CN1258671C - 角速度传感器 - Google Patents

Abstract

在壳体(30)中容纳振子(21)，同时在容纳部(43)中容纳壳体(30)。进而，构成为利用其一端被埋置于容纳部(43)中的端子(44～49)从周围支撑壳体(30)。利用该结构，即使对端子(44～49)施加强的振动，也可利用壳体(30)可靠地保持振子(21)。在该结构中，提供了即使使振子(21)实现小型化也能确保保持振子(21)的强度、即使对于强的振动输出特性也不下降的角速度传感器。

Description

角速度传感器

技术领域

本发明涉及飞机、车辆等的移动体的姿态控制或导航***等中使用的角速度传感器。

背景技术

在现有的角速度传感器中，如在例如特开平10-332378号公报中公开的那样，用端子直接支撑了振子。以下，一边参照附图，一边说明现有的角速度传感器。图21是现有的角速度传感器的立体图，图22是该角速度传感器的电路图。

在图21、图22中，通过经电极层3将第2压电体基板4贴合到第1压电体基板2上构成了长方体形状的振子1。此外，在振子1的上表面上具备起到驱动和检测这两者的作用的2个分开电极5，在下表面上具备共同电极6。4个大致为Z型的端子7在其一端的宽度宽的部分8处在振子1中的振动的节的位置上被焊接并保持在振子1的分开电极5上。此外，另一端朝向外方突出。这样的角速度传感器具有图22中示出的电路结构。即，经电阻10分别将作为驱动源的振荡电路9的一个输出端连接到分开电极5上。然后，将振荡电路9的另一个输出端连接到共同电极6上。此外，经电阻11分别将分开电极5连接到差动放大电路12的非倒相输入端(+)和倒相输入端(-)上。再者，在差动放大电路12的输出端与差动放大电路12的倒相输入端(-)之间连接了电阻13。

其次，对于如以上那样构成的现有的角速度传感器说明其工作。

振荡电路9输出正弦波信号等的驱动信号，经电阻10施加在振子1中的分开电极5上。于是，第1压电体基板2和第2压电体基板4在与各自的主面正交的方向上进行弯曲振动。然后，如果振子1以中心轴为中心旋转，则发生与该旋转角速度对应的哥氏(Coriolis)力。此时发生的哥氏力与第1压电体基板2、第2压电体基板4的主面平行，而且在与振子1的中心轴正交的方向上起作用。该哥氏力改变振子1的弯曲振动的方向，分开电极5发生与角速度对应的信号。然后，差动放大电路12经电阻11检测出在分开电极5上发生的信号，从而检测出对角速度传感器施加的角速度。在这样的结构中，通过在振子1中的振动的节的位置上将端子7焊接到振子1中的分开电极5上进行了保持。因此，如果为了振子1的小型化而减小振动的节的面积，则也必须减小对应的端子7或宽度宽的部分8的宽度。其结果，保持振子1的强度下降。因此，如果对角速度传感器施加强的振动，则振子1与端子7的连接变得不稳定，角速度传感器的输出特性下降。

发明内容

本发明的角速度传感器，具备：振子；壳体，容纳上述振子；壳体电极，被设置在上述壳体的外底面上，与上述振子导电性地连接；端子，其一端通过上述壳体电极被导电性地连接到上述振子上；容纳部，容纳上述壳体，同时埋置上述端子的一部分，并使上述端子的另外一端在外表面露出；放置部，该放置部放置上述壳体并位于上述容纳部的大致中央处，与上述容纳部中的角速度的检测轴大致平行地设置，并埋置了上述端子的连接到上述振子上的一端；以及从上述放置部露出的、与上述壳体电极导电性地连接的上述端子的前端部，上述容纳部通过上述端子来支撑上述壳体。

