CN115605412A - 基板收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供基板收纳容器，具备：盖体侧基板支承部(73)，在通过盖体封闭时能够支承基板(W)的边缘部；后侧基板支承部，与其成对地配置，能够支承基板的边缘部，在封闭时与盖体侧基板支承部(73)协作，在使基板的边缘部排列的状态下支承基板；基板边缘部辅助部(75)，在封闭时配置在与基板收纳空间对置的部分，形成有具有比基板的边缘部的厚度宽的开口的多个辅助槽(76)，以便能够***基板的边缘部。辅助槽(76)具有对置的槽形成面(761、762)，在封闭时，多个基板的边缘部逐个地***。在封闭时，基板的边缘部在基板的边缘部与槽形成面(761、762)之间形成空间而基板的边缘部不与槽形成面接触的非接触的状态下***辅助槽(76)。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及在收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。
背景技术
作为用于收纳并搬运由半导体晶片构成的基板的基板收纳容器，以往已知有一种具备容器主体以及盖体的构成的基板收纳容器。
容器主体具有在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于容器主体开口部拆装，能够封闭容器主体开口部。
在盖体的一部分且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件(front retainer)。在通过盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。另外，后部保持构件以与前部保持构件成对的方式设置于壁部。后部保持构件能够支承多个基板的边缘部。在通过盖体封闭容器主体开口部时，后部保持构件通过与前部保持构件协作来支承多个基板，在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下保持多个基板。
前部保持构件具有向从基板收纳空间离开的方向凹陷的多个槽(例如参照专利文献1、2、3)。在所述公报记载的以往的基板收纳容器中，在通过盖体封闭容器主体开口部并搬运收纳在基板收纳空间中的基板时，基板的端部始终与前部保持构件抵接。因此，在利用基板收纳容器搬运基板时，当基板收纳容器受到冲击时，基板在前部保持构件容易破损。
专利文献1：日本专利第4903893号公报
专利文献2：日本专利第4412235号公报
专利文献3：日本专利第5483351号公报
发明内容
近年来，要求针对作用于基板收纳容器的冲击的进一步的基板保护。另外，也强烈要求抑制发生由于作用于基板收纳容器的冲击而使支承在前部保持构件的规定的位置的基板从该规定的位置脱离而向与该规定的位置相邻的位置移动并***配置的所谓的“交叉***(cross slot)”。
本发明的目的在于提供一种基板收纳容器，在前部保持构件中，能够针对作用于基板收纳容器的冲击保护基板，并且能够抑制发生交叉***。
本发明涉及一种基板收纳容器，具备：容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭，利用所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，能够封闭所述容器主体开口部；盖体侧基板支承部，配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，能够支承所述多个基板的边缘部；后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内与所述盖体侧基板支承部成对地配置，能够支承所述多个基板的边缘部，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，与所述盖体侧基板支承部协作，在使所述多个基板的边缘部排列的状态下支承所述多个基板；以及基板边缘部辅助部，配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分，形成有多个辅助槽，所述多个辅助槽具有比所述基板的边缘部的厚度宽的开口，以便能够***所述基板的边缘部，所述多个辅助槽具有对置的槽形成面，至少在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，逐个地***所述多个基板的边缘部，另外，相对于筒状的壁部的中心轴，配置在比所述盖体侧基板支承部靠所述基板的边缘部的周向的外侧或内侧，
在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板的边缘部在所述基板的边缘部与所述槽形成面之间形成空间而所述基板的边缘部不与所述槽形成面接触的非接触的状态下***所述辅助槽。
另外优选为，与同一所述基板对应的所述盖体侧基板支承部与所述基板边缘部辅助部连结。
另外优选为，所述槽形成面为大致直平面状，所述基板的表面或背面与所述槽形成面所成的角度为30度以下。
