CN116648643A - 放射线检测器、放射线检测器的制造方法和闪烁体面板组件 - Google Patents

放射线检测器、放射线检测器的制造方法和闪烁体面板组件 Download PDF

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CN116648643A
CN116648643A CN202180086075.4A CN202180086075A CN116648643A CN 116648643 A CN116648643 A CN 116648643A CN 202180086075 A CN202180086075 A CN 202180086075A CN 116648643 A CN116648643 A CN 116648643A
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山路晴纪
樱井纯
白川和广
畑中将志
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Abstract

放射线检测器包括:具有受光面的传感器面板;和以沿着受光面彼此相邻的状态配置在受光面上的第1闪烁体面板和第2闪烁体面板。第1闪烁体面板具有:第1基板;和包含多个柱状结晶的第1闪烁体层。第2闪烁体面板具有:第2基板;和包含多个柱状结晶的第2闪烁体层。第1闪烁体层至少到达第1基板的第1部分。第2闪烁体层至少到达第2基板的第2部分。第1闪烁体面板中的第1角度为90度以下。第2闪烁体面板中的第2角度为90度以下。

Description

放射线检测器、放射线检测器的制造方法和闪烁体面板组件
技术领域
本发明涉及放射线检测器、放射线检测器的制造方法和闪烁体面板组件。
背景技术
已知的放射线检测器包括:具有受光面的传感器面板和配置在受光面上的闪烁体面板,在闪烁体面板中闪烁体层由多个柱状结晶构成,闪烁体面板中的传感器面板一侧的表面与闪烁体面板一侧面形成的角度超过90度(例如参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2019-060757号公报
发明内容
发明要解决的课题
在如上所述的放射线检测器中,伴随传感器面板的大面积化,而要求放射线检测区域也大面积化。但是,在闪烁体面板中闪烁体层由多个柱状结晶构成的情况下,虽然容易取得高分辨率的放射线图像,但因为未考虑闪烁体面板的形状,所以难以只为了放射线检测区域的大面积化而将闪烁体面板大面积化。
本发明的目的是提供一种能够兼顾放射线检测区域的大面积化和放射线图像的高分辨率化的放射线检测器、这种放射线检测器的制造方法、以及适合它们的闪烁体面板组件。
用于解决课题的方法
本发明的一个方面的放射线检测器,包括:具有受光面的传感器面板;和以沿着受光面彼此相邻的状态配置在受光面上的第1闪烁体面板和第2闪烁体面板,第1闪烁体面板具有:第1基板;和包含形成在第1基板上的多个柱状结晶的第1闪烁体层,第2闪烁体面板具有:第2基板;和包含形成在第2基板上的多个柱状结晶的第2闪烁体层,第1闪烁体面板,以第1闪烁体层相对于第1基板位于受光面一侧的状态配置在受光面上,第2闪烁体面板,以第2闪烁体层相对于第2基板位于受光面一侧的状态配置在受光面上,从第1闪烁体层侧观察时的第1基板的外缘,包含沿着第2闪烁体面板延伸的第1部分,第1闪烁体层至少到达第1部分,从第2闪烁体层侧观察时的第2基板的外缘,包含沿着第1闪烁体面板延伸的第2部分,第2闪烁体层至少到达第2部分,由第1闪烁体面板的传感器面板一侧的表面与第1闪烁体面板的第2闪烁体面板一侧的侧面形成的第1角度为90度以下,由第2闪烁体面板的传感器面板一侧的表面与第2闪烁体面板的第1闪烁体面板一侧的侧面形成的第2角度为90度以下。
本发明的一个方面的放射线检测器中,第1闪烁体面板和第2闪烁体面板以沿着传感器面板的受光面彼此相邻的状态配置在传感器面板的受光面上。在第1闪烁体面板和第2闪烁体面板中,第1闪烁体层到达第1基板的外缘中的沿着第2闪烁体面板延伸的第1部分,第2闪烁体层到达第2基板的外缘中的沿着第1闪烁体面板延伸的第2部分。因此,能够以能可靠形成多个柱状结晶的尺寸分别构成第1闪烁体面板和第2闪烁体面板,且由第1闪烁体面板和第2闪烁体面板得到一个放射线检测区域。而且,由第1闪烁体面板中的传感器面板一侧的表面和第1闪烁体面板中的第2闪烁体面板一侧的侧面形成的第1角度为90度以下,由第2闪烁体面板中的传感器面板一侧的表面和第2闪烁体面板中的第1闪烁体面板一侧的侧面形成的第2角度为90度以下。由此,能够防止起因于第1闪烁体面板与第2闪烁体面板之间的接缝部分中的空气的热膨胀而使该接缝部分从传感器面板的受光面剥离。进一步,因为第1闪烁体层和第2闪烁体层之间会彼此接近,所以能够抑制放射线图像的画质在第1闪烁体面板与第2闪烁体面板之间的接缝部分中劣化。根据上述,依照本发明的一个方面的放射线检测器,能够兼顾放射线检测区域的大面积化和放射线图像的高分辨率化。
本发明的一个方面的放射线检测器,也可以第1角度和第2角度分别为45度以上且小于90度。由此,能够更可靠地防止起因于第1闪烁体面板与第2闪烁体面板之间的接缝部分中的空气的热膨胀而使该接缝部分从传感器面板的受光面剥离。
本发明的一个方面的放射线检测器中,也可以第1基板和第2基板分别具有可挠性。由此,能够实现将第1闪烁体面板和第2闪烁体面板的各个粘接于传感器面板的受光面时的作业性的提高。
在本发明的一个方面的放射线检测器中,也可以第1角度和第2角度各自小于90度,传感器面板具有可挠性。由此,能够与放射线检测器的设置环境等相应地使放射线检测器的整体挠曲。进一步,在以传感器面板2相对于第1闪烁体面板和第闪烁体面板成为外侧的方式使放射线检测器的整体挠曲的情况下,能够防止第1闪烁体面板与第2闪烁体面板彼此物理地相互干涉。
本发明的一个方面的放射线检测器,也可以还包括配置在受光面与第1闪烁体面板之间和受光面与第2闪烁体面板之间的粘接层,第1闪烁体面板和第2闪烁体面板分别由粘接层粘接于受光面。由此,能够分别将第1闪烁体面板和第2闪烁体面板可靠地配置在传感器面板的受光面上。
本发明的一个方面的放射线检测器中,也可以粘接层包含黏着剂或粘接剂。由此,能够分别将第1闪烁体面板和第2闪烁体面板可靠地粘接于传感器面板的受光面。
本发明的一个方面的放射线检测器中,也可以第1闪烁体面板还具有将第1基板和第1闪烁体层覆盖的第1保护层,第2闪烁体面板还具有将第2基板和第2闪烁体层覆盖的第2保护层。由此,能够更可靠地保护具有潮解性的多个柱状结晶。