附图说明

图1是本发明的实施方案1中的角速度传感器的分解立体图。

图2是本发明的实施方案1中的角速度传感器的侧剖面图。

图3是从底面一侧看本发明的实施方案1中的角速度传感器的立体图。

图4是本发明的实施方案1中的角速度传感器中的振子的立体图。

图5是本发明的实施方案1中的角速度传感器的振子中的第1臂部的剖面图。

图6是本发明的实施方案1中的角速度传感器中的壳体的立体图。

图7是从底面一侧看本发明的实施方案1的角速度传感器中的壳体的立体图。

图8是本发明的实施方案1中的角速度传感器中的容纳部的立体图。

图9是从下侧看本发明的实施方案1中的角速度传感器中的容纳部的立体图。

图10A～图10F是本发明的实施方案1中的角速度传感器的振子的组装工序图。

图11A、图11B是示出利用加热成形形成本发明的实施方案1的角速度传感器中的容纳部的状态的组装工序图。

图12是示出在本发明的实施方案1中的角速度传感器中的容纳部的外底面上折弯端子的前端部的状态的立体图。

图13、图14是示出本发明的实施方案1中的角速度传感器中的振子的工作状态的侧面图。

图15是示出在本发明的实施方案1的角速度传感器中的壳体与振子的振动的传递特性的特性图。

图16是本发明的实施方案2中的角速度传感器的分解立体图。

图17是本发明的实施方案2中的角速度传感器中的容纳部的立体图。

图18是从底面一侧看本发明的实施方案2的角速度传感器中的容纳部的立体图。

图19是本发明的实施方案2的角速度传感器中的壳体的立体图。

图20是本发明的实施方案2的角速度传感器中的容纳部的侧剖面图。

图21是现有的角速度传感器的立体图。

图22是现有的角速度传感器的电路图。

具体实施方式

(实施方案1)

图1是本发明的实施方案1中的角速度传感器的分解立体图，图2是该角速度传感器的侧剖面图，图3是从底面一侧看该角速度传感器的立体图。图4是该角速度传感器中的振子的立体图，图5是该振子中的第1臂部的剖面图。图6是该角速度传感器中的壳体的立体图，图7是从底面一侧看该壳体的立体图。图8是该角速度传感器中的容纳部的立体图，图9是从下侧看该容纳部的立体图。

在图1～图9中，音叉形状的振子21如图4中所示，由下述部分构成：第1臂部21A；第2臂部21B；连接第1臂部21A与第2臂部21B的一端的连接部21C；以及与连接部21C分离地设置的粘接部21D。此外，如图5中所示，在振子21中，在由硅(Si)构成的基体材料22的上表面的整个面上设置了由铂(Pt)和钛(Ti)合金薄膜构成的共同GND电极23。进而，在共同GND电极23的上表面上设置了由钛酸锆酸铅(PZT)薄膜构成的压电层24。然后，如图4中所示，在上表面的大致中央的内侧，振子21在压电层24的上表面上具备一对第1驱动电极25。此外，振子21在大致中央的外侧的压电层24的上表面上具备一对第2驱动电极26。此外，振子21在上表面的前端一侧的压电层24的上表面上具备一对检测电极27，同时在与第1驱动电极25相比处于根部一侧的压电层24的上表面上具备监测电极28。此外，在振子21的粘接部21D中，在压电层24的表面上具备GND电极29。

由陶瓷构成的壳体30从内底面到外底面具备由陶瓷和布线用导体的层结构构成的多层电路基板31。在多层电路基板31的上表面上，如图6中所示，设置了第1布线用电极32和第2布线用电极33。此外，在多层电路基板31的上表面上，利用第1布线用电极32和由金(Au)或铝构成的引线34导电性地连接了IC35。电容器36与第2布线用电极33导电性地连接。IC35构成处理从振子21的检测电极27输出的输出信号的电路。此外，IC被容纳在壳体30的内侧。此外，如图7中所示，构成壳体30的底部的多层电路基板31的外底面具备由银构成的6个壳体电极37。此外，如图6中所示，壳体30在多层电路基板31的上表面的整个外周上具备由陶瓷构成的侧壁38，在侧壁38的上表面上具备由科瓦铁镍钴合金构成的金属框39。

