CN115488798A - 一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法，该用于在半导体薄膜制备装置中辅助喷淋板在上盖板上的预设安装位置的定位安装，该辅助拆装装置包括：支撑板，该支撑板用于垂直固定于该上盖板上的该预设安装位置的下方以支撑该喷淋板与该上盖板之间的定位拆装；设于该支撑板上的滑轨，该滑轨的滑动方向垂直于该上盖板的所在平面；以及定位板，该定位板的上侧形状与该喷淋板的外周形状相匹配以使该定位板沿该喷淋板的外周与该喷淋板相固定，该定位板的下侧与该滑轨配合安装以使该定位板带动该喷淋板沿该滑轨滑动至该预设安装位置。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法。
背景技术
在半导体喷淋工艺设备的实际使用中，新设备装机调试、或者设备在使用一段时间后，都需要安装或拆卸位于上盖板预设位置的工艺气体喷淋板。而随着半导体薄膜制备技术的发展，喷淋板结构设计变得复杂多样，且由于喷淋板整体质量过大，为其拆装过程带来不便。
本领域技术人员容易理解地，对于质量较大的喷淋板，在拆装时需要保证各个部件之间的同心度的同时还需使得喷淋板与其他部件之间避免出现磕碰、摩擦等问题。而在现有技术中，常常没有专用的拆卸辅助工装，需要由设备维护人员手动完成喷淋板的拆装。又或者有一些技术方案中采用简易的三爪式辅助工装，该工装采用简单的机械结构，无较好的支撑，不能保证各个部件之间的定位精度，缺乏稳定性，增加了维护时间；此外，由于该工装均为金属材料，因此在维护过程中极易对喷淋板外表面造成刮碰，降低了其使用寿命，从而造成运行成本的增加，存在着诸多缺陷。
为了克服现有技术存在的上述缺陷，本领域亟需一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法，用于辅助喷淋板的安装拆卸工作，使得喷淋板在拆装过程中可以有效避免喷淋板与金属工装间相互窜动所造成的刮碰、摩擦等问题，进而可以提高喷淋板使用寿命，同时可以实现喷淋板在上盖板预设位置上的准确定位，使得操作人员的装卸工作简单便捷、易于操作，从而提升设备维护工作的效率。
发明内容
以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。
为了克服现有技术存在的上述缺陷，本发明提供了一种喷淋板的辅助拆装装置，用于在半导体薄膜制备装置中辅助喷淋板在上盖板上的预设安装位置的定位安装，该辅助拆装装置包括：支撑板，该支撑板用于垂直固定于该上盖板上的该预设安装位置的下方以支撑该喷淋板与该上盖板之间的定位拆装；设于该支撑板上的滑轨，该滑轨的滑动方向垂直于该上盖板的所在平面；以及定位板，该定位板的上侧形状与该喷淋板的外周形状相匹配以使该定位板沿该喷淋板的外周与该喷淋板相固定，该定位板的下侧与该滑轨配合安装以使该定位板带动该喷淋板沿该滑轨滑动至该预设安装位置。
在一实施例中，优选地，该辅助拆装装置还包括：定位插销，该定位插销用于当该喷淋板沿该滑轨滑动至该预设安装位置后，***设于该喷淋板侧周及该上盖板对应位置上的定位孔内以实现该喷淋板在该上盖板上的定位。
在一实施例中，优选地，该定位板在与该喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，用于与设于该喷淋板上对应位置的螺纹孔相配合以实现该定位板与该喷淋板之间的定位与安装。
在一实施例中，优选地，该辅助拆装装置还包括：非金属材料制成的第一垫片，该第一垫片安装于该喷淋板与该定位板之间，其形状与该喷淋板与该定位板之间的接触面相匹配；以及非金属材料制成的第二垫片，该第二垫片安装于该支撑板与该上盖板之间，其形状与该支撑板与该上盖板之间的接触面相匹配。
在一实施例中，优选地，该第一垫片和该第二垫片采用特氟龙材料。
在一实施例中，优选地，该支撑板在与该上盖板的接触面上设有定位销和螺钉孔，分别用于与设于该上盖板上对应位置的定位孔与螺钉孔相配合以实现该支撑板与该上盖板之间的定位与安装。
在一实施例中，优选地，该喷淋板的外周与该上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔。
在一实施例中，优选地，该滑轨与该支撑板之间、该定位板与设于该滑轨上的滑台之间采用螺钉固定方式安装固定。
本发明的另一方面还提供了一种用于半导体薄膜制备装置中的喷淋板安装方法，采用以上所描述的喷淋板的辅助拆装装置，该喷淋板安装方法包括：将该支撑板固定安装与该上盖板上的预定位置；固定安装该喷淋板和该定位板；推动该定位板以使该喷淋板滑动至该预设安装位置；将该喷淋板固定安装至该预设安装位置后，拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装；以及拆除该支撑板与该上盖板之间的固定安装以卸除该辅助拆装装置。
在一实施例中，优选地，该辅助拆装装置还包括定位插销，该喷淋板安装方法还包括：在推动该定位板以使该喷淋板滑动至该预设安装位置后，松动该喷淋板与该定位板之间的固定安装，将该定位插销***设于该喷淋板侧周及该上盖板对应位置上的定位孔内以实现该喷淋板在该上盖板上的定位，再将该喷淋板固定安装在该上盖板的该预设安装位置。
