CN116494403A - 一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法 - Google Patents

Abstract

本发明的实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法，涉及划片机技术领域。该划片机真空气路过滤装置包括真空工作盘、过滤水箱、第一真空管路、第一真空发生器以及过滤塞，过滤水箱和真空工作盘连通，过滤水箱用于收集水汽，第一真空管路的一端和过滤水箱连通，第一真空发生器和第一真空管路的另一端连接，第一真空发生器用于对第一真空管路抽真空将过滤水箱中的水汽吸附进第一真空管路，过滤塞设置于过滤水箱，过滤塞和第一真空管路的端部连通，过滤塞的底部贯穿有导流槽，过滤塞用于对进入第一真空管路的水汽进行冷却使水汽液化，液化后的水通过导流槽倒流回过滤水箱。能有效提高排除真空气路中的水汽的效果，保证真空气路的稳定性。

Description

一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法

技术领域

本发明涉及划片机技术领域，具体而言，涉及一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法。

背景技术

划片机在切割工件的过程中会进行喷水冷却和除废作业，由于工件与真空工作盘下料拆卸时，会存在一定缝隙导致水进入到真空气路中，少量水进入时，水会通过排气口排出，当进水量过大时，真空口可能会有水滴或者冰晶凝结，会出现真空不稳现象；如果真空气路中长期存水，通过真空反吹水后，水被反吹到各个支路中，会导致真空中的真空表等电子元件损坏，影响划片机生产。因此一般会在划片机上设置排水装置对真空气路中的水进行排除。

现有技术中的划片机的排水装置存在排水效果不佳的问题。

发明内容

本发明提供了一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法，其能够有效提高排除真空气路中的水汽的效果，进一步保证真空气路的稳定性，避免损坏电子元件从而影响划片机的生产作业。

本发明的实施例可以这样实现：

本发明的实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置，其包括：

真空工作盘，所述真空工作盘用于承载工件；

过滤水箱，所述过滤水箱和所述真空工作盘连通，所述过滤水箱用于收集进入所述真空工作盘的水汽；

第一真空管路，所述第一真空管路的一端和所述过滤水箱连通；

第一真空发生器，所述第一真空发生器和所述第一真空管路的另一端连接，所述第一真空发生器用于对所述第一真空管路抽真空，从而将所述过滤水箱中的水汽吸附进所述第一真空管路；

过滤塞，所述过滤塞沿X轴方向设置，所述过滤塞设置于所述过滤水箱，且所述过滤塞和所述第一真空管路的端部连通，所述过滤塞的底部贯穿有导流槽，所述导流槽沿所述过滤塞的长度方向设置，所述过滤塞用于对进入所述第一真空管路的水汽进行冷却，使得水汽液化，液化后的水通过所述导流槽倒流回所述过滤水箱。

可选地，所述过滤塞的两端分别为进口端和出口端，所述进口端和所述过滤水箱连通，所述出口端和所述第一真空管路的端部连通，所述进口端的端面尺寸大于所述出口端的端面尺寸，使得所述导流槽倾斜设置，从而将流入所述导流槽内的水倒流回所述过滤水箱。

可选地，所述进口端和所述出口端均为圆形结构，所述进口端的直径大于所述出口端的直径。

可选地，所述过滤塞包括冷却段和连接段，所述冷却段和所述连接段连通，所述进口端设置于所述冷却段，所述出口端设置于所述连接段，所述连接段和所述第一真空管路的入口连通，所述冷却段用于冷却进入所述过滤塞的水汽，使得水汽液化，液化后的水在重力作用下进入所述导流槽，并倒流回所述过滤水箱。