再者，如图6中所示，在壳体30的内底面上具备台阶部40，台阶部40与图4中示出的振子21的粘接部21D粘接。在台阶部40的粘接粘接部21D的两侧，设置了第3布线用电极41。第3布线用电极41经引线34与振子21的第1驱动电极25、第2驱动电极26、检测电极27、监测电极28和GND电极29导电性地连接。在这样的结构中，振子21具有对振动没有影响的粘接部21D，将粘接部21D粘接在壳体30的台阶部40上。因此，即使振子21实现了小型化，粘接部21D也不象现有的角速度传感器那样被小型化。于是，振子21被牢固地粘接在壳体30上。

在用氮充满了壳体30的内侧的情况下，金属制的盖42密封壳体30的开口部。将用树脂构成的容纳部43构成为以与作为角速度的被测定物的对象侧基板(未图示)垂直的方向定为角速度的检测轴。容纳部43容纳壳体30。此外，容纳部43如图2所示，埋置了电源端子44、输出端子45、GND端子46、第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49的一端。在此，电源端子44与振子21的第1驱动电极25和第2驱动电极26导电性地连接。输出端子45与检测电极27导电性地连接。第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49在组装时用作校准。

如图1、图8中所示，位于容纳部43的大致中央并与容纳部43中的角速度的检测轴大致平行地设置的放置部50放置壳体30。在放置部50中埋置了电源端子44、输出端子45、GND端子46、第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49的另一端。这些端子的前端部44A从放置部50露出。在图8中代表性地示出了端子47或端子48的前端部44A。此外，如图2中所示，在与放置部50中的角速度的检测轴平行的方向上设置GND端子46和第2调整端子48。位于放置部50的两侧并在与角速度的检测轴垂直的方向上设置电源端子44、输出端子45、第1调整端子47和调整用GND端子49。

通过如上这样来构成，在与角速度的检测轴平行的方向上设置的GND端子46和第2调整端子48固定所检测的角速度的中心轴。此外，在与角速度的检测轴垂直的方向上设置的电源端子44、输出端子45、第1调整端子47和调整用GND端子49防止壳体因微小振动而在角速度的方向上移动。由此，在没有对角速度传感器施加角速度的状态下，由于壳体30不在角速度的方向上发生位移，故提高了角速度传感器的输出特性。

此外，位于容纳部43的大致中央并与容纳部43中的角速度的检测轴大致平行地设置放置部50。因此，以不倾斜于容纳部43中的检测轴的方式设置壳体30和在壳体30中被容纳的振子21。由此，由于对振子21施加的角速度的矢量变大，故在输出特性中不发生损耗。

此外，壳体30被放置在容纳部43中的放置部50中。而且，壳体30中的壳体电极37与放置部50中的端子44、45、46、47、48、49的前端部44A导电性地连接。由于前端部44A也与壳体30以机械方式连接，故由端子44、45、46、47、48、49从周围支撑壳体30。即，振子21被容纳在壳体30内，同时由这些端子44、45、46、47、48、49从周围支撑壳体30。因此，振子21被实现了小型化，同时即使从外部对端子44、45、46、47、48、49施加强的振动，也由壳体30可靠地保持振子21。由此，确保了保持振子21的强度，角速度传感器的输出特性不下降。即使保持壳体的端子只有1个，也具有兼顾角速度传感器的小型化和振子保持的效果。但是，如上所述，希望配置多个端子，而且从周围并从与角速度的检测轴相同的方向和与其垂直的方向这两个方向来支撑壳体。