本发明的一个方面的放射线检测器中,也可以还包括配置在第1闪烁体面板与第2闪烁体面板之间的粒状荧光体。由此,能够抑制在第1闪烁体面板与第2闪烁体面板之间的接缝部分放射线图像的画质劣化。
本发明的一个方面的放射线检测器,也可以还包括在传感器面板的相反侧配置在第1闪烁体面板和第2闪烁体面板上的防湿层,防湿层跨第1闪烁体面板和第2闪烁体面板连续地设置。由此,能够防止水分侵入第1闪烁体面板与第2闪烁体面板之间的接缝部分,能够可靠地保护具有潮解性的多个柱状结晶。进一步,即使在传感器面板与第1闪烁体面板之间和在传感器面板与第2闪烁体面板之间产生由温度变化导致的膨胀收缩差,也能够防止第1闪烁体面板与第2闪烁体面板之间的接缝部分从传感器面板的受光面剥离。
本发明的一个方面的放射线检测器中,也可以防湿层具有:可挠性的主体层;和配置在主体层上的无机层,防湿层,以无机层相对于主体层位于第1闪烁体面板和第2闪烁体面板一侧的状态配置在第1闪烁体面板和第2闪烁体面板上。由此,能够使无机层作为防湿层发挥功能,并且使主体层作为保护层发挥功能。
本发明的一个方面的放射线检测器,也可以还包括密封部件,防湿层的外缘,到达受光面的周围的传感器面板的表面,密封部件,在由传感器面板和防湿层划定出的区域被减压了的状态下,在传感器面板的表面将防湿层的外缘密封。由此,不使用粘接层就能够使防湿层紧贴于第1闪烁体面板和第2闪烁体面板。
本发明的一个方面的放射线检测器,也可以还包括:在传感器面板的相反侧配置在第1闪烁体面板上的第1防湿层;在传感器面板的相反侧配置在第2闪烁体面板上的第2防湿层;将第1闪烁体面板和第1防湿层覆盖的第1保护层;和将第2闪烁体面板和第2防湿层覆盖的第2保护层。由此,能够保护具有潮解性的多个柱状结晶。
本发明的一个方面的放射线检测器的制造方法,是制造上述的放射线检测器的方法,包括:准备传感器面板的工序;准备第1闪烁体面板和第2闪烁体面板的工序;和在受光面上分别配置第1闪烁体面板和第2闪烁体面板的工序,在准备第1闪烁体面板和第2闪烁体面板的工序中,由第1闪烁体面板的传感器面板一侧的表面与第1闪烁体面板的第2闪烁体面板一侧的侧面形成的第1角度为90度以下,由第2闪烁体面板的传感器面板一侧的表面与第2闪烁体面板的第1闪烁体面板一侧的侧面形成的第2角度为90度以下。
依照本发明的一个方面的放射线检测器的制造方法,能够容易且可靠地得到上述的放射线检测器。
本发明的一个方面的闪烁体面板组件,包括:支承层;和以沿着支承层彼此相邻的状态配置在支承层上的第1闪烁体面板和第2闪烁体面板,第1闪烁体面板具有:第1基板;和包含形成在第1基板上的多个柱状结晶的第1闪烁体层,第2闪烁体面板具有:第2基板;和包含形成在第2基板上的多个柱状结晶的第2闪烁体层,从第1闪烁体层侧观察时的第1基板的外缘,包含沿着第2闪烁体面板延伸的第1部分,第1闪烁体层至少到达第1部分,从第2闪烁体层侧观察时的第2基板的外缘,包含沿着第1闪烁体面板延伸的第2部分,第2闪烁体层至少到达第2部分,由第1闪烁体面板的第1闪烁体层一侧的表面与第1闪烁体面板的第2闪烁体面板一侧的侧面形成的第1角度为90度以下,由第2闪烁体面板的第2闪烁体层一侧的表面与第2闪烁体面板的第1闪烁体面板一侧的侧面形成的第2角度为90度以下。
根据本发明的一个方面的闪烁体面板组件,能够在第1闪烁体面板和第2闪烁体面板以及支承层成为一体的状态下进行处理。
本发明的一个方面的闪烁体面板组件中,也可以支承层为粘接层,第1闪烁体面板,以第1闪烁体层相对于第1基板位于粘接层一侧的状态配置在粘接层上,第2闪烁体面板,以第2闪烁体层相对于第2基板位于粘接层一侧的状态配置在粘接层上,粘接层跨第1闪烁体面板和第2闪烁体面板连续地设置。由此,能够在第1闪烁体面板和第2闪烁体面板以及粘接层成为一体的状态下进行处理。
本发明的一个方面的闪烁体面板组件中,也可以支承层为防湿层,第1闪烁体面板,以第1基板相对于第1闪烁体层位于防湿层一侧的状态配置在防湿层上,第2闪烁体面板,以第2基板相对于第2闪烁体层位于防湿层一侧的状态配置在防湿层上,防湿层跨第1闪烁体面板和第2闪烁体面板连续地设置。由此,能够在第1闪烁体面板和第2闪烁体面板以及防湿层成为一体的状态下进行处理。
本发明的一个方面的闪烁体面板组件中,也可以第1闪烁体面板还具有将第1基板和第1闪烁体层覆盖的第1保护层,第2闪烁体面板还具有将第2基板和第2闪烁体层覆盖的第2保护层。由此,能够保护具有潮解性的多个柱状结晶。
本发明的一个方面的闪烁体面板组件,也可以还包括:在粘接层的相反侧配置在第1闪烁体面板上的第1防湿层;在粘接层的相反侧配置在第2闪烁体面板上的第2防湿层;将第1闪烁体面板和第1防湿层覆盖的第1保护层;和将第2闪烁体面板和第2防湿层覆盖的第2保护层。由此,能够保护具有潮解性的多个柱状结晶。
发明效果
根据本发明,能够提供一种能够兼顾放射线检测区域的大面积化和放射线图像的高分辨率化的放射线检测器、这种放射线检测器的制造方法、以及适合它们的闪烁体面板组件。
附图说明
图1是一个实施方式的放射线检测器的截面图。
图2是一个实施方式的闪烁体面板组件的截面图。
图3是一个实施方式的放射线检测器的制造方法的一工序中的放射线检测器的截面图。
图4是变形例的放射线检测器的截面图。
图5是变形例的放射线检测器的一部分的截面图。
图6是变形例的闪烁体面板组件的截面图。
图7是变形例的放射线检测器的截面图。
图8是变形例的放射线检测器的截面图。
图9是变形例的闪烁体面板组件的截面图。
图10是变形例的闪烁体面板组件的截面图。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外,在各图中,对相同或相当的部分标注相同的附图标记,并省略重复的说明。
[放射线检测器的结构]
如图1所示,放射线检测器1包括:传感器面板2、第1闪烁体面板10、第2闪烁体面板20、粘接层3、粒状荧光体4、防湿层5、粘接层6和密封部件7。在放射线检测器1中,当放射线(例如X射线)入射到第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20时,在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20中会产生闪烁光,该闪烁光由传感器面板检测出。放射线检测器1,作为放射成像装置,例如用于医疗用放射线图像诊断装置或非破坏检查装置。