在一实施例中，优选地，在该辅助拆装装置中该定位板在与该喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，该固定安装该喷淋板和该定位板，包括：通过多个该螺纹孔与沉头孔固定安装该喷淋板与该定位板。
在一实施例中，优选地，该将该喷淋板固定安装至该预设安装位置后，拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装包括：通过设于该喷淋板外周与该上盖板上对应位置的部分螺钉孔以实现该喷淋板与该上盖板之间的初步固定安装；以及拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装，反向拉动该定位板，通过设于该喷淋板外周与该上盖板上对应位置的其余螺钉孔实现该喷淋板与该上盖板之间的完全固定安装。
在一实施例中，优选地，该喷淋板的外周与该上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔，该喷淋板安装方法还包括：在执行该喷淋板与该上盖板之间的该初步固定安装以及该完全固定安装时，依次用螺钉紧固排布位置呈中心对称的该螺钉孔。
在一实施例中，优选地，该支撑板在与该上盖板的接触面上设有定位销，该将该支撑板固定安装与该上盖板上的预定位置包括：通过该定位销将该支撑板在该上盖板上的该预定位置进行定位，再用螺钉固定安装该支撑板与该上盖板。
附图说明
在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本发明的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
图1是根据本发明的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装置结构***图；
图2是根据本发明的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装配方法示意图；以及
图3是根据本发明的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装配效果示意图。
为清楚起见，以下给出附图标记的简要说明：
1 喷淋板
2 支撑板
3 滑轨
4 定位板
5 定位插销
6 第一垫片
7 第二垫片
8 上盖板
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。虽然本发明的描述将结合优选实施例一起介绍，但这并不代表此发明的特征仅限于该实施方式。恰恰相反，结合实施方式作发明介绍的目的是为了覆盖基于本发明的权利要求而有可能延伸出的其它选择或改造。为了提供对本发明的深度了解，以下描述中将包含许多具体的细节。本发明也可以不使用这些细节实施。此外，为了避免混乱或模糊本发明的重点，有些具体细节将在描述中被省略。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外，在以下的说明中所使用的“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“水平”、“垂直”应被理解为该段以及相关附图中所绘示的方位。此相对性的用语仅是为了方便说明之用，其并不代表其所叙述的装置需以特定方位来制造或运作，因此不应理解为对本发明的限制。
能理解的是，虽然在此可使用用语“第一”、“第二”、“第三”等来叙述各种组件、区域、层和/或部分，这些组件、区域、层和/或部分不应被这些用语限定，且这些用语仅是用来区别不同的组件、区域、层和/或部分。因此，以下讨论的第一组件、区域、层和/或部分可在不偏离本发明一些实施例的情况下被称为第二组件、区域、层和/或部分。
为了克服现有技术中的上述缺陷，本发明提供了一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法，用于辅助喷淋板的安装拆卸工作，使得喷淋板在拆装过程中可以有效避免喷淋板与金属工装间相互窜动所造成的刮碰、摩擦等问题，进而可以提高喷淋板使用寿命，同时可以实现喷淋板在上盖板预设位置上的准确定位，使得操作人员的装卸工作简单便捷、易于操作，从而提升设备维护工作的效率。
图1是根据本发明的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装置结构***图；图2是根据本发明的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装配方法示意图。
请结合图1和图2，本发明提供的喷淋板的辅助拆装装置，用于在半导体薄膜制备装置中辅助喷淋板1在上盖板8上的预设安装位置的定位安装，该辅助拆装装置包括：支撑板2，该支撑板2用于垂直固定于该上盖板8上的该预设安装位置的下方以支撑该喷淋板1与该上盖板8之间的定位拆装；设于该支撑板2上的滑轨3，该滑轨3的滑动方向垂直于该上盖板8的所在平面；以及定位板4，该定位板4的上侧形状与该喷淋板1的外周形状相匹配以使该定位板4沿该喷淋板1的外周与该喷淋板1相固定，该定位板4的下侧与该滑轨3配合安装以使该定位板4带动该喷淋板2沿该滑轨3滑动至该预设安装位置。