此外，在容纳部43的外底面上，如图3中所示，设置了6个电极用凹部51。而且，在电极用凹部51中使埋置于容纳部43中的端子44、45、46、47、48、49的前端部露出。由此，设置了电源电极52、GND电极53、输出电极54、第1调整电极55、第2调整电极56和调整GND电极57。因此，没有必要与这些端子44、45、46、47、48、49分开地设置电极52、53、54、55、56、57。此外，也没有必要用焊接等的方法导电性地连接这些端子44、45、46、47、48、49与电极52、53、54、55、56、57。由此，可谋求削减部件数目，同时可容易地形成电极52、53、54、55、56、57。此外，如图7中所示，在壳体30的底面上设置了壳体电极37。而且，从放置部50使电源端子44、输出端子45、GND端子46、第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49中的一端的前端部44A露出。再者，通过在放置部50中放置壳体30，构成为彼此导电性地连接壳体电极37与这些端子44、45、46、47、48、49中的一端的前端部44A。在放置部50上放置了壳体30后，对这些端子44、45、46、47、48、49中的一端的前端部44A与壳体电极37进行焊接。通过这样做，将电源端子44连接到振子21的第1驱动电极25和第2驱动电极26上，同时可将输出端子45导电性地连接到检测电极27上。由此，可提供组装性提高了的角速度传感器。

而且，如图2中所示，在端子44、45、46、47、48、49中，在大致中央处分别设置了Z形状的弯曲部44B。构成为利用弯曲部44B使壳体30相对于容纳部43发生位移。因此，在振动从外部传递给端子44、45、46、47、48、49并将要传递给振子21的情况下，壳体30相对于容纳部43发生位移。由此，由于振动能量被消耗，故传递给振子21的振动被衰减。其结果，由于减少了因振动而从振子21的检测电极27发生错误的输出信号的情况，故角速度传感器的输出特性变得稳定。

再者，在容纳部43的外底面上，如图9中所示，设置了3个凹部58。金属制的盖59，如图1中所示，在开口部一侧具备3个止动爪60，用图3中示出的容纳部43中的凹部58对止动爪60进行挤缝固定。而且，如图3中所示，在容纳部43的外底面上设置GND电位连接部61。利用该结构，仅通过将角速度传感器中的容纳部43的外底面安装在对象侧电路基板(未图示)上，可将GND电位连接部61导电性地连接到对象侧电路基板(未图示)中的GND上。其结果，可使金属制的盖59的电位定为GND电位。因此，盖59成为电磁波的屏蔽器，由此，由于可隔断从外部朝向振子21的检测电极27或IC35的电磁波，故角速度传感器的输出信号变得稳定。

对于如以上那样构成的本发明的实施方案1中的角速度传感器，说明其组装方法。

首先，按图10A～图10F来说明振子21的形成方法。

利用蒸镀在预先准备的由Si构成的基体材料22的上表面上形成由Pt和Ti的合金薄膜构成的共同GND电极23。其后，利用蒸镀在共同GND电极23的上表面上形成由PZT薄膜构成的压电层24。

其次，利用蒸镀在压电层24的上表面上形成由Ti和Au的合金薄膜构成的形成中途电极25A，其后，如图10E中所示，除去共同GND电极23、压电层24和形成中途的电极25A的不需要的部位以便成为规定的形状。以这种方式在压电层24的上表面上形成第1驱动电极25、第2驱动电极26、检测电极27、监测电极28和GND电极29。

其次，通过对共同GND电极23施加电压，同时使第1驱动电极25、第2驱动电极26、检测电极27、监测电极28和GND电极29接地，对压电层24进行极化。

其次，通过除去基体材料22中的不需要的部位，如图10F中所示，形成各个振子21。

另一方面，预先准备由陶瓷构成的绝缘体(未图示)和布线用导体(未图示)构成的多层电路基板31和台阶部40。然后，在其上表面上形成由Au构成的第1布线用电极32、第2布线用电极33和第3布线用电极41。其后，在多层电路基板31的下表面上形成由Ag构成的壳体电极37。其次，在多层电路基板31的上表面的整个外周上形成由陶瓷构成的侧壁38，其后，在该侧壁38的上表面上粘接由科瓦铁镍钴合金构成的金属框39。以这种方式形成壳体30。

