CN115722043A - 适用于sf6净化设备的全自动净化处理流程选择装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，包括进气主管、第一检测单元、第一电化学检测单元、储气罐、第一缓冲罐；所述进气主管连接所述第一缓冲罐的进气口，所述第一检测单元并联所述进气主管，所述第一电化学检测单元的一端连接所述进气主管，另一端连接储气罐；依次连接的多个能够单独或组合开启的能够处理不同杂质气体的净化处理模块、出气主管；位于第一个的所述净化处理模块连接所述第一缓冲罐，所述出气主管连接位于最后一个净化处理模块。本发明还公开适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择方法。本发明的有益效果：从而实现一套设备能够处理含有一种或多种任意成分的杂质气体，提高净化效率。

Description

适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置及方法

技术领域

本发明涉及一种SF6净化设备，尤其涉及的是一种适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置及方法。

背景技术

针对六氟化硫(SF6)气体中不同的杂质气体，需要采用不同的处理工艺(如膜分离技术、变压吸附技术、深冷分离技术等)才能达到GB/T 12022《工业六氟化硫》中的含量要求。现有的SF6净化设备，通常采用固定流程的处理方式，无法根据不同的SF6杂质组分选择针对性的处理工艺，如公告号：CN104386652A，六氟化硫回收处理工艺，所述处理工艺由以下步骤组成：(1)加热裂解:将六氟化硫废气通入热解炉，在常压下升温至200—450℃进行裂解，得混合气体A；(2)水洗:将混合气体A通出后进行多级水洗，控制各级洗涤液中氟化物的梯次含量，得混合气体B；(3)碱洗:将混合气体B通出后进行多级碱洗，控制各级碱液的梯次浓度、氟化物的含量，得混合气体C；(4)变压吸附:a、将混合气体C加压到0.25—0.30Mpa，在常温下进行多段硅胶吸附、多段三氧化二铝吸附、多段氟吸附剂吸附；b、将a步骤所得混合气体加压到1.2—1.9Mpa，在常温下进行多段三氧化二铝吸附、多段氟吸附剂吸附、多段13X分子筛吸附，得混合气体D；(5)精馏:将混合气体D在1.2—1.9Mpa压力、-45—-30℃温度下冷凝成气液混合物后，通入轻分塔，所述轻分塔塔压为1.2—1.9Mpa，塔顶温度为-55—-50℃，塔釜温度为18—25℃；将轻分塔塔釜液相通入重分塔，所述重分塔塔压为0.8—1.2Mpa，塔顶温度为-23—-12℃，塔釜温度为-4—5℃；将重分塔塔釜气相通入脱烷塔，所述脱烷塔塔压为0.6—0.9Mpa，塔顶温度为-28—-18℃，塔釜温度为-25—-15℃，所述脱烷塔塔釜导出液相即为处理完成的六氟化硫，所述六氟化硫的纯度大于99.999％。

然而，对于仅需要一种工艺即可净化达标的SF6待处理气体，该方法净化效率低，浪费大量人力和物力部分厂家在净化处理前，通过外购的检测仪器手动检测SF6气体杂质组分含量，然后再手动设定处理工艺，不仅自动化程度和工作效率不高，且对操作人员专业素养要求较高，需要通过专业培训方能开展工作，对SF6净化提纯设备的大面积推广应用造成不便。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息已构成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于：如何解决目前无法根据六氟化硫气体中不同杂质气体含量来自动选择净化处理流程的问题。

本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

适用于SF6净化设备的无损耗在线监测处理装置，包括进气主管、第一检测单元、第一电化学检测单元、储气罐、第一缓冲罐；所述进气主管连接所述第一缓冲罐的进气口，所述第一检测单元并联所述进气主管，所述第一电化学检测单元的一端连接所述进气主管，另一端连接储气罐；