需要说明的是，本发明实施例中图示的喷淋板采用圆形的喷淋板，这里喷淋板的形状种类仅做示例性的说明，而非用于限制本发明的保护范围。实际上，本发明提供的喷淋板的辅助拆装装置对于喷淋板的种类和形状均无特殊限制，可以根据不同种类或形状的喷淋板定制辅助拆装装置的结构形状，并实现喷淋板的辅助拆装，因此，类似的采用相同原理辅助拆装不同种类形状的喷淋板的方案都应纳入本发明的保护范围之内。
在一实施例中，优选地，请继续结合图1、图2，本发明提供的喷淋板的辅助拆装装置还包括：定位插销5，该定位插销5用于当该喷淋板1沿该滑轨3滑动至该预设安装位置后，***设于该喷淋板1侧周及该上盖板8对应位置上的定位孔内以实现该喷淋板1在该上盖板8上的定位。
在一实施例中，优选地，该定位板在与该喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，用于与设于该喷淋板上对应位置的螺纹孔相配合以实现该定位板与该喷淋板之间的定位与安装。
请继续结合图1、图2，在一实施例中，优选地，本发明提供的喷淋板的辅助拆装装置还包括：非金属材料制成的第一垫片6，该第一垫片6安装于该喷淋板1与该定位板4之间，其形状与该喷淋板1与该定位板4之间的接触面相匹配；以及非金属材料制成的第二垫片7，该第二垫片7安装于该支撑板2与该上盖板8之间，其形状与该支撑板2与该上盖板8之间的接触面相匹配。
优选地，例如，该第一垫片6和该第二垫片7可以采用特氟龙材料。该第一垫片6和该第二垫片7的设置可以有效地防止金属材质的辅助工装与喷淋板或者上盖板之间的摩擦与刮碰，从而可以延长喷淋板装置的使用寿命。
需要说明的是，这里垫片采用特氟龙材料仅做示例性的说明，目的在于阐述垫片的作用效果，而非用于限制本申请的保护范围，实际上第一垫片和第二垫片也可以改用其他材料，只要可以有效地防止金属之间的相互刮碰即可，该些其他材料的方案也都应纳入本发明的保护范围之内。
请继续参考图1，在一实施例中，优选地，该支撑板2在与该上盖板的接触面上设有定位销和螺钉孔，分别用于与设于该上盖板上对应位置的定位孔与螺钉孔相配合以实现该支撑板2与该上盖板之间的定位与安装。与该定位销和螺钉孔相匹配的孔洞设计可以参考第二垫片7。
在一实施例中，优选地，该喷淋板1的外周与该上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔。例如，在沿喷淋板1的外周均匀排布有12个螺钉孔，该些螺钉孔在安装时遵循依次紧固对称位置的孔洞从而在确保安装牢固性的同时增加喷淋板安装的稳定性。
在一实施例中，优选地，该滑轨3与该支撑板2之间、该定位板4与设于该滑轨3上的滑台之间采用螺钉固定方式安装固定。例如，如图1所示，该滑轨3与该支撑板2之间可以采用8个六角螺钉进行固定安装，定位板4和滑台之间可以采用6个六角螺钉实现稳定连接。
图3是根据本发明的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装配效果示意图。
请结合图2、图3，本发明的另一方面提供了一种用于半导体薄膜制备装置中的喷淋板安装方法，采用以上所描述的喷淋板的辅助拆装装置，该喷淋板安装方法包括：将该支撑板固定安装与该上盖板上的预定位置；固定安装该喷淋板和该定位板；推动该定位板以使该喷淋板滑动至该预设安装位置；将该喷淋板固定安装至该预设安装位置后，拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装；以及拆除该支撑板与该上盖板之间的固定安装以卸除该辅助拆装装置。
在一实施例中，优选地，该辅助拆装装置还包括定位插销，该喷淋板安装方法还包括：在推动该定位板以使该喷淋板滑动至该预设安装位置后，松动该喷淋板与该定位板之间的固定安装，将该定位插销***设于该喷淋板侧周及该上盖板对应位置上的定位孔内以实现该喷淋板在该上盖板上的定位，再将该喷淋板固定安装在该上盖板的该预设安装位置。
如图1、2所示，在一实施例中，在该辅助拆装装置中该定位板在与该喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，该固定安装该喷淋板和该定位板，包括：通过多个该螺纹孔与沉头孔固定安装该喷淋板与该定位板。
可以结合图1～图3，在一实施例中，优选地，该将该喷淋板固定安装至该预设安装位置后，拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装包括：通过设于该喷淋板外周与该上盖板上对应位置的部分螺钉孔以实现该喷淋板与该上盖板之间的初步固定安装；以及拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装，反向拉动该定位板，通过设于该喷淋板外周与该上盖板上对应位置的其余螺钉孔实现该喷淋板与该上盖板之间的完全固定安装。
