CN115112675A - 一种Micro LED显示面板缺陷检测装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种Micro LED显示面板缺陷检测装置及方法。所述装置包括色彩分析仪、面阵式色度计、面阵式相机、控制模块和数据处理模块;色彩分析仪用于获取显示面板点亮第一画面集合时指定区域的第一亮度色度数据;控制模块用于控制显示面板根据第一亮度色度数据进行Gamma校正,控制面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据,控制面阵式相机采集显示面板中LED外观图像;数据处理模块根据第二亮度色度数据确定色度或亮度异常的异常LED点及其坐标,并根据LED外观图像确定异常LED点的缺陷类别。本发明可以检测Micro LED显示面板的多种缺陷。
Description
技术领域
本申请涉及显示面板技术领域,更具体地,涉及一种Micro LED显示面板缺陷检测装置及方法。
背景技术
Micro LED显示面板凭借其优异的显示性能,已经成为目前业内最好的显示技术。但受到巨量转移键合工艺下的转移良率影响,即使转移良率达到99.99%,对于4K屏体而言,也有数千颗芯片异常,对Micro LED面板的显示性能大打折扣。因此,在巨量转移后需要对Micro LED面板进行基于AOI技术的画质检测技术,检测出异常LED并进行定位,将数据提供给Micro LED修复设备进行修复,以提高Micro LED面板的良率和品质。
现有的技术方案基于常规的工业相机,通过相机拍摄面板图像找出异常的LED灯珠,无法进行LED亮度色度绝对测量,也无法区分死点LED和缺失LED。
发明内容
针对现有技术的至少一个缺陷或改进需求,本发明提供了一种Micro LED显示面板缺陷检测装置及方法,可以检测Micro LED显示面板的多种缺陷。
为实现上述目的,按照本发明的第一个方面,提供了本发明实施例的一种MicroLED显示面板缺陷检测装置,包括:
色彩分析仪、面阵式色度计、面阵式相机、控制模块和数据处理模块;
所述色彩分析仪用于获取显示面板点亮第一画面集合时指定区域的第一亮度色度数据;
所述控制模块用于控制所述显示面板根据所述第一亮度色度数据进行Gamma校正,控制所述面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据,控制所述面阵式相机采集显示面板中LED外观图像;
所述数据处理模块根据所述第二亮度色度数据确定色度或亮度异常的异常LED点及其坐标,并根据所述LED外观图像确定所述异常LED点的缺陷类别。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测装置还包括复判显微相机,所述控制装置还用于控制所述复判显微相机根据所述异常LED点的坐标对所述异常LED点进行逐点取像。
进一步地,所述根据所述LED外观图像确定所述异常LED点的缺陷类别包括:
若所述LED外观图像中显示所述异常LED点无LED颗粒,则所述异常LED点为缺失缺陷;
若所述LED外观图像中显示所述异常LED点有LED颗粒,则所述异常LED点为死点缺陷。
进一步地,所述数据处理模块还用于根据所述LED外观图像确定存在旋转异常与偏移异常的LED颗粒。
进一步地,所述根据所述LED外观图像确定存在旋转异常与偏移异常的LED颗粒包括:
获取所述显示面板预设的所有LED颗粒的标准位置;
所述LED外观图像获取LED颗粒的实际位置,所述标准位置与所述实际位置均为xyz三维坐标系下的坐标,x轴和y轴为显示面板所在平面的横纵坐标轴,z轴为垂直于显示面板所在平面的坐标轴;
将所述标准位置与所述实际位置进行比对,将所述标准位置与所述实际位置的x值的差或y值的差大于第一预设阈值的LED确定为存在偏移异常的LED颗粒,将所述标准位置与所述实际位置的z值的差大于第二预设阈值的点确定为存在旋转异常的LED颗粒。
进一步地,控制所述面阵式相机采集显示面板中LED外观图像时,控制显示面板移动,固定所述面阵式相机,控制所述面阵式相机对移动的显示面板进行飞拍取像。
进一步地,所述控制模块还用于控制所述色彩分析仪获取经过Gamma校正后的显示面板点亮所述第二画面集合中若干个画面时指定区域的第三亮度色度数据,利用所述第三亮度色度数据对所述第二亮度色度数据进行校正。
进一步地,所述面阵式色度计具有第一分辨率和第一解析度,所述面阵式相机具有第二分辨率和第二解析度,所述第一分辨率高于第二分辨率,所述第一解析度低于所述第二解析度。
按照本发明的第二个方面,还提供了一种Micro LED显示面板缺陷检测方法,包括:
利用色彩分析仪采集显示面板点亮第一画面集合时指定区域的第一亮度色度数据;
控制所述显示面板根据所述第一亮度色度数据进行Gamma校正,利用面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据;
利用面阵式相机采集显示面板中LED外观图像;
根据所述第二亮度色度数据确定色度或亮度异常的异常LED点及其坐标,并根据所述LED外观图像确定所述异常LED点的缺陷类别。
总体而言,通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比,能够取得下列有益效果:
(1)通过利用色彩分析仪、面阵式色度计、面阵式相机间的互相配合使用,利用色彩分析仪采集的第一亮度色度数据、面阵式色度计采集的第二亮度色度和面阵式相机采集的LED外观图像,可以检测出异常LED点并确定所述异常LED点的缺陷类别,实现对MicroLED显示面板的异常LED点不同缺陷的有效区分。
(2)还利用复判相机对异常LED点进行取像,供人员复判和定位造成LED显示异常的工艺原因,使得下游修复设备的修复显著提升。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例中所需使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的Micro LED显示面板缺陷检测方法的流程示意图;
图2为本申请另一实施例提供的Micro LED显示面板缺陷检测方法的流程示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。此外,下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”等是用于区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。此外,术语“包括”和“具有”以及它们任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或模块的过程、方法、***、产品或设备没有限定于已列出的步骤或模块,而是可选地还包括没有列出的步骤或模块,或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或模块。
本发明实施例的一种Micro LED显示面板缺陷检测装置,包括:色彩分析仪、面阵式色度计、面阵式相机、控制模块和数据处理模块;色彩分析仪用于获取显示面板点亮第一画面集合时指定区域的第一亮度色度数据;控制模块用于控制显示面板根据第一亮度色度数据进行Gamma校正,控制面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据,控制面阵式相机采集显示面板中LED外观图像;
数据处理模块根据第二亮度色度数据确定色度或亮度异常的异常LED点及其坐标,并根据LED外观图像确定异常LED点的缺陷类别。
色彩分析仪可以是探头式色彩分析仪,当显示面板点亮第一画面集合时,控制模块控制色彩分析仪采集此时的亮度色度数据。第一画面集合可以是多张画面。
获取显示面板点亮第一画面集合时指定区域的第一亮度色度数据可以是获取显示面板点亮第一画面集合时中心点的第一亮度色度数据。
控制模块控制显示面板根据第一亮度色度数据进行Gamma校正,然后再控制经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合。当显示面板点亮第二画面集合时,采用面阵式色度计进行画质检测,获取第二亮度色度数据,根据第二亮度色度数据筛选出所有亮度或色度异常的异常LED点。第二画面集合可以是多张画面。
采用面阵式相机对面板进行外观检测。面阵式相机一般具有高分辨率,可以实现对死点类缺陷和缺失类缺陷的分类。
进一步地,根据LED外观图像确定异常LED点的缺陷类别包括:对于通过色彩分析仪和面阵式色度检测出来的异常LED点,若LED外观图像中显示,异常LED点无LED颗粒,则异常LED点为缺失缺陷,即该点位缺失LED颗粒;若LED外观图像中显示异常LED点有LED颗粒,则异常LED点为死点缺陷,即该点位的LED颗粒坏死。
进一步地,数据处理模块还用于根据LED外观图像确定存在旋转异常与偏移异常的LED颗粒。由于巨量转移工艺,LED转移之后,由于转移的误差,使得LED实际位置与标准位置相比存在偏移量。采用面阵式相机,可以获得LED的实际位置,根据LED实际位置与标准位置判断是否存在偏移量。
进一步地,根据LED外观图像确定存在旋转异常与偏移异常的LED颗粒包括:
获取显示面板预设的所有LED颗粒的标准位置;
LED外观图像获取LED颗粒的实际位置,标准位置与实际位置均为xyz三维坐标系下的坐标,x轴和y轴为显示面板所在平面的横纵坐标轴,z轴为垂直于显示面板所在平面的坐标轴;
将标准位置与实际位置进行比对,将标准位置与实际位置的x值的差或y值的差大于第一预设阈值的LED确定为存在偏移异常的LED颗粒,将标准位置与实际位置的z值的差大于第二预设阈值的点确定为存在旋转异常的LED颗粒。
进一步地,在获取控制面阵式相机采集显示面板中LED外观图像时,控制显示面板移动,固定面阵式相机,控制面阵式相机对移动的显示面板进行飞拍取像。即采用飞拍模式,可以采用Z字形拍摄路径,控制面阵式相机不动,面板移动。因为若面阵式相机移动,会需要带动其它色彩分析仪、面阵式色度计等相机一起移动。
进一步地,所述面阵式色度计具有第一分辨率和第一解析度,所述面阵式相机具有第二分辨率和第二解析度,所述第一分辨率高于第二分辨率,所述第一解析度低于所述第二解析度。
进行画质检测时所需分辨率是由画面像素点尺寸决定,因此需要高分辨率。进行外观检测所需分辨率是由LED尺寸决定的,所低分辨率就可以。在高分辨率的相机帧率很低,一般来说,只有两三帧。低分辨率的相机帧率很高,可以到了几十帧,然后外观检测是需要取多张图的,所以它需要一个高帧率的相机来提升检测速度。画质检测检只需要取一张图,所以不需要帧率很高,那么分辨率很高的情况下,这样子可以节省检测时间。