另外优选为，所述基板收纳容器具备侧方基板支承部，所述侧方基板支承部在所述基板收纳空间内成对地配置，在未通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承所述多个基板的边缘部，所述辅助槽具有如下的深度：在未通过所述盖体封闭所述容器主体开口部且通过所述侧方基板支承部支承所述多个基板的边缘部时所述基板的边缘部未***所述辅助槽，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时所述基板的边缘部***所述辅助槽。
另外优选为，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述盖体侧基板支承部能够以第一位移量向从所述容器主体的另一端部朝向一端部的方向弹性地位移，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板边缘部辅助部能够以比所述第一位移量小的第二位移量向从所述容器主体的另一端部朝向一端部的方向弹性地位移。
根据本发明，能够提供基板收纳容器，在前部保持构件中，能够针对作用于基板收纳容器的冲击保护基板，并且能够抑制发生交叉***。
附图说明
图1是表示在本发明的第一实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板W的状态的分解立体图。
图2是表示本发明的第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。
图3是表示本发明的第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。
图4是表示本发明的第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的立体图。
图5是表示本发明的第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的局部主视图。
图6是图5所示的A-A线剖视图。
图7A是图6所示的B-B线剖视图。
图7B是图6所示的C-C线剖视图。
图8是表示闭盖状态下的基板收纳容器1与基板W的位置关系的俯视剖视图。
图9是图8的局部放大图(与图6对应的图)。
图10A是图9所示的D-D线剖视图。
图10B是图9所示的E-E线剖视图。
图11是表示开盖状态与闭盖状态下的盖体侧基板支承部以及基板边缘部辅助部各自的位移量的局部放大图。
图12是本发明的第二实施方式的前部保持构件7A的剖视图(与图6对应的图)。
图13是本发明的第三实施方式的前部保持构件7B的剖视图(与图6对应的图)。
图14是本发明的第四实施方式的前部保持构件7C的剖视图(与图6对应的图)。
附图标记说明：
1 基板收纳容器
2 容器主体
3 盖体
5 基板支承板状部(侧方基板支承部)
6 后侧基板支承部
21 容器主体开口部
27 基板收纳空间
28 开口周缘部
73 盖体侧基板支承部
75 基板边缘部辅助部
76 辅助槽
761 表面对置面部(槽形成面)
762 背面对置面部(槽形成面)
DC 周向
H73 第一位移量
H75 第二位移量
H76 深度
J20 中心轴
W 基板
θ1 角度
θ2 角度
具体实施方式
[第一实施方式]
以下，参照附图对第一实施方式的基板收纳容器1进行说明。
图1是表示在本发明的第一实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板W的状态的分解立体图。图2是表示本发明的第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。
在此，为了便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为前方向D11，将与其相反的方向定义为后方向D12，将它们合起来定义为前后方向D1。另外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的朝上方向)定义为上方向D21，将与其相反的方向定义为下方向D22，将它们合起来定义为上下方向D2。另外，将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1中的从右下朝向左上的方向)定义为左方向D31，将与其相反的方向定义为右方向D32，将它们合起来定义为左右方向D3。在主要的附图中图示了表示这些方向的箭头。
另外，收纳在基板收纳容器1中的基板W(参照图1)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是在工业上使用的薄基板。本实施方式中的基板W是直径300mm的硅晶片。
如图1以及图2所示，基板收纳容器1收纳由上述这样的硅晶片构成的基板W，用作通过陆运方式、空运方式、海运方式等输送方式输送基板W的发货容器，包括容器主体2以及盖体3。容器主体2具备作为侧方基板支承部的基板支承板状部5以及也被称为后部保持构件的后侧基板支承部6。盖体3具备前部保持构件7，所述前部保持构件7具有盖体侧基板支承部73以及基板边缘部辅助部75(参照图3～图6)。
如图1等所示，容器主体2具有在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围而形成。如图2所示，在壁部20的一部分且形成基板收纳空间27的部分配置有基板支承板状部5。如图1所示，在基板收纳空间27中能够收纳多个基板W。
