CN1151492A - 金属密封垫 - Google Patents

Abstract

本发明由带有波纹的一对波纹基板及带有第1和第2台阶的中间板构成，在一方的波纹基板上形式有辅助波纹，以防止波纹完全压缩，同时提高其密封性。金属密封垫由沿孔带有波纹的第1和第2波纹基板及两者间的中间板构成。在中间板上，形成有沿孔在波纹内侧区域对向第1波纹基板增高的第1台阶和对向第2波纹基板增高的第2台阶。在第2波纹基板上，形成有向第2台阶延伸的辅助波纹，辅助波纹贴接于中间板，提高面接触压，防止高温气体向第1和第2波纹基板的各波纹泄漏，防止中间板的第2台阶的突出部的塑性变形。

Description

金属密封垫

本发明涉及用于多气缸发动机中相对装配面之间进行密封的金属密封垫，该金属密封垫由沿孔形成波纹的一对波纹基板和夹在两基板间的中间板构成。

在现有技术中，铝制汽缸盖和汽缸体等的发动机结构部件，其重量虽然轻，但由于其刚度低，在发动机运转时，两者间的相对变位有增大的倾向，所以，两结构部件相对面之间密封的金属密封垫由弹性金属板制成。该弹性金属板上在与汽缸燃烧室、水、油等通路的贯通孔周围附近形成有波纹。

现有公知的金属密封垫是由一对波纹基板和夹在该对波纹基板间的中间板构成的，该对波纹基板由形成有波纹的弹性金属板制成。当把金属密封垫紧固地夹在汽缸盖和汽缸体的相对面之间并压缩成全屈状态时，该对波纹基板的各波纹受压变形，因其变形时的反作用，使两相对面间的波纹基板和中间板在波纹及其附近处相互强力压接，从而阻止了通过贯通孔的流体从相对面间漏出，起到密封的作用。中间板备有补偿部，在紧固金属密封垫时，该补偿部具有限制二片波纹基板变形的限位功能和吸收两相对面间间隙不匀整的吸收功能。

上述那样的金属密封垫是公知技术，例如，在日本专利公报特开昭62-155374号中，揭示了一种在中间板上设有垫圈的金属密封垫。在日本专利公报特开昭64-65367号中，揭示了一种在中间板上形成台阶形状(以下称为台阶)并设有垫圈的金属密封垫。在日本专利公报特开昭63-293363号中，揭示了一种在叠层状中间板之间夹设衬垫并形成台阶的金属密封垫。另外，在日本专利公报实开平4-66457号中，揭示了一种金属密封垫，在该金属密封垫的叠层状中间板的一方金属板上形成台阶，在另一方金属板上由折叠部形成台阶。

这些金属密封垫，通常是通过板金加工形成中间板上的台阶的。然而在板金加工中，要形成任意高度的台阶或在孔周围形成完全一样高度的台阶，在技术上是很困难的。此外，对垫圈型的金属密封垫紧固在汽缸体与汽缸盖之间并压缩为全屈状态下，发动机持续驱动时，形成垫圈的台阶部、折叠部处于有残留应力状态下受到反复作用的弯曲应力，所以在垫圈部易产生龟裂或塑性变形。

此外，对金属密封垫来说，用二片或二片以上的金属板叠层形成中间板的情况下，或夹有衬垫的情况下，已经由二片金属板构成的波纹基板本身也成为产生上述问题的原因。在层叠金属板的层间易形成间隙，通过金属密封垫上贯通孔的燃烧气体等的流体容易通过从该间隙泄漏到金属密封垫的外部。为了防止流体泄漏，曾考虑过在金属密封垫的金属板上涂敷橡胶或树脂，填补叠层金属板间的间隙的方案，但该方案的缺点是，随着橡胶或树脂层的老化，固定汽缸盖与汽缸体的螺栓的紧固力也渐渐变小，使密封性能降低。在中间板上形成垫圈的情况下，为了防止密封性能降低及发生上述的龟裂现象，就要受加工质量要求严格且难以实施的弯曲加工的制约；而且台阶的设定和板厚不能无关系的自由设定；用于发动机时，还受压缩比和密封垫总板厚的制约，因此，中间板的板厚也受到制约。另外，层叠的金属板或附属的零件增加时，必须对每个部件进行设计、制造和质量管理，总体上提高了成本。

