CN117155334A - 一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备，辅助电极与第一叉指电极电连接，且辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠，使得辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域之间形成了平板电容，而增加了声表面波谐振器的静电容，由此能够有效减小声表面波谐振器的设计面积。本发明提供的技术方案，在保证声表面波谐振器的性能较高的基础上，能够缩小声表面波谐振器的占用面积。

Description

一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备
技术领域
本发明涉及电子设备技术领域，更为具体地说，涉及一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备。
背景技术
声表面波(SAW，Surface Acoustics Wave)谐振器的主要作用是利用压电材料的压电特性，利用如叉指换能器等输入与输出的换能装置将电讯号转化成机械能，经过处理后再转化成电讯号，以达到放大所需的信号，滤除杂讯和提升信号品质的作用，广泛应用在各种无线通讯设备之中，是设计压电滤波器的基本单元。声表面波谐振器往往通过半导体表面工艺进行生产制造，可大批量生产，损耗低且信号选择性高，性能稳定。但是，随着滤波器的集成度进一步提高，滤波器的尺寸越来越大，不利于器件小型化的设计趋势。因此，如何减小声表面波谐振器的尺寸，进而减小滤波器的尺寸，成为科研人员现今主要研究方向之一。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备，有效地解决了现有技术存在的技术问题，在保证声表面波谐振器的性能较高的基础上，能够缩小声表面波谐振器的占用面积。
为实现上述目的，本发明提供的技术方案如下：
一种声表面波谐振器，包括：
压电衬底；
形成于所述压电衬底上的换能器，所述换能器包括沿第一方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条，及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间且沿第二方向间隔排布的多个电极指，所述多个电极指交替分别与所述第一汇流条相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条相连形成第二叉指电极，所述电极指与未相连的汇流条之间设置有电极间隙，所述第一方向和所述第二方向相交；
位于所述换能器背离所述压电衬底一侧的绝缘介质层；
位于所述绝缘介质层背离所述压电衬底一侧的辅助电极，所述辅助电极与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠。
可选的，所述换能器还包括位于所述电极间隙处的电极假指，所述电极假指与其所在所述电极间隙处的汇流条相连。
可选的，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极还与所述第二叉指电极相连的至少部分电极假指绝缘交叠。
可选的，所述换能器还包括第一反射栅和第二反射栅，所述第一反射栅和所述第二反射栅分别位于所述汇流条在所述第二方向上的两侧。
可选的，所述第一反射栅和所述第二反射栅中至少一个反射栅与所述第二叉指电极相连；
在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极还与所述第二叉指电极相连的所述反射栅的至少部分区域绝缘交叠。
可选的，所述辅助电极为块状电极。
可选的，所述绝缘介质层包括裸露所述第一汇流条至少部分区域的连接区，所述辅助电极延伸至所述连接区域所述第一汇流条相连；
或者，所述绝缘介质层包括对应所述第一叉指电极的至少一个过孔，所述辅助电极通过所述过孔与所述第一叉指电极相连。
可选的，所述过孔与所述第一汇流条所在区域对应设置。
可选的，所述绝缘介质层为钝化层或温度补偿层。
可选的于，所述声表面波谐振器还包括位于所述辅助电极背离所述压电衬底一侧的保护层。
相应的，本发明还提供了一种电子设备，所述电子设备包括上述的声表面波谐振器。
可选的，所述电子设备为滤波器。
相应的，本发明还提供了一种声表面波谐振器的制作方法，制作方法包括：
提供一压电衬底；
在所述压电衬底上形成换能器，所述换能器包括沿第一方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条，及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间且沿第二方向间隔排布的多个电极指，所述多个电极指交替分别与所述第一汇流条相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条相连形成第二叉指电极，所述电极指与未相连的汇流条之间设置有电极间隙，所述第一方向和所述第二方向相交；
在所述换能器背离所述压电衬底一侧形成绝缘介质层；
在所述绝缘介质层背离所述压电衬底一侧形成辅助电极，所述辅助电极与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠。
可选的，在形成所述辅助电极后，制作方法还包括：
在所述辅助电极背离所述压电衬底一侧形成保护层。
