CN114496871B - 固晶机 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种固晶机，包括：传送单元，用于支撑并移送基板至固晶位；进料单元，用于供给基板；晶片供给单元，用于供给晶片；晶环供给单元，用于供给满晶环，并回收空晶环；转塔机构，用于将供晶位的晶片转送至取晶位；穿刺机构，用于向下刺破供晶位上晶片处的蓝膜，以将晶片推顶至转塔机构；以及，固晶机构。本申请提供的固晶机，可以实现基板的自动供给、定点移动；另外，可以实现晶环的自动供给与回收，并且穿刺机构向下刺破蓝膜，以将晶片剥离至转塔机构，并转移到取晶位，以供固晶机构使用，可以良好避免取晶失败，缩短固晶机构移动晶片的行程与时间，提升晶片移动的平稳性，提升固晶精度与固晶效率。

Description

固晶机

技术领域

本申请属于固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种固晶机。

背景技术

固晶一般是通过固晶摆臂将晶圆上的晶片从供晶位吸取，再移动至基板上的固晶位，以将晶片精准安装在基板上，以实现固晶。晶圆一般安装在晶环中，通过晶环支撑晶圆。晶圆上晶片被取出后，形成空晶环。为便于描述，将存储有晶圆的晶环称为满晶环。晶片具有正面与背面，晶片的背面一般设有电极，以与基板相连，而晶圆上晶片的正面贴于蓝膜上。当前固晶机一般是使用取晶机构将晶环从晶环盒中取出，并放置至供晶机构，顶出机构向上顶动供晶机构中晶圆上的蓝膜，使蓝膜扩张，而使蓝膜上相邻晶片分离开，再从顶部吸取晶片，放置到翻转机构翻转晶片，然后固晶邦头从翻转机构吸取晶片，再安装在基板上，这种结构，需要翻转晶片，且固晶邦头移动距离远，晶片移动行程长，效率低。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种固晶机，以解决相关技术中存在的固晶机需要翻转晶片，且固晶邦头移动距离远，晶片移动行程长，效率低的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种固晶机，包括：

传送单元，用于支撑并移送基板至固晶位；

进料单元，用于向所述传送单元定位供给所述基板；

晶片供给单元，用于支撑晶环，并向供晶位供给晶片；

晶环供给单元，用于向所述晶片供给单元供给满晶环，并回收所述晶片供给单元中的空晶环；

转塔机构，用于将所述供晶位的晶片转送至取晶位；

穿刺机构，用于向下刺破所述供晶位上晶片处的蓝膜，以将所述晶片推顶至所述转塔机构；以及，

固晶机构，用于吸取所述取晶位的晶片，并移动至所述固晶位，以安装于所述基板上；

所述转塔机构设于所述穿刺机构与所述固晶机构之间，所述穿刺机构设于所述晶片供给单元的一侧，所述传送单元设于所述进料单元的一侧，所述进料单元位于所述固晶机构的下方。

本申请实施例提供的固晶机的有益效果在于：与现有技术相比，本申请实施例的固晶机，通过进料单元向传送单元自动供给基板，通过传送单元带动基板上晶片安装位依次到达供晶位固晶；设置晶环供给单元，以自动供给满晶环和回收空晶环，设置晶片供给单元来向供晶位提供晶片，设置穿刺机构，向下刺破蓝膜，以将供晶位的晶片从蓝膜上剥离，以便转塔机构接收，可以避免取晶失败；转塔机构将晶片从供晶位转送到取晶位，这样固晶机构可以直接从转塔机构吸取晶片，以移动至固晶位安装在基板上，无需翻转晶片，并且可以缩短固晶机构移动晶片的行程与时间，从而可以提升晶片移动的平稳性，并且可以提升固晶精度与固晶效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的固晶机的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的固晶机的部分结构示意图；

图3为本申请实施例提供的进料单元的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的载料移动单元的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的推料机构的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的传送单元的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的传送单元的***结构示意图；

