CN115434005B - 一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法 - Google Patents
一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法 Download PDFInfo
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Abstract
本发明公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法,其中,直拉单晶硅埚缝测量用具包括:用具本体,用具本体采用石英材质制成,用具本体设为等腰锐角三角形状,用具本体的顶角贴靠硅液的液面设置,用具本体上预留有开孔;钼螺栓,所述钼螺栓穿设所述开孔,并连接于导流罩的底端;直拉单晶硅埚缝测量用具使用方法包括:步骤1、清洗用具本体,进而保证用具本体的表面无异物附着;步骤2、人工通过钼螺栓将用具本体安装在导流罩的底端,所述导流罩的底端预留有与所述钼螺栓连接的螺孔,所述用具本体自然下垂;步骤3、导流罩自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体的顶角,当所述用具本体的顶角贴靠硅液的液面时,导流罩停止下移。
Description
技术领域
本发明涉及直拉单晶技术领域,具体地说,涉及一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法。
背景技术
直拉单晶时,需要确保埚缝的准确度,如果埚缝不准确,会导致成晶困难,多次引晶,硅液温度会多次调节,后续引发一系列问题,如温度多次调节,对软化状态的石英坩埚不好,严重会诱发石英坩埚鼓包,甚至渗料、铸料事故。
再有就是如果埚缝不准确,员工直接调节埚缝的话,会有淹导流罩的风险,严重会导致水冷屏***。
发明内容
为达到上述目的,本发明公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具,包括:
用具本体,所述用具本体采用石英材质制成,所述用具本体设为等腰锐角三角形状,所述用具本体的顶角贴靠硅液的液面设置,所述用具本体上预留有开孔;
钼螺栓,所述钼螺栓穿设所述开孔,并连接于导流罩的底端。
优选的,所述用具本体的顶角角度在15-20°之间。
本发明另公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具使用方法,包括:
步骤1、清洗用具本体,进而保证用具本体的表面无异物附着;
步骤2、人工通过钼螺栓将用具本体安装在导流罩的底端,所述导流罩的底端预留有与所述钼螺栓连接的螺孔,所述用具本体自然下垂;
步骤3、导流罩自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体的顶角,当所述用具本体的顶角贴靠硅液的液面时,导流罩停止下移。
优选的,在步骤1中,通过清洗单元完成所述用具本体的表面清洗,所述清洗单元包括:
超声波清洗池;
基座,所述基座安装于所述超声波清洗池的池口上;
用具翻转单元,所述用具翻转单元安装于所述基座上,用具本体固定安装于所述用具翻转单元上;
顶角打磨单元,所述顶角打磨单元安装于所述基座上,所述顶角单元单元用于完成所述用具本体的顶角打磨;
用具擦拭单元,所述用具擦拭单元安装于所述基座上,所述用具擦拭单元用于完成所述用具本体表面的擦拭;
动力单元,所述动力单元安装于所述基座上,所述用具翻转单元、顶角打磨单元以及用具擦拭单元自上而下分布于所述基座上,并均与所述动力单元连接。
优选的,所述基座包括:
横座,所述横座安装于所述超声波清洗池的池口上;