传感器面板2包含沿受光面2a配置的多个光电转换元件(图示省略)。各光电转换元件构成像素,将与入射的闪烁光相应的电信号输出。受光面2a设置在传感器面板2的一方的主面。在该主面中,设有将受光面2a包围的框状的区域即表面2b。传感器面板2具有可挠性。在传感器面板2中设有多个光电转换元件的基板的材料,例如为PI(聚酰亚胺)、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、PP(聚丙烯)、PE(聚酯)或PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)。
第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20,以沿着受光面2a彼此相邻的状态配置在受光面2a上。第1闪烁体面板10具有:第1基板11、第1闪烁体层12和第1保护层13。第2闪烁体面板20具有:第2基板21、第2闪烁体层22和第2保护层23。
第1基板11和第2基板21分别具有可挠性。第1基板11和第2基板21各自的材料,例如为PET、PEN、PI、PP、PE或PMMA。第1基板11和第2基板21各自的厚度,例如为50μm以上且250μm以下。其中,也可以在第1基板11和第2基板21各自的表面和背面形成有功能性的膜。该功能性的膜,例如为易粘接膜、防止带电膜、防湿膜(聚对二甲苯膜)。该功能性的膜,也可以包含各自具有不同功能的多个膜的层叠膜。
第1闪烁体层12,包含形成于第1基板11上的多个柱状结晶。第2闪烁体层22,包含形成于第2基板21上的多个柱状结晶。多个柱状结晶,例如为通过使闪烁体材料被蒸镀在第1基板11或第2基板21上,而形成于第1基板11或第2基板21上。第1闪烁体层12和第2闪烁体层22各自的材料,例如为CsI:Tl(将铊作为激活剂包含的碘化铯)、CsI:Na(将钠作为激活剂包含的碘化铯)、CsI:Ce(将铈作为激活剂包含的碘化铯)或CsI:Tl、Eu(将铊和铕作为激活剂包含的碘化铯)。第1闪烁体层12和第2闪烁体层22各自的厚度,例如为100μm以上且1000μm以下(优选400μm以上且800μm以下)。
第1保护层13将第1基板11和第1闪烁体层12覆盖。第2保护层23将第2基板21和第2闪烁体层22覆盖。第1保护层13和第2保护层23各自的材料,例如为聚对二甲苯(聚对二甲苯)。第1保护层13和第2保护层23各自的厚度,例如为0.5μm以上且20μm以下。
第1闪烁体面板10在第1闪烁体层12以相对于第1基板11位于受光面2a一侧的状态配置在受光面2a上。第1闪烁体面板10,在从第1基板11的厚度方向观察的情况下,呈一边的长度为300mm以上的矩形状。第2闪烁体面板20以第2闪烁体层22在相对于第2基板21位于受光面2a一侧的状态配置在受光面2a上。第2闪烁体面板20,在从第2基板21的厚度方向观察的情况下,呈一边的长度为300mm以上的矩形状。
从第1闪烁体层12侧观察时的第1基板11的外缘11a,包含沿着第2闪烁体面板20延伸的第1部分11b。第1闪烁体层12到达第1部分11b。在本实施方式中,第1闪烁体层12到达外缘11a的全部分。从第2闪烁体层22侧观察时的第2基板21的外缘21a,包含沿着第1闪烁体面板10延伸的第2部分21b。第2闪烁体层22到达第2部分21b。在本实施方式中,第2闪烁体层22到达外缘21a的全部分。第1基板11的外缘11a的第1部分11b与第2基板21的外缘21a的第2部分21b相对。
其中,第1基板11和第1闪烁体层12,在包含相当于多个第1基板11的部分的基板上形成了包含相当于多个第1闪烁体层12的部分的闪烁体层之后,通过切断该基板和该闪烁体层而得。第2基板21和第2闪烁体层22,在包含相当于多个第2基板21的部分的基板上形成了包含相当于多个第2闪烁体层22的部分的闪烁体层之后,通过切断该基板和该闪烁体层而得。第1基板11和第1闪烁体层12,也可以在包含相当于一片第1基板11的部分的基板上形成了包含相当于一层第1闪烁体层12的部分的闪烁体层之后,通过切出该基板和该闪烁体层而得。第2基板21和第2闪烁体层22,也可以在包含相当于一片第2基板21的部分的基板上形成了包含相当于一层第2闪烁体层22的部分的闪烁体层之后,通过切出该基板和该闪烁体层而得。
由第1闪烁体面板10中的传感器面板2侧(对于第1基板11位于第1闪烁体层12侧)的表面10a和第1闪烁体面板10中的第2闪烁体面板20侧的侧面10b形成的第1角度θ1,为45度以上且小于90度。在本实施方式中,表面10a和第1闪烁体面板10的全侧面形成45度以上且小于90度的角度。由第2闪烁体面板20中的传感器面板2侧(对于第2基板21位于第2闪烁体层22侧)的表面20a和第2闪烁体面板20中的第1闪烁体面板10侧的侧面20b形成的第2角度θ2,为45度以上且小于90度。在本实施方式中,表面20a和第2闪烁体面板20的全侧面形成45度以上且小于90度的角度。由表面10a和侧面10b形成的第1闪烁体面板10的角部,与由表面20a和侧面20b形成的第2闪烁体面板20的角部接触。
粘接层3配置在受光面2a与第1闪烁体面板10之间和受光面2a与第2闪烁体面板20之间。第1闪烁体面板10以第1闪烁体层12在相对于第1基板11位于受光面2a一侧的状态由粘接层3粘接于受光面2a。第2闪烁体面板20以第2闪烁体层22在相对于第2基板21位于受光面2a一侧的状态由粘接层3而被粘接于受光面2a。粘接层3跨第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20连续地设置。即,粘接层3,没有与第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20分离,而是一体形成。
粘接层3为黏着剂或粘接剂。黏着剂是指在粘接后不会硬化。粘接剂是指在粘接后会硬化。粘接层3的材料,例如为光透过性的有机材料(例如OCA(Optical ClearAdhesive))。粘接层3的厚度,例如为0.1μm以上且100μm以下(优选25μm以下)。
粒状荧光体4配置在第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20之间。更具体而言,粒状荧光体4配置在由第1闪烁体面板10的侧面10b和第2闪烁体面板20的侧面20b形成的截面V字状的槽内。粒状荧光体4的材料,例如为GOS(氧硫化钆)。
