CN114544685A - 纳米探针台高低温测试辅助工具 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂、两个固定半环及至少一个锁紧环，两个夹持臂的一端相互连接，两个夹持臂的另一端分别与两个固定半环连接，两个夹持臂的另一端能够相对运动以使两个固定半环相互靠近并从样品固定器的两侧夹紧样品固定器，两个夹持臂上对应设置有至少一个锁紧槽，锁紧环卡入两个夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个夹持臂的张开角度，旋转两个夹持臂能够带动样品固定器旋转。通过用手操纵两个夹持臂夹紧样品固定器，然后再将锁紧环固定张开角度，通过人手旋转夹持臂来带动样品固定器旋转，避免了用手直接旋转样品固定器易触碰到纳米探针台上的探针的问题。
Description
技术领域
本发明涉及半导体失效分析技术领域，尤其涉及一种纳米探针台高低温测试辅助工具。
背景技术
纳米探针台(Nano Prober)是一种集成了扫描电子显微镜(SEM)的纳米探针***，可对集成电路芯片中的器件进行纳米级失效分析，如电学特性参数测量、纳米级断路及短路失效定位、高低温特性量测等。对于常规测试，只需要将样品粘贴在普通的固定器上，通过样品传送杆送进检测腔室内部，随后进行测试即可。然而高低温测试需要特殊的样品台，以及带有螺纹的样品固定器来放置样品，放样品时，首先要把样品台升到特定位置，然后手持样品固定器进行旋转数圈后将螺纹旋紧以将样品固定器固定在所述样品台上。具体请参照图1，图1为现有技术中提供的样品固定器的结构示意图，所述样品固定器包括承载台10及连接杆11，所述承载台10的上表面设置有一待测样品，所述连接杆11的一端与所述承载台10的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。可以理解为所述纳米探针台上的设定位置处设置有螺纹孔，通过将所述连接杆11旋入所述螺纹孔内以将所述样品固定器固定在所述纳米探针台上。
然而在实际操作中发现，手持所述样品固定器进行旋转数圈后进行固定的过程中存在较大风险，人手极易碰到价格昂贵的探针，造成针尖损坏，影响工作效率，增加测试成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种纳米探针台高低温测试辅助工具，能够有效解决用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题。
为了达到上述目的，本发明提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂、两个固定半环及至少一个锁紧环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并从所述样品固定器的两侧夹紧所述样品固定器，两个所述夹持臂上对应设置有至少一个锁紧槽，所述锁紧环卡入两个所述夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂的张开角度，旋转两个所述夹持臂能够带动所述样品固定器旋转。
可选的，所述夹持臂与所述固定半环可拆卸连接，所述锁紧槽为多个，多个所述锁紧槽沿所述夹持臂的轴向等间距分布。
可选的，所述锁紧槽为凹形槽。
可选的，所述夹持臂靠近所述固定半环的一端的外壁上刻设有凹凸不平的纹路。
可选的，两个所述固定半环的内壁上对应设置有用于夹紧所述样品固定器的弧形凹槽。
可选的，所述固定半环包括半环形的夹持部和连接部，所述夹持部的半径大于所述连接部的半径以使所述夹持部相对所述连接部向内凹陷形成所述弧形凹槽，所述夹持部的内壁与所述样品固定器的外壁接触。
可选的，所述弧形凹槽的内壁上设置有一弹性层。
可选的，所述弹性层为橡胶。
可选的，所述夹持臂、所述固定半环及所述锁紧环的材质均为金属。
可选的，所述夹持臂、所述固定半环及所述锁紧环的材质均为不锈钢。
本发明提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，通过用手操纵两个所述夹持臂相对运动以夹紧所述样品固定器，然后再将所述锁紧环卡入两个所述夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂的张开角度，不仅能够将所述样品固定器夹紧，还便于人手直接旋转所述夹持臂来带动所述样品固定器旋转，由于夹持臂具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免了对探针造成损坏，节约了测试成本，以及减少了因探针损坏而产生的换针时间，提高了工作效率。
附图说明
本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本发明，而不对本发明的范围构成任何限定。其中：
图1为现有技术中提供的样品固定器的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的纳米探针台高低温测试辅助工具的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的固定半环的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的弹性层的结构示意图；
其中，附图标记为：
1-样品固定器；2-夹持臂；3-固定半环；4-锁紧环；5-纹路；6-弧形凹槽；7-弹性层；
10-承载台；11-连接杆；30-夹持部；31-连接部。
具体实施方式
为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
如在本发明中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本发明中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本发明中所使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本发明中所使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。