其次，将IC35安装在壳体30中的多层电路基板31的大致中央的上表面上。其后，经引线34并利用引线结合导电性地连接IC35电极(未图示)与多层电路基板31的第1布线用电极32。

其次，将电容器36焊接到壳体30的第2布线用电极33上。

其次，将振子21的粘接部21D的下表面粘接在壳体30的台阶部40的上表面上。其后，经由铝构成的引线34并利用引线结合导电性地连接在振子21的上表面上形成的第1驱动电极25、第2驱动电极26、检测电极27、监测电极28和GND电极29与壳体30的第3布线用电极41。

其次，在氮的气氛中利用缝焊接将金属制的盖42粘接在壳体30的开口部上。

其次，在成形金属模(未图示)中设置通过预先折弯而设置了弯曲部44B的电源端子44、输出端子45、GND端子46、第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49。然后，使已熔融的树脂流入成形金属模(未图示)中，形成放置部50。此时，如图11A中所示，将电源端子44、输出端子45、GND端子46、第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49的一端埋置于放置部50中。此外，将这些端子的一端的前端部44A埋置成从放置部50露出。此外，同时经在成形金属模(未图示)中的通过门(未图示)中设置的连接部62形成容纳部43。此时，将端子44、45、46、47、48、49的另一端埋置于容纳部43内。此外，形成为从容纳部43的外底面露出这些端子中的另一端的前端部44C，再者，在容纳部43的外底面上形成电极用凹部51和凹部58。

其次，如图11B中所示，除去连接容纳部43与放置部50的连接部62，分离容纳部43与放置部50的由树脂引起的连接。

即，用同一材料的树脂构成容纳部43和放置部50，用1次成形同时形成放置部50和容纳部43。通过这样做，削减了角速度传感器的组装工序数。

其次，在放置部50上放置了壳体30后，从放置部50的底面一侧进行焊接。由此，导电性地连接电源端子44、输出端子45、GND端子46、第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49的前端部44A与壳体30的壳体电极37。

其次，如图12中所示，在容纳部43的外底面上设置的电极用凹部51的位置上折弯端子44、45、46、47、48、49的另一端的前端部44C。以这种方式在容纳部43的外底面上形成电源电极52、GND电极53、输出电极54、第1调整电极55、第2调整电极56和调整GND电极57。

最后，将金属制的盖59盖在容纳部43上后，将在盖59的开口部一侧设置的3个止动爪60定位在容纳部43的外底面上设置的3个凹部58上并进行挤缝固定。这样，在容纳部43的外底面上形成GND电位连接部61。

以下说明如以上那样构成的本发明的实施方案1中的角速度传感器的工作。

首先，对在振子21中的第1臂部21A和第2臂部21B上分别设置的第1驱动电极25施加正电压，同时对第2驱动电极26施加负电压。于是，位于第1驱动电极25的下侧的压电层24伸展，同时位于第2驱动电极26的下侧的压电层24收缩。因此，如图13中所示，第1臂部21A和第2臂部21B朝向外侧打开。

相反，对第1驱动电极25施加负电压，同时对第2驱动电极26施加正电压。于是，位于第1驱动电极25的下侧的压电层24收缩，同时位于第2驱动电极26的下侧的压电层24伸展。因此，如图14中所示，第1臂部21A和第2臂部21B朝向内侧闭合。即，如果对第1驱动电极25和第2驱动电极26施加交流电压，则第1臂部21A和第2臂部21B以面内方向的固有振动频率进行速度V的弯曲运动。而且，关于振子21的弯曲运动，通过调整对第1驱动电极25和第2驱动电极26施加的电压，使得从监测电极28发生的输出信号为恒定、控制了弯曲振动的振幅。