支撑竖板,两个所述支撑竖板安装于所述横座上,所述用具翻转单元、顶角打磨单元和用具擦拭单元均安装于两个所述支撑竖板之间,所述动力单元安装于所述支撑竖板外端。
优选的,所述动力单元包括:
驱动气缸,所述驱动气缸安装于所述支撑竖板外端靠近底端位置,所述驱动气缸输出端朝上设置;
双面纵移齿条,所述双面纵移齿条安装于所述驱动气缸输出端,所述用具翻转单元、顶角打磨单元以及用具擦拭单元均与所述双面纵移齿条连接。
优选的,所述用具翻转单元包括:
翻转轴,所述翻转轴转动安装于两个所述支撑竖板上;
翻转板,所述翻转板安装于所述翻转轴上,所述翻转板靠近翻转轴端设有用于抵靠所述用具本体底边的垂直翻边,所述垂直翻边上安装有用于按压所述用具本体底边的弹性按压板;
限位柱,所述限位柱安装于所述翻转板上,所述限位柱适配所述开孔设置;
第一转动齿轮,所述第一转动齿轮与所述双面纵移齿条啮合,所述第一转动齿轮安装于所述翻转轴的轴端。
优选的,所述用具擦拭单元包括:
底转轴,所述底转轴转动安装于两个所述支撑竖板上,所述底转轴位于所述翻转轴下方;
第二转动齿轮,所述第二转动齿轮与所述双面纵移齿条啮合,所述第二转动齿轮安装于所述底转轴的轴端;
伸缩带安装杆,两个所述伸缩带安装杆安装于所述底转轴上,所述伸缩带安装杆远离底转轴端呈钝角折弯设置;
弹性伸缩带,所述弹性伸缩带安装于两个所述伸缩带安装杆远离底转轴端,所述弹性伸缩带用于吸收所述超声波清洗池内清洗液,并擦拭所述用具本体表面。
优选的,所述顶角打磨单元包括:
顶转轴,所述顶转轴转动安装于两个所述支撑竖板之间,所述顶转轴位于所述翻转轴上方;
第三转动齿轮,所述第三转动齿轮与所述双面纵移齿条啮合,所述第三转动齿轮安装于所述顶转轴的轴端;
固定臂,两个所述固定臂对称安装于所述顶转轴上;
安装座,所述安装座安装于所述固定臂内端;
动力室,所述动力室设于所述安装座内,所述动力室连通于所述安装座远离固定臂端;
打磨盒,所述打磨盒安装于所述动力室内;
上打磨轴和下打磨轴,所述上打磨轴和下打磨轴并列安装于所述打磨盒内,所述上打磨轴的轴端转动安装于所述动力室内壁上;
打磨辊,两个所述打磨辊位于所述打磨盒内,所述打磨辊分别安装于所述上打磨轴和下打磨轴上;
打磨带,所述打磨带位于所述打磨盒内,所述打磨带套设于两个所述打磨辊上,部分所述打磨带露出所述打磨盒盒口端设置;
打磨电机,所述打磨电机安装于所述安装座上,所述打磨电机输出端伸入所述动力室内;
传动带轮,两个所述传动带轮位于所述动力室内,其中一个所述传动带轮安装于所述上打磨轴上,其中另一个所述传动带轮安装于所述打磨电机输出端;
传动带,所述传动带套设于两个所述传动带轮上;
翻折杆一和翻折杆二,所述翻折杆一和翻折杆二位于所述动力室内,所述翻折杆一和翻折杆二通过安装轴转动连接,所述翻折杆一远离翻折杆二端滑动连接于所述打磨盒盒底端,所述翻折杆二远离翻折杆一端铰接于所述动力室内壁上;
复位扭簧,所述复位扭簧套设于所述安装轴上,所述复位扭簧一扭臂端与所述翻折杆一连接,所述复位扭簧另一扭臂端与所述翻折杆二连接;
拉绳安装轴,所述拉绳安装轴安装于两个所述支撑竖板之间,所述拉绳安装轴位于所述顶转轴上方;
拉绳,两个所述拉绳对称安装于所述拉绳安装轴上,所述拉绳远离拉绳安装轴端伸入所述动力室内,并与所述安装轴连接。
优选的,所述用具翻转单元和顶角打磨单元转向相同,所述用具翻转单元和用具擦拭单元转向相反。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明在导流罩上安装示意图;
图2为本发明外形图;
图3为本发明使用流程图;
图4为本发明中清洗单元外形图;
图5为本发明中位于支撑竖板外端的清洗单元结构示意图;
图6为本发明中位于支撑竖板内端的清洗单元结构示意图;
图7为本发明中用具本体安装示意图;
图8为本发明中顶角打磨单元结构示意图;