依次连接的多个能够单独或组合开启的能够处理不同杂质气体的净化处理模块、出气主管；位于第一个的所述净化处理模块连接所述第一缓冲罐，所述出气主管连接位于最后一个净化处理模块。

本发明通过在进气主管上设置第一检测单元、第一电化学检测单元对不同的杂质气体进行检测，且经过第一检测单元后的气体重新汇入进气主管，无气体损耗，经过第一电化学检测后气体消耗少量气体并进入储气罐，避免杂质气体混入主气路；依据第一检测单元和第一电化学检测单元的检测结果，自动选择净化处理流程，以开启对应SF6中的杂质组分含量的净化处理模块，可以选择性启动单个或多个净化处理模块；从而实现一套设备能够处理含有一种或多种任意成分的杂质气体，提高净化效率，同时提升设备智能化程度。

优选的，还包括第二检测单元、第二电化学检测单元、反流管道；所述第二检测单元并联所述出气主管，所述第二电化学检测单元的一端连接所述出气主管，另一端连接储气罐；所述反流管道的一端连接所述出气主管，另一端连接所述第一缓冲罐。

本发明对经过净化处理模块处理后气体通过第二检测单元与第二电化学检测单元进行检验，再决定是否通过反流管道进行再次净化，对于需要重新净化的气体反流至第一缓冲罐，进行再次处理，保证净化纯度。

优选的，还包括第一压缩机、液化管道、第二缓冲罐、第二压缩机、出气口，所述第一压缩机的两端分别连接第一缓冲罐和位于第一个的所述净化处理模块；所述液化管道的一端连接所述出气主管的端部，所述第二缓冲罐与所述第二压缩机依次连接所述液化管道上，所述出气口连接所述液化管道的另一端。

优选的，还包括进气口、第一减压阀、第二减压阀，所述进气口连接所述进气主管的一端，所述第一减压阀连接所述进气主管上，并位于所述第一检测单元与所述进气口之间；所述第二减压阀连接所述出气主管上。

优选的，所述净化处理模块为至少四个，每个所述净化处理模块均包括净化单元，其中一个净化单元为碱液池和分子筛，其中一个净化单元为膜分离处理设备，其中一个净化单元为深冷固化处理模块，其中一个净化单元为变压吸附处理设备。

优选的，所述净化处理模块为至少四个，每个所述净化处理模块均包括两条并联的净化管道和支路管道；所述净化管道上连接净化处理单元、电磁阀、单向阀，所述净化处理单元的入口端连接一个电磁阀、出口端连接一个单项阀，所述支路管道上连接一个电磁阀。

优选的，所述反流管道上还包括电磁阀和单向阀。

优选的，所述第一检测单元包括依次连接的荧光检测设备和红外检测设备，所述第二检测单元依次连接的荧光检测设备、红外检测设备、镜面法湿度测量设备；所述第一电化学检测单元和所述第二电化学检测单元包括依次连接的流量控制器和氧气电化学传感器。

荧光检测设备用于检测SO2，红外检测设备用于检测SF6和CF4，镜面法湿度测量设备用于测量H2O；氧气电化学传感器用于检测O2含量；保证多种杂气都能被检测到，最大限度的保证净化纯度。

本发明采用上述适用于SF6净化设备的无损耗在线监测处理装置的方法，包括以下步骤：

步骤1：进气阶段；减压后的SF6气体进入第一缓冲罐，部分气体由第一检测单元进行检测，检测后气体汇入进气主管；再由部分气体经过第一电化学检测单元检测，检测后气体收集到储气罐；

步骤2：净化处理阶段；将压缩后的SF6气体，根据第一检测单元和第一电化学检测单元的检测结果，开启一个或多个净化处理模块进行净化处理。

优选的，还包括步骤3：净化后气体检测阶段：净化后的气体进入出气主管，经过减压后的气体，一部分经过第二检测单元进行检测，检测后汇入出气主管；再由部分气体进入第二电化学检测单元进行检测，检测后气体进入储气罐；若第二检测单元与第二电化学检测单元检测合格，则进行压缩气体并装罐；若第二检测单元与第二电化学检测单元检测不合格，则由反流管道进入第一缓冲罐再次进行净化处理；