现有的金属密封垫，为了在燃烧室孔的周缘得到补偿部，使补偿部具有限制二片波纹基板的波纹变形即防止全压缩功能以及吸收紧固时相对面的不匀整的吸收功能，基本上需要二片中间板。或者使用衬垫等的其它构件，或在构成中间板的金属板的一部分折叠以形成补偿部。为此，与上述同样地，在补偿部存在应力、密封等问题，在制造方面也增加工序以及质量管理，其结果使成本提高。

本申请人在日本专利公报特开平8-100859号中提出了一种金属密封垫，该金属密封垫改进了中间板的补偿部。如图13所示，该金属密封垫的夹设在波纹基板51、52间的中间板60是板厚大于波纹基板51、52板厚的金属板，在中间板60上形成有台阶63和台阶64。台阶63形成在从波纹基板51、52的各波纹53、54靠孔内侧的区域，并朝向一方波纹基板51，其高度低于波纹53。台阶64形成在比台阶63更靠孔内侧的区域，并朝向另一方波纹基板52，其高度大于台阶63的高度，但小于台阶63与波纹54的高度之和。两台阶间的环形部成为波纹基板51的限位部，即补偿部65。从台阶64更靠孔55侧的环形部即作为波纹基板52的补偿部66。

该金属密封垫不用其它的部件，不需形成折叠部，在容许的范围内能得到任意厚度的补偿部65、66，所以，面压平衡良好，减少波纹基板51、52的应力变化和作用在补偿部65、66上的弯曲应力，以防止波纹53、54的破损和补偿部65、66的损坏，防止密封效果的降低而发挥稳定的密封效果。另外，形成在中间板60上的两补偿部65、66起到保护波纹53、54的密封效果，同时，防止波纹53、54的全压缩而保护波纹，而且在沿燃烧室孔55或燃烧气体孔的各区域，通过变更两补偿部65、66的形状或断续地形成两补偿部65、66，并根据孔间及螺栓的位置关系把两补偿部形成为最适宜的状态。

因此，为了实现上述提出的金属密封垫的目的，本申请人进一步对中间板和各波纹基板的相互构造作了研究，开发了不需要其它的部件、不形成应力状态不良的折叠部、能改善贯通孔周围的密封性能、减少波纹基板应力变化、防止波纹破损和密封性能降低、具有稳定密封效果并且成本低的金属密封垫。

本发明的目的，就在于解决上述的课题。是提供一种减少上述各波纹基板的应力变化，防止波纹破损，防止在孔周围区域的燃烧气体等流体从上述波纹基板和中间板之间泄漏，具有稳定的密封效果并且成本低的金属密封垫。该金属密封垫由带有波纹的一对波纹基板和作为其间调整板的中间板构成。并通过中间板上两处形成台阶，使上述台阶和第1波纹基板贴合，在第2波纹基板上设有辅助波纹等措施，予以实现。

本发明的金属密封垫有由沿并列孔形成波纹的弹性金属板构成的第1和第2波纹基板及中间板。中间板安装在上述波纹对向配置的第1和第2波纹基板之间，其板厚大于第1、第2波纹基板的板厚。在上述中间板上形成有第1限位部和第2限位部。第1限位部由处在上述波纹的内侧的区域，对向第1波纹基板、高度小于上述波纹高度的第1台阶形成；第2限位部由处在上述第1台阶更内侧的区域、对向第2波纹基板、高度大于第1台阶的高度但小于第1台阶的高度与波纹高度之和的第2台阶形成。在上述第2波纹基板上，沿着孔的边缘部，对向中间板上的上述第2限位部侧，形成有辅助波纹。

