坩埚,将晶体与熔体在细径处分离,获得尺寸为Φ21×120mm的b轴纯YAP晶体,重量为280g。晶体未见开裂现象,完整性好,散射颗粒少。
Claims (7)
1.一种铝酸钇晶体的生长方法,其特征在于,在YAP晶体生长后期,即晶体等径部分达到预定尺寸后,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长,最后分六阶段缓慢降至室温,在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零,若没有被拉出保温罩,则继续上引,埚内余料凝固前需关掉晶转,开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离,即可得到完整的YAP晶体,所述的降温,是指:降温过程共计60小时,降温速度15-55℃/小时,具体方法如下:①15℃/h,降温持续6h,1900℃-1810℃;②20℃/h,降温持续9h,1810℃-1630℃;③25℃/h,降温持续10h,1630℃-1380℃;④30℃/h,降温持续12h,1380℃-1020℃;⑤38℃/h,降温持续15h,1020℃-450℃;⑥55℃/h,降温持续8h,450℃-室温。
2.根据权利要求1所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,包括如下步骤:
(1)采用中频感应加热提拉法生长铝酸钇晶体,发热体为铱坩埚,原料为Al2O3和Y2O3,掺杂为Tm2O3或Nd2O3,原料经称配、研混均匀后,在液压机上压紧成块并在1300℃高温下烧结发生固相反应,烧结好的原料置于铱坩埚中,并将以下方向:[100]、[010]或[001]的YAP籽晶装入籽晶夹头中,一并装入单晶炉膛内;
(2)单晶炉抽高真空,用氧化锆作保温罩及保温材料,采用惰性气体保护,生长温度1900℃,提拉速度1.5mm/h,晶体转速25rpm,并采用蓝宝石片及刚玉片以营造更好的保温***,提供适合晶体生长的热场;
(3)严格执行烤晶、下种、缩颈、缓慢放肩、收肩、均衡控制等径阶段;
(4)晶体等径部分达到预定尺寸后,缓慢收尾,为避免晶体出现开裂,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,恒温生长晶体一段时间;
(5)分六阶段缓慢降至室温:在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零,若没有被拉出保温罩,则继续上引,埚内余料凝固前需关掉晶转,开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离。
3.根据权利要求2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的Al2O3纯度为99.995%,Y2O3纯度为99.999%。
4.根据权利要求2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的稀土氧化物是指:纯度为99.999% Tm2O3或纯度为99.999% Nd2O3。
5.根据权利要求1或2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的提拉速度,由1.5mm/h降为1.0mm/h。
6.根据权利要求1或2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的恒温生长是指晶体长度达到8-10mm。
7.根据权利要求2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的均衡控制等径阶段是指:即使直径有变化,也要控制成渐变的,避免因晶体直径突变造成内部应力集中而形成开裂。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 200510027322 CN1292106C (zh) | 2005-06-30 | 2005-06-30 | 铝酸钇晶体的生长方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 200510027322 CN1292106C (zh) | 2005-06-30 | 2005-06-30 | 铝酸钇晶体的生长方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1724724A CN1724724A (zh) | 2006-01-25 |
CN1292106C true CN1292106C (zh) | 2006-12-27 |
Family
ID=35924352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 200510027322 Expired - Fee Related CN1292106C (zh) | 2005-06-30 | 2005-06-30 | 铝酸钇晶体的生长方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1292106C (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8114524B2 (en) | 2002-09-26 | 2012-02-14 | Industrial Origami, Inc. | Precision-folded, high strength, fatigue-resistant structures and sheet therefor |
US8438893B2 (en) | 2006-10-26 | 2013-05-14 | Industrial Origami, Inc. | Method of forming two-dimensional sheet material into three-dimensional structure |
US8505258B2 (en) | 2000-08-17 | 2013-08-13 | Industrial Origami, Inc. | Load-bearing three-dimensional structure |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101831702B (zh) * | 2010-05-21 | 2012-05-23 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 用于热释光和光释光的掺铜铝酸钇晶体及其制备方法 |