基板支承板状部5在基板收纳空间27内成对地设置于壁部20。在未通过盖体3封闭容器主体开口部21时(开盖状态时)，基板支承板状部5通过与多个基板W的边缘部抵接，能够在使相邻的基板W彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承多个基板W的边缘部。在容器主体2的壁部20的后壁22(后述)设置有后侧基板支承部6。
后侧基板支承部6(参照图2等)在基板收纳空间27内以与后述的前部保持构件7(参照图8等)成对的方式设置于壁部20。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时(闭盖状态时)，后侧基板支承部6与多个基板W的边缘部抵接，由此能够支承多个基板W的边缘部的后部。
盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28(图1等)拆装，并能够封闭容器主体开口部21。前部保持构件7设置于盖体3的一部分且在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分。前部保持构件7在基板收纳空间27的内部以与后侧基板支承部6成对的方式配置。
在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件7与多个基板W的边缘部抵接，由此能够支承多个基板W的边缘部的前部。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件7与后侧基板支承部6协作来支承多个基板W，由此能够在使相邻的基板W彼此以规定的间隔分离并排列的状态下保持基板W。
基板收纳容器1由塑料材料等树脂构成，作为其材料的树脂，例如可以举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物这样的热塑性树脂及它们的合金等。在对这些成形材料的树脂赋予导电性的情况下，向这些成形材料的树脂中选择性地添加碳纤维、碳粉、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。另外，为了提高刚性，也可以添加玻璃纤维、碳纤维等。
以下，对各部详细地进行说明。如图1所示，容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26由上述的材料构成，并且一体成形地构成。
第一侧壁25与第二侧壁26对置，上壁23与下壁24对置。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端以及第二侧壁26的后端全都与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端以及第二侧壁26的前端构成开口周缘部28，所述开口周缘部28形成具有与后壁22对置的位置关系且呈大致长方形形状的容器主体开口部21。
开口周缘部28设置在容器主体2的一端部，后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱形。壁部20的内表面、即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面以及第二侧壁26的内表面形成由它们包围的基板收纳空间27。形成在开口周缘部28的容器主体开口部21与由壁部20包围且形成在容器主体2的内部的基板收纳空间27连通。在基板收纳空间27中最多能够收纳25张基板W。
如图1所示，在上壁23以及下壁24的一部分且是开口周缘部28附近的部分形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹陷的闩锁卡合凹部231A、231B、241A、241B。闩锁卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23以及下壁24的左右两端部附近分别各形成有一个，合计形成有四个。
如图1所示，在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236是在AMHS(自动晶片搬运***)、PGV(晶片基板搬运台车)等中悬吊基板收纳容器1时成为在基板收纳容器1中被勾挂而悬吊的部分的构件。
基板支承板状部5分别以一体成形的方式设置在第一侧壁25以及第二侧壁26，以在左右方向D3上成对的方式配置。另外，基板支承板状部5也可以是与第一侧壁25以及第二侧壁26不同的构件。
基板支承板状部5具有板状的大致弧形形状。基板支承板状部5在第一侧壁25、第二侧壁26上沿着上下方向D2分别各设置有25个，合计设置有50个。相邻的基板支承板状部5以在上下方向D2上以10mm～12mm间隔彼此分离且平行的位置关系配置。另外，在位于最上的基板支承板状部5的上方配置有另一个与基板支承板状部5平行的板状的构件。该构件是针对位于最上且向基板收纳空间27内***的基板W在该基板***时起到引导作用的构件。
另外，设置于第一侧壁25的25个基板支承板状部5与设置于第二侧壁26的25个基板支承板状部5具有在左右方向D3上相互对置的位置关系。另外，50个基板支承板状部5以及与基板支承板状部5平行的板状的起到引导作用的构件具有与下壁24的内表面平行的位置关系。如图2等所示，在基板支承板状部5的上表面设置有凸部。支承在基板支承板状部5上的基板W仅与凸部的突出端接触，不以面状的方式与基板支承板状部5接触。