与此同时，在一实施例中，该喷淋板的外周与该上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔，该喷淋板安装方法还包括：在执行该喷淋板与该上盖板之间的该初步固定安装以及该完全固定安装时，依次用螺钉紧固排布位置呈中心对称的该螺钉孔。依次紧固呈中心对称排布的螺钉可以使得喷淋板的安装更加稳定与牢固，同时相对于上盖板的预设安装位置也可以安装地更加准确。例如，可以结合图1，在沿喷淋板1的外周均匀排布有12个螺钉孔，该些螺钉孔在安装时遵循依次紧固对称位置的孔洞从而在确保安装牢固性的同时增加喷淋板安装的稳定性。
在一实施例中，优选地，该支撑板在与该上盖板的接触面上设有定位销，该将该支撑板固定安装与该上盖板上的预定位置包括：通过该定位销将该支撑板在该上盖板上的该预定位置进行定位，再用螺钉固定安装该支撑板与该上盖板。先定位再安装，进一步增强了喷淋板定位安装的准确性。
尽管为使解释简单化将上述方法图示并描述为一系列动作，但是应理解并领会，这些方法不受动作的次序所限，因为根据一个或多个实施例，一些动作可按不同次序发生和/或与来自本文中图示和描述或本文中未图示和描述但本领域技术人员可以理解的其他动作并发地发生。
提供对本公开的先前描述是为使得本领域任何技术人员皆能够制作或使用本公开。对本公开的各种修改对本领域技术人员来说都将是显而易见的，且本文中所定义的普适原理可被应用到其他变体而不会脱离本公开的精神或范围。由此，本公开并非旨在被限定于本文中所描述的示例和设计，而是应被授予与本文中所公开的原理和新颖性特征相一致的最广范围。
Claims (14)
1.一种喷淋板的辅助拆装装置，用于在半导体薄膜制备装置中辅助喷淋板在上盖板上的预设安装位置的定位安装，所述辅助拆装装置包括：
支撑板，所述支撑板用于垂直固定于所述上盖板上的所述预设安装位置的下方以支撑所述喷淋板与所述上盖板之间的定位拆装；
设于所述支撑板上的滑轨，所述滑轨的滑动方向垂直于所述上盖板的所在平面；以及
定位板，所述定位板的上侧形状与所述喷淋板的外周形状相匹配以使所述定位板沿所述喷淋板的外周与所述喷淋板相固定，所述定位板的下侧与所述滑轨配合安装以使所述定位板带动所述喷淋板沿所述滑轨滑动至所述预设安装位置。
2.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，还包括：
定位插销，所述定位插销用于当所述喷淋板沿所述滑轨滑动至所述预设安装位置后，***设于所述喷淋板侧周及所述上盖板对应位置上的定位孔内以实现所述喷淋板在所述上盖板上的定位。
3.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述定位板在与所述喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，用于与设于所述喷淋板上对应位置的螺纹孔相配合以实现所述定位板与所述喷淋板之间的定位与安装。
4.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，还包括：
非金属材料制成的第一垫片，所述第一垫片安装于所述喷淋板与所述定位板之间，其形状与所述喷淋板与所述定位板之间的接触面相匹配；以及
非金属材料制成的第二垫片，所述第二垫片安装于所述支撑板与所述上盖板之间，其形状与所述支撑板与所述上盖板之间的接触面相匹配。
5.如权利要求4所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述第一垫片和所述第二垫片采用特氟龙材料。
6.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述支撑板在与所述上盖板的接触面上设有定位销和螺钉孔，分别用于与设于所述上盖板上对应位置的定位孔与螺钉孔相配合以实现所述支撑板与所述上盖板之间的定位与安装。
7.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述喷淋板的外周与所述上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔。
8.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述滑轨与所述支撑板之间、所述定位板与设于所述滑轨上的滑台之间采用螺钉固定方式安装固定。
9.一种用于半导体薄膜制备装置中的喷淋板安装方法，采用如权利要求1所述的喷淋板的辅助拆装装置，所述喷淋板安装方法包括：
将所述支撑板固定安装与所述上盖板上的预定位置；
固定安装所述喷淋板和所述定位板；
推动所述定位板以使所述喷淋板滑动至所述预设安装位置；
将所述喷淋板固定安装至所述预设安装位置后，拆除所述喷淋板与所述定位板之间的固定安装；以及
拆除所述支撑板与所述上盖板之间的固定安装以卸除所述辅助拆装装置。
10.如权利要求9所述的喷淋板安装方法，其特征在于，所述辅助拆装装置还包括定位插销，所述喷淋板安装方法还包括：