如果在臂部21A和臂部21B以固有振动频率进行了弯曲运动的状态下振子21在长度方向的中心轴(检测轴)周围以角速度ω旋转，则在臂部21A和臂部21B中发生哥氏力。其大小为F＝2mVω。在此，m是各臂部的质量。将由因该哥氏力在位于检测电极27的下侧的压电层24上发生的电荷构成的输出信号输入到IC35中。此时，信号经检测电极27、引线34、第3布线用电极41、多层电路基板31、第1布线用电极32和引线34输入到IC35中。在IC35进行了波形处理后，经第2布线用电极33、电容器36、壳体电极37、输出端子45中的前端部44A、输出端子45，输出电极54输入到对象侧的计算机(未图示)中。因此来检测角速度。

在此，在不必要的振动从外部传递给角速度传感器的情况下，振动的物体的固有振动频率f如式(1)那样来表示。这样的振动经电源端子44、输出端子45、GND端子46、第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49来传递。

$f=\frac{1}{2\×\mathrm{\π}}\sqrt{\frac{K}{M}}$

在此，K是备端子的弹簧常数的矢量和，M是各端子的质量和由端子支撑的物体的质量的总和。

如果由电源端子44、输出端子45、GND端子46、第1调整端子47、第2调整端子48和调整用GND端子49来只支撑振子21，则在将这些端子结合到振子21上的状态下的固有振动频率为4KHz。另一方面，在本发明的实施方案1中的角速度传感器中，这些端子44、45、46、47、48、49从周围支撑容纳振子21的壳体30。这样的结构中的固有振动频率约为1.5KHz。而且，如图15中所示，在振子21的固有振动频率为17KHz附近的振动传递率在这些端子44、45、46、47、48、49从周围支撑容纳振子21的壳体30的情况下约为0.01。该值与由端子44、45、46、47、48、49只支撑了振子21的情况的振动传递率0.06相比约为1/6。其结果，由于来自外部的不必要的振动难以传递给振子21，故角速度传感器的输出特性不会下降。

此外，在实施方案1中，用树脂构成了埋置端子44、45、46、47、48、49的另一端的容纳部43。因此，在振动从外部传递给端子44、45、46、47、48、49并将要传递给振子21的情况下，利用用树脂构成的容纳部43将振动能量变化为热能量。由此，经过端子44、45、46、47、48、49传递的振动就被衰减。因此，进一步减少了由振动引起的振子21异常地振动而从振子21的检测电极27发生错误的输出信号的情况，故角速度传感器的输出特性变得稳定。

(实施方案2)

图16是本发明的实施方案2中的角速度传感器的分解立体图。图17、图18分别是该角速度传感器中的容纳部的立体图、从底面一侧看容纳部的立体图。图19是同一角速度传感器中壳体的立体图。再有，对于与实施方案1同样的结构的部分附以同一标号，省略其说明。

实施方案2与实施方案1不同之处是，如图19中所示，在壳体71的外底面上设置了4个电容器电极72。而且，如图16中所示，将电容器73安装在电容器电极72上，同时在放置部74中设置孔75，定位于该孔75而***电容器73。由于定位于该孔75而设置电容器73，故能以小型化的方式形成不对来自角速度传感器的输出信号施加来自外部的噪声信号的电路结构。

此外，在实施方案2中，如图20中所示，容纳部76用作为具有层叠结构部77的材料的液晶聚合物来构成。因此，在层叠结构部77的各自的界面上吸收振动，同时由于层叠结构部77具有高弹性，故提高了容纳部76的耐振性和强度。

