CN117700125A - 一种石英板的焊接方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种石英板的焊接方法，提供第一石英板和第二石英板；对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理；固定所述第一石英板和所述第二石英板，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间有一预设距离；将焊接件放置于倒角处并用焊枪进行焊接，本发明提供了一种石英板的焊接方法，相比于传统方法下的两次倒角，本发明只倒角一次，简化步骤的同时，焊接作业可以由单人一边手持焊接件，一边使用焊枪焊接来完成，实现单人一次拉料完成作业，相较于传统方法下的三人共同焊接作业，本发明的焊接方法节省人力，提高了作业效率，单人使用焊枪也更安全。

Description

一种石英板的焊接方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种石英板的焊接方法。

背景技术

石英玻璃制品是广泛应用于半导体芯片制程中的重要器件，在一些特定的工艺中，石英玻璃制品需要通过热加工的方式结合在一起，比如在清洗硅片的过程中需要使用耐酸耐碱的高纯石英清洗槽，而石英清洗槽就是由多块石英板拼焊成的槽体。

现有技术中，石英板在焊接之前需要对焊接面上宽度方向的两端进行倒角，请参考附图2、3和4的左边示意图，这里的倒角尺寸一般为C1-C3，也即倒角的直角边宽度为1至3毫米，倒角后，对两个石英板进行固定，使得两个倒角端对准另一个石英板，两个石英板之间的距离，也即定位焊缝一般为1至1.5毫米，固定好后将两个焊接件，一般是焊丝，分别放置在两个倒角处，焊接件的直径一般为3至4毫米，然后通过5#单层出火口的火焰枪进行焊接，待焊丝熔化将两个石英板粘合，焊接结束。

整个焊接过程需由三人配合进行作业，一人手拉两个焊丝，再由两人各自手持一个火焰枪对一个焊丝进行焊接作业，这样的作业方式十分耗费人力。

发明内容

本发明主要提供了一种石英板的焊接方法，用以解决上述背景技术中提出的焊接方法耗费人力等技术问题。

本发明解决上述技术问题采用的技术方案为：

一种石英板的焊接方法，包括：提供第一石英板和第二石英板；对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理；固定所述第一石英板和所述第二石英板，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间有一预设距离；将焊接件放置于倒角处并用焊枪进行焊接。

优选的，在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，通过固定装置对所述第一石英板进行水平固定，对所述第二石英板进行竖直固定，且所述第一石英板的焊接面朝向所述第二石英板的焊接面。

优选的，在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，所述第一石英板的倒角朝上进行固定。

优选的，在将焊接件放置于倒角处步骤中，将所述焊接件卡接在倒角和所述第二石英板之间。

优选的，在用所述焊枪进行焊接步骤中，单人一边手持焊接件，一边用所述焊枪对准所述焊接件进行焊接作业。

优选的，在提供所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，所述第一石英板的焊接面宽度为4至6毫米，在对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理步骤中，所述倒角的直角边宽度为2至4毫米；在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间1.5至2毫米的距离；在将焊接件放置于倒角处步骤中，所述焊接件的直径为4至5毫米。

优选的，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，使用石英焊接件放置于所述倒角处。

优选的，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，所述焊接件是焊丝、焊条或焊块。

优选的，在用所述焊枪进行焊接步骤中，使用双层出火口的所述焊枪进行焊接。

优选的，在用所述焊枪进行焊接步骤中，双层出火口的所述焊枪内圈出火口的内径为1.5至2毫米，外圈出火口的内径为7至8毫米。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

本发明提供了一种石英板的焊接方法，相比于传统方法下的两次倒角，本发明只倒角一次，简化步骤的同时，焊接作业可以由单人一边手持焊接件，一边使用焊枪焊接来完成，实现单人一次拉料完成作业，相较于传统方法下的三人共同焊接作业，本发明的焊接方法节省人力，提高了作业效率，单人使用焊枪也更安全。