如图2所示，图2为本发明实施例提供的纳米探针台高低温测试辅助工具的结构示意图，本实施例提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器1固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂2、两个固定半环3及至少一个锁紧环4，两个所述夹持臂2的一端相互连接，两个所述夹持臂2的另一端分别与两个所述固定半环3连接，两个所述夹持臂2的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环3相互靠近并从所述样品固定器1的两侧夹紧所述样品固定器1，两个所述夹持臂2上对应设置有至少一个锁紧槽，所述锁紧环4卡入两个所述夹持臂2上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂2的张开角度，旋转两个所述夹持臂2能够带动所述样品固定器1旋转。
通过用手操纵两个所述夹持臂2相对运动以夹紧所述样品固定器1，然后再将所述锁紧环4卡入两个所述夹持臂2上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂2的张开角度，不仅能够将所述样品固定器1夹紧，还便于人手直接旋转所述夹持臂2来带动所述样品固定器1旋转，由于夹持臂2具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器1的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏，节约测试成本，以及减少因探针损坏而产生的换针时间，提高工作效率。
具体的，本实施例中，所述待测样品例如是晶圆、芯片或其他待测试的器件，本申请对此不作限制。本实施例提供的所述纳米探针台高低温测试辅助工具主要用于图1所示的特殊的所述样品固定器1的辅助安装，所述样品固定器1包括承载台10及连接杆11，所述待测样品与所述承载台10的固定方式为胶粘，以避免对待测样品的表面造成损伤，且胶粘的方式容易取下待测样品。所述胶粘的粘剂包括但不限于是银胶。
请继续参照图2，两个所述夹持臂2上对应设置有至少一个锁紧槽，所述锁紧环4卡入两个所述夹持臂2上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂2的张开角度，所述锁紧槽的作用主要在于固定两个所述夹持臂2的张开角度，以便于后续通过人手直接旋转所述夹持臂2，而不需要施加给两个所述夹持臂2额外的一个夹紧力，简化操作以及防止所述样品固定器1在旋转的过程中发生掉落等问题。
较佳的，所述夹持臂2与所述固定半环3可拆卸连接，所述锁紧槽为多个，多个所述锁紧槽沿所述夹持臂2的轴向等间距分布。由于所述夹持臂2与所述固定半环3可拆卸连接，故可以根据不同尺寸的样品固定器1选择尺寸合适的固定半环3，并且，由于所述锁紧环4为多个，可根据两个所述夹持臂2的张开角度将所述合适位置的锁紧环4推入对应的锁紧槽，进而适用于不同尺寸的样品固定器1，提高所述纳米探针台高低温测试辅助工具的通用性。因此，本申请对于所述锁紧槽的数量以及分布方式不作任何限制，可根据实际需求进行调整。本实施例中，两个所述夹持臂2上对应设置有一个所述锁紧槽，所述锁紧槽的位置根据所述样品固定器1的尺寸进行设定，当两个所述夹持臂2夹紧所述样品固定器1时，将所述锁紧环4推入所述锁紧槽刚好能够固定两个所述夹持臂2的张开角度。本实施例中，所述锁紧槽为凹形槽。应当理解的是，所述凹形槽的深度不易过大，否则将所述样品固定器1安装好之后不便于释放，当然也不易过小，否则所述锁紧环4容易在两个所述夹持臂2的张力作用下发生松动，起不到锁紧固定的作用。所述凹形槽的深度需要进行设计，既要满足固定两个所述夹持臂2的张开角度的作用，同时也能在施加一定力的作用下滑出所述锁紧槽。
较佳的，所述夹持臂2靠近所述固定半环3的一端的外壁上刻设有凹凸不平的纹路5。通过在所述夹持臂2上刻设有凹凸不平的纹路5，以增加人手抓握时的摩擦力，防止人手在旋转所述夹持臂2的过程中打滑。
本实施例中，两个所述夹持臂2的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环3相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器1接触并夹紧所述样品固定器1，旋转两个所述夹持臂2以带动所述样品固定器1旋转。由于夹持臂2具有一定的长度，通过用手操纵两个所述夹持臂2不仅能够将所述样品固定器1夹紧，还可以通过旋转所述夹持臂2来带动所述样品固定器1旋转，避免了用手直接旋转样品固定器1的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏。
具体操作时，可先将样品固定在所述样品固定器1上，然后通过检测人员用手使两个所述夹持臂2的另一端相对运动以夹住所述样品固定器1，之后在将所述锁紧环4推入所述锁紧槽内，再用手旋转所述夹持臂2以带动所述样品固定器1旋转，进而将所述样品固定器1固定在所述纳米探针台上，整个装置结构简单，操纵方便，且工作效率高。
本实施例中，所述夹持臂2与所述固定半环3可以是一体成型结构，也可以通过焊接、螺纹连接以及其它的连接方式连接而成，本申请对此不作限制。
请参照图3，图3为本发明实施例提供的固定半环的结构示意图，两个所述固定半环3的内壁上对应设置有用于夹紧所述样品固定器1的弧形凹槽6，两个所述固定半环3围合成一个整环时，两个固定半环3上的弧形凹槽6围合成一环形凹槽，所述承载台10正好卡入所述环形凹槽内。通过设置弧形凹槽6以便于更好的固定住所述样品固定器1，防止所述样品固定器1在旋转过程中脱落或掉落。
较佳的，所述固定半环3包括半环形的夹持部30和连接部31，所述夹持部30的半径大于所述连接部31的半径以使所述夹持部30相对所述连接部31向内凹陷形成所述弧形凹槽6，所述夹持部30的内壁与所述样品固定器1的外壁接触。也就是说，所述夹持部30与所述连接部31形成台阶式的限位结构，不仅可以对所述样品固定器1进行轴向限位，防止所述样品固定器1安装错位，以及保证所述样品固定器1在旋入过程中不会发生移动，同时还避免了所述固定半环3的下半部分过长影响所述样品固定器1的旋入。当然，所述固定半环3的内壁上也可以不设置弧形凹槽6，只要两个固定半环3围合的整环的尺寸与所述承载台10的尺寸相匹配即可。