相较于现有技术，本发明提供的技术方案至少具有以下优点：
本发明提供了一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备，包括：压电衬底；形成于所述压电衬底上的换能器，所述换能器包括沿第一方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条，及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间且沿第二方向间隔排布的多个电极指，所述多个电极指交替分别与所述第一汇流条相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条相连形成第二叉指电极，所述电极指与未相连的汇流条之间设置有电极间隙，所述第一方向和所述第二方向相交；位于所述换能器背离所述压电衬底一侧的绝缘介质层；位于所述绝缘介质层背离所述压电衬底一侧的辅助电极，所述辅助电极与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠。
由上述内容可知，辅助电极与第一叉指电极电连接，且辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠，使得辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域之间形成了平板电容，而增加了声表面波谐振器的静电容，由此能够有效减小声表面波谐振器的设计面积。本发明提供的技术方案，在保证声表面波谐振器的性能较高的基础上，能够缩小声表面波谐振器的占用面积。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种声表面波谐振器的结构示意图；
图2为图1中沿AA’方向的切面图；
图3为本发明实施例提供的另一种声表面波谐振器的结构示意图；
图4为图3中沿BB’方向的切面图；
图5为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图；
图6为图5中沿CC’方向的切面图；
图7为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图；
图8为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图；
图9为图8中沿DD’方向的切面图；
图10为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图；
图11为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图；
图12为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图；
图13为本发明实施例提供的一种声表面波谐振器的制作方法的流程图；
图14为本发明实施例提供的另一种声表面波谐振器的制作方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
正如背景技术所述，声表面波谐振器是设计压电滤波器的基本单元。声表面波谐振器往往通过半导体表面工艺进行生产制造，可大批量生产，损耗低且信号选择性高，性能稳定。但是，随着滤波器的集成度进一步提高，滤波器的尺寸越来越大，不利于器件小型化的设计趋势。因此，如何减小声表面波谐振器的尺寸，进而减小滤波器的尺寸，成为科研人员现今主要研究方向之一。
基于此，本发明实施例提供了一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备，有效地解决了现有技术存在的技术问题，在保证声表面波谐振器的性能较高的基础上，能够缩小声表面波谐振器的占用面积。
为实现上述目的，本发明实施例提供的技术方案如下，具体结合图1至图14对本发明实施例提供的技术方案进行详细的描述。
结合图1和图2所示，图1为本发明实施例提供的一种声表面波谐振器的结构示意图，图2为图1中沿AA’方向的切面图。其中，声表面波谐振器包括：
压电衬底100。
形成于所述压电衬底100上的换能器，所述换能器包括沿第一方向X相对设置的第一汇流条210和第二汇流条220，及位于所述第一汇流条210和所述第二汇流条220之间且沿第二方向Y间隔排布的多个电极指230，所述多个电极指230交替分别与所述第一汇流条210相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条220相连形成第二叉指电极，所述电极指230与未相连的汇流条之间设置有电极间隙S1，所述第一方向X和所述第二方向Y相交。
位于所述换能器背离所述压电衬底100一侧的绝缘介质层300，绝缘介质层300覆盖换能器及压电衬底100朝向换能器一侧裸露面。
位于所述绝缘介质层300背离所述压电衬底100一侧的辅助电极400，所述辅助电极400与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底100所在面的方向Z上，所述辅助电极400与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠。
需要说明的是，本发明实施例提供的换能器可以为叉指换能器，对此本发明不做具体限制。以及，本发明实施例提供的第一方向和第二方向可以为相互垂直方向。
