CN1292106C - 铝酸钇晶体的生长方法 - Google Patents

铝酸钇晶体的生长方法 Download PDF

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Abstract

一种属于光电子材料技术领域的铝酸钇晶体的生长方法,本发明在YAP晶体生长后期,即晶体等径部分达到预定尺寸后,为避免晶体开裂,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长晶体一段时间,最后分六阶段缓慢降至室温,在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零,若没有被拉出保温罩,则继续上引,为防止晶体被扭断,埚内余料凝固前需关掉晶转,开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离,即可得到完整的YAP晶体。本发明简单易行,可操作性强,不但减少了晶体开裂的几率,而且提高了铝酸钇晶体的成品率和光学均匀性,节约了电能,降低了生产成本。

Description

铝酸钇晶体的生长方法
技术领域
本发明涉及的是一种光电子材料技术领域的方法,具体地说,一种铝酸钇晶体的生长方法。
背景技术
YAP(铝酸钇)是一种性能优良的激光晶体基质材料,分子式为YAlO3,在YAP晶体结构中氧十二面体中的Y-O键长(2.65)大于YAG(钇铝石榴石)晶体中的Y-O键长(2.45),这种基质结构有利于激活离子的掺入。且Y3+离子半径与稀土离子半径较为接近,因此掺入一定数目的Nd3+、Ho3+、Tm3+、Er3+离子取代YAP晶格中Y3+的格位,不会引起晶格发生大的畸变;同时YAP基质也可掺入过渡族离子(Fe3+、Co3+、Ni3+)作为激活剂制成激光晶体,这些过渡族离子取代YAP晶格中Al3+的格位。由于YAP晶体物理性质的各向异性,其热膨胀系数沿不同晶轴差异相当大,沿a、b、c轴热膨胀系数分别为4.2×10-6/℃,11.7×10-6/℃,5.1×10-6/℃,故YAP系列晶体在较大的温度梯度下极易开裂。采用提拉法生长晶体时,当晶体尺寸达到预定长度后,常常采用快速提拉法或手动提拉法使晶体脱离熔体。但是晶体在脱离熔体的瞬间将受到很大的热冲击,易使晶体出现开裂。
经对现有技术的文献检索发现,中国专利公开号:1544711,发明名称为:硅酸钆单晶体的生长方法,该方法在硅酸钆晶体生长后期,采取一定的收尾工艺使晶体的尾部与肩部形状对称,可减少晶体开裂的几率。但此方法实际操作起来较为复杂,且激光棒的选取是在晶体的等径部分,尾部形状漂亮与否,其实际意义不大。另外,此专利虽也提到了缓慢降温,但并没有给出具体的操作方法。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足,提供一种铝酸钇激光晶体的生长方法,使其解决晶体容易开裂的问题,提高晶体成品率。
本发明是通过以下技术方案实现的,本发明在提拉法生长中,采取下列收尾降温程序:在YAP晶体生长后期,即晶体等径部分达到预定尺寸后,为避免晶体开裂,减慢提拉速度,由1.5mm/h降为1.0mm/h,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度为8-10mm,最后分六阶段缓慢降至室温,在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零,若没有被拉出保温罩,则继续上引,为防止晶体被扭断,埚内余料凝固前需关掉晶转,开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离,即可得到完整的YAP晶体。
本发明具体步骤如下:
(1)采用中频感应加热提拉法生长铝酸钇晶体,发热体为铱坩埚,原料为Al2O3(99.995%),Y2O3(99.999%),掺杂为高纯的稀土氧化物Tm2O3(99.999%)或Nd2O3(99.999%)。原料经称配、研混均匀后,在液压机上压紧成块并在1300℃高温下烧结发生固相反应,烧结好的原料置于铱坩埚中,并将以下方向:[100]、[010]或[001]的YAP籽晶装入籽晶夹头中,一并装入单晶炉膛内;
(2)单晶炉抽高真空,用氧化锆作保温罩及保温材料,采用惰性气体保护,生长温度1900℃,提拉速度1.5mm/h,晶体转速25rpm,并采用蓝宝石片及刚玉片以营造更好的保温***,提供适合晶体生长的热场。
(3)严格执行烤晶、下种、缩颈、缓慢放肩、收肩、均衡控制等径阶段,尤其是等径阶段,即使直径有变化,也要控制成渐变的,避免因晶体直径突变造成内部应力集中而形成开裂。
(4)晶体等径部分达到预定尺寸后,缓慢收尾。为避免晶体出现开裂,减慢提拉速度,由1.5mm/h降为1.0mm/h,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,恒温生长晶体长度8-10mm。
(5)分六阶段缓慢降至室温。在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零;若没有被拉出保温罩,则继续上引。为防止晶体被扭断,埚内余料凝固前需关掉晶转。开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离。具体降温方法如下:
①15℃/h,降温持续6h,1900℃-1810℃;
②20℃/h,降温持续9h,1810℃-1630℃;