每个所述净化处理模块均包括净化单元，所述净化单元为碱液池、膜分离处理设备、深冷固化处理模块、变压吸附处理设备中的任意一种；

若检测到SO2含量超标时，开启碱液池；

若检测到SF6气体纯度低于95％时，开启具有膜分离处理设备；

若检测到CF4含量超标时，开启深冷固化处理设备；

若检测到O2含量超标时，开启变压吸附处理设备；

当同时具有上述多种情况时，开启对应净化单元；

若SF6气体纯度≥95％时，SO2、CF4、O2其中的一种或多种含量超标，则按照上述对应情况对应开启碱液池、深冷固化处理设备、变压吸附处理设备。

本发明的优点在于：

(1)本发明通过在进气主管上设置第一检测单元、第一电化学检测单元对不同的杂质气体进行检测，且经过第一检测单元后的气体重新汇入进气主管，无气体损耗，经过第一电化学检测后气体消耗少量气体并进入储气罐，避免杂质气体混入主气路；依据第一检测单元和第一电化学检测单元的检测结果，自动选择净化处理流程，以开启对应SF6中的杂质组分含量的净化处理模块，可以选择性启动单个或多个净化处理模块；从而实现一套设备能够处理含有一种或多种任意成分的杂质气体，提高净化效率，同时提升设备智能化程度；

(2)本发明对经过净化处理模块处理后气体通过第二检测单元与第二电化学检测单元进行检验，再决定是否通过反流管道进行再次净化，对于需要重新净化的气体反流至第一缓冲罐，进行再次处理，保证净化纯度；

(3)荧光检测设备用于检测SO2，红外检测设备用于检测SF6和CF4；氧气电化学传感器用于检测O2含量；保证多种杂气都能被检测到，最大限度的保证净化纯度；

(4)氧气电化学传感器采用积分法检测，消耗少量气体。

附图说明

图1是本发明实施例适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置的结构示意图；

图2是本发明实施例净化处理模块的示意图；

图中标号：

1、进气组件；11、进气口；12、第一减压阀；13、第一检测单元；14、第一缓冲罐；15、第一电化学检测单元；16、第一单向阀；

2、储气罐；

3、第一压缩机；

4、第一净化处理模块；41、第一电磁阀；42、第一净化处理单元；43、第二单向阀；44、第五电磁阀；

5、第二净化处理模块；51、第二电磁阀；52、第二净化处理单元；53、第三单向阀；54、第六电磁阀；

6、第三净化处理模块；61、第三电磁阀；62、第三净化处理单元；63、第四单向阀；64、第七电磁阀；

7、第四净化处理模块；71、第四电磁阀；72、第四净化处理单元；73、第五单向阀；74、第八电磁阀；

8、出气组件；81、第二减压阀；82、第二检测单元；83、第二电化学检测单元；84、第六单向阀；85、第九电磁阀；86、第七单向阀；

9、液化组件；91、第十电磁阀；92、第二缓冲罐；93、第二压缩机；94、出气口；

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一：

适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，包括进气组件1：进气口11、第一减压阀12、第一检测单元13、第一缓冲罐14、第一电化学检测单元15、第一单向阀16；储气罐2、第一压缩机3；本实施例包括四个净化处理模块，分别为第一净化处理模块4、第二净化处理模块5、第三净化处理模块6、第四净化处理模块7；出气组件8：第二减压阀81、第二检测单元82、第二电化学检测单元83、第六单向阀84、第九电磁阀85、第七单向阀86；液化组件9：第十电磁阀91、第二缓冲罐92、第二压缩机93、出气口94。