可以理解的，辅助电极与第一叉指电极电连接，且辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠，使得辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域之间形成了平板电容，而增加了声表面波谐振器的静电容，由此能够有效减小声表面波谐振器的设计面积，如具体可以减少电极指的数量等。可见，本发明实施例提供的技术方案，在保证声表面波谐振器的性能较高的基础上，能够缩小声表面波谐振器的占用面积。同时，增加声表面波谐振器的静电容，还有减小机电耦合系数的效果，有利于设计窄带滤波器，或者实现更陡峭的衰减带设计。
结合图3和图4所示，图3为本发明实施例提供的另一种声表面波谐振器的结构示意图，图4为图3沿BB’方向的切面图。本发明实施例提供的所述换能器还包括位于所述电极间隙S1处的电极假指240，所述电极假指240与其所在所述电极间隙S1处的汇流条相连。亦即，第一叉指电极的电极指230相对的电极假指240与第二汇流条220相连，第二叉指电极的电极指230相对的电极假指240与第一汇流条210相连。由此，本发明实施例提供的声表面波谐振器通过在换能器中设置电极假指240，能够进一步提高声表面波谐振器的性能。
在本发明一实施例中，在垂直压电衬底所在面的方向上，本发明提供的辅助电极可以与电极假指之间可以无交叠区域；或者，辅助电极可以与电极假指(此处为与第二叉指电极相连的至少部分电极假指)之间可以设置交叠区域，以进一步提高声表面波谐振器的静电容。继续结合图3和图4所示，在垂直所述压电衬底100所在面的方向Z上，所述辅助电极400还与所述第二叉指电极相连的至少部分电极假指240绝缘交叠，使得辅助电极400与至少部分电极假指240之间形成了平板电容，进一步增加了声表面波谐振器的静电容，能够进一步减小声表面波谐振器的设计面积。
结合图5和图6所示，图5为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图，图6为图5中沿CC’方向的切面图。其中，本发明实施例提供的所述换能器还包括第一反射栅250和第二反射栅260，所述第一反射栅250和所述第二反射栅260分别位于所述汇流条在所述第二方向Y上的两侧。由此，本发明实施例提供的声表面波谐振器通过在换能器中设置反射栅，能够进一步提高声表面波谐振器的性能。
可选的，本发明实施例提供的声表面波谐振器在包括有反射栅的同时，还能够包括有电极假指，以进一步提高声表面波的性能。参考图7所示，为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图，其中，本发明实施例提供的换能器包括有第一反射栅250、第二反射栅260和电极假指240，进而通过反射栅和电极假指240的设置，进一步提高声表面波谐振器的性能。
进一步的，本发明实施例提供的反射栅可以与第二叉指电极相连，且至少部分反射栅可以与第二叉指电极有交叠，进一步提高声表面波谐振器的静电容。具体结合图8和图9所示，图8为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图，图9为图8中沿DD’方向的切面图，本发明实施例提供的所述第一反射栅250和所述第二反射栅260中至少一个反射栅与所述第二叉指电极相连；在垂直所述压电衬底100所在面的方向Z上，所述辅助电极400还与所述第二叉指电极相连的所述反射栅的至少部分区域绝缘交叠。
可以理解的，本发明实施例提供的声表面波谐振器中设置有反射栅，并且第一反射栅和第二反射栅中至少一个可以与第二叉指电极电连接，其中，反射栅可以与第二叉指电极的第二汇流条相连，实现反射栅和第二叉指电极相连的目的，对此本发明不做具体限制。本发明实施例提供的技术方案，将辅助电极与第二叉指电极相连的反射栅的至少部分区域交叠设置，使得辅助电极与至少部分反射栅之间形成了平板电容，进一步增加了声表面波谐振器的静电容，能够进一步减小声表面波谐振器的设计面积。可选的，在本发明其他实施例中，本发明提供的辅助电极还可以与反射栅之间无绝缘交叠设置，对此需要根据实际应用进行具体设计。
在本发明一实施例中，本发明实施例提供的所述辅助电极可以为块状电极，即辅助电极为整层的块状层，且辅助电极并无设置图形镂空等，如图1、图3、图5、图7和图8所示的块状的辅助电极400。此外，在本发明其他实施例中，本发明实施例提供的辅助电极还可以为具有图案化得到电极，其只需要与第二叉指电极形成绝缘交叠区域即可。
需要说明的是，本发明实施例提供的辅助电极与第二叉指电极、电极假指和反射栅的交叠面积，可以根据实际应用进行具体调整，达到形成目标电容值的目的。
参考图10所示，为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图，其中，本发明实施例提供的所述绝缘介质层300可以包括裸露所述第一汇流条210至少部分区域的连接区，所述辅助电极400延伸至所述连接区域所述第一汇流条210相连。
可以理解的，本发明实施例提供的声表面波谐振器在制作时，当形成绝缘介质层后，直接对绝缘介质层进行刻蚀去除对应连接区的部分，而后在沉积辅助电极时能够使得辅助电极延伸至连接区，而与第一汇流条相连。其中，连接区可以位于第一汇流条背离电极指一侧的边缘区域侧，对此本发明不做具体限制。
或者参考图11所示，为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图，其中，本发明实施例提供的所述绝缘介质层300包括对应所述第一叉指电极的至少一个过孔310，所述辅助电极400通过所述过孔310与所述第一叉指电极相连。