③25℃/h,降温持续10h,1630℃-1380℃;
④30℃/h,降温持续12h,1380℃-1020℃;
⑤38℃/h,降温持续15h,1020℃-450℃;
⑥55℃/h,降温持续8h,450℃-室温。
降温过程共计60h,降温速度15-55℃/h。如果降温速度过快,即使原来晶体很好,也易出现开裂。若一直采用恒定慢速降温,则浪费电能,增加生产成本。
晶体生长后期采用上述的收尾和降温程序,大大减少了晶体开裂的几率。分析认为是:收尾程序避免了晶体生长结束时快速提拉对晶体造成的热冲击,减小了晶体内的温度梯度,有效改善了其热场,使晶体在有利于避免开裂的热场条件下生长;另一方面,多阶段的降温程序,减小了发生在生长腔内冷热气氛的对流,始终保持晶体有合适的温度梯度,克服了晶体严重开裂的现象。同时缓慢降温也是一种退火方法,不但可以减少晶体开裂的几率,也可提高晶体的光学均匀性。故采用上述方法后,显著减少了晶体开裂现象。在这些条件下我们能成功生长出不开裂、完整性好的YAP晶体。
本发明克服了原来YAP晶体易造成开裂缺陷的问题,简单易行,可操作性强,不但减少了晶体开裂的几率,而且提高了铝酸钇晶体的成品率和光学均匀性,节约了电能,降低了生产成本。
具体实施方式
实施例1:感应加热提拉法生长b轴Tm:YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的Tm:YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,生长b轴晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到70mm时,直接手动快速提拉晶体使其与熔体脱离,获得一根透明的b轴Tm:YAP晶体,重量为200g。晶体呈棕黄色,出现局部开裂现象。
实施例2:多阶段缓慢降温感应加热提拉法生长b轴Tm:YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的Tm:YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,选用b轴YAP晶体作籽晶,生长Tm:YAP晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到70mm时,提拉速度减慢至1.0mm/h,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度8-10mm。最后分六阶段缓慢降至室温。此时晶体未拉出保温罩,继续上引,等到余料接近凝固状态时,停止晶转。开炉后取出坩埚,将晶体与熔体在细径处分离,获得一根尺寸为Φ21×100mm的b轴Tm:YAP晶体,重量为250g。晶体呈棕黄色,未见开裂现象,完整性好,散射颗粒少,有较好的光学性能。
实施例3:多阶段缓慢降温感应加热提拉法生长c轴Tm:YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的Tm:YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,选用c轴YAP晶体作籽晶,生长Tm:YAP晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到75mm时,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度8-10mm。最后分六阶段缓慢降至室温。此时晶体未拉出保温罩,继续上引,等余料接近凝固状态时,停止晶转。开炉后取出坩埚,将晶体与熔体在细径处分离,获得一根尺寸为Φ21×110mm的c轴Tm:YAP晶体,重量为270g。晶体呈棕黄色,未见开裂现象,完整性好,散射颗粒少,有较好的光学性能。
实施例4:多阶段缓慢降温感应加热提拉法生长b轴Nd:YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的Nd:YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,选用b轴YAP晶体作籽晶,生长Nd:YAP晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到70mm时,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度8-10mm。最后分六阶段缓慢降至室温。此时晶体未拉出保温罩,继续上引,等余料接近凝固状态时,停止晶转。开炉后取出坩埚,将晶体与熔体在细径处分离,获得一根尺寸为Φ21×100mm的b轴Nd:YAP晶体,重量为250g。晶体为淡紫色,未见开裂现象,完整性好,散射颗粒少。
实施例5:感应加热提拉法生长纯YAP晶体。
利用中频感应加热,在Φ66×45mm的铱金坩埚中,放入压成片的YAP原料590g,炉体抽高真空后充入99.999%的高纯氮气作为保护气体,采用提拉法,生长b轴晶体。生长速率1.5mm/h,转速25rpm,控制凸界面生长。当晶体等径部分达到80mm时,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长一段时间,长度8-10mm。最后分六阶段缓慢降至室温。此时晶体将被拉出保温罩,停止上引。等余料接近凝固状态时,停止晶转。开炉后取出坩埚,将晶体与熔体在细径处分离,获得尺寸为Φ21×120mm的b轴纯YAP晶体,重量为280g。晶体未见开裂现象,完整性好,散射颗粒少。