在推动所述定位板以使所述喷淋板滑动至所述预设安装位置后，松动所述喷淋板与所述定位板之间的固定安装，将所述定位插销***设于所述喷淋板侧周及所述上盖板对应位置上的定位孔内以实现所述喷淋板在所述上盖板上的定位，再将所述喷淋板固定安装在所述上盖板的所述预设安装位置。
11.如权利要求9所述的喷淋板安装方法，其特征在于，在所述辅助拆装装置中所述定位板在与所述喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，所述固定安装所述喷淋板和所述定位板，包括：
通过多个所述螺纹孔与沉头孔固定安装所述喷淋板与所述定位板。
12.如权利要求9所述的喷淋板安装方法，其特征在于，所述将所述喷淋板固定安装至所述预设安装位置后，拆除所述喷淋板与所述定位板之间的固定安装包括：
通过设于所述喷淋板外周与所述上盖板上对应位置的部分螺钉孔以实现所述喷淋板与所述上盖板之间的初步固定安装；以及
拆除所述喷淋板与所述定位板之间的固定安装，反向拉动所述定位板，通过设于所述喷淋板外周与所述上盖板上对应位置的其余螺钉孔实现所述喷淋板与所述上盖板之间的完全固定安装。
13.如权利要求12所述的喷淋板安装方法，其特征在于，所述喷淋板的外周与所述上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔，所述喷淋板安装方法还包括：
在执行所述喷淋板与所述上盖板之间的所述初步固定安装以及所述完全固定安装时，依次用螺钉紧固排布位置呈中心对称的所述螺钉孔。
14.如权利要求9所述的喷淋板安装方法，其特征在于，所述支撑板在与所述上盖板的接触面上设有定位销，所述将所述支撑板固定安装与所述上盖板上的预定位置包括：
通过所述定位销将所述支撑板在所述上盖板上的所述预定位置进行定位，再用螺钉固定安装所述支撑板与所述上盖板。
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| US20050258280A1 (en) * | 2004-05-24 | 2005-11-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Shower plate for plasma processing apparatus and plasma processing apparatus |
| CN102441857A (zh) * | 2011-09-30 | 2012-05-09 | 安徽大学 | 一种可更换定位件的定位支撑机构 |
| CN104439814A (zh) * | 2013-09-14 | 2015-03-25 | 牛玉琴 | 大型细长工件组焊辅助装置 |
| CN106607794A (zh) * | 2015-10-23 | 2017-05-03 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 一种半导体设备中喷淋装置的拆装辅助工装及使用方法 |
| CN107116330A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-09-01 | 安徽江淮汽车集团股份有限公司 | 一种焊接辅助工装 |
| CN213953002U (zh) * | 2020-10-15 | 2021-08-13 | 石保恒 | 一种建筑模板拆除装置 |
-
2022
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050258280A1 (en) * | 2004-05-24 | 2005-11-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Shower plate for plasma processing apparatus and plasma processing apparatus |
| CN102441857A (zh) * | 2011-09-30 | 2012-05-09 | 安徽大学 | 一种可更换定位件的定位支撑机构 |
| CN104439814A (zh) * | 2013-09-14 | 2015-03-25 | 牛玉琴 | 大型细长工件组焊辅助装置 |
| CN106607794A (zh) * | 2015-10-23 | 2017-05-03 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 一种半导体设备中喷淋装置的拆装辅助工装及使用方法 |
| CN107116330A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-09-01 | 安徽江淮汽车集团股份有限公司 | 一种焊接辅助工装 |
| CN213953002U (zh) * | 2020-10-15 | 2021-08-13 | 石保恒 | 一种建筑模板拆除装置 |
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