CN116073787A - 铝钛合金声波装置 - Google Patents
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Abstract
铝钛合金声波装置，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；第一电极膜布置在压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分；第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，第二电极膜还包括分层金属膜，分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；金属膜为铝钛合金，第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面；本发明能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。
Description
技术领域
本发明涉及声波器件领域，具体涉及铝钛合金声波装置。
背景技术
声波器件被广泛用作带通滤波器和双工器，用于安装在诸如蜂窝电话之类的通信设备中的射频(RF)电路上。已知的弹性波装置包括使用弹性表面波的弹性表面波装置和使用弹性边界波的弹性边界波装置。现有技术存在的问题是当由IDT电极引起的声波振动施加到布线电极时，会发生迁移；此外，当由于高频电力通过布线电极而产生的热量施加到布线电极时，可能会发生迁移，特别是在铝或金的布线电极中更容易发生迁移。
发明内容
针对现有技术中存在的上述缺陷，本发明的目的在于提供铝钛合金声波装置，能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。
本发明是这样实现的，本发明铝钛合金声波装置所采用的技术方案是：铝钛合金声波装置，其特征在于，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；所述第一电极膜布置在所述压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；所述第二电极膜从所述压电基板的上表面延伸至所述第一电极膜的上表面的一部分；所述第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，所述第二电极膜还包括分层金属膜，所述分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；所述金属膜为铝钛合金，所述第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至所述第二电极膜的侧面。
进一步地，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的第三电极膜。
进一步地，所述第三电极膜为铝钛合金。
进一步地，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的绝缘膜。
进一步地，所述绝缘膜包括含有无机绝缘材料的膜，所述绝缘膜包括包含选自聚酰亚胺、环氧树脂、酚醛树脂和酰胺树脂的有机绝缘材料的膜。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于，本发明提供的铝钛合金声波装置，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；第一电极膜布置在压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分；第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，第二电极膜还包括分层金属膜，分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；金属膜为铝钛合金，第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面；本发明能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的铝钛合金声波装置的准备压电基板后的状态的俯视图。
图2是本发明实施例提供的铝钛合金声波装置的如图1所示的线B1-B1截取的截面示意图。
图3是本发明实施例提供的铝钛合金声波装置的在压电基板上配置第一电极膜后的状态的俯视图。
图4是本发明实施例提供的铝钛合金声波装置的如图3所示的线B2-B2截取的截面示意图。
图5是本发明实施例提供的铝钛合金声波装置的配置第二电极膜后的状态的俯视图。
图6是本发明实施例提供的铝钛合金声波装置的如图5所示的线B3-B3截取的截面示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
以下结合附图与具体实施例，对本发明的技术方案做详细的说明。
本发明提供的铝钛合金声波装置，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；所述第一电极膜布置在所述压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；所述第二电极膜从所述压电基板的上表面延伸至所述第一电极膜的上表面的一部分；所述第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，所述第二电极膜还包括分层金属膜，所述分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；所述金属膜为铝钛合金，所述第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至所述第二电极膜的侧面。
上述提供的铝钛合金声波装置，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；第一电极膜布置在压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分；第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，第二电极膜还包括分层金属膜，分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；金属膜为铝钛合金，第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面；本发明能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。
作为本发明的一种实施方式，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的第三电极膜。
作为本发明的一种实施方式，所述第三电极膜为铝钛合金。
作为本发明的一种实施方式，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的绝缘膜。
作为本发明的一种实施方式，所述绝缘膜包括含有无机绝缘材料的膜，所述绝缘膜包括包含选自聚酰亚胺、环氧树脂、酚醛树脂和酰胺树脂的有机绝缘材料的膜。
参照图1至图6，为本发明的一个优选实施例：
制备压电基板1如图和图2所示。在该优选实施例中，压电基板1优选为钽酸锂基板。然而，压电基板1可以是任何其他所需的压电基板，例如铌酸锂基板、四硼酸锂基板、朗格石基板、石英晶体基板等。
参照图3和4，第一电极膜2布置在压电基板1的顶表面上。第一电极膜2限定数字间换能器(IDT)电极3和反射器4和5。IDT电极3优选地包括一对汇流条5和6以及连接到汇流条5或汇流条6的多个电极指3c。反射器4和5包括一对母线和连接到这对母线的多个电极指。
在该优选实施例中，第一电极膜2优选地由包括铝钛合金膜的分层金属膜制成。
参照图5和6，第二电极膜6被配置为从压电基板1的顶面延伸到第一电极膜2的顶面的一部分。更具体地，第二电极膜6被配置为从压电基板1的顶面延伸。压电基板1到IDT电极3的汇流条5和6以及反射器4和5的汇流条的顶部。
第二电极膜6限定IDT电极3的汇流条5和6、反射器4和5的汇流条、布线电极9以及焊盘电极10a至10c。因此，IDT电极3的汇流条5、6优选由第一电极膜2和第二电极膜6的层叠体构成。反射器4、5的汇流条也同样。
IDT电极3的电极指3c和反射器4和5的电极指优选仅由第一电极膜2构成。布线电极9和焊盘电极10a至10c优选仅由第二电极膜6构成。
在本优选实施例中，第二电极膜6优选地由包铝钛合金的层叠金属膜制成。如图6所示，第二电极膜6的最下层6a优选由铝钛合金膜制成。
在图6中，第二电极膜6中除最下层6a之外的金属膜统称为上层6b。
最下层6a以外的层优选由铝的金属膜制成，以降低第二电极膜6的电阻，特别是降低布线电极9的电阻。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.铝钛合金声波装置，其特征在于，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；所述第一电极膜布置在所述压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；所述第二电极膜从所述压电基板的上表面延伸至所述第一电极膜的上表面的一部分；所述第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，所述第二电极膜还包括分层金属膜，所述分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；所述金属膜为铝钛合金，所述第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至所述第二电极膜的侧面。
2.根据权利要求1所述的铝钛合金声波装置，其特征在于，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的第三电极膜。
3.根据权利要求2所述的铝钛合金声波装置，其特征在于，所述第三电极膜为铝钛合金。
4.根据权利要求2所述的铝钛合金声波装置，其特征在于，所述声波装置还包括设置在所述第二电极膜上的绝缘膜。
5.根据权利要求4所述的铝钛合金声波装置，其特征在于，所述绝缘膜包括含有无机绝缘材料的膜，所述绝缘膜包括包含选自聚酰亚胺、环氧树脂、酚醛树脂和酰胺树脂的有机绝缘材料的膜。
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