以下将结合附图与具体的实施例对本发明进行详细的解释说明。

附图说明

图1：本发明部分实施例的整体流程示意图；

图2：本发明部分实施例和现有技术对比下两个石英板焊接前的示意图；

图3：图2的A处结构放大示意图；

图4：本发明部分实施例和现有技术对比下两个石英板焊接后的示意图；

图5：本发明部分实施例和现有技术对比下焊***构示意图；

图6：本发明部分实施例和现有技术对比下焊枪的出火端结构示意图。

附图标记说明：

100第一石英板；

101倒角；

200第二石英板。

300焊接件；

400焊枪。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

现有技术中，请参考附图2、3和4的左边示意图，石英板倒角的直角边宽度为1至3毫米，定位焊缝一般为1至1.5毫米，焊接件300的直径一般为3至4毫米，然后通过单层出火口的焊枪400进行焊接，整个焊接过程需由三人配合进行作业，一人手拉两个焊接件300，再由两人各自手持一个焊枪400对一个焊接件300进行焊接作业，这样的作业方式十分耗费人力，另外，多人同时使用焊枪400危险系数也大。

本发明实施例提供了一种石英板的焊接方法，请参考附图1，焊接方法包括：

S1：提供第一石英板100和第二石英板200。

具体的，在本发明的一些具体实施例中，第一石英板100的焊接面宽度为4至6毫米，示例性的，该焊接面宽度可以是4毫米，可以是5毫米，也可以是6毫米，其中最常见的是5毫米。

S2：对第一石英板100的焊接面进行一个倒角处理。

值得说明的是，这里的倒角指的是在第一石英板100的棱角切削成一定斜面的加工方法，该斜面的角度一般是45度，也可以是30度，或者60度。

具体的，在本发明的一些具体实施例中，倒角101的直角边宽度为2至4毫米，示例性的，直角边宽度可以是2毫米，可以是3毫米，也可以是4毫米。

明显的，本发明实施例中，请参考附图2、3和4的右边示意图，本发明只倒角一次，且倒角101的直角边宽度为2至4毫米，不同于传统方法下的两次倒角，以及倒角101的直角边宽度为1至3毫米，本发明更加有利于后续的大直径焊接件300一次拉料完成作业。

S3：固定第一石英板100和第二石英板200，保持第一石英板100的焊接面和第二石英板200的焊接面之间有一预设距离。

具体的，在本发明的一些具体实施例中，保持第一石英板100的焊接面和第二石英板200的焊接面之间1.5至2毫米的距离，明显的，本发明实施例中，第一石英板100的焊接面和第二石英板200的焊接面之间1.5至2毫米的距离大于传统方法下的定位焊缝1至1.5毫米，这也是为了适配后续的大直径焊接件300，便于一次拉料完成作业。

另外，在本发明的一些具体实施例中，请参考附图2和3的右边示意图，该步骤中通过固定装置对第一石英板100进行水平固定，对第二石英板200进行竖直固定，且第一石英板100的焊接面朝向第二石英板200的焊接面，进一步的，在本发明的一些具体实施例中，第一石英板100的倒角101朝上进行固定，倒角101朝上便于作业人员手持焊接件300进行放置，并且当焊接件300熔融后可以依靠自身重力填充第一石英板100和第二石英板200间的间隙，达到粘接两个石英板的目的。

S4：将焊接件300放置于倒角101处并用焊枪400进行焊接。

具体的，在本发明的一些具体实施例中，其中焊接件300的直径为4至5毫米，示例性的，焊接件300的直径可以是4毫米，可以是4.5毫米，也可以是5毫米，相较于传统方法下的焊接件300一般为3至4毫米，本发明的焊接件300尺径更大，在熔融后可以填充定位焊缝，充当了原有的两个焊接件300的作用。

在本发明的一些具体实施例中，请参考附图2和3的右边示意图，该步骤中，将焊接件300卡接在倒角101和第二石英板200之间，此时作业人员可以手持焊接件300放置在倒角101处，并向下按压使得焊接件300卡接在倒角101和第二石英板200之间，这样的操作一是便于对焊接件300进行定位，避免在焊接作业过程中，焊接件晃动影响焊接质量，二是在焊接件300熔融时可以同时接触第一石英板100和第二石英板200，最终达到粘接两者的目的。