上述中间板采用较上述波纹基板更软质的金属材料制造。

上述辅助波纹是伸向上述孔的方向弯曲成倾斜状的半波纹；或者，是伸向孔的方向弯曲成阶梯状，且沿着孔的边缘部具有平面部的半波纹。辅助波纹的高度大致是第2波纹基板上的波纹高度的一半左右。

上述中间板的第1台阶和第2台阶的高度，在上述孔间的第1区域及离孔间90°的第2区域均为高区域；在上述第1区域和第2区域之间的第3区域则为低区域；在第1区域和第3区域之间以及第3区域和第2区域之间的过渡区域，其高度均以平滑曲面形式变化。

上述中间板的第一台阶在上述孔间相互隔开配置，而上述第1波纹基板和第2波纹基板上的波纹可在孔间分别隔置或互相会合形成一个波纹。

在该金属密封垫中，上述第1波纹基板面向汽缸盖配置，第2波纹基板面向汽缸体配置。

该金属密封垫由于在上述第2波纹基板上形成有辅助波纹，因此辅助波纹区域的面接触压提高，防止了高温气体向第2波纹基板上的波纹以及第1波纹基板上的波纹侵入，以保护上述波纹，同时能够补强上述中间板的第2台阶之容易疲劳的孔周围的突出部。而且，在上述第2波纹基板上设置辅助波纹时，波纹基板上的波纹的尺寸无需加以限制，即能在第2波纹基板上形成辅助波纹。在上述第2波纹基板上所形成的辅助波纹为半波纹，所以可以减低辅助波纹受前述波纹的尺寸制约。

该金属密封垫，当汽缸盖和汽缸体通过压紧螺栓紧固时，随着上述波纹的挠曲，夹装在两者对置装配面间的上述波纹基板，相对上述中间板逐渐接近贴合，而紧固处于压缩状态下，此时，上述中间板的第1台阶和第2台阶吸收中间板和波纹基板的间隙的不匀整，同时防止上述波纹完全压缩，使波纹的应力变化减少，而且能够防止高温气体向波纹基板上的波纹侵入，以保护上述波纹。

从而，上述各波纹基板，当和上述中间板各面上相对应的台阶构成的限位部贴合后，其变位量受到限制，不使上述波纹的变形达到被压垮的完全压缩程度，波纹的弹性作用得以尚存，也就是保留了吸收汽缸盖或汽缸体的对向面不平整的吸收功能。

构成上述限位部的上述中间板的台阶的高度，相对中间板的主表面，低于上述波纹基板上的波纹高度，因此，由台阶形成的上述限位部，其刚性高，即使由于紧固而发生变形，也不会损坏其作为限位部的功能。

该金属密封垫如前述那样所构成，在和两块波纹基板上的各波纹相贴接的一块中间板上形成有两处台阶，由该台阶所形成的限位部，防止对对向一方的波纹基板的波纹被完全压缩，同时也形成了具有吸收对置装配面的不匀整功能及保护上述波纹的密封功能之补偿部。在中间板上的上述台阶，当处于压缩状态时，中间板和波纹基板之间的间隙被充分吸收，能够使密封性能提高。

该金属密封垫，在位于汽缸体侧的波纹基板上，沿着孔的边缘形成有朝向上述中间板的限位部侧的辅助波纹，由此能够补强中间板的第2台阶在孔边缘的突出部的塑性变形，同时能够提高中间板和波纹基板之间的密封性和耐久性。而且上述的辅助波纹为半波纹，所以受上述波纹基板上形成的波纹的制约，可以减少到最小限度。

该金属密封垫由上述波纹基板和被夹于其间的中间板构成。由于中间板的极厚t₁为各波纹基板的板厚t₂的2倍以上(t₁/t₂≥2)，约2-4倍(t₁/t₂≥2-4)，上述中间板的两侧在不同位置弯曲的第1和第2台阶，沿上述波纹形成的台阶高度小于波纹高度，即成为对上述各波纹基板的第1和第2限位部，故使上述波纹的过量压缩得到限制，能够防止上述波纹的塑性变形和龟裂的发生。由于上述限位部的作用，阻断燃烧气体流向上述波纹侧，保护波纹不受高温气体的腐蚀，防止其功能下降。