通过利用色彩分析仪、面阵式色度计、面阵式相机间的互相配合使用,利用色彩分析仪采集的第一亮度色度数据、面阵式色度计采集的第二亮度色度和面阵式相机采集的LED外观图像,可以检测出异常LED点并确定异常LED点的缺陷类别,实现对Micro LED显示面板的异常LED点不同缺陷的有效区分。
进一步地,控制模块还用于控制色彩分析仪获取经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合中若干个画面时指定区域的第三亮度色度数据,利用第三亮度色度数据对第二亮度色度数据进行校正。
控制模块可用于在控制面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据前,控制色彩分析仪获取经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合中若干个画面时指定区域的第三亮度色度数据,在采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据后,利用第三亮度色度数据对第二亮度色度数据进行校正。
即,控制模块控制经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合中一张画面或多张画面,控制色彩分析仪再次获取此时的第三亮度色度数据。然后再控制面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据。此时色彩分析仪和面阵式色度计均有对相同的画面进行数据采集,分析相同画面对应的第三亮度数据和第二亮度色度数据间的差值,即可确定对第二亮度色度数据中其他不相同画面的校正量。这样,可以提升面阵式色度计的精确度,从而提高后续缺陷检测的精确度。
控制模块可用于在控制面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据时,同时控制色彩分析仪获取经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合中若干个画面时指定区域的第三亮度色度数据,利用第三亮度色度数据对第二亮度色度数据进行校正。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测装置,还包括复判显微相机,控制装置还用于控制复判显微相机根据异常LED点的坐标对异常LED点进行逐点取像。即对利用色彩分析仪、面阵式色度计、面阵式相机检测出来的异常LED点,控制复判显微相机移动到对应位置,进行逐点取像,供相关人员判断和定位造成LED显示异常的工艺原因,使得下游修复设备的修复显著提升。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测装置还包括压接导通组件,控制模块与压接导通组件电连接。进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测装置还包括信号发生器,信号发生器与控制模块电连接。
压接导通组件和信号发生器用于使得检测时显示面板点亮指定的画面。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测装置还包括:用于承载显示面板的载台和用于调节载台空间位置的第一运动单元,第一运动单元与控制模块电连接。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测装置还包括:用于承载色彩分析仪的第一支架和用于调节第一支架空间位置的第二运动单元,第二运动单元与控制模块电连接。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测装置还包括:用于承载面阵式色度计的第二支架和用于调节第二支架空间位置的第三运动单元,第三运动单元与控制模块电连接。
第一运动单元、第二运动单元、第三运动单元用于实现色彩分析仪、面阵式色度计和显示面板的移动。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测装置还包括机架和减震器,载台通过减震器与机架连接,面阵式相机设置在机架上。
如图1所示,本发明实施例的一种Micro LED显示面板缺陷检测方法,包括:
S101,利用色彩分析仪采集显示面板点亮第一画面集合时指定区域的第一亮度色度数据;
S102,控制显示面板根据第一亮度色度数据进行Gamma校正,利用面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据;
S103,利用面阵式相机采集显示面板中LED外观图像;
S104,根据第二亮度色度数据确定色度或亮度异常的异常LED点及其坐标,并根据LED外观图像确定异常LED点的缺陷类别。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测方法,还包括:利用复判显微相机根据异常LED点的坐标对异常LED点进行逐点取像。。
进一步地,根据LED外观图像确定异常LED点的缺陷类别包括:
若LED外观图像中显示异常LED点无LED颗粒,则异常LED点为缺失缺陷;
若LED外观图像中显示异常LED点有LED颗粒,则异常LED点为死点缺陷。