基板支承板状部5能够在将多个基板W中相邻的基板W彼此以规定的间隔分离的状态且成为彼此平行的位置关系的状态下，支承多个基板W的边缘部。
后侧基板支承部6是设置于后壁22且配置在基板收纳空间27内的内置构件。对后侧基板支承部6的构成简单地进行说明。后侧基板支承部6至少具有下侧倾斜面以及上侧倾斜面。
下侧倾斜面由以随着趋向上方向D21而远离基板收纳空间27的中心的方式倾斜延伸的倾斜面构成。基板W的背面的端部在下侧倾斜面上滑动。上侧倾斜面由以随着趋向上方向D21而接近基板收纳空间27的中心的方式倾斜延伸的倾斜面构成。
下侧倾斜面以及上侧倾斜面形成V形槽，所述V形槽是能够供基板W的端部卡合且以远离基板收纳空间27的中心的方式凹陷的凹槽。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，基板W相对于下侧倾斜面滑动而上升，当基板W到达了V形槽的顶点的位置时，V形槽支承基板W的边缘部。另外，V形槽只要是整体观察时为大致V形即可，追加地说，可以具有与D1-D3平面大致平行的面、与D2-D3平面大致平行的面等。后侧基板支承部6可以与后壁22一体。
接着，对盖体3以及前部保持构件7详细地进行说明。图3是表示本发明的第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。图4是表示本发明的第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的立体图。图5是表示本发明的第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的局部主视图。
如图1等所示，盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大致一致的大致长方形状。盖体3能够相对于容器主体2的开口周缘部28拆装，通过将盖体3安装到开口周缘部28，盖体3能够封闭容器主体开口部21。在盖体3的内表面(图1所示的盖体3的背面侧的面)安装有环状的密封构件4。密封构件4由能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体、氟橡胶制、硅橡胶制等构成。密封构件4以绕盖体3的外周缘部一周的方式配置。
当将盖体3安装到开口周缘部28时，密封构件4被开口周缘部28与盖体3的内表面夹持而弹性变形，盖体3以密封的状态封闭容器主体开口部21。通过将盖体3从开口周缘部28卸下，能够相对于容器主体2内的基板收纳空间27取出或放入基板W。
盖体3具有呈盖体3的外形的盖体主体，在盖体主体设置有闩锁机构。闩锁机构设置在盖体主体的左右两端部附近，如图1所示，具备能够从盖体主体的上边向上方向D21突出的两个上侧闩锁部32A以及能够从盖体主体的下边向下方向D22突出的两个下侧闩锁部32B。两个上侧闩锁部32A配置在盖体主体的上边的左右两端附近，两个下侧闩锁部32B配置在盖体主体的下边的左右两端附近。
在盖体主体的外表面侧设置有操作部33。通过从盖体主体的前侧操作操作部33，能够使上侧闩锁部32A、下侧闩锁部32B从盖体主体的上边、下边突出，或者成为不从上边、下边突出的状态。
上侧闩锁部32A从盖体主体的上边向上方向D21突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部231A、231B卡合，并且下侧闩锁部32B从盖体主体的下边向下方向D22突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部241A、241B卡合，由此盖体3固定于容器主体2的开口周缘部28。
如图3所示，在构成盖体3的盖体主体的内侧，形成有向基板收纳空间27的外侧(前方向D11)凹陷的凹部34。前部保持构件7固定设置在凹部34的内侧的盖体主体部分。
图6是图5所示的A-A线剖视图。图7A是图6所示的B-B线剖视图。图7B是图6所示的C-C线剖视图。图8是表示闭盖状态下的基板收纳容器1与基板W的位置关系的俯视剖视图。图9是图8的局部放大图(与图6对应的图)。图10A是图9所示的D-D线剖视图。图10B是图9所示的E-E线剖视图。图11是表示开盖状态与闭盖状态下的盖体侧基板支承部以及基板边缘部辅助部各自的位移量的局部放大图。
如图4～图11所示，前部保持构件7具有盖体侧基板支承部73、基板边缘部辅助部75、脚部72以及纵框体71。与同一基板W对应的盖体侧基板支承部73与基板边缘部辅助部75经由脚部72连结。
盖体侧基板支承部73以在左右方向D3上隔开规定的间隔且成对的方式配置有两个。这样，成对地配置有两个的盖体侧基板支承部73以在上下方向D2上排列有25对的状态设置，分别由能够弹性变形的脚部72支承。脚部72以从各配置两个的盖体侧基板支承部73分别互相离开的方式沿左右方向D3延伸，并分别向前方向D11折弯。而且，如图4、图5所示，在脚部72的端部以与脚部72一体成形的方式设置有沿上下方向D2平行地延伸的纵框体71。通过将基板W收纳在基板收纳空间27内并关闭盖体3，盖体侧基板支承部73利用脚部72的弹性力，以对基板W施加朝向基板收纳空间27的中心的作用力的状态夹持并支承基板W的边缘部的端缘。