如上所述，该金属密封垫仅用一对上述波纹基板和一块上述中间板即可构成。能够减少零件件数，简化加工工序，仅经弯曲和波纹加工即可完成简单的加工工件形状。不仅能大幅度降低制造成本，还能提高零件的加工精度，减少累积误差。上述限位部的高度能容易得到控制，由于层间数减少，使密封性能提高，能够提供极大可靠性的产品。

在中间板上所形成的上述限位部，在密封垫组装时，可以设置在汽缸盖侧、汽缸体侧或两侧同时设置。限位部的高度，在前述中间板上可以是均一的高度，也可以根据情况，使其在沿孔周围的区域具有高低。或者根据发动机的变形，例如，汽缸盖和汽缸体、或汽缸盖和排气歧管之间的装配的变形以及运转时由于发热和爆发等的变形，而与其对应地有高有低。

本发明的金属密封垫，在中间板上形成限位部而无须采用衬垫等其它部件，不必制作其它部件，也不需要对中间板进行组装或固定等，能降低成本。另外，由于在中间板上形成上述的限位部，可以避免在组装或固定等作业不完善时所出现的问题。同样，由于在中间板上形成限位部而不需要形成折叠部，且在上述波纹基板的孔侧端缘也不需设置折叠部，所以，不需要形成折叠部的制造工序，也就不需要采取防止折叠部上产生龟裂的措施，从而可降低成本。

本发明的金属密封垫，由于在中间板的表面上作为限位部的补偿部的高度，可以根据前述波纹设置而任意设定，所以，也可以对作用于两波纹基板的对向装配面的面压平衡作适当的调整。另外，由于可以根据波纹基板的特性不同等状况，设定波纹基板的应力变化和作用在补偿部上的弯曲应力，其结果，可以防止波纹基板的主波纹的损坏及补偿部的损坏，从而防止密封效果的降低，以发挥稳定的密封效果。

两波纹基板分别对向上述中间板的两面，相对波纹基板具有同样高度地形成第1台阶和第2台阶，用作一方的波纹基板的第1补偿部相对于中间板的一侧平面的高度，与用作另一方的波纹基板的第2补偿部相对于中间极的另一侧平面的高度相同。可以认为，两补偿部对上述力学特性相同的各波纹基板的作用没有差异。这时，两波纹基板随着压缩过程，应力状态均衡良好，其结果，波纹基板的应力变化和作用在中间板的补偿部上的弯曲应力，不会只偏向于一方的波纹基板和补偿部，而是均等地负担，这样，可防止波纹基板的波纹的塑性变形及破损，防止补偿部的损坏和密封效果的降低，能发挥稳定的密封效果。