本实施例中，进气组件1主要用于进气和检测，进气主管(图1中A-B之间)的两端分别连接进气口11和第一缓冲罐14，沿着气体走向，第一减压阀12连接在进气口11之后，用于对进气压力进行减压，提高检测精度；第一检测单元13并联所述进气主管，实现一部分气体从第一检测单元13经过，从而进行检测，其中，所述第一检测单元13包括依次连接的荧光检测设备和红外检测设备，荧光检测设备用于检测SO2，红外检测设备用于检测SF6和CF4，检测完成后，则重新汇入进气主管，不损耗气体；所述第一电化学检测单元15位于第一检测单元13之后，第一电化学检测单元15的一端连接所述进气主管，另一端通过第一单向阀16连接储气罐2，所述第一电化学检测单元15包括依次连接的流量控制器和氧气电化学传感器，气体通过流量控制器控制，由氧气电化学传感器检测O2含量，检测后气体经过第一单向阀16收集到储气罐2，避免生成杂气混入主气路；并保证多种杂气都能被检测到，最大限度的保证净化纯度。

第一压缩机3的进气端连接第一缓冲罐14的出气端，第一压缩机3的出口依次连接第一净化处理模块4、第二净化处理模块5、第三净化处理模块6、第四净化处理模块7，从而进行选择单个或多个净化处理模块进行净化。本实施例中，第一净化处理模块4、第二净化处理模块5、第三净化处理模块6、第四净化处理模块7可以分别对不同的杂质气体进行处理，可根据杂质不同开启其中一个或多个。

出气组件8用于将净化后的气体输出并进行检测，具体的，第四净化处理模块7连接出气组件8，出气组件8的出气主管(图1中C-D之间)上依次连接第二减压阀81，第二检测单元82并联出气主管，其中，所述第二检测单元82依次连接的荧光检测设备、红外检测设备、镜面法湿度测量设备；荧光检测设备用于检测SO2，红外检测设备用于检测SF6和CF4，镜面法湿度测量设备用于测量H2O；减压后气体，一部分气体经过检测后重新汇入主气路；第二电化学检测单元83的一端连接出气主管，另一端经过第六单向阀84连接储气罐2；其中，所述第二电化学检测单元83包括依次连接的流量控制器和氧气电化学传感器，氧气电化学传感器用于检测O2含量；氧气电化学传感器采用积分法检测，消耗少量气体，检测后的气体经过第六单向阀84收集到储气罐2中，避免生成杂质气体混入主气路。

其中出气组件8还包括一段反流管道(图1中D-E之间)，反流管道的一段与出气主管的端部连接，另一端连接第一缓冲罐14，在反流管道上依次连接第九电磁阀85、第七单向阀86。本实施例对经过净化处理模块处理后气体通过检验后，再决定是否通过反流管道进行再次净化，即当第二检测单元82与第二电化学检测单元83检测后发现仍具有杂质，则需要将第九电磁阀85、第七单向阀86打开，重新进入第一缓冲罐14，再次进行净化处理，保证净化纯度。

液化组件9主要用于将净化后合格的气体进行液化，其中液化管道(图1中D-F之间)与出气主管以及反流管道的连接处连接，第十电磁阀91、第二缓冲罐92、第二压缩机93、出气口94依次连接在液化管道上。

上述内容涉及的各个零部件均有管道连接，本实施例仅针对需要说明的管道进行命名(图中点处为管道的起始和终点)，其余部分仍采用管道连接。

本实施例中采用控制器即可实现根据检测结果选择路径、电磁阀的通断，智能化程度高。

本实施例通过在进气主管上设置第一检测单元13、第一电化学检测单元15对不同的杂质气体进行检测，且经过第一检测单元13后的气体重新汇入进气主管，无气体损耗，经过第一电化学检测后气体消耗少量气体并进入储气罐2，避免杂质气体混入主气路；依据第一检测单元13和第一电化学检测单元15的检测结果，自动选择净化处理流程，以开启对应SF6中的杂质组分含量的净化处理模块，可以选择性启动单个或多个净化处理模块；从而实现一套设备能够处理含有一种或多种任意成分的杂质气体，提高净化效率，同时提升设备智能化程度。