可以理解的，本发明实施例提供的声表面波谐振器在制作时，当形成绝缘介质层后，采用过孔工艺在绝缘介质层上形成过孔，而后在沉积辅助电极时能够通过过孔与第一叉指电极相连。可选的，本发明实施例提供的所述过孔与所述第一汇流条所在区域对应设置，进而避免对电极指的性能造成影响。
参考图12所示，为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图，其中，本发明实施例提供的所述声表面波谐振器还包括位于所述辅助电极400背离所述压电衬底100一侧的保护层500，保护层500覆盖辅助电极400和绝缘介质层300背离压电衬底100一侧的裸露面，以对器件进行更好的保护。可选的，本发明实施例提供的保护层的材质可以为SiO2、Si3N4等，对此本发明不做具体限制。
在本发明一实施例中，本发明实施例提供的汇流条、电极指、电极假指、反射栅和辅助电极的材质可以相同或不同，其可以为金属材质或合金材质。可选的，本发明实施例提供的汇流条、电极指、电极假指、反射栅和辅助电极的材质包括Ti、W、Mo、Ru、Al、Cu、Au、Pt等中至少一种。以及，本发明实施例提供的压电衬底的材质可以为LiNbO3(铌酸锂)、LiTiO3(钽酸锂)等，对此本发明不做具体限制。优选的，本发明实施例提供的换能器中各部件可以通过同一电极层制备而成，即换能器中汇流条、电极指、电极假指和反射栅可以通过同一电极层进行刻蚀图形化制作而成，减少工艺流程，且降低了制作成本。
此外，本发明实施例提供的绝缘介质层的厚度可以大于制作换能器的电极层的厚度，如可以比换能器的厚度大0.2-0.5λ(λ为声学波长)。可选的，本发明实施例提供的声表面波谐振器为普通的声表面波谐振器，其中绝缘介质层为钝化层，钝化层主要用于保护器件的同时，实现调频功能。本发明实施例提供的钝化层的材质可以为二氧化硅、氮化铝等，对此需要根据实际应用所需绝缘介质层的介电常数等因素进行选取，本发明不做具体限制。
或者，本发明实施例提供的声表面波谐振器还可以为温度补偿型声表面波(TC-SAW)谐振器，其中绝缘介质层为温度补偿层，温度补偿层用于保护器件的同时，还用于改善频率温度***，甚至用于进行调频功能。本发明实施例提供的温度补偿层的材质可以为二氧化硅等，特别的在某些切角压电衬底上(如128°YX-LiNbO3的压电衬底)，二氧化硅的温度补偿层能够有效抑制电极指激发的横向剪切波模式，对此材质本发明不做具体限制。
或者，本发明实施例提供的声表面波谐振器还可以为薄膜型声表面波(TF-SAW)谐振器等，对此本发明不做具体限制。
在本发明一实施例中，本发明实施例对于绝缘介质层、辅助电极、保护层等结构的厚度范围不做具体限制，需要根据实际应用进行具体设计。
相应的，本发明实施例还提供了一种电子设备，所述电子设备包括上述任意一实施例提供的声表面波谐振器。
在本发明一实施例中，本发明实施例提供的所述电子设备可以为滤波器。此外，在本发明其他实施例中，本发明提供的电子设备还可以为其他类型器件，对此本发明不做具体限制。
相应的，本发明实施例还提供了一种声表面波谐振器的制作方法，用于制作上述任意一实施例提供的声表面波谐振器。参考图13所示，为本发明实施例提供的一种声表面波谐振器的制作方法的流程图，制作方法包括：
S1、提供一压电衬底。
S2、在所述压电衬底上形成换能器，所述换能器包括沿第一方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条，及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间且沿第二方向间隔排布的多个电极指，所述多个电极指交替分别与所述第一汇流条相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条相连形成第二叉指电极，所述电极指与未相连的汇流条之间设置有电极间隙，所述第一方向和所述第二方向相交。
S3、在所述换能器背离所述压电衬底一侧形成绝缘介质层。
S4、在所述绝缘介质层背离所述压电衬底一侧形成辅助电极，所述辅助电极与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠。
进一步参考图14所示，为本发明实施例提供的另一种声表面波谐振器的制作方法的流程图，其中，在S4、形成所述辅助电极后，制作方法还包括：
S5、在所述辅助电极背离所述压电衬底一侧形成保护层。
本发明实施例提供了一种声表面波谐振器及其制作方法和电子设备，包括：压电衬底；形成于所述压电衬底上的换能器，所述换能器包括沿第一方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条，及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间且沿第二方向间隔排布的多个电极指，所述多个电极指交替分别与所述第一汇流条相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条相连形成第二叉指电极，所述电极指与未相连的汇流条之间设置有电极间隙，所述第一方向和所述第二方向相交；位于所述换能器背离所述压电衬底一侧的绝缘介质层；位于所述绝缘介质层背离所述压电衬底一侧的辅助电极，所述辅助电极与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠。