可选地，所述冷却段设有多个过滤板，所述多个过滤板沿冷却段的长度方向间隔设置，所述过滤板用于对进入所述冷却段的水汽进行冷却，使得水汽液化。

可选地，所述过滤板上贯穿有多个过滤孔。

可选地，所述过滤板为过滤棉。

可选地，所述冷却段为喇叭状结构。

可选地，所述划片机真空气路过滤装置还包括第二真空管路，所述第二真空管路的端部和所述过滤水箱的底部连通。

可选地，所述划片机真空气路过滤装置还包括第二真空发生器，所述第二真空发生器和所述第二真空管路远离所述过滤水箱的一端连通，所述第二真空发生器用于对所述第二真空管路抽真空。

本发明的实施例还提供了一种过滤方法，利用划片机真空气路过滤装置进行过滤，所述过滤方法包括：

将工件通过所述真空工作盘进行真空吸附固定，旋转划切件对工件表面进行切割，切割过程中喷水冷却件朝向工件表面喷水进行冷却；

启动所述第一真空发生器进行抽真空，将进入所述真空工作盘的水汽吸附进所述过滤水箱；

继续抽吸所述过滤水箱内的水汽，使得水汽进入所述第一真空管路；

所述过滤塞对进入所述第一真空管路的水汽进行冷却液化，液化后的水下坠至所述导流槽，并顺着所述导流槽倒流回所述过滤水箱。

本发明的实施例的划片机真空气路过滤装置及过滤方法的有益效果包括，例如：

该划片机真空气路过滤装置包括真空工作盘、过滤水箱、第一真空管路、第一真空发生器以及过滤塞，真空工作盘用于承载工件，过滤水箱和真空工作盘连通，过滤水箱用于收集进入真空工作盘的水汽，第一真空管路的一端和过滤水箱连通，第一真空发生器和第一真空管路的另一端连接，第一真空发生器用于对第一真空管路抽真空，从而将过滤水箱中的水汽吸附进第一真空管路，过滤塞沿X轴方向设置，过滤塞设置于过滤水箱，且过滤塞和第一真空管路的端部连通，过滤塞的底部贯穿有导流槽，导流槽沿过滤塞的长度方向设置，过滤塞用于对进入第一真空管路的水汽进行冷却，使得水汽液化，液化后的水通过导流槽倒流回过滤水箱。该划片机真空气路过滤装置在使用时，第一真空发生器工作对第一真空管路以及过滤水箱进行抽真空，真空工作盘的真空气路中水汽能够吸入过滤水箱中，由于第一真空发生器和第一真空管路连通，因此过滤水箱中的水汽能够吸附进入第一真空管路中，水汽进入第一真空管路后会经过过滤塞，过滤塞用于对进入第一真空管路的水汽进行冷却，使得水汽液化，水汽液化成水后会下坠进入导流槽，并经由导流槽倒流回过滤水箱中进行收集。该划片机真空气路过滤装置能够将水汽集中收集在过滤水箱中，能够有效提高排除真空气路中的水汽的效果，进一步保证真空气路的稳定性，避免水汽到处流动损坏电子元件从而影响划片机的生产作业。

该过滤方法利用划片机真空气路过滤装置进行过滤，该过滤方法包括将工件通过真空工作盘进行真空吸附固定，旋转划切件对工件表面进行切割，切割过程中喷水冷却件朝向工件表面喷水进行冷却；启动第一真空发生器进行抽真空，将进入真空工作盘的水汽吸附进过滤水箱；继续抽吸过滤水箱内的水汽，使得水汽进入第一真空管路；过滤塞对进入第一真空管路的水汽进行冷却液化，液化后的水下坠至导流槽，并顺着导流槽倒流回过滤水箱。该过滤方法能够将真空工作盘中的水汽过滤收集在过滤水箱中，能够有效提高排除真空气路中的水汽的效果，进一步保证真空气路的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。

图1为本实施例提供的划片机真空气路过滤装置的第一视角的结构示意图；

图2为本实施例提供的划片机真空气路过滤装置的第二视角的结构示意图；

图3为本实施例提供的过滤塞的结构示意图；

图4为本实施例提供的过滤塞的剖视图。

图标：10-真空工作盘；11-真空气路；20-过滤水箱；30-第一真空管路；40-第一真空发生器；50-过滤塞；51-进口端；52-出口端；53-冷却段；54-连接段；60-过滤板；70-过滤孔；80-第二真空管路；90-第二真空发生器；100-旋转划切件；200-喷水冷却件；1000-划片机真空气路过滤装置；101-工件；102-导流槽。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。