图8为本申请实施例提供的夹板机构的***结构示意图；

图9为本申请实施例提供的晶环供给单元的结构示意图；

图10为本申请实施例提供的上料机构支撑晶环盒时的结构示意图；

图11为本申请实施例提供的取料机构的结构示意图；

图12为本申请实施例提供的载移平台的结构示意图；

图13为本申请实施例提供的取送机构的结构示意图；

图14为本申请实施例提供的晶片供给单元的结构示意图；

图15为图14中晶框旋转机构、升降机构和横移机构的结构示意图；

图16为图15中晶框旋转机构的结构示意图；

图17为本申请实施例提供的穿刺机构的结构示意图；

图18为本申请实施例提供的穿刺机构的***结构示意图；

图19为本申请实施例提供的供晶摄像单元的结构示意图；

图20为图2中固晶机构与转塔机构安装于机架上的结构示意图；

图21为图20中转塔机构的结构示意图；

图22为图21中晶片座部分的结构示意图；

图23为本申请实施例提供的固晶机构的结构示意图；

图24为本申请实施例提供的平面移动模块的结构示意图。

其中，图中各附图主要标记：

1000-固晶机；

100-进料单元；11-安装台；12-载料移动单元；121-支撑台；1211-导槽；122-带传送模组；1221-定位挡板；1222-转动轮；1223-引导轮；1224-传送带；1225-传送电机；1226-抵紧轮；1227-调节板；1228-托轮；1229-定位板；123-定位机构；1231-定位块；1232-升降驱进器；1233-竖向滑轨；124-固定架；13-推料机构；131-推块；1311-推行座；132-推行滑座；133-导行轨；134-支撑板；135-主驱动轮；136-从带动轮；137-移动带；138-推进电机；139-夹持块。

200-传送单元；210-夹板机构；211-支撑底板；2111-滑槽；212-滚轮组件；2121-滚轮支座；21211-滚轮座；2122-滚轮；2123-定位座；2124-升降行进器；2125-导轨组件；213-夹持组件；2131-压板；2132-夹持支座；2133-引导挡板；2134-升降直行器；214-支撑托板；2141-吸附孔；215-定位组件；2151-挡块；2152-升降器；2153-竖向滑座；2154-滑动轨；2155-安装支架；220-平面移动台；221-纵移模块；2211-纵向底板；22111-纵向槽；2212-纵向滑轨；2213-纵向滑块；2214-纵移驱动组件；22141-纵向丝杆；22142-纵移螺母；22143-旋转支座；22144-纵移驱动电机；22145-纵移联轴器；222-横移模块；2221-横向底板；22211-横向槽；2222-横向滑轨；2223-横向滑块；2224-横移驱动组件；22241-横向丝杆；22242-横移螺母；22243-转动支座；22244-横移驱动电机；22245-横移联轴器。

300-晶环供给单元；310-上料机构；311-定位托板；312-升降滑板；313-直线推进模块；314-固定座；315-滑行块；316-竖向导轨；320-取料机构；321-取料支座；322-滑动导轨；323-滑动块；324-滑动推板；325-直线推行模块；326-活动夹；327-夹持驱动器；328-连接支板；330-载移平台；331-托盘；3311-容置槽；332-直线驱行模块；3321-载移底板；3322-载移导轨；3323-载移滑块；3324-载移夹块；3325-载移带；3326-载移驱动电机；3327-主驱轮；3328-从驱轮；340-取送机构；341-抓取组件；3411-吸盘；3412-支撑盘；342-连接架；343-升降座；344-升降驱动模块；345-安装滑座；346-直线行进模块；347-行进支座；348-感应器；