实施例二：

如图1、图2所示，本实施例在实施例一的基础上，所述净化处理模块为四个，每个所述净化处理模块均包括净化单元，其中一个净化单元为碱液池和分子筛，其中一个净化单元为膜分离处理设备，其中一个净化单元为深冷固化处理模块，其中一个净化单元为变压吸附处理设备。

且每个所述净化处理模块均包括两条并联的净化管道和支路管道；所述净化管道上连接净化处理单元、电磁阀、单向阀，所述净化处理单元的入口端连接一个电磁阀、出口端连接一个单项阀，所述支路管道上连接一个电磁阀。

具体的，如图2所示，第一净化处理模块4、包括第一电磁阀41、第一净化处理单元42、第二单向阀43、第五电磁阀44；第一电磁阀41、第一净化处理单元42与第二单向阀43依次连接在净化管道上，第五电磁阀44连接在支路管道上，且第五电磁阀44的两端分别连接第一电磁阀41的进口前以及第二单向阀43的出口后；第一净化处理单元42为碱液池和分子筛，碱液池可以去除SO2、CO2、H2S、CO等酸性杂质气体，再由分子筛吸附水分。处理时，则打开第一电磁阀41、第二单向阀43，关闭第五电磁阀44。

第二净化处理模块5包括第二电磁阀51、第二净化处理单元52、第三单向阀53、第六电磁阀54；第二电磁阀51、第二净化处理单元52与第三单向阀53依次连接在净化管道上，第六电磁阀54连接在支路管道上，且第六电磁阀54的两端分别连接第二电磁阀51的进口前以及第三单向阀53的出口后；第二净化处理单元52为膜分离处理设备，去除N2、O2等气体，实现SF6气体的初步提纯。处理时，则打开第二电磁阀51、第三单向阀53，关闭第六电磁阀54。

第三净化处理模块6包括第三电磁阀61、第三净化处理单元62、第四单向阀63、第七电磁阀64；第三电磁阀61、第三净化处理单元62与第四单向阀63依次连接在净化管道上，第七电磁阀64连接在支路管道上，且第七电磁阀64的两端分别连接第三电磁阀61的进口前以及第四单向阀63的出口后；第三净化处理单元62为深冷固化处理设备，以去除CF4、C3F8、C2F6等杂质气体。处理时，则打开第三电磁阀61、第四单向阀63，关闭第七电磁阀64。

第四净化处理模块7包括第四电磁阀71、第四净化处理单元72、第五单向阀73、第八电磁阀74；第四电磁阀71、第四净化处理单元72与第五单向阀73依次连接在净化管道上，第八电磁阀74连接在支路管道上，且第八电磁阀74的两端分别连接第四电磁阀71的进口前以及第五单向阀73的出口后；第四净化处理单元72为变压吸附处理设备，以去除O2杂质。处理时，则打开第四电磁阀71、第五单向阀73，关闭第八电磁阀74。

上述四个净化处理模块的净化管道依次连接，在与支路管道连接时可以采用三通进行连接。

上述四个净化处理模块能够对不同且多种杂质气体进行处理，提高SF6气体纯度。

实施例三：

本实施例采用上述实施例二中适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置的方法，包括以下步骤：

步骤1：进气阶段；待处理SF6气体由进气口11流入，调节第一减压阀12将气体降低至0.2MPa后，气体流入第一缓冲罐14中；少量气体进入检测旁路，一部分气体由第一检测单元13中流量控制器控制流量后，由第一检测单元13中的荧光检测设备检测SO2，红外检测设备检测SF6和CF4，经检测后的气体汇入主气路，无气体损耗；另一部分气体由第一电化学检测单元15中流量控制器控制流量后，由氧气电化学传感器检测O2含量，氧气电化学传感器采用积分法检测，消耗少量气体(如30mL)，检测后的气体经过第一单向阀16收集到储气罐2中，避免生成杂质气体混入主气路；