如图7A以及图10A所示，盖体侧基板支承部73具有上侧倾斜面731以及下侧倾斜面732。
在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，上侧倾斜面731与基板W的表面(上表面)的端缘抵接。下侧倾斜面732与基板W的背面(下表面)的端缘抵接。具体地说，上侧倾斜面731由以随着趋向上方向D21而在前后方向D1上接近板收纳空间27的中心的方式倾斜延伸的倾斜面构成。下侧倾斜面732由以随着趋向上方向D21而在前后方向D1上远离基板收纳空间27的中心的方式倾斜延伸的倾斜面构成。上侧倾斜面731、下侧倾斜面732形成V形槽74，所述V形槽74是以远离基板收纳空间27的中心的方式凹陷的凹槽。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，基板W的表面的端缘、基板W的背面的端缘分别与上侧倾斜面731、下侧倾斜面732抵接。
基板边缘部辅助部75以在左右方向D3上隔开规定的间隔且成对的方式配置有两个。这样，成对地配置有两个的基板边缘部辅助部75以在上下方向D2上排列25对的状态设置，分别由脚部72支承。在本实施方式中，基板边缘部辅助部75在左右方向D3上配置在盖体侧基板支承部73与纵框体71之间。
基板边缘部辅助部75配置在盖体3的一部分且是在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分。在基板边缘部辅助部75形成有多个辅助槽76，所述多个辅助槽76具有比基板W的边缘部的厚度宽的开口，以便能够***基板W的边缘部。形成辅助槽76的槽形成面具有表面对置面部761、背面对置面部762以及底面部763。
如图10B所示，在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，基板W的边缘部以在基板W的边缘部与辅助槽76的槽形成面(表面对置面部761、背面对置面部762、底面部763)之间形成空间而基板W的边缘部不与槽形成面接触的非接触的状态***辅助槽76。
如图7B以及图10B所示，辅助槽76在剖视观察时具有大致矩形状。辅助槽76具有对置的槽形成面(表面对置面部761、背面对置面部762)。至少在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，多个基板W的边缘部逐个地***辅助槽76。另外，如图6所示，辅助槽76相对于筒状的壁部20的中心轴J20，配置在比盖体侧基板支承部73靠基板W的边缘部的周向DC的外侧。
在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，表面对置面部761具有与基板W的表面W1大致平行的位置关系，表面对置面部761的一部分在连接表面W1与背面W2的方向亦即上下方向D2上与表面W1对置。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，背面对置面部762具有与基板W的背面W2大致平行的位置关系，背面对置面部762的一部分在连接表面W1与背面W2的方向亦即上下方向D2上与背面W2对置。底面部763形成辅助槽76的底部，分别与表面对置面部761以及背面对置面部762连接。
表面对置面部761以及背面对置面部762为大致直平面状。表面对置面部761以及背面对置面部762构成以随着从辅助槽76的底部接近辅助槽76的开口764而开口764稍微扩大的方式稍微倾斜的一对倾斜面。基板W的表面W1与表面对置面部761所成的角度θ1和/或背面W2与背面对置面部762所成的角度θ2例如为30度以下，优选为15度以下。
辅助槽76具有如下的深度H76(参照图7B)：在未通过盖体3封闭容器主体开口部21且未通过作为侧方基板支承部的基板支承板状部5支承多个基板W的边缘部时基板W的边缘部未***辅助槽76(参照图7B)，另一方面，在通过盖体3封闭容器主体开口部21时基板W的边缘部***辅助槽76(参照图10B)。
如图11所示，在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件7的盖体侧基板支承部73能够以第一位移量H73向从容器主体2的另一端部朝向一端部的方向(前方向D11)弹性地位移。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，基板边缘部辅助部75能够以比第一位移量H73小的第二位移量H75向从容器主体2的另一端部朝向一端部的方向(前方向D11)弹性地位移。
接着，在上述的基板收纳容器1中，对将基板W收纳在基板收纳空间27内并通过盖体3封闭容器主体开口部21时的动作进行说明。
首先，如图1所示，以使前后方向D1以及左右方向D3成为与水平面平行的位置关系的方式配置容器主体2。接着，将多个基板W载置在基板支承板状部5以及后侧基板支承部6的下侧倾斜面。此时，如图6～图7B所示，基板W不位于盖体侧基板支承部73的V形槽74以及基板边缘部辅助部75的辅助槽76中(在俯视观察时不重叠)。