Claims (7)

1.一种铝酸钇晶体的生长方法,其特征在于,在YAP晶体生长后期,即晶体等径部分达到预定尺寸后,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,然后恒温生长,最后分六阶段缓慢降至室温,在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零,若没有被拉出保温罩,则继续上引,埚内余料凝固前需关掉晶转,开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离,即可得到完整的YAP晶体,所述的降温,是指:降温过程共计60小时,降温速度15-55℃/小时,具体方法如下:①15℃/h,降温持续6h,1900℃-1810℃;②20℃/h,降温持续9h,1810℃-1630℃;③25℃/h,降温持续10h,1630℃-1380℃;④30℃/h,降温持续12h,1380℃-1020℃;⑤38℃/h,降温持续15h,1020℃-450℃;⑥55℃/h,降温持续8h,450℃-室温。
2.根据权利要求1所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,包括如下步骤:
(1)采用中频感应加热提拉法生长铝酸钇晶体,发热体为铱坩埚,原料为Al2O3和Y2O3,掺杂为Tm2O3或Nd2O3,原料经称配、研混均匀后,在液压机上压紧成块并在1300℃高温下烧结发生固相反应,烧结好的原料置于铱坩埚中,并将以下方向:[100]、[010]或[001]的YAP籽晶装入籽晶夹头中,一并装入单晶炉膛内;
(2)单晶炉抽高真空,用氧化锆作保温罩及保温材料,采用惰性气体保护,生长温度1900℃,提拉速度1.5mm/h,晶体转速25rpm,并采用蓝宝石片及刚玉片以营造更好的保温***,提供适合晶体生长的热场;
(3)严格执行烤晶、下种、缩颈、缓慢放肩、收肩、均衡控制等径阶段;
(4)晶体等径部分达到预定尺寸后,缓慢收尾,为避免晶体出现开裂,减慢提拉速度,缓慢升温使晶体直径逐渐变细,待晶体直径达到6-8mm时,恒温生长晶体一段时间;
(5)分六阶段缓慢降至室温:在降温过程中,若晶体已被拉出保温罩,则将提拉速度设置为零,若没有被拉出保温罩,则继续上引,埚内余料凝固前需关掉晶转,开炉后取出坩埚,此时晶体与坩埚内余料粘在一起,将晶体与熔体在细径处分离。
3.根据权利要求2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的Al2O3纯度为99.995%,Y2O3纯度为99.999%。
4.根据权利要求2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的稀土氧化物是指:纯度为99.999% Tm2O3或纯度为99.999% Nd2O3
5.根据权利要求1或2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的提拉速度,由1.5mm/h降为1.0mm/h。
6.根据权利要求1或2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的恒温生长是指晶体长度达到8-10mm。
7.根据权利要求2所述的铝酸钇晶体的生长方法,其特征是,所述的均衡控制等径阶段是指:即使直径有变化,也要控制成渐变的,避免因晶体直径突变造成内部应力集中而形成开裂。
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