进一步地,Micro LED显示面板缺陷检测方法,还包括:控制色彩分析仪获取经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合中若干个画面时指定区域的第三亮度色度数据,利用第三亮度色度数据对第二亮度色度数据进行校正。
方法的具体实现方式和上述装置相同,此处不再赘述。
在另一个实施例中,如图2所示,Micro LED显示面板缺陷检测方法包括步骤:
(1)显示面板上料,对面板进行扫码和定位,控制模块根据定位数据将面板移动至压接导通组件下,压接导通组件下压,实现面板的点亮。
(2)信号发生器驱动面板点亮指定画面,探头式色彩分析仪光学头移动到面板上端,对面板指定区域进行亮度色度测量,称为第一亮度色度数据,数据处理模块根据测量数据,对面板进行Gamma校正。
(3)色彩分析仪光学头移出,面阵式色度计光学头移动到经过Gamma校正后的面板上端,信号发生器驱动面板点亮指定画面,面阵式色度计对指定画面依次取像,称为第二亮度色度数据,数据处理模块根据第二亮度色度数据对面板进行检测,输出所有亮度色度异常的LED灯珠坐标和特征。
(4)面阵式色度计移出,压接导通组件的压接探头弹出,面板移动到面阵式相机下,面阵式相机按照飞拍的流程对面板进行多频谱飞拍取像,数据处理模块根据图像数据对面板进行检测,输出所有LED旋转和偏移的测量值,输出所有LED缺失的灯珠的坐标和特征。
(5)面板移动到压接导通组件下,压接导通组件压入点亮面板。检测***结合步骤(3)和(4)的测量数据综合分析,输出指定缺陷坐标,复判显微相机光学头逐点移动到缺陷点上,对缺陷点进行逐点取像。
进一步地,可将(4)调整值步骤(1)之前,即先进行外观检测,再进行Gamma校正、色度测量、复判,这样可以减少压接次数。
进一步地,还可以在步骤(3)前,控制色彩分析仪获取经过Gamma校正后的显示面板点亮步骤(3)中的指定画面中的若干个画面时指定区域的亮度色度数据,称为第三亮度色度数据,在步骤(3)中,获取第二亮度色度数据后,先利用利用第三亮度色度数据对第二亮度色度数据进行校正,根据校正后第二亮度色度数据输出所有亮度色度异常的LED灯珠坐标和特征。
通过将4种不同类型的光学检测器件集成在一起,包括色彩分析仪、面阵式色度计、面阵式相机、复判显微相机,互相配合使用,具体为利用色彩分析仪进行Gamma校正,同时利用色彩分析仪对面阵式色度计的检测结果进行校正,采用高分辨率低解析度的面阵式色度计的画质检测和低分辨率高解析度的面阵式相机的外观检测相结合,实现对MicroLED面板的显示异常LED中死点类缺陷和缺失类缺陷的有效区分,最后利用复判显微相机对异常灯珠进行取像和复判,可以提供异常LED灯珠高清图像,供人员复判和定位造成LED显示异常的工艺原因,使得下游修复设备的修复显著提升。
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。
在本申请所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的装置,可通过其它的方式实现。例如,以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如所述模块的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个模块或组件可以结合或者可以集成到另一个装置,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些服务接口,装置或模块的间接耦合或通信连接,可以是电性或其它的形式。
所述作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的,作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理模块,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络模块上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
另外,在本申请各个实施例中的各模块可以集成在一个模块中,也可以是各个模块单独物理存在,也可以两个或两个以上模块集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现,也可以采用软件功能模块的形式实现。
以上所述者,仅为本公开的示例性实施例,不能以此限定本公开的范围。即但凡依本公开教导所作的等效变化与修饰,皆仍属本公开涵盖的范围内。本领域技术人员在考虑说明书及实践这里的公开后,将容易想到本公开的其实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化,这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未记载的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的,本公开的范围和精神由权利要求限定。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