接着，如图8～图10A所示，使盖体3接近容器主体开口部21，使前部保持构件7的下侧倾斜面732与基板W的背面(下表面)的端缘抵接，并且使前部保持构件7的上侧倾斜面731与基板W的表面的端缘抵接。然后，如果进一步使盖体3接近容器主体开口部21，则基板W在前部被前部保持构件7的下侧倾斜面732以及上侧倾斜面731向后方向D12按压，另外在后部与后侧基板支承部6抵接而被向前方向D11按压，被保持为从前方向D11以及后方向D12夹持。基板W的后侧(后方向D12侧)的部分沿上下方向D2移动，另一方面，基板W的开口侧(前方向D11侧)的部分不沿着上下方向D2移动。此时，如图10B所示，基板W位于基板边缘部辅助部75的辅助槽76中(在俯视观察时重叠)。
之后，使基板收纳容器1旋转90°，使容器主体开口部21成为朝向铅垂上方向的状态进行搬运，或者不旋转90°而保持容器主体开口部21朝向水平方向的状态进行搬运。
在收纳有基板W的状态的基板收纳容器1的搬运中，如果从基板收纳容器1的外部对基板收纳容器1作用冲击，则有时与盖体侧基板支承部73的V形槽74抵接的基板W要从V形槽74脱离。即使在该情况下，基板W由于不与基板边缘部辅助部75的辅助槽76抵接，所以难以从基板边缘部辅助部75的辅助槽76中脱离。因此，能够抑制基板W从盖体侧基板支承部73脱离、即发生交叉***。
根据具有上述构成的第一实施方式的基板收纳容器1，能够得到以下的效果。
第一实施方式的基板收纳容器1具备：容器主体2，具备在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20，利用壁部20的内表面形成基板收纳空间27，所述基板收纳空间27能够收纳多个基板W且与容器主体开口部21连通；盖体3，能够相对于容器主体开口部21拆装，能够封闭容器主体开口部21；盖体侧基板支承部73，配置在盖体3的一部分且是在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分，在通过盖体3封闭容器主体开口部21时能够支承多个基板W的边缘部；后侧基板支承部6，以在基板收纳空间27内与盖体侧基板支承部73成对的方式配置，能够支承多个基板W的边缘部，在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与盖体侧基板支承部73协作，在使多个基板W的边缘部排列的状态下支承多个基板W；以及基板边缘部辅助部75，配置在盖体3的一部分且是在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分，形成有多个辅助槽76，所述多个辅助槽76具有比基板W的边缘部的厚度宽的开口，以便能够***基板W的边缘部。多个辅助槽76具有对置的槽形成面761、762，至少在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，多个基板W的边缘部逐个地***，另外，相对于筒状的壁部20的中心轴J20，配置在比盖体侧基板支承部73靠基板W的边缘部的周向DC的外侧。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，基板W的边缘部以在基板W的边缘部与槽形成面761、762之间形成空间而基板W的边缘部不与槽形成面761、762接触的非接触的状态***辅助槽76。
根据上述构成，在收纳有基板W的状态的基板收纳容器1的搬运中，即使从基板收纳容器1的外部对基板收纳容器1作用冲击，与盖体侧基板支承部73抵接的基板W要从盖体侧基板支承部73脱离，也由于基板W不与基板边缘部辅助部75的辅助槽76抵接，所以基板W难以从基板边缘部辅助部75的辅助槽76中脱离。因此，能够针对作用于基板收纳容器1的冲击保护基板W，并且能够抑制基板W从盖体侧基板支承部73脱离、即发生交叉***。
另外，与同一基板W对应的盖体侧基板支承部73以及基板边缘部辅助部75连结。
根据上述构成，对于与同一基板W对应的盖体侧基板支承部73以及基板边缘部辅助部75，如果基板W按压盖体侧基板支承部73而使其位移，则基板边缘部辅助部75也连动地位移。因此，盖体侧基板支承部73与基板边缘部辅助部75连动地配置在适于发挥各自的主要功能的位置。
另外，第一实施方式的基板收纳容器1具备侧方基板支承部(基板支承板状部5)，所述侧方基板支承部在基板收纳空间27内成对地配置，在未通过盖体3封闭容器主体开口部21时，能够在使多个基板W中相邻的基板W彼此以规定的间隔分离并排列的状态下，支承多个基板W的边缘部。辅助槽76具有如下的深度H76：在未通过盖体3封闭容器主体开口部21且通过侧方基板支承部(基板支承板状部5)支承多个基板W的边缘部时基板W的边缘部未***辅助槽76，在通过盖体3封闭容器主体开口部21时基板W的边缘部***辅助槽76。
根据上述构成，在通过侧方基板支承部(基板支承板状部5)支承多个基板W的边缘部时，即使由于意外事件而基板W大幅移动，也能够抑制基板W的边缘部与辅助槽76接触。
[第二实施方式]
接着，参照附图对本发明的第二实施方式的基板收纳容器进行说明。图12是本发明的第二实施方式的前部保持构件7A的剖视图(与图6对应的图)。
如图12所示，在第二实施方式中，与第一实施方式相比，在盖体侧基板支承部73中，基板边缘部辅助部75配置在左右方向D3的内侧(靠近壁部20的中心轴J20)。对于第二实施方式的其它构成，由于与第一实施方式相同，所以对于相同的构件，用相同的附图标记进行图示并省略说明。
[第三实施方式]
接着，参照附图对本发明的第三实施方式的基板收纳容器进行说明。图13是本发明的第三实施方式的前部保持构件7B的剖视图(与图6对应的图)。