图1是本发明金属密封垫第1实施例的局部平面图。

图2是图1的金属密封垫的第1波纹基板的孔间区域的局部放大平面图。

图3是图1的金属密封垫的中间板的孔间区域的局部放大平面图。

图4是图1的金属密封垫的第2波纹基板的孔间区域的局部放大平面图。

图5是图1的金属密封垫的孔间区域的放大A-A剖面图。

图6是图1的金属密封垫的孔间区域的放大B-B剖面图。

图7是图1的金属密封垫的中间板，在制造过程的成型工序中的台阶形状的剖面图。

图8是图1的金属密封垫的中间板，在制造过程的成型工序中模压加工完成后的台阶形状的剖面图。

图9是图1的金属密封垫在第1实施例中的第2波纹基板的波纹和辅助波纹的剖面图。

图10是图1的金属密封垫在第2实施例中的第2波纹基板的波纹和辅助波纹的剖面图。

图11是根据本发明的金属密封垫的第3实施例之平面图。

图12是说明波纹基板和中间板之分解图。

图13是现有技术的金属密封垫的剖面图。

下面，参照附图说明本发明金属密封垫的实施例。该金属密封垫夹装在汽缸盖与汽缸体之间，使其为对置装配面间进行密封。对应汽缸体上的燃烧室，该金属密封垫适用于4缸或6缸等多缸发动机，汽缸孔即燃烧室孔复数个并列配置。该金属密封垫在孔的周围除有螺栓孔外，还有水孔、油孔等各种穿通的孔。在以下说明的各实施例的附图中，对于相同的构造及具有相同功能的零件、部件，都标以相同的附图标记，不作重复的说明。

先参照图1-9，说明本发明金属密封垫的第1实施例。

该金属密封垫是由弹性金属板形成的第1和第2波纹基板1、2以及板厚比波纹基板1、2厚，且夹装在波纹基板1、2之间的中间板5层叠而成的三层叠层型密封板。波纹基板1、2和中间板5之间，于燃烧室孔9处在同一位置组装，其他各种孔也是基本上在同样的位置穿设着。中间极5的板厚t₁以波纹基板1、2的板厚t₂的2倍以上(t₁/t₂≥2)，作为前提，最好设定为2-4倍(t₁/t₂≥2-4)的厚度。沿波纹基板1、2的燃烧室孔9，加工成和燃烧室孔9大致同心、其断面为凸形的环状波纹3、4。波纹3、4的凸部相对中间板5在同一位置上互相对置层叠。当夹紧时，波纹3、4与中间板的各表面25、26相贴接。

在中间板5上，有由高度为E的第1台阶6构成的第1限位部，围绕着燃烧室孔9形成一个环状。第1台阶6处在和波纹3、4相贴接的表面25、26所示的部位更靠近燃烧室孔9侧的区域，朝向波纹基板1，其高度E较波纹3的高度H低，且小于中间板5的厚度D(H＞E、D＞E)。另外，在中间板5上，有由高度为F的第2台阶7构成的第2限位部，同样围绕着燃烧室孔9形成一个环状。第2台阶7处比由第1台阶6构成的第1限位部更靠近燃烧室孔9侧的区域，朝向波纹基板2，其高度F较第1台阶的高度E高，但低于第1台阶6的高度E与波纹4的高度H之和(E+H＞F＞E)。

为在中间板5上形成台阶6、7，如图7所示，在金属板15上用板金加工得到孔18及沿孔18成隔置状态且具有同值深度的台阶16、17。随后，将金属板15再次进行模压加工，如图8所示，形成台阶6、7，将其进行热处理，制成中间板5。结果，在中间板5上形成了第1限位部和第2限位部。由第1台阶6构成的第1限位部作为对波纹基板1的波纹3的补偿部；由第2台阶7构成的第2限位部作为对波纹基板2的波纹4的补偿部。金属密封垫在紧固前的自由状态下，中间板5的第2限位部和波纹基板1之间形成间隙S。

波纹基板1面对汽缸盖配置，波纹基板2面对汽缸体配置。如图2所示，波纹基板1的波纹3在孔9间互相会合而形成一个波纹。如图3所示，中间板5的第1台阶6在孔9间互相分隔配置。如图4所示，波纹基板2的波纹4在孔9间互相会合而形成一个波纹。或者，未在图中示出，波纹基板1、2的波纹3、4也可以在孔9间分别隔置。

在波纹基板2上，沿着孔9的边缘部形成有对向中间板5的第2限位部侧的辅助波纹8。本发明的金属密封垫在前述构成中，就是以形成辅助波纹8为特征。在第1实施例中，如图9所示，辅助波纹8是伸向孔9的方向上，在折点11弯曲成倾斜状而形成的半波纹。辅助波纹8的高度h大致取波纹基板2的波纹4的高度H的一半。从而，辅助波纹8受紧固时，最初是以其顶端的边缘部10相对中间板5的第1限位部的面贴接，呈园形线接触，能提高密封性。