请参照图4，图4为本发明实施例提供的弹性层的结构示意图，两个所述弧形凹槽6的内壁上均设置有一弹性层7。由于弹性层7具有可逆形变的特性，在很小的外力作用下能产生较大形变，除去外力后能恢复原状。当两个所述夹持臂2的另一端相对运动时，所述弧形凹槽6通过所述弹性层7与所述承载台10的侧壁接触，在外力的作用下使得承载台10与所述弹性层7相互挤压，不仅能够更好地固定住所述样品固定器1，同时还能起到一定的缓冲作用，避免对所述样品固定器1的接触面造成损伤。
本实施例中，所述弹性层7为橡胶。橡胶具有很好的耐磨性及很高的弹性，能够反复利用，使用寿命长。
可选的，所述夹持臂2、所述固定半环3及所述锁紧环4的材质均为金属。采用金属材质的夹持臂2、固定半环3及所述锁紧环4，具有更高的强度和硬度，能够长时间的使用。
本实施例中，所述夹持臂2、所述固定半环3及所述锁紧环4均为奥氏体不锈钢。奥氏体不锈钢无磁性、抗氧化性好及抗腐蚀能力强，既能在使用过程中避免对纳米探针造成影响，又具有较长的使用寿命，是较佳的选择。当然，所述夹持臂2及所述固定半环3也可以采用其他的金属材料，例如铝，本申请对此不作限制。
综上，本发明实施例提供了一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，通过两个夹持臂相对运动来夹紧所述样品固定器，以及通过锁紧环卡入两个所述夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂的张开角度，如此不仅能够将所述样品固定器夹紧固定，同时还便于人手直接旋转所述夹持臂来带动所述样品固定器旋转，由于夹持臂具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免了对探针造成损坏，节约了测试成本，以及减少了因探针损坏而产生的换针时间，提高了工作效率。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种纳米探针台高低温测试辅助工具，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，其特征在于，包括两个夹持臂、两个固定半环及至少一个锁紧环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并从所述样品固定器的两侧夹紧所述样品固定器，两个所述夹持臂上对应设置有至少一个锁紧槽，所述锁紧环卡入两个所述夹持臂上对应的锁紧槽内以固定两个所述夹持臂的张开角度，旋转两个所述夹持臂能够带动所述样品固定器旋转。
2.如权利要求1所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述夹持臂与所述固定半环可拆卸连接，所述锁紧槽为多个，多个所述锁紧槽沿所述夹持臂的轴向等间距分布。
3.如权利要求1或2所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述锁紧槽为凹形槽。
4.如权利要求1所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述夹持臂靠近所述固定半环的一端的外壁上刻设有凹凸不平的纹路。
5.如权利要求1所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，两个所述固定半环的内壁上对应设置有用于夹紧所述样品固定器的弧形凹槽。
6.如权利要求5所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述固定半环包括半环形的夹持部和连接部，所述夹持部的半径大于所述连接部的半径以使所述夹持部相对所述连接部向内凹陷形成所述弧形凹槽，所述夹持部的内壁与所述样品固定器的外壁接触。
7.如权利要求5或6所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述弧形凹槽的内壁上设置有一弹性层。
8.如权利要求7所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述弹性层为橡胶。
9.如权利要求1所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述夹持臂、所述固定半环及所述锁紧环的材质均为金属。
10.如权利要求9所述的纳米探针台高低温测试辅助工具，其特征在于，所述夹持臂、所述固定半环及所述锁紧环的材质均为不锈钢。
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| CN202210120015.6A CN114544685A (zh) | 2022-01-27 | 2022-01-27 | 纳米探针台高低温测试辅助工具 |
Publications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4318543A1 (en) * | 2022-08-02 | 2024-02-07 | Leica Mikrosysteme GmbH | Sample holder for holding a sample carrier, handling tool and corresponding methods |
-
2022
- 2022-01-27 CN CN202210120015.6A patent/CN114544685A/zh active Pending
Cited By (2)
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| EP4318543A1 (en) * | 2022-08-02 | 2024-02-07 | Leica Mikrosysteme GmbH | Sample holder for holding a sample carrier, handling tool and corresponding methods |
| WO2024028223A1 (en) * | 2022-08-02 | 2024-02-08 | Leica Mikrosysteme Gmbh | Sample holder for holding a sample carrier, handling tool and corresponding methods |
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