如图13所示，在第三实施方式中，与第一实施方式相比，在盖体侧基板支承部73中，基板边缘部辅助部75的宽度(左右方向D3的宽度)宽。对于第三实施方式的其它构成，由于与第一实施方式相同，所以对于相同的构件，用相同的附图标记进行图示并省略说明。
[第四实施方式]
接着，参照附图对本发明的第四实施方式的基板收纳容器进行说明。图14是本发明的第四实施方式的前部保持构件7C的剖视图(与图6对应的图)。
如图14所示，在第四实施方式中，与第一实施方式相比，在盖体侧基板支承部73中，基板边缘部辅助部75配置在左右方向D3的内侧(靠近壁部20的中心轴J20)，盖体侧基板支承部73配置在左右方向D3的外侧。从另一角度来看，基板边缘部辅助部75的多个辅助槽76相对于壁部20的中心轴J20，配置在比盖体侧基板支承部73靠基板W的边缘部的周向DC的内侧。对于第四实施方式的其它构成，由于与第一实施方式相同，所以对于相同的构件，用相同的附图标记进行图示并省略说明。
本发明并不限定于上述的实施方式，能够在权利要求记载的技术范围内进行变形。
例如，容器主体及盖体的形状、容器主体中能够收纳的基板W的张数及尺寸并不限定于本实施方式中的容器主体2及盖体3的形状、容器主体2中能够收纳的基板W的张数及尺寸。即，侧方基板支承部(基板支承板状部5)、前部保持构件7、后侧基板支承部6的构成并不限定于实施方式的构成。另外，本实施方式中的基板W为直径300mm的硅晶片，但是并不限定于该值。

Claims (5)

1.一种基板收纳容器，其特征在于，
所述基板收纳容器具备：
容器主体，具备筒状的壁部，该壁部在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭，利用所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；
盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，能够封闭所述容器主体开口部；
盖体侧基板支承部，配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，能够支承所述多个基板的边缘部；
后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内与所述盖体侧基板支承部成对地配置，能够支承所述多个基板的边缘部，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，与所述盖体侧基板支承部协作，在使所述多个基板的边缘部排列的状态下支承所述多个基板；以及
基板边缘部辅助部，配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分，形成有多个辅助槽，所述多个辅助槽具有比所述基板的边缘部的厚度宽的开口，以便能够***所述基板的边缘部，
所述多个辅助槽具有对置的槽形成面，至少在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，逐个地***所述多个基板的边缘部，另外，相对于筒状的壁部的中心轴，配置在比所述盖体侧基板支承部靠所述基板的边缘部的周向的外侧或内侧，
在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板的边缘部在所述基板的边缘部与所述槽形成面之间形成空间而所述基板的边缘部不与所述槽形成面接触的非接触的状态下***所述辅助槽。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
与同一所述基板对应的所述盖体侧基板支承部以及所述基板边缘部辅助部连结。
3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述槽形成面为大致直平面状，所述基板的表面或背面与所述槽形成面所成的角度为30度以下。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述基板收纳容器具备侧方基板支承部，所述侧方基板支承部在所述基板收纳空间内成对地配置，在未通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承所述多个基板的边缘部，
所述辅助槽具有如下的深度：在未通过所述盖体封闭所述容器主体开口部且通过所述侧方基板支承部支承所述多个基板的边缘部时所述基板的边缘部未***所述辅助槽，在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时所述基板的边缘部***所述辅助槽。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述盖体侧基板支承部能够以第一位移量向从所述容器主体的另一端部朝向一端部的方向弹性地位移，
在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板边缘部辅助部能够以比所述第一位移量小的第二位移量向从所述容器主体的另一端部朝向一端部的方向弹性地位移。
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