划片机在切割工件101的过程中会进行喷水冷却和除废作业，由于工件101与真空工作盘下料拆卸时，会存在一定缝隙导致水进入到真空气路中，少量水进入时，水会通过排气口排出，当进水量过大时，真空口可能会有水滴或者冰晶凝结，会出现真空不稳现象；如果真空气路中长期存水，通过真空反吹水后，水被反吹到各个支路中，会导致真空中的真空表等电子元件损坏，影响划片机生产。因此一般会在划片机上设置排水装置对真空气路中的水进行排除。

相关技术中的划片机的排水装置存在排水效果不佳的问题。

请参考图1-图4，本实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置1000，其可以有效改善上述提到的技术问题，能够有效提高排除真空气路11中的水汽的效果，进一步保证真空气路11的稳定性，避免损坏电子元件从而影响划片机的生产作业。

请参考图1-图4，本实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置1000包括真空工作盘10、过滤水箱20、第一真空管路30、第一真空发生器40以及过滤塞50，真空工作盘10用于承载工件101，过滤水箱20和真空工作盘10连通，过滤水箱20用于收集进入真空工作盘10的水汽，第一真空管路30的一端和过滤水箱20连通，第一真空发生器40和第一真空管路30的另一端连接，第一真空发生器40用于对第一真空管路30抽真空，从而将过滤水箱20中的水汽吸附进第一真空管路30，过滤塞50沿X轴方向设置，过滤塞50设置于过滤水箱20，且过滤塞50和第一真空管路30的端部连通，过滤塞50的底部贯穿有导流槽102，导流槽102沿过滤塞50的长度方向设置，过滤塞50用于对进入第一真空管路30的水汽进行冷却，使得水汽液化，液化后的水通过导流槽102倒流回过滤水箱20。

具体地，现有技术中的划片机排水装置的使用寿命极短；除此之外现有技术中还会在真空工作盘的真空气路上设置单向阀来避免水汽进入，但是由于真空度会一直保压，在关闭真空后真空气路内部的压力无法进行释放。因此现有技术中的划片机的排水装置的排水效果并不理想。为了解决上述技术问题，本实施例提供的划片机真空气路过滤装置1000在使用时，第一真空发生器40工作对第一真空管路30以及过滤水箱20进行抽真空，真空工作盘10的真空气路11中水汽能够吸入过滤水箱20中，由于第一真空发生器40和第一真空管路30连通，因此过滤水箱20中的水汽能够吸附进入第一真空管路30中，水汽进入第一真空管路30后会经过过滤塞50，过滤塞50用于对进入第一真空管路30的水汽进行冷却，使得水汽液化，水汽液化成水后会下坠进入导流槽102，并经由导流槽102倒流回过滤水箱20中进行收集。该划片机真空气路过滤装置1000能够将水汽集中收集在过滤水箱20中，能够有效提高排除真空气路11中的水汽的效果，进一步保证真空气路11的稳定性，避免水汽到处流动损坏电子元件从而影响划片机的生产作业。

在本实施例中，过滤水箱20和真空工作盘10的真空气路11连通，真空气路11的一端和真空工作盘10的底部连通，真空气路11的另一端和过滤水箱20的顶部连通，第一真空发生器40启动后，真空气路11中的气体吸附至过滤水箱20，并继续进入第一真空管路30。由于工件101在切割过程中会用喷水冷却件200对工件101进行喷水冷却，会导致真空工作盘10的真空气路11进水，因此吸附至过滤水箱20以及第一真空管路30的气体中会带有水，过滤塞50能够对水汽进行冷却使其液化，液化后的水经过导流槽102能够倒流回过滤水箱20中进行收集，能够避免水汽经过第一真空管路30流出后导致电气元件受损，同时过滤水箱20和过滤塞50均设置在真空工作盘10的抽真空的线路上，在实现排水作用的同时也不会影响真空工作盘10的正常吸附工作，能够保证真空工作盘10的真空度。