防湿层5在传感器面板2上覆盖第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20。防湿层5,在传感器面板2的相反侧配置在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20上,跨第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20连续地设置。防湿层5的外缘5a,到达传感器面板2的表面2b(受光面2a的周围的表面)。
防湿层5具有主体层51和无机层52。主体层51具有可挠性。无机层52配置在主体层51上。无机层52例如通过粘接于主体层51而与主体层51一体化。防湿层5以无机层52在相对于主体层51位于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20一侧的状态配置在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20上。
主体层51的材料,例如为PET、PEN、PI、PP、PE或PMMA。主体层51的厚度,例如为50μm以上且250μm以下。无机层52的材料,例如为Al(铝)、Cu(铜)、Ti(钛)、Fe(铁)或SUS(不锈钢)。无机层52的厚度,例如为10μm以上且100μm以下。
粘接层6配置在第1闪烁体面板10与防湿层5之间、第2闪烁体面板20与防湿层5之间、和传感器面板2的表面2b与防湿层5之间。防湿层5粘接于第1闪烁体面板10、第2闪烁体面板20、和传感器面板2的表面2b。粘接层6为黏着剂或粘接剂。粘接层6的厚度,例如为0.1μm以上且100μm以下(优选25μm以下)。
密封部件7在传感器面板2的表面2b将防湿层5的外缘5a密封。密封部件7沿着外缘5a呈框状延伸。密封部件7的材料,例如为环氧树脂、有机硅、氟、聚氨酯或丙烯酸。密封部件7的材料,也可以包含由玻璃等的无机材料构成的填充材料。填充材料的材料的防湿性,比密封部件7的主要的材料的防湿性更高即可,例如,SiO2(二氧化硅)、Al2O3(氧化铝)或TiO2(氧化钛)。
如以上说明,在放射线检测器1中,第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20,以沿着传感器面板2的受光面2a彼此相邻的状态配置在传感器面板2的受光面2a上。在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20中,第1闪烁体层12到达第1基板11的外缘11a中的沿着第2闪烁体面板20延伸的第1部分11b,第2闪烁体层22到达第2基板21的外缘21a中的沿着第1闪烁体面板10延伸的第2部分21b。因此,能够由可确实形成多个柱状结晶的尺寸而构成第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的各个,且可由第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20得到一个放射线检测区域。而且,由第1闪烁体面板10中的传感器面板2侧的表面10a和第1闪烁体面板10中的第2闪烁体面板20侧的侧面10b形成的第1角度θ1为90度以下,由第2闪烁体面板20中的传感器面板2侧的表面20a和第2闪烁体面板20中的第1闪烁体面板10侧的侧面20b形成的第2角度θ2为90度以下。由此,能够防止起因于第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20之间的接缝部分中的空气的热膨胀而使该接缝部分从受光面2a剥离。进一步,因为第1闪烁体层12和第2闪烁体层22之间会彼此接近,所以能够抑制放射线图像的画质在第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20之间的接缝部分中劣化。根据上述,依照放射线检测器1,能够兼顾放射线检测区域的大面积化和放射线图像的高分辨率化。
在放射线检测器1中,第1角度θ1和第2角度θ2分别为45度以上且小于90度。由此,能够更可靠地防止起因于第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20之间的接缝部分中的空气的热膨胀而使该接缝部分从受光面2a剥离。
在放射线检测器1中,第1基板11和第2基板21分别具有可挠性。由此,能够实现将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的各个粘接于受光面2a时的作业性的提高。
在放射线检测器1中,第1角度θ1和第2角度θ2各自小于90度,传感器面板2具有可挠性。由此,能够与放射线检测器1的设置环境等相应地使放射线检测器1的整体挠曲。进一步,在以传感器面板2相对于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20成为外侧的方式使放射线检测器1的整体挠曲的情况下,能够防止第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20彼此物理地相互干涉。
作为一例,如图4所示,能够以使第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20沿着圆柱面S配置的方式使放射线检测器1的整体挠曲。此时,由于第1角度θ1和第2角度θ2各自小于90度,所以能够防止第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20彼此物理地相互干涉。另外,图4所示的放射线检测器1不包括粒状荧光体4、防湿层5、粘接层6和密封部件7,但是也可以根据需要包括它们。
在放射线检测器1中,在受光面2a与第1闪烁体面板10之间和受光面2a与第2闪烁体面板20之间配置有粘接层3,第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的各自由粘接层3粘接于受光面2a。由此,能够将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的各个可靠地配置在受光面2a上。
在放射线检测器1中,粘接层3包含黏着剂或粘接剂。由此,能够将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的各个可靠地粘接于受光面2a。
在放射线检测器1中,第1闪烁体面板10具有将第1基板11和第1闪烁体层12覆盖的第1保护层13,第2闪烁体面板20具有将第2基板21和第2闪烁体层22覆盖的第2保护层23。由此,能够更可靠地保护具有潮解性的多个柱状结晶。
