CN112133658A - 一种石英舟的加工生产方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体石英材料生产方式方法技术领域，公开了一种石英舟的加工生产方法，包括以下步骤：准备工序、组装、粘接、退火、清洗、检验,本方法对现有技术进行改进，通过喷灯对槽棒两端同时加热，使其变为半融化状态，再通过接卸装置将天板以及受台压紧在槽棒两端，完成粘结，因不需要焊接，没有焊口，所以不需要手工研磨焊口，主要步骤粘接由机械完成，人员不需要有常年的工作经验只需要简单培训即可生产，给人们的使用带来了方便。
Description
技术领域
本发明涉及石英舟生产技术领域，具体为一种石英舟的加工生产方法。
背景技术
石英舟是一种半导体硅片承载工具，目前应用最为广泛有两个用途：1.太阳能电池片在制作过程中有一步很关键的步骤叫扩散，这个步骤中需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品；2.半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片，比如LED外延片生产过程中，需要多次硅片外观、产品性能检验，检验前、检验后的产品都需要石英舟承载。如说明书附图图1所示，常见的石英舟包括两侧板，以及固定在两侧板之间的两石英舟上槽棒和两石英舟下槽棒。
中国发明专利申请CN109887873A公开了一种高品质石英舟的生产加工方法，包括来料检、切割、加工中心加工、酸洗、纯水清洗、火加工、支承退火、酸洗、纯水清洗、封装发货等工序。
该方法可完成石英舟的制备，但是在制备过程中，需要以焊接的形式固定槽棒，天板和受台的相对位置，这种生产方法焊口粗糙，需要手工研磨，耗费时间长，返工率高，使用不方便。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种石英舟的加工生产方法，解决了现有生产方法存在焊口，需要后续人工研磨焊口，生产效率低的问题。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种石英舟的加工生产方法，包括以下步骤：
S1：准备工序：将冷加工处理好的三支槽棒、天板和受台用去离子水清洗1-5分钟，用氮气吹干；
S2：组装：将步骤S1清洗完毕的三支槽棒固定在石墨治具上，并将天板以及受台分别放置于槽棒两侧；
S3：粘接：用喷灯同时加热三支槽棒的两端使其达到半融化状态，然后将天板以及受台向内侧相对按压；
S4：退火：将步骤S3粘接好的石英舟从石墨治具上取下，放入退火炉中退火；
S5：清洗：用去离子水清洗步骤S4退火完毕的石英舟1-5分钟；
S6：检验：对生产完成的石英舟进行检验，完成制备。
优选的，所述石墨治具包括底板以及两侧的一对侧板，所述底板与一对所述侧板一体成型，一对所述侧板为凸型结构，一对所述侧板上壁相对设置有三对嵌槽，三支与所述槽棒分别嵌装于三对所述嵌槽内。
优选的，所述天板外缘设置有三个与所述槽棒对应的连接凸耳。
优选的，步骤S3中通过机械装置将所述天板以及受台向内侧相对按压。
优选的，步骤S1中的清洗时间为3分钟。
优选的，步骤S5中的清洗时间为3分钟。
优选的，所述槽棒两端达到半融化的温度为2000℃。
有益效果
本发明提供一种石英舟的加工生产方法，具备以下有益效果:本方法对现有技术进行改进，通过喷灯对槽棒两端同时加热，使其变为半融化状态，再通过接卸装置将天板以及受台压紧在槽棒两端，完成粘结，因不需要焊接，没有焊口，所以不需要手工研磨焊口，主要步骤粘接由机械完成，人员不需要有常年的工作经验只需要简单培训即可生产，使用方便。
附图说明
图1石英舟粘接完成轴向示意图。
图2石英舟粘接前轴向示意图。
图中1、天板；2、受台；3、槽棒；4、石墨治具。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：一种石英舟的加工生产方法，包括以下步骤：S1：准备工序：将冷加工处理好的三支槽棒3、天板1和受台2用去离子水清洗1-5分钟，用氮气吹干；S2：组装：将步骤S1清洗完毕的三支槽棒3固定在石墨治具4上，并将天板1以及受台2分别放置于槽棒3两侧；S3：粘接：用喷灯同时加热三支槽棒3的两端使其达到半融化状态，然后将天板1以及受台2向内侧相对按压；S4：退火：将步骤S3粘接好的石英舟从石墨治具4上取下，放入退火炉中退火；S5：清洗：用去离子水清洗步骤S4退火完毕的石英舟1-5分钟；S6：检验：对生产完成的石英舟进行检验，完成制备；所述石墨治具4包括底板以及两侧的一对侧板，所述底板与一对所述侧板一体成型，一对所述侧板为凸型结构，一对所述侧板上壁相对设置有三对嵌槽，三支与所述槽棒3分别嵌装于三对所述嵌槽内；所述天板1外缘设置有三个与所述槽棒3对应的连接凸耳；步骤S3中通过机械装置将所述天板1以及受台2向内侧相对按压；步骤S1中的清洗时间为3分钟；步骤S5中的清洗时间为3分钟；所述槽棒3两端达到半融化的温度为2000℃。
实施例：本发明以一种立式石英舟的新型生产方法为例，将机械加工完成的槽棒3，天板1与受台2用去离子水清洗1-5分钟，将石墨治具4，槽棒3，天板1和受台2按图纸摆放，即将槽棒3放入石墨治具4的嵌槽内，将天板1以及受台2放置在槽棒3两侧，摆放完毕后开始加热，用喷灯对槽棒3两端灼烧，使其达到半融化状态，即2000℃，用机械结构将天板1与受台2向内侧按压，即图2箭头指示方向，将粘接好的石英舟从石墨治具4上取下，放入退火炉退火，退火完成后用去离子水清洗，1-5分钟，对石英舟进行尺寸检验。完成了石英舟的生产过程。
本石英舟新型生产方法，与常规方法相比，耗费时间短，人员成本低，外观较好，可实现半机械化生产。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种石英舟的加工生产方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：准备工序：将冷加工处理好的三支槽棒、天板和受台用去离子水清洗1-5分钟，用氮气吹干；
S2：组装：将步骤S1清洗完毕的三支槽棒固定在石墨治具上，并将天板以及受台分别放置于槽棒两侧；