具体地，第一真空管路30的端部和过滤水箱20的侧壁的顶部连接，使得第一真空管路30能够最大程度的对过滤水箱20内的水汽进行吸附。

具体地，过滤塞50的两端分别为进口端51和出口端52，进口端51和过滤水箱20连通，出口端52和第一真空管路30的端部连通，进口端51的端面尺寸大于出口端52的端面尺寸，使得导流槽102倾斜设置，从而将流入导流槽102内的水倒流回过滤水箱20。

在本实施例中，进口端51和出口端52均为圆形结构，进口端51的直径大于出口端52的直径。其中，进口端51的直径大于出口端52的直径，使得过滤塞50的侧壁远离第一真空管路30的区域向下倾斜，即，导流槽102远离第一真空管路30的槽向下倾斜，使得进入导流槽102的水能够朝向远离第一真空管路30的方向流动，也就是朝向靠近过滤水箱20的方向流动，最终倒流回过滤水箱20内。

更多地，过滤塞50的进口端51的直径大于出口端52的直径能够更好地避免水进入第一真空管路30，避免水从第一真空管路30流出从而污染电子元件。

需要进行说明的是，过滤塞50包括冷却段53和连接段54，冷却段53和连接段54连通，进口端51设置于冷却段53，出口端52设置于连接段54，连接段54和第一真空管路30的入口连通，冷却段53用于冷却进入过滤塞50的水汽，使得水汽液化，液化后的水在重力作用下进入导流槽102，并倒流回过滤水箱20。

具体地，连接段54为圆柱形结构。

还需要进行说明的是，冷却段53设有多个过滤板60，多个过滤板60沿冷却段53的长度方向间隔设置，过滤板60用于对进入冷却段53的水汽进行冷却，使得水汽液化。

在本实施例中，过滤板60的数量为两个，两个过滤板60沿冷却段53的长度方向间隔设置，在其他实施例中，过滤板60的数量可以增加或减少，在此不做具体限定。

可以理解地，过滤板60上贯穿有多个过滤孔70。

在本实施例中，过滤板60为过滤棉。过滤塞50采用PVC材质。

在本实施例中，冷却段53为喇叭状结构。

除此之外，划片机真空气路过滤装置1000还包括第二真空管路80，第二真空管路80的端部和过滤水箱20的底部连通。第二真空管路80能够吸走过滤水箱20内的水，实现排水作用。

可以理解地，划片机真空气路过滤装置1000还包括第二真空发生器90，第二真空发生器90和第二真空管路80远离过滤水箱20的一端连通，第二真空发生器90用于对第二真空管路80抽真空。

本发明的实施例还提供了一种过滤方法，利用划片机真空气路过滤装置1000进行过滤，过滤方法包括：

S1：将工件101通过真空工作盘10进行真空吸附固定，旋转划切件100对工件101表面进行切割，切割过程中喷水冷却件200朝向工件101表面喷水进行冷却；

具体地，划片机真空气路过滤装置1000还包括旋转划切件100和喷水冷却件200，旋转划切件100可移动地设置于真空工作盘10的上方，喷水冷却件200和旋转划切件100连接，旋转划切件100在旋转的情况下切割工件101，在切割过程中喷水冷却件200朝向工件101表面喷水对其进行冷却，并对工件101表面的残留污垢进行清理。

更多地，旋转划切件100上装有高速旋转的刀片，刀片在旋转的情况下对工件101表面进行切割。

S2：启动第一真空发生器40进行抽真空，将进入真空工作盘10的水汽吸附进过滤水箱20；

具体地，第一真空发生器40启动后，抽真空的气体经由真空气路11到达真空工作盘10，使得真空工作盘10对工件101进行吸附固定，在抽真空的过程中，真空气路11中的水汽能够进入过滤水箱20，液体的水收集在过滤水箱20底部，气体的水流动在过滤水箱20的上部。