在放射线检测器1中,在第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20之间配置有粒状荧光体4。由此,在第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20之间的接缝部分,能够抑制放射线图像的画质劣化。
在放射线检测器中,在传感器面板2的相反侧在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20上配置有防湿层5,防湿层5跨第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20连续地设置。由此,能够防止水分侵入第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20之间的接缝部分,能够可靠地保护具有潮解性的多个柱状结晶。进一步,即使在传感器面板2与第1闪烁体面板10之间和传感器面板2与第2闪烁体面板20之间产生由温度变化导致的膨胀收缩差,也能够防止第1闪烁体面板10与第2闪烁体面板20之间的接缝部分从受光面2a剥离。
在放射线检测器1中,防湿层5具有可挠性的主体层51、和配置在主体层51上的无机层52,防湿层5以无机层52相对于主体层51位于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20一侧的状态配置在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20上。由此,能够将无机层52作为防湿层5的功能,并且能够将主体层51作为保护层的功能。
在放射线检测器1中,配置在受光面2a与第1闪烁体面板10之间和受光面2a与第2闪烁体面板20之间的粘接层3,跨第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20连续地设置。由此,能够防止第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的各个从受光面2a剥离。
在放射线检测器1中,第1闪烁体面板10从第1基板11的厚度方向观察的情况下,呈一边的长度为300mm以上的矩形状,第2闪烁体面板20从第2基板21的厚度方向观察的情况下,呈一边的长度为300mm以上的矩形状。由此,能够容易且可靠地将放射线检测区域大面积化。
[闪烁体面板组件的结构]
如图2所示,闪烁体面板组件100包括:第1闪烁体面板10、第2闪烁体面板20、粘接层3和剥离薄片8。闪烁体面板组件100,例如在将上述的放射线检测器1制造时使用。
第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20,以沿着粘接层3彼此相邻的状态配置在作为支承层的粘接层3上。粘接层3跨第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20连续地设置。剥离薄片8从第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的相反侧将粘接层3覆盖。粘接层3对于剥离薄片8的表面8a的粘接力,比粘接层3对于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的粘接力低。其中,在闪烁体面板组件100中,粘接层3为黏着层。
第1闪烁体面板10,以第1闪烁体层12相对于第1基板11位于粘接层3一侧的状态配置在粘接层3上。第2闪烁体面板20,以第2闪烁体层22相对于第2基板21位于粘接层3一侧的状态配置在粘接层3上。即,闪烁体面板组件100中将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20配置在粘接层3上的配置方式,与上述的放射线检测器1中将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20配置于粘接层3的方式同样。
依照以上的闪烁体面板组件100,能够在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20以及粘接层3成为一体的状态下进行处理。
在闪烁体面板组件100中,第1闪烁体面板10具有将第1基板11和第1闪烁体层12覆盖的第1保护层13,第2闪烁体面板20具有将第2基板21和第2闪烁体层22覆盖的第2保护层23。由此,能够保护具有潮解性的多个柱状结晶。
[放射线检测器的制造方法]
说明制造上述的放射线检测器1用的方法。在本实施方式中,使用上述的闪烁体面板组件100。
首先,准备传感器面板2(准备传感器面板2的工序)。接着,在如图2所示的闪烁体面板组件100的状态下,准备第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20(准备第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的工序)。在准备第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的工序中,第1角度θ1和第2角度θ2分别为45度以上且小于90度(图1参照)。其中,对于准备传感器面板2的工序、以及准备第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的工序,可以先实施其中任一工序,也可以同时实施两个工序。
接着,将剥离薄片8从闪烁体面板组件100的粘接层3剥离,如图3所示,第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20各自由粘接层3粘接于受光面2a(粘接的工序)。即,将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20各自配置于受光面2a上(各自配置第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的工序)。在粘接的工序中,粘接层3跨第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20连续地设置。在粘接的工序中,在将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20分别粘接于受光面2a之前,先在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20分别配置粘接层3。