进一步的，在本发明的一些具体实施例中，在用焊枪400进行焊接步骤中，单人一边手持焊接件300，一边用焊枪400对准焊接件300进行焊接作业，相较于传统方法下，需要三个人同时作业，本发明单人即可完成焊接作业，大大节省了人力成本，提高了作业效率。

另外，在本发明的一些具体实施例中，焊接件300的材料是石英，焊接件300选用和两个石英板相同的材料石英，相同的材料具有相似的物理和化学性质，可以减少焊接时产生的夹杂物、缺陷和瑕疵，提高焊接质量，还可以提高焊接速度，减少打磨等加工工序。

还有，在本发明的一些具体实施例中，焊接件300是焊丝、焊条或焊块，这里的焊丝、焊条或焊块均是用于熔融后粘接第一石英板100和第二石英板200，不同之处在于焊条、焊丝均是条状材料，前者直径一般更大，而焊块则是块状材料，也可以填充在待焊接处，其中，焊丝最为常用。

另外，在本发明的一些具体实施例中，请参考附图5和6，附图5和6上方示意图是传统焊枪400，而下方示意图是本发明采用的焊枪400，本发明的双层出火口的焊枪400，相比于传统的单层出火口的焊枪400，双层出火口的火焰更大，可以提高焊接件300的熔融速度，也即提高焊接速度。

具体的，在本发明的一些具体实施例中，双层出火口的焊枪400内圈出火口的内径为1.5至2毫米，外圈出火口的内径为7至8毫米，出火口宽度一般为2毫米左右，有了外圈出火口额外提供的火焰，本发明的火焰相比于传统焊枪400火焰会更大，焊接效率更高。

本发明提供了一种石英板的焊接方法，相比于传统方法下的两次倒角，本发明只倒角一次，简化步骤的同时，焊接作业可以由单人一边手持焊接件300，一边使用焊枪400焊接来完成，实现单人一次拉料完成作业，相较于传统方法下的三人共同焊接作业，本发明的焊接方法节省人力，提高了作业效率，单人使用焊枪400也更安全。

采用本发明提供的石英板的焊接方法，焊接宽600毫米，厚(焊接面宽度)5毫米的第一石英板100，传统方法下需要3个人共同工作30分钟左右，现在只需单人工作10分钟左右即可，明显节省人力的同时还大大提高了工作效率。

虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (10)

1.一种石英板的焊接方法，其特征在于，包括：

提供第一石英板和第二石英板；

对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理；

固定所述第一石英板和所述第二石英板，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间有一预设距离；

将焊接件放置于倒角处并用焊枪进行焊接。

2.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，通过固定装置对所述第一石英板进行水平固定，对所述第二石英板进行竖直固定，且所述第一石英板的焊接面朝向所述第二石英板的焊接面。

3.根据权利要求2所述的焊接方法，其特征在于，在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，所述第一石英板的所述倒角朝上进行固定。

4.根据权利要求3所述的焊接方法，其特征在于，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，将所述焊接件卡接在所述倒角和所述第二石英板之间。

5.根据权利要求4所述的焊接方法，其特征在于，在用所述焊枪进行焊接步骤中，单人一边手持焊接件，一边用所述焊枪对准所述焊接件进行焊接作业。

6.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，在提供所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，所述第一石英板的焊接面宽度为4至6毫米；

在对所述第一石英板的焊接面进行一个倒角处理步骤中，所述倒角的直角边宽度为2至4毫米；

在固定所述第一石英板和所述第二石英板步骤中，保持所述第一石英板的焊接面和所述第二石英板的焊接面之间1.5至2毫米的距离；

在将焊接件放置于倒角处步骤中，所述焊接件的直径为4至5毫米。

7.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，使用石英焊接件放置于所述倒角处。

8.根据权利要求1或7所述的焊接方法，其特征在于，在将所述焊接件放置于所述倒角处步骤中，所述焊接件是焊丝、焊条或焊块。

9.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，在用所述焊枪进行焊接步骤中，使用双层出火口的所述焊枪进行焊接。

10.根据权利要求9所述的焊接方法，其特征在于，在用所述焊枪进行焊接步骤中，双层出火口的所述焊枪内圈出火口的内径为1.5至2毫米，外圈出火口的内径为7至8毫米。