400-晶片供给单元；410-晶框旋转机构；411-旋转晶框；4111-外齿；412-承载板；4121-开口；413-旋转驱动模组；4131-旋转轮；4132-旋转驱动电机；4133-支撑座；4134-张紧轮；4135-轮座；420-移动平台；421-升降机构；4211-升降板；4212-连接板；4213-升降滑块；4214-竖向轨；4215-升降支座；4216-直线驱动模块；422-横移机构；4221-横移支座；42211-凹槽；4222-横向轨；4223-横移滑块；4224-直线推动模块；423-纵移机构；4231-纵移支架；4232-纵向轨；4233-纵移滑块；4234-纵移滑板；4235-直线进行模块。

500-穿刺机构；511-顶针；512-针座；513-支撑臂；5131-减重通孔；514-升降推动器；515-安装支座；516-升降滑轨；517-滑动座；518-弹性件；520-平面移动模块；521-第一移动模组；5211-第一滑座；5212-第一连杆；52121-第一竖向槽；5213-第一导轨；5214-第一移动组件；52141-第一驱动电机；52142-第一偏心轮；522-第二移动模组；5221-连接座；5222-第二滑座；5223-第二导轨；5224-第二连杆；52241-第二竖向槽；5225-第二移动组件；52251-第二驱动电机；52252-第二偏心轮；530-升降模块；531-调节座；532-安装座；533-直线驱动器。

600-转塔机构；61-晶片座；611-吸头；6111-吸气孔；612-吸附座；613-吸气接头；62-转移模组；621-转塔臂；6211-减重孔；622-转动座；623-旋转驱动器；624-散热器；625-定位支架；

700-固晶机构；71-吸嘴；72-固晶摆臂；721-减重开孔；73-旋转座；74-固晶电机；75-固晶支架；76-竖直轨；77-升降推行器；78-调节组件；781-主动轮；782-从动轮；783-同步带；784-旋转电机；79-散热件；

800-机架；81-安装板；82-调整机构；821-滑动板；822-升降驱动器；823-横移推动器；824-支撑架；

900-台架；91-供晶摄像单元；911-供晶摄像模组；912-升降驱行器；913-纵移调节器；914-纵移支板；92-取晶摄像模组；93-转送摄像模组；94-固晶摄像模组；95-检测摄像模组；96-晶环盒；97-晶环；971-满晶环；972-空晶环。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”、“一些实施例”或“实施例”意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征、结构或特性。

为了方便描述，定义空间上相互垂直的三个坐标轴分别为X轴、Y轴和Z轴，同时，沿X轴的方向为纵向，沿Y轴的方向为横向，沿Z轴方向为竖向；其中X轴与Y轴为同一水平面相互垂直的两个坐标轴，Z轴为竖直方向的坐标轴；X轴、Y轴和Z轴位于空间相互垂直有三个平面分别为XY面、YZ面和XZ面，其中，XY面为水平面，XZ面和YZ面均为竖直面，且XZ面与YZ面垂直。空间中三轴为X轴、Y轴和Z轴，沿空间上三轴移动指沿空间上相互垂直的三轴移动，特指在空间上沿X轴、Y轴和Z轴移动；而平面移动，则为在XY面移动。

请参阅图1及图2，现对本申请提供的固晶机1000进行说明。所述固晶机1000，包括传送单元200、进料单元100、晶片供给单元400、晶环供给单元300、转塔机构600、穿刺机构500和固晶机构700。转塔机构600设于穿刺机构500与固晶机构700之间，穿刺机构500设于晶片供给单元400的一侧，传送单元200设于进料单元100的一侧，进料单元100位于固晶机构700的下方。传送单元200用于支撑并移送基板至固晶位。进料单元100用于向传送单元200定位供给基板。晶片供给单元400用于支撑晶环97，并向供晶位供给晶片。晶环供给单元300用于向晶片供给单元400供给满晶环971，并回收晶片供给单元400中的空晶环972。转塔机构600用于将供晶位的晶片转送至取晶位。穿刺机构500，于向下刺破供晶位上晶片处的蓝膜，以将晶片推顶至转塔机构600。固晶机构700用于吸取取晶位的晶片，并移动至固晶位，以安装于基板上。