本领域的技术人员容易理解,以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种Micro LED显示面板缺陷检测装置,其特征在于,包括:
色彩分析仪、面阵式色度计、面阵式相机、控制模块和数据处理模块;
所述色彩分析仪用于获取显示面板点亮第一画面集合时指定区域的第一亮度色度数据;
所述控制模块用于控制所述显示面板根据所述第一亮度色度数据进行Gamma校正,控制所述面阵式色度计采集经过Gamma校正后的所述显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据,控制所述面阵式相机采集显示面板中LED外观图像;
所述数据处理模块用于根据所述第二亮度色度数据确定色度或亮度异常的异常LED点及其坐标,并根据所述LED外观图像确定所述异常LED点的缺陷类别。
2.如权利要求1所述的Micro LED显示面板缺陷检测装置,其特征在于,还包括复判显微相机,所述控制装置还用于控制所述复判显微相机根据所述异常LED点的坐标对所述异常LED点进行逐点取像。
3.如权利要求1所述的Micro LED显示面板缺陷检测装置,其特征在于,所述根据所述LED外观图像确定所述异常LED点的缺陷类别包括:
若所述LED外观图像中显示所述异常LED点无LED颗粒,则所述异常LED点为缺失缺陷;
若所述LED外观图像中显示所述异常LED点有LED颗粒,则所述异常LED点为死点缺陷。
4.如权利要求1所述的Micro LED显示面板缺陷检测装置,其特征在于,所述数据处理模块还用于根据所述LED外观图像确定存在旋转异常与偏移异常的LED颗粒。
5.如权利要求4所述的Micro LED显示面板缺陷检测装置,其特征在于,所述根据所述LED外观图像确定存在旋转异常与偏移异常的LED颗粒包括:
获取所述显示面板预设的所有LED颗粒的标准位置;
所述LED外观图像获取LED颗粒的实际位置,所述标准位置与所述实际位置均为xyz三维坐标系下的坐标,x轴和y轴为显示面板所在平面的横纵坐标轴,z轴为垂直于显示面板所在平面的坐标轴;
将所述标准位置与所述实际位置进行比对,将所述标准位置与所述实际位置的x值的差或y值的差大于第一预设阈值的LED确定为存在偏移异常的LED颗粒,将所述标准位置与所述实际位置的z值的差大于第二预设阈值的点确定为存在旋转异常的LED颗粒。
6.如权利要求1所述的Micro LED显示面板缺陷检测装置,其特征在于,控制所述面阵式相机采集显示面板中LED外观图像时,控制显示面板移动,固定所述面阵式相机,控制所述面阵式相机对移动的显示面板进行飞拍取像。
7.如权利要求1所述的Micro LED显示面板缺陷检测装置,其特征在于,所述控制模块还用于控制所述色彩分析仪获取经过Gamma校正后的显示面板点亮所述第二画面集合中若干个画面时指定区域的第三亮度色度数据,利用所述第三亮度色度数据对所述第二亮度色度数据进行校正。
8.如权利要求1所述的Micro LED显示面板缺陷检测装置,其特征在于,所述面阵式色度计具有第一分辨率和第一解析度,所述面阵式相机具有第二分辨率和第二解析度,所述第一分辨率高于第二分辨率,所述第一解析度低于所述第二解析度。
9.一种Micro LED显示面板缺陷检测方法,其特征在于,包括:
利用色彩分析仪采集显示面板点亮第一画面集合时指定区域的第一亮度色度数据;
控制所述显示面板根据所述第一亮度色度数据进行Gamma校正,利用面阵式色度计采集经过Gamma校正后的显示面板点亮第二画面集合时的第二亮度色度数据;
利用面阵式相机采集显示面板中LED外观图像;
根据所述第二亮度色度数据确定色度或亮度异常的异常LED点及其坐标,并根据所述LED外观图像确定所述异常LED点的缺陷类别。
10.如权利要求9所述的Micro LED显示面板缺陷检测方法,其特征在于,还包括:利用复判显微相机根据所述异常LED点的坐标对所述异常LED点进行逐点取像。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202210710592.0A CN115112675A (zh) | 2022-06-22 | 2022-06-22 | 一种Micro LED显示面板缺陷检测装置及方法 |
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CN202210710592.0A Pending CN115112675A (zh) | 2022-06-22 | 2022-06-22 | 一种Micro LED显示面板缺陷检测装置及方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115825101A (zh) * | 2022-12-08 | 2023-03-21 | 广东芯乐光光电科技有限公司 | 一种Mini LED面板光学检测设备及其检测方法 |
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2022
- 2022-06-22 CN CN202210710592.0A patent/CN115112675A/zh active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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