S3：继续抽吸过滤水箱20内的水汽，使得水汽进入第一真空管路30；

具体地，水汽在第一真空发生器40的作用下继续进入第一真空管路30。

S4：过滤塞50对进入第一真空管路30的水汽进行冷却液化，液化后的水下坠至导流槽102，并顺着导流槽102倒流回过滤水箱20；

具体地，过滤塞50对进入第一真空管路30的水汽进行冷却，使得水汽液化，液化后的水在重力作用下进入导流槽102，并倒流回过滤水箱20。

S5：第二真空发生器90启动后，将过滤水箱20内的水吸附至第二真空管路80中，并最终排出；

具体地，第二真空管路80外接水汽收纳槽，排出的水最终进行水汽收纳槽内从而完成过滤排水作业。

综上，本发明实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置1000及过滤方法，该划片机真空气路过滤装置1000包括真空工作盘10、过滤水箱20、第一真空管路30、第一真空发生器40以及过滤塞50，真空工作盘10用于承载工件101，过滤水箱20和真空工作盘10连通，过滤水箱20用于收集进入真空工作盘10的水汽，第一真空管路30的一端和过滤水箱20连通，第一真空发生器40和第一真空管路30的另一端连接，第一真空发生器40用于对第一真空管路30抽真空，从而将过滤水箱20中的水汽吸附进第一真空管路30，过滤塞50沿X轴方向设置，过滤塞50设置于过滤水箱20，且过滤塞50和第一真空管路30的端部连通，过滤塞50的底部贯穿有导流槽102，导流槽102沿过滤塞50的长度方向设置，过滤塞50用于对进入第一真空管路30的水汽进行冷却，使得水汽液化，液化后的水通过导流槽102倒流回过滤水箱20。该划片机真空气路过滤装置1000在使用时，第一真空发生器40工作对第一真空管路30以及过滤水箱20进行抽真空，真空工作盘10的真空气路11中水汽能够吸入过滤水箱20中，由于第一真空发生器40和第一真空管路30连通，因此过滤水箱20中的水汽能够吸附进入第一真空管路30中，水汽进入第一真空管路30后会经过过滤塞50，过滤塞50用于对进入第一真空管路30的水汽进行冷却，使得水汽液化，水汽液化成水后会下坠进入导流槽102，并经由导流槽102倒流回过滤水箱20中进行收集。该划片机真空气路过滤装置1000能够将水汽集中收集在过滤水箱20中，能够有效提高排除真空气路11中的水汽的效果，进一步保证真空气路11的稳定性，避免水汽到处流动损坏电子元件从而影响划片机的生产作业。

该过滤方法利用划片机真空气路过滤装置1000进行过滤，该过滤方法包括将工件101通过真空工作盘10进行真空吸附固定，旋转划切件100对工件101表面进行切割，切割过程中喷水冷却件200朝向工件101表面喷水进行冷却；启动第一真空发生器40进行抽真空，将进入真空工作盘10的水汽吸附进过滤水箱20；继续抽吸过滤水箱20内的水汽，使得水汽进入第一真空管路30；过滤塞50对进入第一真空管路30的水汽进行冷却液化，液化后的水下坠至导流槽102，并顺着导流槽102倒流回过滤水箱20。该过滤方法能够将真空工作盘10中的水汽过滤收集在过滤水箱20中，能够有效提高排除真空气路11中的水汽的效果，进一步保证真空气路11的稳定性。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (11)