在使用时，基板置于进料单元100，进料单元100将基板传送至传送单元200，传送单元200移动基板，使基板上需要安装晶片的位置依次到过固晶位，以进行固晶。晶环供给单元300将安装有晶圆的晶环97(即满晶环971)传送到晶片供给单元400，并将晶片供给单元400中的空晶环972(已经取出晶片的晶环97)回收。晶片供给单元400将晶环97中的晶片依次传送至供晶位，穿刺机构500将供晶位上蓝膜刺破，以向下顶出晶片，使晶片落至转塔机构600，转塔机构600将供晶位的晶片接收并传送到取晶位，固晶机构700从吸取转塔机构600传送到取晶位的晶片，并移动至固晶位，以将晶片安装在基板上。从而无需翻转晶片，并且通过转塔机构600的转送，可以缩短固晶机构700移动晶片的行程，提升晶片移动的稳定性、精度与效率。使用穿刺机构500刺破蓝膜以剥离晶片，可以保证晶片准确安放于转塔机构600，避免取晶失败的问题发生。

本申请实施例提供的固晶机1000，与现有技术相比，本申请实施例的固晶机1000，通过进料单元100向传送单元200自动供给基板，通过传送单元200带动基板上晶片安装位依次到达供晶位固晶；设置晶环供给单元300，以自动供给满晶环971和回收空晶环972，设置晶片供给单元400来向供晶位提供晶片，设置穿刺机构500，向下刺破蓝膜，以将供晶位的晶片从蓝膜上剥离，以便转塔机构600接收，可以避免取晶失败；转塔机构600将晶片从供晶位转送到取晶位，这样固晶机构700可以直接从转塔机构600吸取晶片，以移动至固晶位安装在基板上，无需翻转晶片，并且可以缩短固晶机构700移动晶片的行程与时间，从而可以提升晶片移动的平稳性，并且可以提升固晶精度与固晶效率。

在一个实施例中，固晶机1000还包括台架900，传送单元200、晶片供给单元400、晶环供给单元300、转塔机构600、穿刺机构500和固晶机构700支撑在台架900上，以方便安装使用。

在一个实施例中，请参阅图3至图5，进料单元100，包括安装台11、载料移动单元12和推料机构13。载料移动单元12和推料机构13安装于安装台11上，以便组装。载料移动单元12，用于定位支撑基板，并传送出定位后的基板，也就是说，当基板置于载料移动单元12上后，载料移动单元12会将支撑的基板进行定位，再将基板传送到传送单元200，以实现精准传送。推料机构13，用于将基板推送定位至载料移动单元12，也就是说，基板在放于载料移动单元12上，或基板供给到载料移动单元12上时，推料机构13推动基板在载料移动单元12上移动，以对基板进行定位，进而使于载料移动单元12精准传送出基板，保证基板进料精准。

在一个实施例中，请参阅图3和图4，载料移动单元12包括两个支撑台121、两个带传送模组122和定位机构123。两个支撑台121分别安装于安装台11的两侧，这样两个支撑台121之间会形成安装空间，从而可以将推料机构13置于该安装空间，并且便于推料机构13推动支撑在两个带传送模组122上的基板。两个带传送模组122，分别安装于两个支撑台121上。在支撑基板时，基板的两侧分别支撑在两个带传送模组122上，从而通过两个带传送模组122配合支撑住基板；另外，在进料时，两个带传送模组122运行以传送基板。定位机构123支撑于安装台11上，且定位机构123设于带传送模组122的出料端。定位机构123，用于将基板止挡定位于两个带传送模组122的出料端，也就是说，当基板置于两个带传送模组122上时，推料机构13推动基板在两个带传送模组122上向定位机构123移动，而定位机构123止挡基板，以实现将基板定位，定位精准。