图9为本发明中顶角打磨单元90°翻转结构示意图。
图中:1.用具本体;2.钼螺栓;3.清洗单元;4.导流罩;5.硅液;31.超声波清洗池;32.基座;33.用具翻转单元;34.顶角打磨单元;35.用具擦拭单元;36.动力单元;37.横座;38.支撑竖板;39.驱动气缸;30.双面纵移齿条;41.翻转轴;42.翻转板;43.限位柱;44.第一转动齿轮;45.第三转动齿轮;51.底转轴;52.第二转动齿轮;53.伸缩带安装杆;54.弹性伸缩带;61.顶转轴;62.固定臂;63.安装座;64.动力室;65.打磨盒;66.翻折杆一;67.打磨辊;68.打磨带;69.传动带轮;60.翻折杆二。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例
下面将结合附图对本发明做进一步描述。
如图1、图2所示,本实施例提供的一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法,包括:
用具本体1,所述用具本体1采用石英材质制成,所述用具本体1设为等腰锐角三角形状,所述用具本体1的顶角贴靠硅液5的液面设置,所述用具本体1上预留有开孔;
钼螺栓2,所述钼螺栓2穿设所述开孔,并连接于导流罩4的底端。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
本发明公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具,通过钼螺栓2安装于导流罩4底端。用具本体1采用石英材质制成,用具本体1形成的石英尖角与钼螺栓采用销孔连接,自然下垂,拆卸方便;石英尖角与熔硅不发生反应,保证了硅液中不会因用具本体1而引入杂质;且用具本体1可保证埚缝偏差<0.5mm;操作人员拆卸方便的同时通过肉眼观察即可观察埚缝,易学易会。
在一个实施例中,所述用具本体1的顶角角度在15-20°之间。
如图3所示,本实施例另提供的一种直拉单晶硅埚缝测量用具的使用方法,应用于如上所述的一种直拉单晶硅埚缝测量用具,其特征在于,包括:
步骤1、清洗用具本体1,进而保证用具本体1的表面无异物附着;
步骤2、人工通过钼螺栓2将用具本体1安装在导流罩4的底端,所述导流罩4的底端预留有与所述钼螺栓2连接的螺孔,所述用具本体1自然下垂;
步骤3、导流罩4自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体1的顶角,当所述用具本体1的顶角贴靠硅液5的液面时,导流罩4停止下移。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
作为用具本体1的顶角的用具本体1的石英尖角拆卸后沾附有结晶硅液残留,清洗用具本体1后,确保用具本体1的表面无异物附着,人工通过钼螺栓2将用具本体1安装在导流罩4的底端,在重力作用下,用具本体1自然下垂,导流罩4自直拉单晶硅埚上方下落,操作人员肉眼观察用具本体1的石英尖角,当用具本体1的石英尖角贴靠硅液5的液面时,导流罩4停止下移,从而确保埚缝的准确度。
如图4所示,在一个实施例中,在步骤1中,通过清洗单元3完成所述用具本体1的表面清洗,所述清洗单元3包括:
超声波清洗池31;
基座32,所述基座32安装于所述超声波清洗池31的池口上;
用具翻转单元33,所述用具翻转单元33安装于所述基座32上,用具本体1固定安装于所述用具翻转单元33上;
顶角打磨单元34,所述顶角打磨单元34安装于所述基座32上,所述顶角单元单元34用于完成所述用具本体1的顶角打磨;
用具擦拭单元35,所述用具擦拭单元35安装于所述基座32上,所述用具擦拭单元35用于完成所述用具本体1表面的擦拭;