步骤2：净化处理阶段；启动第一压缩机3，依据第一检测单元13和第一电化学检测单元15的检测结果，自动选择净化处理流程，以开启对应SF6中的杂质组分含量的净化处理模块(可以选择性启动单个或多个净化处理模块)：

若检测到SO2含量时，开启打开第一电磁阀41、第二单向阀43，关闭第五电磁阀44，气体流经第一净化处理单元42，通过碱液池去除SO2、CO2、H2S、CO等酸性杂质气体，再由分子筛吸附水分；

若检测到SF6气体纯度低于95％时，开启第二电磁阀51、第三单向阀53，关闭第六电磁阀54，气体流经第二净化处理单元52，通过膜分离处理设备，去除N2、O2等气体，实现SF6气体的初步提纯；

若检测到CF4含量超标(≥150μL/L)时，开启第三电磁阀61、第四单向阀63，关闭第七电磁阀64，气体流经第三净化处理单元62，通过深冷固化处理设备，以去除CF4、C3F8、C2F6等杂质气体；

若检测到O2含量超标(≥300μL/L)时，开启第四电磁阀71、第五单向阀73，关闭第八电磁阀74，气体流经第四净化处理单元72，通过变压吸附处理设备，以去除O2杂质；

若SF6气体纯度≥95％，但SO2、CF4、O2含量超标，则开启第一电磁阀41、第六电磁阀54、第三电磁阀61、第四电磁阀71，关闭第五电磁阀44、第二电磁阀51、第七电磁阀64、第八电磁阀74，使气体流经第一净化处理单元42、第三净化处理单元62和第四净化处理单元72；

其它流程同理，开启对应的净化处理模块即可。

步骤3：净化后气体检测阶段：净化后的气体通过第二减压阀81降低至0.2MPa，少量气体进入检测旁路，一部分气体由第二检测单元82中流量控制器控制流量后，由第二检测单元82中的荧光检测设备检测SO2，红外检测设备检测SF6和CF4，镜面法检测设备检测H2O，经检测后的气体汇入主气路，无气体损耗；另一部分气体由第二电化学检测单元83中流量控制器控制流量后，由氧气电化学传感器检测O2含量，氧气电化学传感器采用积分法检测，消耗少量气体(如30mL)，检测后的气体经过第六单向阀84收集到储气罐2中，避免生成杂质气体混入主气路；

若第二检测单元82和第二电化学检测单元83检测的SF6、SO2、CF4、H2O和O2含量全部合格，则开启第十电磁阀91，使气体流入第二缓冲罐92，再经第二压缩机93加压后，由出气口94进入全自动SF6净化设备的液态灌装单元。

反之，则开启第九电磁阀85，将净化后的气体回流至第一缓冲罐14中，根据第二检测单元82和第二电化学检测单元83的检测结果，自动选择净化处理流程，以开启对应SF6中的杂质组分含量的净化处理模块(可以选择性启动单个或多个净化处理模块)。

本实施例通过镜面法湿度测量技术、光谱检测技术在进气口11对特定气体组分进行检测，根据检测结果判定净化提纯效果，以决定是终止处理过程或循环再处理，提升设备智能化程度。

本实施例中能够通过现有的控制器等即可实现自动选择处理一个或多个处理模块。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，其特征在于，包括进气主管、第一检测单元、第一电化学检测单元、储气罐、第一缓冲罐；所述进气主管连接所述第一缓冲罐的进气口，所述第一检测单元并联所述进气主管，所述第一电化学检测单元的一端连接所述进气主管，另一端连接储气罐；

依次连接的多个能够单独或组合开启的能够处理不同杂质气体的净化处理模块、出气主管；位于第一个的所述净化处理模块连接所述第一缓冲罐，所述出气主管连接位于最后一个净化处理模块。