在粘接的工序中,由于第1基板11和第2基板21分别具有可挠性,所以能够一边使第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20挠曲,一边将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20各自从一侧渐渐地粘接于受光面2a。此时,由表面20a和侧面20b形成的第2闪烁体面板20的角部,能够可靠地接触由表面10a和侧面10b形成的第1闪烁体面板10的角部。
接着,如图1所示,在传感器面板2上,第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20被防湿层5覆盖。即,在传感器面板2的相反侧且在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20上配置防湿层5(配置防湿层5的工序)。在配置防湿层5的工序中,防湿层5跨第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20连续地设置。接着,在传感器面板2的表面2b中,防湿层5的外缘5a由密封部件7密封,就可得到放射线检测器1。在本实施方式中,分别配置第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的工序,在配置防湿层5的工序之前被实施。
依照以上的放射线检测器1的制造方法,能够容易且可靠地得到上述的放射线检测器1。
在放射线检测器1的制造方法中,在粘接的工序中,在将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20分别粘接于受光面2a之前,先在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20分别配置粘接层3。由此,能够在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20以及粘接层3成为一体的状态下进行处理。
在放射线检测器1的制造方法中,分别配置第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的工序,在配置防湿层5的工序之前被实施。由此,在传感器面板2的相反侧且在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20上配置防湿层5时,能够在传感器面板2以及第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20成为一体的状态下进行处理。
[变形例]
本发明不限定于上述的实施方式。在放射线检测器1中,如图5所示,也可以第1角度θ1和第2角度θ2分别为90度。即,在放射线检测器1中,第1角度θ1和第2角度θ2只要分别为90度以下即可。这在上述的闪烁体面板组件100和放射线检测器1的制造方法中也同样。
如图6所示,闪烁体面板组件100也可以包括:作为支承层的防湿层5;和以沿着防湿层5彼此相邻的状态配置在防湿层5上的第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20。如图6所示的闪烁体面板组件100的结构,如下所述。即,防湿层5,跨第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20连续地设置。第1闪烁体面板10,以第1基板11相对于第1闪烁体层12位于防湿层5一侧的状态配置在防湿层5上。第2闪烁体面板20,以第2基板21相对于第2闪烁体层22位于防湿层5一侧的状态配置在防湿层5上。
在如图6所示的闪烁体面板组件100中,防湿层5将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20覆盖,在第1闪烁体面板10与防湿层5之间和第2闪烁体面板20与防湿层5之间配置有粘接层6。进一步,在第1闪烁体面板10和剥离薄片8之间和第2闪烁体面板20和剥离薄片8之间配置有粘接层3,在防湿层5的外缘5a和剥离薄片8之间配置有粘接层6。粘接层3和粘接层6分别是黏着层。粘接层3对于剥离薄片8的表面8a的粘接力,比粘接层3对于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的粘接力低。粘接层6对于剥离薄片8的表面8a的粘接力,比对于防湿层5的外缘5a的粘接层6的粘接力低。依照如图6所示的闪烁体面板组件100,能够在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20以及防湿层5成为一体的状态下进行处理。其中,如图6所示的闪烁体面板组件100也可以不包括粘接层3、配置在粘接层6中的外缘5a上的部分和剥离薄片8。
如图7所示,在放射线检测器1中,也可以防湿层5的外缘位于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20上,也可以密封部件7在传感器面板2的表面2b上将第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的外侧的侧面、以及防湿层5的外侧的侧面密封。
如图8所示,在放射线检测器1中,也可以第1防湿层5A在传感器面板2的相反侧配置在第1闪烁体面板10上,第2防湿层5B在传感器面板2的相反侧配置在第2闪烁体面板20上。在该情况下,也可以第1保护层13将第1闪烁体面板10和第1防湿层5A覆盖,第2保护层23将第2闪烁体面板20和第2防湿层5B覆盖。第1防湿层5A和第2防湿层5B的结构,与上述的防湿层5的结构同样。在如图8所示的放射线检测器1中,密封部件7,在传感器面板2的表面2b,密封第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的外侧的侧面、以及第1防湿层5A和第2防湿层5B的外侧的侧面。根据图8所示的放射线检测器1,能够保护具有潮解性的多个柱状结晶。
如图9所示,在闪烁体面板组件100中,也可以防湿层5的外缘位于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20上。其中,如图9所示的闪烁体面板组件100也可以不包括粘接层3和剥离薄片8。