动力单元36,所述动力单元36安装于所述基座32上,所述用具翻转单元33、顶角打磨单元34以及用具擦拭单元35自上而下分布于所述基座32上,并均与所述动力单元36连接。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
人工将用具本体1安装于用具翻转单元33上,此时用具本体1的石英尖角浸泡在超声波清洗池31内,动力单元36工作,从而带动位于超声波清洗池31上方,并安装于基座32上的用具翻转单元33、顶角打磨单元34和用具擦拭单元35同步工作,用具翻转单元33实现用具本体1的向上逆时针翻转,顶角打磨单元34完成用具本体1的石英尖角的打磨,打磨后,用具翻转单元33继续带动用具本体1逆时针翻转,用具擦拭单元35完成用于本体1表面的擦拭,接着动力单元36反向动作,用具本体1的石英尖角回位到超声波清洗池31内,超声波清洗池31完成用具本体1的表面清洗。
如图5所示,在一个实施例中,所述基座32包括:
横座37,所述横座37安装于所述超声波清洗池31的池口上;
支撑竖板38,两个所述支撑竖板38安装于所述横座37上,所述用具翻转单元33、顶角打磨单元34和用具擦拭单元35均安装于两个所述支撑竖板38之间,所述动力单元36安装于所述支撑竖板38外端。
如图5所示,在一个实施例中,所述动力单元36包括:
驱动气缸39,所述驱动气缸39安装于所述支撑竖板38外端靠近底端位置,所述驱动气缸39输出端朝上设置;
双面纵移齿条30,所述双面纵移齿条30安装于所述驱动气缸39输出端,所述用具翻转单元33、顶角打磨单元34以及用具擦拭单元35均与所述双面纵移齿条30连接。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
驱动气缸39带动安装于其输出端的双面纵移齿条30下降,从而带动用具翻转单元33和顶角打磨单元34逆时针转动,用具擦拭单元35顺时针转动,以完成用具本体1的石英尖角打磨、用具本体1表面的擦拭,相反地,驱动气缸39带动安装于其输出端的双面纵移齿条30上升,从而带动用具翻转单元33和顶角打磨单元34顺时针转动,用具擦拭单元35逆时针转动,用具本体1的石英尖角回位到超声波清洗池31内,超声波清洗池31完成用具本体1的表面清洗。
如图6、图7所示,在一个实施例中,所述用具翻转单元33包括:
翻转轴41,所述翻转轴41转动安装于两个所述支撑竖板38上;
翻转板42,所述翻转板42安装于所述翻转轴41上,所述翻转板42靠近翻转轴41端设有用于抵靠所述用具本体1底边的垂直翻边,所述垂直翻边上安装有用于按压所述用具本体1底边的弹性按压板;
限位柱43,所述限位柱43安装于所述翻转板42上,所述限位柱43适配所述开孔设置;
第一转动齿轮44,所述第一转动齿轮44与所述双面纵移齿条30啮合,所述第一转动齿轮44安装于所述翻转轴41的轴端。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
用具本体1贴靠翻转板42,开孔正对限位柱43,用具本体1底边抵靠在垂直翻边上,弹性按压板受力按压用具本体1,驱动气缸39带动安装于其输出端的双面纵移齿条30下降,从而带动与双面纵移齿条30啮合的第一转动齿轮44、与第一传动齿轮44连接的翻转轴41在两个支撑竖板38之间逆时针转动,从而带动安装于翻转轴41上的翻转板42逆时针转动,翻转板42带动安装于其上的用具本体1逆时针转动,用具本体1的石英尖角向靠近顶角打磨单元34方向翻转,相反地,驱动气缸39带动安装于其输出端的双面纵移齿条30上升,翻转板42带动安装于其上的用具本体1顺时针转动,用具本体1的石英尖角回位到超声波清洗池31内,超声波清洗池31完成用具本体1的表面清洗。
如图5、图6所示,在一个实施例中,所述用具擦拭单元35包括:
底转轴51,所述底转轴51转动安装于两个所述支撑竖板38上,所述底转轴51位于所述翻转轴41下方;
第二转动齿轮52,所述第二转动齿轮52与所述双面纵移齿条30啮合,所述第二转动齿轮52安装于所述底转轴51的轴端;
伸缩带安装杆53,两个所述伸缩带安装杆53安装于所述底转轴51上,所述伸缩带安装杆53远离底转轴51端呈钝角折弯设置;
弹性伸缩带54,所述弹性伸缩带54安装于两个所述伸缩带安装杆53远离底转轴51端,所述弹性伸缩带54用于吸收所述超声波清洗池31内清洗液,并擦拭所述用具本体1表面。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
驱动气缸39带动安装于其输出端的双面纵移齿条30下降,从而带动与双面纵移齿条30啮合的第二转动齿轮52、与第二转动齿轮52连接的底转轴51在两个支撑竖板38之间顺时针转动,从而带动安装于底转轴51上的伸缩带安装杆53、安装于伸缩带安装杆53上的弹性伸缩带54自超声波清洗池31抬出,弹性伸缩带内吸附的清洁液完成对用具本体1表面的擦拭,相反地,驱动气缸39带动安装于其输出端的双面纵移齿条30上升,弹性伸缩带回位到超声波清洗池31内,超声波清洗池31完成弹性伸缩带的表面清洗。
如图8、图9所示,在一个实施例中,所述顶角打磨单元34包括:
顶转轴61,所述顶转轴61转动安装于两个所述支撑竖板38之间,所述顶转轴61位于所述翻转轴41上方;
第三转动齿轮45,所述第三转动齿轮45与所述双面纵移齿条30啮合,所述第三转动齿轮45安装于所述顶转轴61的轴端;
固定臂62,两个所述固定臂62对称安装于所述顶转轴61上;
安装座63,所述安装座63安装于所述固定臂62内端;
动力室64,所述动力室64设于所述安装座63内,所述动力室64连通于所述安装座63远离固定臂62端;
打磨盒65,所述打磨盒65安装于所述动力室64内;
上打磨轴和下打磨轴,所述上打磨轴和下打磨轴并列安装于所述打磨盒65内,所述上打磨轴的轴端转动安装于所述动力室64内壁上;
打磨辊67,两个所述打磨辊67位于所述打磨盒65内,所述打磨辊67分别安装于所述上打磨轴和下打磨轴上;
打磨带68,所述打磨带68位于所述打磨盒65内,所述打磨带68套设于两个所述打磨辊67上,部分所述打磨带68露出所述打磨盒65盒口端设置;
打磨电机,所述打磨电机安装于所述安装座63上,所述打磨电机输出端伸入所述动力室64内;
传动带轮69,两个所述传动带轮69位于所述动力室64内,其中一个所述传动带轮69安装于所述上打磨轴上,其中另一个所述传动带轮69安装于所述打磨电机输出端;
传动带,所述传动带套设于两个所述传动带轮69上;
翻折杆一66和翻折杆二60,所述翻折杆一66和翻折杆二60位于所述动力室64内,所述翻折杆一66和翻折杆二60通过安装轴转动连接,所述翻折杆一66远离翻折杆二60端滑动连接于所述打磨盒65盒底端,所述翻折杆二60远离翻折杆一66端铰接于所述动力室64内壁上;
复位扭簧,所述复位扭簧套设于所述安装轴上,所述复位扭簧一扭臂端与所述翻折杆一66连接,所述复位扭簧另一扭臂端与所述翻折杆二60连接;
拉绳安装轴46,所述拉绳安装轴46安装于两个所述支撑竖板38之间,所述拉绳安装轴46位于所述顶转轴61上方;
拉绳,两个所述拉绳对称安装于所述拉绳安装轴46上,所述拉绳远离拉绳安装轴46端伸入所述动力室64内,并与所述安装轴连接。
上述技术方案的工作原理和有益效果为:
驱动气缸39带动安装于其输出端的双面纵移齿条30下降,从而带动与双面纵移齿条30啮合的第三转动齿轮45、与第三转动齿轮45连接的顶转轴61在两个支撑竖板38之间逆时针转动,顶转轴61带动安装于其上的固定臂62、安装于固定臂62上的安装座63向远离拉绳安装轴46方向运动,拉绳拉动安装轴,复位扭簧受力,从而使翻折杆一66和翻折杆二60趋于共线,打磨盒65以上打磨轴为中心向外翻转,两个打磨盒65组成三角形,从而使用具本体1的石英尖角送入两个打磨盒65之间,打磨电机工作,从而通过传动带轮69和传动带带动上打磨轴转动,上打磨轴通过打磨辊67带动位于打磨盒65内的打磨带68转动,打磨带68完成对用具本体1的石英尖角的打磨,将附着于用具本体1的石英尖角上的结晶硅液的剥离。
在一个实施例中,所述用具翻转单元33和顶角打磨单元34转向相同,所述用具翻转单元33和用具擦拭单元35转向相反。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (2)
1.一种直拉单晶硅埚缝测量用具的使用方法,应用于一种直拉单晶硅埚缝测量用具,所述直拉单晶硅埚缝测量用具包括:用具本体(1),所述用具本体(1)采用石英材质制成,所述用具本体(1)设为等腰锐角三角形状,所述用具本体(1)的顶角贴靠硅液(5)的液面设置,所述用具本体(1)上预留有开孔;钼螺栓(2),所述钼螺栓(2)穿设所述开孔,并连接于导流罩(4)的底端,其特征在于,包括:
步骤1、清洗用具本体(1),进而保证用具本体(1)的表面无异物附着;
步骤2、人工通过钼螺栓(2)将用具本体(1)安装在导流罩(4)的底端,所述导流罩(4)的底端预留有与所述钼螺栓(2)连接的螺孔,所述用具本体(1)自然下垂;
步骤3、导流罩(4)自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体(1)的顶角,当所述用具本体(1)的顶角贴靠硅液(5)的液面时,导流罩(4)停止下移;
在步骤1中,通过清洗单元(3)完成所述用具本体(1)的表面清洗,所述清洗单元(3)包括:
超声波清洗池(31);
基座(32),所述基座(32)安装于所述超声波清洗池(31)的池口上;
用具翻转单元(33),所述用具翻转单元(33)安装于所述基座(32)上,用具本体(1)固定安装于所述用具翻转单元(33)上;
顶角打磨单元(34),所述顶角打磨单元(34)安装于所述基座(32)上,所述顶角打磨单元(34)用于完成所述用具本体(1)的顶角打磨;
用具擦拭单元(35),所述用具擦拭单元(35)安装于所述基座(32)上,所述用具擦拭单元(35)用于完成所述用具本体(1)表面的擦拭;
动力单元(36),所述动力单元(36)安装于所述基座(32)上,所述用具翻转单元(33)、顶角打磨单元(34)以及用具擦拭单元(35)自上而下分布于所述基座(32)上,并均与所述动力单元(36)连接;
所述基座(32)包括:
横座(37),所述横座(37)安装于所述超声波清洗池(31)的池口上;
支撑竖板(38),两个所述支撑竖板(38)安装于所述横座(37)上,所述用具翻转单元(33)、顶角打磨单元(34)和用具擦拭单元(35)均安装于两个所述支撑竖板(38)之间,所述动力单元(36)安装于所述支撑竖板(38)外端;
所述动力单元(36)包括:
驱动气缸(39),所述驱动气缸(39)安装于所述支撑竖板(38)外端靠近底端位置,所述驱动气缸(39)输出端朝上设置;
双面纵移齿条(30),所述双面纵移齿条(30)安装于所述驱动气缸(39)输出端,所述用具翻转单元(33)、顶角打磨单元(34)以及用具擦拭单元(35)均与所述双面纵移齿条(30)连接;
所述用具翻转单元(33)包括:
翻转轴(41),所述翻转轴(41)转动安装于两个所述支撑竖板(38)上;
翻转板(42),所述翻转板(42)安装于所述翻转轴(41)上,所述翻转板(42)靠近翻转轴(41)端设有用于抵靠所述用具本体(1)底边的垂直翻边,所述垂直翻边上安装有用于按压所述用具本体(1)底边的弹性按压板;
限位柱(43),所述限位柱(43)安装于所述翻转板(42)上,所述限位柱(43)适配所述开孔设置;