S3：粘接：用喷灯同时加热三支槽棒的两端使其达到半融化状态，然后将天板以及受台向内侧相对按压；
S4：退火：将步骤S3粘接好的石英舟从石墨治具上取下，放入退火炉中退火；
S5：清洗：用去离子水清洗步骤S4退火完毕的石英舟1-5分钟；
S6：检验：对生产完成的石英舟进行检验，完成制备。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟的加工生产方法，其特征在于，所述石墨治具包括底板以及两侧的一对侧板，所述底板与一对所述侧板一体成型，一对所述侧板为凸型结构，一对所述侧板上壁相对设置有三对嵌槽，三支与所述槽棒分别嵌装于三对所述嵌槽内。
3.根据权利要求2所述的一种石英舟的加工生产方法，其特征在于，所述天板外缘设置有三个与所述槽棒对应的连接凸耳。
4.根据权利要求1所述的一种石英舟的加工生产方法，其特征在于，步骤S3中通过机械装置将所述天板以及受台向内侧相对按压。
5.根据权利要求1所述的一种石英舟的加工生产方法，其特征在于，步骤S1中的清洗时间为3分钟。
6.根据权利要求1所述的一种石英舟的加工生产方法，其特征在于，步骤S5中的清洗时间为3分钟。
7.根据权利要求1所述的一种石英舟的加工生产方法，其特征在于，所述槽棒两端达到半融化的温度为2000℃。
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| CN (1) | CN112133658A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116021240A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-04-28 | 杭州泓芯微半导体有限公司 | 一种石英舟加工工艺 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6576863B1 (en) * | 2001-05-04 | 2003-06-10 | Regents Of The University Of California | Laser welding of fused quartz |
| TW200535108A (en) * | 2004-03-31 | 2005-11-01 | Fukui Shin Etsu Quartz Products Co Ltd | Method and apparatus for welding quartz glass member |
| CN102515480A (zh) * | 2011-12-02 | 2012-06-27 | 湖州奥博石英科技有限公司 | 一种石英舟的生产方法 |
| CN102659303A (zh) * | 2012-03-30 | 2012-09-12 | 湖州奥博石英科技有限公司 | 石英拼接产品的制造方法及产品 |
| CN102881620A (zh) * | 2012-08-31 | 2013-01-16 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 一种石英舟清洗和饱和处理方法 |
| CN109887873A (zh) * | 2019-02-14 | 2019-06-14 | 扬州美和光电科技有限公司 | 一种高品质石英舟的生产加工方法 |
| CN209872760U (zh) * | 2019-03-29 | 2019-12-31 | 久智光电子材料科技有限公司 | 一种石英舟生产用模具 |
-
2020
- 2020-09-29 CN CN202011047595.8A patent/CN112133658A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6576863B1 (en) * | 2001-05-04 | 2003-06-10 | Regents Of The University Of California | Laser welding of fused quartz |
| TW200535108A (en) * | 2004-03-31 | 2005-11-01 | Fukui Shin Etsu Quartz Products Co Ltd | Method and apparatus for welding quartz glass member |
| CN102515480A (zh) * | 2011-12-02 | 2012-06-27 | 湖州奥博石英科技有限公司 | 一种石英舟的生产方法 |
| CN102659303A (zh) * | 2012-03-30 | 2012-09-12 | 湖州奥博石英科技有限公司 | 石英拼接产品的制造方法及产品 |
| CN102881620A (zh) * | 2012-08-31 | 2013-01-16 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 一种石英舟清洗和饱和处理方法 |
| CN109887873A (zh) * | 2019-02-14 | 2019-06-14 | 扬州美和光电科技有限公司 | 一种高品质石英舟的生产加工方法 |
| CN209872760U (zh) * | 2019-03-29 | 2019-12-31 | 久智光电子材料科技有限公司 | 一种石英舟生产用模具 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116021240A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-04-28 | 杭州泓芯微半导体有限公司 | 一种石英舟加工工艺 |
| CN116021240B (zh) * | 2023-02-20 | 2023-09-29 | 杭州泓芯微半导体有限公司 | 一种石英舟加工工艺 |
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