金属密封垫设置在汽缸盖和汽缸体的对向面间，当用螺栓紧固的时候，波纹基板1、2的波纹3、4由于弹性变形，逐渐对中间板5接近而贴接。

相对于波纹基板1，由中间板5的第1台阶6所构成的第1限位部，能限制贴接后的变位量，防止波纹3被完全压缩，起到了维持作为波纹3功能的作用。构成限位部的第1台阶6的高度E，小于相对中间板5的表面2 5的波纹3的高度，所以第1限位部本身的刚性高，伴随着紧固，即使有变形发生，也不会损害其作为第1限位部的功能。由于第1限位部能够防止波纹3的完全压缩状态，因此能确保良好的密封性，同时使波纹基板1的应力振幅变小，不致在第1限位部发生大的弯曲应力及应力振幅。其结果，在波纹基板1上不会发生龟裂或塑性变形。而且，第1限位部在密封垫受紧固时，还具有吸收存在于汽缸盖对向面的不匀整之功能。

相对于波纹基板1，由中间板5的第1台阶6所构成的第1限位部，能限制贴接后的变位量，防止波纹3被完全压缩，起到了维持作为波纹3功能的作用。构成限位部的第1台阶6的高度E，小于相对中间板5的表面2 5的波纹3的高度，所以第1限位部本身的刚性高，伴随着紧固，即使有变形发生，也不会损害其作为第1限位部的功能。由于第1限位部能够防止波纹3的完全压缩状态，因此能确保良好的密封性，同时使波纹基板1的应力振幅变小，不致在第1限位部发生大的弯曲应力及应力振幅。其结果，在波纹基板1上不会发生龟裂或塑性变形。而且，第1限位部在密封垫受紧固时，还具有吸收存在于汽缸盖对向面的不匀整之功能。

相对于波纹基板2，由中间板5的第2台阶7所构成的第2限位部，能限制贴接后的变位量，防止波纹4完全压缩，起到了维持作为波纹4功能的作用。构成限位部的第2台阶7的高度F，小于相对中间板5的表面2 6的波纹4的高度，所以第1限位部本身的刚性高，伴随着紧固，即使有变形发生，也不会损害其作为第2限位部的功能。由于第2限位部能够防止波纹4的完全压缩状态，因此能确保良好的密封性，同时使波纹基板2的应力振幅变小，不致在第2限位部发生大的弯曲应力及应力振幅。其结果，在波纹基板2上不会发生龟裂或塑性变形。而且，第2限位部在密封垫受紧固时，还具有吸收存在于汽缸体对向面的不匀整之功能。

中间板5是由比波纹基板1、2更为软质的金属材料制成，例如，波纹基板1、2由SUS301制作，则作为调整板的中间板5用SECC(软钢板)制作。

如图1 2所示，在形成波纹基板1、2的弹性金属板的表面上，涂覆耐热性及耐油性的非金属材料，例如，涂覆10-50μm左右的厚度，以避免汽缸盖对汽缸体处在金属对金属的接触状态，确保作为金属密封垫的耐腐蚀性、耐久性及其强度。例如，对波纹基板1、2的表里两面涂覆上具有耐热性及耐油性的氟橡胶19，再在氟橡胶19上涂覆丙烯酸硅酮类树脂20。此外，在波纹基板1、2的表面上涂覆了非金属材料，即使波纹基板1、2在机械加工时表面存在有凹凸之处，也能覆盖该凹凸不平，以充分发挥密封功能。

下面，参照附图10，对本发明的金属密封垫的第2实施例加以说明。

第2实施例和第1实施例比较，除辅助波纹的形状不同以外，有相同的结构及功能，因此，对同一部分注以同一符号，不作重复说明。第2实施例中，在波纹基板2上所形成的辅助波纹8是沿波纹基板2的孔9的边缘部向中间板5的第2限位部侧延伸形成的。在第2实施例中，辅助波纹8是通过伸出孔9的方向上，在折点11弯曲呈倾斜状，再在靠近孔9侧的折点12弯曲，经两处弯曲成阶梯状，形成了沿着孔9的边缘部为平面部13的半波纹。辅助波纹8的高度h，大致为波纹基板2的波纹中的高度H的一半左右。从而，在紧固波纹基板2时，相对中间板5的第2限位部的面，辅助波纹8的平面部13就最先贴接，降低了由于波纹基板2引起中间板5的损伤。