CN103305911B (zh) * | 2013-05-24 | 2015-08-05 | 哈尔滨工业大学 | 大尺寸Re:YAP系列激光晶体水平定向凝固制备方法 |
CN104005082A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-08-27 | 成都东骏激光股份有限公司 | 一种大尺寸掺铈铝酸钇闪烁晶体的生长工艺 |
CN106319635A (zh) * | 2016-09-30 | 2017-01-11 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种铈掺杂铝酸钇镥闪烁晶体光输出增强方法 |
CN107841789A (zh) * | 2017-09-19 | 2018-03-27 | 同济大学 | 一种镝铽共掺的铝酸钇可见波段激光晶体及其制备方法 |
CN108018601A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-11 | 清远先导材料有限公司 | 晶体生长装置、生长方法及其应用 |
CN108330541A (zh) * | 2018-01-19 | 2018-07-27 | 暨南大学 | 一种gyap激光晶体及其制备方法 |
CN108893778A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-11-27 | 苏州四海常晶光电材料有限公司 | 一种abo3混合晶体及生长方法 |
-
2005
- 2005-06-30 CN CN 200510027322 patent/CN1292106C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8505258B2 (en) | 2000-08-17 | 2013-08-13 | Industrial Origami, Inc. | Load-bearing three-dimensional structure |
US8114524B2 (en) | 2002-09-26 | 2012-02-14 | Industrial Origami, Inc. | Precision-folded, high strength, fatigue-resistant structures and sheet therefor |
US8377566B2 (en) | 2002-09-26 | 2013-02-19 | Industrial Origami, Inc. | Precision-folded, high strength, fatigue-resistant structures and sheet therefor |
US8438893B2 (en) | 2006-10-26 | 2013-05-14 | Industrial Origami, Inc. | Method of forming two-dimensional sheet material into three-dimensional structure |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1724724A (zh) | 2006-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1292106C (zh) | 铝酸钇晶体的生长方法 | |
WO2021008159A1 (zh) | 一种适用于提拉法的线圈可移动式温场结构与单晶生长方法 | |
CN100436659C (zh) | 蓝宝石晶体多坩埚熔体生长技术 | |
CN101580963A (zh) | 300mm以上蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法 | |
CN104911708B (zh) | 泡生法制备方形蓝宝石晶体的生长方法 | |
CN102978694A (zh) | 一种蓝宝石晶体生长的改良泡生法 | |
CN102534758A (zh) | 一种棒状蓝宝石晶体的生长方法及设备 | |
CN102560631A (zh) | 蓝宝石晶体的生长方法及设备 | |
CN103911662A (zh) | 硅酸镓镧压电晶体的制造方法及其制品 | |
CN101054723A (zh) | 一种r面蓝宝石晶体的生长方法 | |
CN110904506A (zh) | 一种稀土置换钇铁石榴石晶体的制备方法 | |
CN104005081A (zh) | 一种单晶炉的停炉冷却***及工艺 | |
CN104674339A (zh) | 一种泡生法生长大尺寸蓝宝石过程中减少晶界的方法 | |
CN107245759A (zh) | 一种铈离子掺杂多组分石榴石结构闪烁晶体的生长方法 | |
CN108560053B (zh) | 一种镧、镝、铈共掺的硅酸钇镥闪烁材料及其晶体生长方法 | |
CN103451718A (zh) | 可连续生产的区熔炉装置及其工艺控制方法 | |
CN101871126B (zh) | 镓酸钆晶体及其生长方法 | |
CN103014837A (zh) | 一种单晶炉二次加料方法 | |
CN115652426A (zh) | 一种降低大尺寸n型直拉单晶硅片碎片率的拉制方法 | |
CN1295386C (zh) | 硅酸钆单晶体的生长方法 | |
CN104005082A (zh) | 一种大尺寸掺铈铝酸钇闪烁晶体的生长工艺 | |
CN112941620A (zh) | 控制含镓类光功能晶体挥发的提拉制备装置及方法 | |
CN106567125A (zh) | 一种改善冶金法多晶硅生长界面的方法 | |
CN1544709A (zh) | 硅酸钆闪烁晶体的生长方法 | |
JP4304424B2 (ja) | 希土類珪酸塩単結晶インゴットの製造方法およびその製造方法により得られる希土類珪酸塩単結晶インゴット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20061227 Termination date: 20110630 |