由上述内容可知，辅助电极与第一叉指电极电连接，且辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠，使得辅助电极与第二叉指电极的至少部分区域之间形成了平板电容，而增加了声表面波谐振器的静电容，由此能够有效减小声表面波谐振器的设计面积。本发明实施例提供的技术方案，在保证声表面波谐振器的性能较高的基础上，能够缩小声表面波谐振器的占用面积。
在本发明的描述中，需要理解的是，如出现术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，如出现术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本发明中，如出现术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (14)

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：
压电衬底；
形成于所述压电衬底上的换能器，所述换能器包括沿第一方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条，及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间且沿第二方向间隔排布的多个电极指，所述多个电极指交替分别与所述第一汇流条相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条相连形成第二叉指电极，所述电极指与未相连的汇流条之间设置有电极间隙，所述第一方向和所述第二方向相交；
位于所述换能器背离所述压电衬底一侧的绝缘介质层；
位于所述绝缘介质层背离所述压电衬底一侧的辅助电极，所述辅助电极与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠。
2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述换能器还包括位于所述电极间隙处的电极假指，所述电极假指与其所在所述电极间隙处的汇流条相连。
3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极还与所述第二叉指电极相连的至少部分电极假指绝缘交叠。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述换能器还包括第一反射栅和第二反射栅，所述第一反射栅和所述第二反射栅分别位于所述汇流条在所述第二方向上的两侧。
5.根据权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一反射栅和所述第二反射栅中至少一个反射栅与所述第二叉指电极相连；
在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极还与所述第二叉指电极相连的所述反射栅的至少部分区域绝缘交叠。
6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述辅助电极为块状电极。
7.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述绝缘介质层包括裸露所述第一汇流条至少部分区域的连接区，所述辅助电极延伸至所述连接区域所述第一汇流条相连；
或者，所述绝缘介质层包括对应所述第一叉指电极的至少一个过孔，所述辅助电极通过所述过孔与所述第一叉指电极相连。
8.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述过孔与所述第一汇流条所在区域对应设置。
9.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述绝缘介质层为钝化层或温度补偿层。
10.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器还包括位于所述辅助电极背离所述压电衬底一侧的保护层。
11.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括权利要求1-10任意一项所述的声表面波谐振器。
12.根据权利要求11所述的电子设备，其特征在于，所述电子设备为滤波器。
13.一种声表面波谐振器的制作方法，其特征在于，制作方法包括：
提供一压电衬底；
在所述压电衬底上形成换能器，所述换能器包括沿第一方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条，及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间且沿第二方向间隔排布的多个电极指，所述多个电极指交替分别与所述第一汇流条相连形成第一叉指电极及与所述第二汇流条相连形成第二叉指电极，所述电极指与未相连的汇流条之间设置有电极间隙，所述第一方向和所述第二方向相交；
在所述换能器背离所述压电衬底一侧形成绝缘介质层；
在所述绝缘介质层背离所述压电衬底一侧形成辅助电极，所述辅助电极与所述第一叉指电极电连接；及，在垂直所述压电衬底所在面的方向上，所述辅助电极与所述第二叉指电极的至少部分区域绝缘交叠。
14.根据权利要求13所述的声表面波谐振器的制作方法，其特征在于，在形成所述辅助电极后，制作方法还包括：
在所述辅助电极背离所述压电衬底一侧形成保护层。
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