1.一种划片机真空气路过滤装置，其特征在于，包括：

真空工作盘（10），所述真空工作盘（10）用于承载工件（101）；

过滤水箱（20），所述过滤水箱（20）和所述真空工作盘（10）连通，所述过滤水箱（20）用于收集进入所述真空工作盘（10）的水汽；

第一真空管路（30），所述第一真空管路（30）的一端和所述过滤水箱（20）连通；

第一真空发生器（40），所述第一真空发生器（40）和所述第一真空管路（30）的另一端连接，所述第一真空发生器（40）用于对所述第一真空管路（30）抽真空，从而将所述过滤水箱（20）中的水汽吸附进所述第一真空管路（30）；

过滤塞（50），所述过滤塞（50）沿X轴方向设置，所述过滤塞（50）设置于所述过滤水箱（20），且所述过滤塞（50）和所述第一真空管路（30）的端部连通，所述过滤塞（50）的底部贯穿有导流槽（102），所述导流槽（102）沿所述过滤塞（50）的长度方向设置，所述过滤塞（50）用于对进入所述第一真空管路（30）的水汽进行冷却，使得水汽液化，液化后的水通过所述导流槽（102）倒流回所述过滤水箱（20）。

2.根据权利要求1所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述过滤塞（50）的两端分别为进口端（51）和出口端（52），所述进口端（51）和所述过滤水箱（20）连通，所述出口端（52）和所述第一真空管路（30）的端部连通，所述进口端（51）的端面尺寸大于所述出口端（52）的端面尺寸，使得所述导流槽（102）倾斜设置，从而将流入所述导流槽（102）内的水倒流回所述过滤水箱（20）。

3.根据权利要求2所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述进口端（51）和所述出口端（52）均为圆形结构，所述进口端（51）的直径大于所述出口端（52）的直径。

4.根据权利要求2所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述过滤塞（50）包括冷却段（53）和连接段（54），所述冷却段（53）和所述连接段（54）连通，所述进口端（51）设置于所述冷却段（53），所述出口端（52）设置于所述连接段（54），所述连接段（54）和所述第一真空管路（30）的入口连通，所述冷却段（53）用于冷却进入所述过滤塞（50）的水汽，使得水汽液化，液化后的水在重力作用下进入所述导流槽（102），并倒流回所述过滤水箱（20）。

5.根据权利要求4所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述冷却段（53）设有多个过滤板（60），所述多个过滤板（60）沿冷却段（53）的长度方向间隔设置，所述过滤板（60）用于对进入所述冷却段（53）的水汽进行冷却，使得水汽液化。

6.根据权利要求5所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述过滤板（60）上贯穿有多个过滤孔（70）。

7.根据权利要求5所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述过滤板（60）为过滤棉。

8.根据权利要求4所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述冷却段（53）为喇叭状结构。

9.根据权利要求1-8任一项所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述划片机真空气路过滤装置（1000）还包括第二真空管路（80），所述第二真空管路（80）的端部和所述过滤水箱（20）的底部连通。

10.根据权利要求9所述的划片机真空气路过滤装置，其特征在于，所述划片机真空气路过滤装置（1000）还包括第二真空发生器（90），所述第二真空发生器（90）和所述第二真空管路（80）远离所述过滤水箱（20）的一端连通，所述第二真空发生器（90）用于对所述第二真空管路（80）抽真空。

11.一种过滤方法，利用权利要求1-10任一项所述的划片机真空气路过滤装置进行过滤，其特征在于，所述过滤方法包括：

将工件（101）通过所述真空工作盘（10）进行真空吸附固定，旋转划切件（100）对工件（101）表面进行切割，切割过程中喷水冷却件（200）朝向工件（101）表面喷水进行冷却；

启动所述第一真空发生器（40）进行抽真空，将进入所述真空工作盘（10）的水汽吸附进所述过滤水箱（20）；

继续抽吸所述过滤水箱（20）内的水汽，使得水汽进入所述第一真空管路（30）；

所述过滤塞（50）对进入所述第一真空管路（30）的水汽进行冷却液化，液化后的水下坠至所述导流槽（102），并顺着所述导流槽（102）倒流回所述过滤水箱（20）。