此外，由于使用了液晶聚合物作为具有构成容纳部76的层叠结构的材料，故利用射出成形来构成层叠结构部77，容易地构成提高了耐振性和强度的容纳部76。

此外，在实施方案2中，如图18中所示，在设置了容纳部76中的电源电极78、GND电极79和输出电极80的部分的两侧设置了比这些电极78、79、80突出的突出部81。该突出部的底面与角速度的检测轴垂直。通过这样来构成，在将角速度传感器放置在对象侧基板(未图示)上时，容纳部76中的突出部81与对象侧基板(未图示)相接。由此，能与对象侧基板(未图示)垂直地放置角速度传感器。因而，容纳部76中的角速度的检测轴与对象侧基板(未图示)的面垂直。其结果，由于对振子21施加的角速度的矢量变大，故在角速度传感器的输出特性中不发生损耗。

按照本发明，在壳体内容纳振子，同时构成为利用其另一端被埋置于容纳部中的端子从周围支撑该壳体。因此，使振子实现小型化，同时即使从外部对端子施加强的振动，也可利用壳体可靠地保持振子。由此，由于保持振子的强度不下降，故可提供小型化的且输出特性不下降的角速度传感器。

Claims (17)

1.一种角速度传感器，具备：

振子；

壳体，容纳上述振子；

壳体电极，被设置在上述壳体的外底面上，与上述振子导电性地连接；

端子，其一端通过上述壳体电极被导电性地连接到上述振子上；

容纳部，容纳上述壳体，同时埋置上述端子的一部分，并使上述端子的另外一端在外表面露出；

放置部，该放置部放置上述壳体并位于上述容纳部的大致中央处，与上述容纳部中的角速度的检测轴大致平行地设置，并埋置了上述端子的连接到上述振子上的一端；以及

从上述放置部露出的、与上述壳体电极导电性地连接的上述端子的前端部，

上述容纳部通过上述端子来支撑上述壳体。

2.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

具备数个上述端子，

构成为在上述容纳部中利用上述端子从周围来支撑上述壳体。

3.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

在上述端子上设置了弯曲部。

4.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

用树脂构成了上述容纳部。

5.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

还具备金属制的盖，该盖覆盖上述容纳部并在开口部侧设置了止动爪，

在上述容纳部的外底面上设置了凹部，用容纳部中的凹部挤缝固定了上述盖的止动爪。

6.如权利要求5中所述的角速度传感器，其中：

将用上述容纳部的外底面的凹部挤缝连接了的上述盖的止动爪作为接地电位连接部。

7.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

还具备通过使上述端子的在外表面露出的一端的前端部在上述容纳部的外底面上设置的凹部中露出而设置的电极。

8.如权利要求4中所述的角速度传感器，其中：

用与上述容纳部相同的树脂材料构成了上述放置部。

9.如权利要求7中所述的角速度传感器，其中：

在上述容纳部中还具备突出部，该突出部位于上述电极的两侧，比上述电极还突出，其底面与角速度的检测轴垂直。

10.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

用具有层叠结构的材料构成了上述容纳部。

11.如权利要求10中所述的角速度传感器，其中：

具有上述层叠结构的材料是液晶聚合物。

12.如权利要求2中所述的角速度传感器，其中：

还具备放置部，该放置部放置上述壳体并位于上述容纳部的大致中央处，与上述容纳部中的角速度的检测轴大致平行地设置，

在放置部中的与角速度的检测轴平行的方向上设有上述数个端子中的至少1个端子，在与角速度的检测轴垂直的方向上设有其它端子中的至少1个端子。

13.如权利要求12中所述的角速度传感器，其中：

在与角速度的检测轴垂直的方向上并在位于放置部的两侧设置了上述数个端子中的至少2个端子。

14.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

还具备处理上述振子输出的信号的电路，

在上述放置部设置了孔，在该孔中配置了构成上述电路的部件。

15.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

上述振子是音叉式的。

16.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

上述振子具备驱动电极和检测电极。

17.如权利要求1中所述的角速度传感器，其中：

还具备处理上述振子的输出信号的电路，上述电路具有集成电路。

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