2.根据权利要求1所述的适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，其特征在于，还包括第二检测单元、第二电化学检测单元、反流管道；所述第二检测单元并联所述出气主管，所述第二电化学检测单元的一端连接所述出气主管，另一端连接储气罐；所述反流管道的一端连接所述出气主管，另一端连接所述第一缓冲罐。

3.根据权利要求1所述的适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，其特征在于，还包括第一压缩机、液化管道、第二缓冲罐、第二压缩机、出气口，所述第一压缩机的两端分别连接第一缓冲罐和位于第一个的所述净化处理模块；所述液化管道的一端连接所述出气主管的端部，所述第二缓冲罐与所述第二压缩机依次连接所述液化管道上，所述出气口连接所述液化管道的另一端。

4.根据权利要求1所述的适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，其特征在于，还包括进气口、第一减压阀、第二减压阀，所述进气口连接所述进气主管的一端，所述第一减压阀连接所述进气主管上，并位于所述第一检测单元与所述进气口之间；所述第二减压阀连接所述出气主管上。

5.根据权利要求1所述的适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，其特征在于，所述净化处理模块为至少四个，每个所述净化处理模块均包括净化单元，其中一个净化单元为碱液池和分子筛，其中一个净化单元为膜分离处理设备，其中一个净化单元为深冷固化处理模块，其中一个净化单元为变压吸附处理设备。

6.根据权利要求5所述的适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，其特征在于，每个所述净化处理模块均包括两条并联的净化管道和支路管道；所述净化管道上连接净化处理单元、电磁阀、单向阀，所述净化处理单元的入口端连接一个电磁阀、出口端连接一个单项阀，所述支路管道上连接一个电磁阀。

7.根据权利要求2所述的适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，其特征在于，所述反流管道上还包括电磁阀和单向阀。

8.根据权利要求2所述的适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择装置，其特征在于，所述第一检测单元包括依次连接的荧光检测设备和红外检测设备，所述第二检测单元依次连接的荧光检测设备、红外检测设备、镜面法湿度测量设备；所述第一电化学检测单元和所述第二电化学检测单元包括依次连接的流量控制器和氧气电化学传感器。

9.采用上述权利要求1-8任意一项适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：进气阶段；减压后的SF6气体进入第一缓冲罐，部分气体由第一检测单元进行检测，检测后气体汇入进气主管；再由部分气体经过第一电化学检测单元检测，检测后气体收集到储气罐；

步骤2：净化处理阶段；将压缩后的SF6气体，根据第一检测单元和第一电化学检测单元的检测结果，开启一个或多个净化处理模块进行净化处理。

10.根据权利要求9所述的适用于SF6净化设备的全自动净化处理流程选择方法，其特征在于，还包括步骤3：净化后气体检测阶段：净化后的气体进入出气主管，经过减压后的气体，一部分经过第二检测单元进行检测，检测后汇入出气主管；再由部分气体进入第二电化学检测单元进行检测，检测后气体进入储气罐；若第二检测单元与第二电化学检测单元检测合格，则进行压缩气体并装罐；若第二检测单元与第二电化学检测单元检测不合格，则由反流管道进入第一缓冲罐再次进行净化处理；

每个所述净化处理模块均包括净化单元，所述净化单元为碱液池、膜分离处理设备、深冷固化处理模块、变压吸附处理设备中的任意一种；

若检测到SO2含量时，开启碱液池；

若检测到SF6气体纯度低于95％时，开启具有膜分离处理设备；

若检测到CF4含量超标时，开启深冷固化处理设备；

若检测到O2含量超标时，开启变压吸附处理设备；

当同时具有上述多种情况时，开启对应净化单元；

若SF6气体纯度≥95％时，SO2、CF4、O2其中的一种或多种含量超标，则按照上述对应情况对应开启碱液池、深冷固化处理设备、变压吸附处理设备。

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