如图10所示,在闪烁体面板组件100中,也可以第1防湿层5A在粘接层3的相反侧配置在第1闪烁体面板10上,第2防湿层5B在粘接层3的相反侧配置在第2闪烁体面板20上。在该情况下,也可以第1保护层13将第1闪烁体面板10和第1防湿层5A覆盖,第2保护层23将第2闪烁体面板20和第2防湿层5B覆盖。第1防湿层5A和第2防湿层5B的结构,与上述的防湿层5的结构同样。根据图10所示的闪烁体面板组件100,能够保护具有潮解性的多个柱状结晶。
在放射线检测器1和闪烁体面板组件100中,也可以第1基板11和第2基板21各自没有可挠性。在该情况下,第1基板11和第2基板21各自的材料,也可以例如为CFRP(碳纤维强化塑料)、a-C(无定形碳)、Al、Cu或玻璃。在第1基板11和第2基板21各自的材料为金属的情况下,也可以在第1基板11和第2基板21各自的表面和背面,例如作为耐腐蚀涂层形成功能性的膜(聚对二甲苯膜等)。该功能性的膜,也可以包含各自具有不同功能的多个膜的层叠膜。作为一例,在第1基板11和第2基板21各自的材料是Al的情况下,也可以在第1基板11和第2基板21各自的表面和背面,形成耐酸铝(阳极氧化铝)膜和聚对二甲苯膜。在放射线检测器1和闪烁体面板组件100中,也可以第1基板11和第2基板21分别是包含多个基板(例如CFRP基板和PET基板)的层叠基板。
在放射线检测器1和闪烁体面板组件100中,第1闪烁体层12,到达第1基板11的外缘11a中的至少第1部分11b即可。同样地,第2闪烁体层22,到达第2基板21的外缘11a中的至少第2部分21b即可。在放射线检测器1和闪烁体面板组件100中,第1基板11和第1闪烁体层12,不限定于通过切断或切出而得,也可以第1闪烁体层12到达第1基板11的侧面。同样地,第2基板21和第2闪烁体层22,不限定于通过切断或切出而得,也可以第2闪烁体层22到达第2基板21的侧面。
在放射线检测器1中,也可以传感器面板2没有可挠性。在该情况下,在传感器面板2中设有多个光电转换元件的基板的材料,例如为a-Si(非晶硅)、Si(硅)或玻璃(例如无碱玻璃)。在放射线检测器1中,防湿层5的外缘5a,到达受光面2a的周围的传感器面板2的表面2b,密封部件7,也可以在由传感器面板2和防湿层5划定出的区域被减压了的状态下,在传感器面板2的表面2b将防湿层5的外缘5a密封。在该情况下,不使用粘接层3就能够将防湿层5紧贴于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20。在放射线检测器1中,也可以形成于帽型的防湿层5在传感器面板2中被第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20覆盖,密封部件7在传感器面板2的表面2b将防湿层5的外缘5a密封。
放射线检测器1和闪烁体面板组件100,也可以不包括防湿层5、5A、5B。放射线检测器1和闪烁体面板组件100,也可以不包括第1保护层13和第2保护层23。
在放射线检测器1的制造方法中,也可以在粘接的工序中,在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的各个被粘接于受光面2a之前,先在受光面2a配置粘接层3。在该情况下,能够对于第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20的各个分别进行处理。在放射线检测器1的制造方法中,配置防湿层5的工序,也可以在配置第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20各自的工序之前被实施。在该情况下,在受光面2a上各自配置第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20时,能够在第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20以及防湿层5成为一体的状态下进行处理。
上述的放射线检测器1、闪烁体面板组件100、和放射线检测器1的制造方法的全部的实施方式和变形例等,只要作为呈一维或二维配置的多个闪烁体面板包括第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20即可。例如,三片闪烁体面板呈一维配置的情况下,任意的“相邻的二片闪烁体面板”能够视为第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20。而且,四片闪烁体面板呈二维配置的情况下,任意的“相邻的二片闪烁体面板”能够视为第1闪烁体面板10和第2闪烁体面板20。
附图标记说明
1…放射线检测器
2…传感器面板
2a…受光面
2b…表面
3…粘接层
4…粒状荧光体
5…防湿层
5a…外缘
5A…第1防湿层
5B…第2防湿层
7…密封部件
10…第1闪烁体面板
10a…表面
10b…侧面
11…第1基板
11a…外缘
11b…第1部分
12…第1闪烁体层
13…第1保护层
20…第2闪烁体面板
20a…表面
20b…侧面
21…第2基板
21a…外缘
21b…第2部分
22…第2闪烁体层
23…第2保护层
51…主体层
52…无机层
100…闪烁体面板组件
θ1…第1角度
θ2…第2角度。

Claims (18)

1.一种放射线检测器,其特征在于,包括:
具有受光面的传感器面板;和
以沿着所述受光面彼此相邻的状态配置在所述受光面上的第1闪烁体面板和第2闪烁体面板,
所述第1闪烁体面板具有:第1基板;和包含形成在所述第1基板上的多个柱状结晶的第1闪烁体层,
所述第2闪烁体面板具有:第2基板;和包含形成在所述第2基板上的多个柱状结晶的第2闪烁体层,
所述第1闪烁体面板,以所述第1闪烁体层相对于所述第1基板位于所述受光面一侧的状态配置在所述受光面上,
所述第2闪烁体面板,以所述第2闪烁体层相对于所述第2基板位于所述受光面一侧的状态配置在所述受光面上,
从所述第1闪烁体层侧观察时的所述第1基板的外缘,包含沿着所述第2闪烁体面板延伸的第1部分,所述第1闪烁体层至少到达所述第1部分,
从所述第2闪烁体层侧观察时的所述第2基板的外缘,包含沿着所述第1闪烁体面板延伸的第2部分,所述第2闪烁体层至少到达所述第2部分,
由所述第1闪烁体面板的所述传感器面板一侧的表面与所述第1闪烁体面板的所述第2闪烁体面板一侧的侧面形成的第1角度为90度以下,