第一转动齿轮(44),所述第一转动齿轮(44)与所述双面纵移齿条(30)啮合,所述第一转动齿轮(44)安装于所述翻转轴(41)的轴端;
所述用具擦拭单元(35)包括:
底转轴(51),所述底转轴(51)转动安装于两个所述支撑竖板(38)上,所述底转轴(51)位于所述翻转轴(41)下方;
第二转动齿轮(52),所述第二转动齿轮(52)与所述双面纵移齿条(30)啮合,所述第二转动齿轮(52)安装于所述底转轴(51)的轴端;
伸缩带安装杆(53),两个所述伸缩带安装杆(53)安装于所述底转轴(51)上,所述伸缩带安装杆(53)远离底转轴(51)端呈钝角折弯设置;
弹性伸缩带(54),所述弹性伸缩带(54)安装于两个所述伸缩带安装杆(53)远离底转轴(51)端,所述弹性伸缩带(54)用于吸收所述超声波清洗池(31)内清洗液,并擦拭所述用具本体(1)表面;
所述顶角打磨单元(34)包括:
顶转轴(61),所述顶转轴(61)转动安装于两个所述支撑竖板(38)之间,所述顶转轴(61)位于所述翻转轴(41)上方;
第三转动齿轮(45),所述第三转动齿轮(45)与所述双面纵移齿条(30)啮合,所述第三转动齿轮(45)安装于所述顶转轴(61)的轴端;
固定臂(62),两个所述固定臂(62)对称安装于所述顶转轴(61)上;
安装座(63),所述安装座(63)安装于所述固定臂(62)内端;
动力室(64),所述动力室(64)设于所述安装座(63)内,所述动力室(64)连通于所述安装座(63)远离固定臂(62)端;
打磨盒(65),所述打磨盒(65)安装于所述动力室(64)内;
上打磨轴和下打磨轴,所述上打磨轴和下打磨轴并列安装于所述打磨盒(65)内,所述上打磨轴的轴端转动安装于所述动力室(64)内壁上;
打磨辊(67),两个所述打磨辊(67)位于所述打磨盒(65)内,所述打磨辊(67)分别安装于所述上打磨轴和下打磨轴上;
打磨带(68),所述打磨带(68)位于所述打磨盒(65)内,所述打磨带(68)套设于两个所述打磨辊(67)上,部分所述打磨带(68)露出所述打磨盒(65)盒口端设置;
打磨电机,所述打磨电机安装于所述安装座(63)上,所述打磨电机输出端伸入所述动力室(64)内;
传动带轮(69),两个所述传动带轮(69)位于所述动力室(64)内,其中一个所述传动带轮(69)安装于所述上打磨轴上,其中另一个所述传动带轮(69)安装于所述打磨电机输出端;
传动带,所述传动带套设于两个所述传动带轮(69)上;
翻折杆一(66)和翻折杆二(60),所述翻折杆一(66)和翻折杆二(60)位于所述动力室(64)内,所述翻折杆一(66)和翻折杆二(60)通过安装轴转动连接,所述翻折杆一(66)远离翻折杆二(60)端滑动连接于所述打磨盒(65)盒底端,所述翻折杆二(60)远离翻折杆一(66)端铰接于所述动力室(64)内壁上;
复位扭簧,所述复位扭簧套设于所述安装轴上,所述复位扭簧一扭臂端与所述翻折杆一(66)连接,所述复位扭簧另一扭臂端与所述翻折杆二(60)连接;
拉绳安装轴(46),所述拉绳安装轴(46)安装于两个所述支撑竖板(38)之间,所述拉绳安装轴(46)位于所述顶转轴(61)上方;
拉绳,两个所述拉绳对称安装于所述拉绳安装轴(46)上,所述拉绳远离拉绳安装轴(46)端伸入所述动力室(64)内,并与所述安装轴连接。
2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶硅埚缝测量用具的使用方法,其特征在于,所述用具翻转单元(33)和顶角打磨单元(34)转向相同,所述用具翻转单元(33)和用具擦拭单元(35)转向相反。
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