下面，参照附图11，说明本发明金属密封垫的第3实施例。

形成在中间板5上的第1台阶6和第2台阶7，其高度在孔9间的第1区域21和第2区域22为高区域，除此以外的中间区域，即第3区域23为低区域。第2区域22是垂直于通过各孔中心O的中心轴线X且通过孔中心O的的轴线Y上的区域，即是从孔9间离开90°的区域。在第1区域21和第3区域23之间以及第3区域23和第2区域22之间的过渡区域24，其高度以平滑的曲面形式变化。例如，在中间板5上所形成的第1台阶6和第2台阶7的高度，在区域21及区域22中为60μm，在区域23中约为30μm。

原则上，离固定汽缸体和汽缸盖的螺栓的紧固位置远的区域，台阶的高度高一些。第1台阶6和第2台阶7的这些高度的变化，具有使其和波纹基板1、2的波纹3、4的面接触压均等的功能。根据情况不同，也可以是第1台阶6和第2台阶7的高度，在孔9间的区域21为高区域，孔9间以外的区域为低区域。

本发明的金属密封垫，如上所述，在中间板上形成的第1和第2限位部，象以上实施例那样是沿孔为连续设置的构造。然而，并不限于此，根据情况，在中间板上形成的第1和第2限位部也可以是沿孔部分的或断续的形成(未在附图中示出)。

Claims (8)

1.一种金属密封垫，具有第1、第2波纹基板和中间板；该第1、第2波纹基板分别由沿并列孔形成有波纹的弹性金属板构成；该中间板夹设在上述波纹对向配置的上述第1、第2波纹基板之间，且板厚大于第1、第2波纹基板的板厚，其特征在于，在上述中间板上有由第1台阶形成的第1限位部和由第2台阶形成的第2限位部；第1台阶位于上述波纹靠内侧的区域，朝向第1波纹基板，其高度小于上述波纹的高度；第2台阶位于第1台阶更靠内侧的区域，朝向第2波纹基板，其高度大于第1台阶的高度，但小于第1台阶的高度与上述波纹的高度之和；在上述第2波纹基板上形成有辅助波纹，该辅助波纹沿着上述孔的周边并朝向中间板的第2限位部侧。

2.如权利要求1所述的金属密封垫，其特征在于，上述辅助波纹为伸向孔的方向上，弯曲成倾斜状的半波纹。

3.如权利要求1所述的金属密封垫，其特征在于，上述辅助波纹为伸向孔的方向上，弯曲成阶梯状，且沿孔的边缘部为平面部的半波纹。

4.如权利要求1所述的金属密封垫，其特征在于，上述辅助波纹的高度，大致为第2波纹基板上的波纹高度的一半左右。

5.如权利要求1所述的金属密封垫，其特征在于，上述中间板的第1台阶和第2台阶的高度，在孔间的第1区域和上述孔间相离90°的第2区域为高区域；在第1区域和第2区域的中间的第3区域为低区域；在第1区域和第3区域之间以及第3区域和第2区域之间的过渡区域其高度以平滑曲面形式变化。

6.如权利要求1所述的金属密封垫，其特征在于，上述中间板的第1台阶在孔间相互隔开配置。

7.如权利要求1所述的金属密封垫，其特征在于，上述第1和第2波纹基板上的波纹，在孔间分别隔置或相互会合形成一个波纹。

8.如权利要求1所述的金属密封垫，其特征在于，上述第1波纹基板面向汽缸盖配置，上述第2波纹基板面向汽缸体配置。

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