由所述第2闪烁体面板的所述传感器面板一侧的表面与所述第2闪烁体面板的所述第1闪烁体面板一侧的侧面形成的第2角度为90度以下。
2.如权利要求1所述的放射线检测器,其特征在于:
所述第1角度和所述第2角度分别为45度以上且小于90度。
3.如权利要求1或2所述的放射线检测器,其特征在于:
所述第1基板和所述第2基板分别具有可挠性。
4.如权利要求3所述的放射线检测器,其特征在于:
所述第1角度和所述第2角度分别为小于90度,
所述传感器面板具有可挠性。
5.如权利要求1~4中任一项所述的放射线检测器,其特征在于:
还包括配置在所述受光面与所述第1闪烁体面板之间和所述受光面与所述第2闪烁体面板之间的粘接层,
所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板分别由所述粘接层粘接于所述受光面。
6.如权利要求5所述的放射线检测器,其特征在于:
所述粘接层包含黏着剂或粘接剂。
7.如权利要求1~6中任一项所述的闪烁体面板组件,其特征在于:
所述第1闪烁体面板还具有将所述第1基板和所述第1闪烁体层覆盖的第1保护层,
所述第2闪烁体面板还具有将所述第2基板和所述第2闪烁体层覆盖的第2保护层。
8.如权利要求1~7中任一项所述的放射线检测器,其特征在于:
还包括配置在所述第1闪烁体面板与所述第2闪烁体面板之间的粒状荧光体。
9.如权利要求1~8中任一项所述的放射线检测器,其特征在于:
还包括在所述传感器面板的相反侧配置在所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板上的防湿层,
所述防湿层跨所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板连续地设置。
10.如权利要求9所述的放射线检测器,其特征在于:
所述防湿层具有:
可挠性的主体层;和
配置在所述主体层上的无机层,
所述防湿层,以所述无机层相对于所述主体层位于所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板一侧的状态配置在所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板上。
11.如权利要求9或10所述的放射线检测器,其特征在于:
还包括密封部件,
所述防湿层的外缘,到达所述受光面的周围的所述传感器面板的表面,
所述密封部件,在由所述传感器面板和所述防湿层划定出的区域被减压了的状态下,在所述传感器面板的所述表面将所述防湿层的所述外缘密封。
12.如权利要求1~6中任一项所述的放射线检测器,其特征在于,还包括:
在所述传感器面板的相反侧配置在所述第1闪烁体面板上的第1防湿层;
在所述传感器面板的相反侧配置在所述第2闪烁体面板上的第2防湿层;
将所述第1闪烁体面板和所述第1防湿层覆盖的第1保护层;和
将所述第2闪烁体面板和所述第2防湿层覆盖的第2保护层。
13.一种放射线检测器的制造方法,其制造权利要求1~12中任一项所述的放射线检测器,所述放射线检测器的制造方法的特征在于,包括:
准备所述传感器面板的工序;
准备所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板的工序;和
在所述受光面上分别配置所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板的工序,
在准备所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板的工序中,
由所述第1闪烁体面板的所述传感器面板一侧的表面与所述第1闪烁体面板的所述第2闪烁体面板一侧的侧面形成的第1角度为90度以下,
由所述第2闪烁体面板的所述传感器面板一侧的表面与所述第2闪烁体面板的所述第1闪烁体面板一侧的侧面形成的第2角度为90度以下。
14.一种闪烁体面板组件,其特征在于,包括:
支承层;和
以沿着所述支承层彼此相邻的状态配置在所述支承层上的第1闪烁体面板和第2闪烁体面板,
所述第1闪烁体面板具有:第1基板;和包含形成在所述第1基板上的多个柱状结晶的第1闪烁体层,
所述第2闪烁体面板具有:第2基板;和包含形成在所述第2基板上的多个柱状结晶的第2闪烁体层,
从所述第1闪烁体层侧观察时的所述第1基板的外缘,包含沿着所述第2闪烁体面板延伸的第1部分,所述第1闪烁体层至少到达所述第1部分,
从所述第2闪烁体层侧观察时的所述第2基板的外缘,包含沿着所述第1闪烁体面板延伸的第2部分,所述第2闪烁体层至少到达所述第2部分,
由所述第1闪烁体面板的所述第1闪烁体层一侧的表面与所述第1闪烁体面板的所述第2闪烁体面板一侧的侧面形成的第1角度为90度以下,
由所述第2闪烁体面板的所述第2闪烁体层一侧的表面与所述第2闪烁体面板的所述第1闪烁体面板一侧的侧面形成的第2角度为90度以下。
15.如权利要求14所述的闪烁体面板组件,其特征在于:
所述支承层为粘接层,
所述第1闪烁体面板,以所述第1闪烁体层相对于所述第1基板位于所述粘接层一侧的状态配置在所述粘接层上,
所述第2闪烁体面板,以所述第2闪烁体层相对于所述第2基板位于所述粘接层一侧的状态配置在所述粘接层上,
所述粘接层,跨所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板连续地设置。
16.如权利要求14所述的闪烁体面板组件,其特征在于:
所述支承层为防湿层,
所述第1闪烁体面板,以所述第1基板相对于所述第1闪烁体层位于所述防湿层一侧的状态配置在所述防湿层上,
所述第2闪烁体面板,以所述第2基板相对于所述第2闪烁体层位于所述防湿层一侧的状态配置在所述防湿层上,
所述防湿层跨所述第1闪烁体面板和所述第2闪烁体面板连续地设置。
17.如权利要求14~16中任一项所述的闪烁体面板组件,其特征在于:
所述第1闪烁体面板还具有将所述第1基板和所述第1闪烁体层覆盖的第1保护层,
所述第2闪烁体面板还具有将所述第2基板和所述第2闪烁体层覆盖的第2保护层。
18.如权利要求15所述的闪烁体面板组件,其特征在于,还包括:
在所述粘接层的相反侧配置在所述第1闪烁体面板上的第1防湿层;
在所述粘接层的相反侧配置在所述第2闪烁体面板上的第2防湿层;
将所述第1闪烁体面板和所述第1防湿层覆盖的第1保护层;和
将所述第2闪烁体面板和所述第2防湿层覆盖的第2保护层。
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