在一个实施例中，请参阅图3和图4，定位机构123包括定位块1231和升降驱进器1232，升降驱进器1232支撑于安装台11上，定位块1231安装在升降驱进器1232上，通过升降驱进器1232来推动定位块1231升降，进而推料机构13推动基板在带传送模组122上移动时，升降驱进器1232可以推动定位块1231上升，以止挡定位基板；而当基板需要传送出时，升降驱进器1232带动定位块1231下降，以便带传送模组122将基板传送出。

在一个实施例中，升降驱进器1232为气缸，结构简单，安装方便。可以理解地，升降驱进器1232也可以是直线电机等。

在一个实施例中，定位机构123还包括竖向滑轨1233，竖向滑轨1233竖直设置，定位块1231滑动安装于竖向滑轨1233上，以引导定位块1231平稳升降移动。

在一个实施例中，载料移动单元12还包括固定架124，固定架124安装于一个支撑台121上，定位机构123安装于固定架124上。设置固定架124，以方便安装定位机构123。

在上述实施例中，竖向滑轨1233安装在固定架124上。升降驱进器1232也安装有固定架124上，以便于组装。

在一个实施例中，各带传送模组122包括定位挡板1221、转动轮1222、若干引导轮1223、传送带1224和传送电机1225。定位挡板1221安装于对应支撑台121上，通过支撑台121来支撑住定位挡板1221。转动轮1222转动安装于定位挡板1221上；若干引导轮1223转动安装于定位挡板1221上；传送带1224连接转动轮1222与若干引导轮1223；传送电机1225安装于定位挡板1221上；转动轮1222与传送电机1225相连。传送电机1225驱动转动轮1222转动，以带动传送带1224转动，以便传送基板。设置若干引导轮1223，以便支撑传送带1224。

在一个实施例中，各带传送模组122还包括抵紧轮1226和调节板1227，抵紧轮1226安装在调节板1227上，并且抵紧轮1226可以在调节板1227上转动，而调节板1227安装在定位挡板1221上，这样可以通过调整调节板1227的高度位置，进而调节抵紧轮1226的位置，以张紧传送带1224。

具体地，可以在调节板1227上设置长条孔，使用螺栓穿过长条孔安装在定位挡板1221上，通过松动螺栓，以调整调节板1227的高度。可以理解地，也可以将调节板1227滑动安装在定位挡板1221上，而在定位挡板1221上安装压弹，以抵压调节板1227，进而使调节板1227上的抵紧轮1226抵压传送带1224。

在一个实施例中，各带传送模组122还包括若干托轮1228，各托轮1228转动安装于定位挡板1221上，托轮1228用于支撑传送带1224，避免传送带1224中部下沉弯曲，以便平稳、准确传送基板。可以理解地，也可以设置托条，以支撑传送带1224，避免传送带1224的中部下沉弯曲，进而平稳支撑基板。

在一个实施例中，各带传送模组122还包括定位板1229，定位板1229滑动安装支撑台121上，定位挡板1221安装于定位板1229上，各支撑台121上设有引导定位板1229移动的导槽1211，导槽1211沿垂直于传送带1224的传送方向延伸设置，设置定位板1229，以便将定位挡板1221锁定在支撑台121上，便于固定定位挡板1221，进而固定住带传送模组122。在支撑台121上设置导槽1211，可以将引导板与导槽1211配合连接，从而可以引导定位板1229移动，进而带动定位挡板1221移动，以调节两个定位挡板1221之间的距离，进而调节两个带传送模组122之间的距离，进而适应不同宽度的基板，提升适应性。另外，在支撑台121上设置导槽1211，而将定位板1229与导槽1211滑动连接，可以降低高度，进而可以将基板的重心设置更低，以平稳移动基板。可以理解地，也可以在支撑台121上设置轨道，而将定位板1229滑动安装在轨道上，以通过轨道来引导定位板1229移动。

在一个实施例中，支撑台121上设有多条导槽1211，多条导槽1211平行且间隔设置，以更平稳引导定位板1229移动。

在一个实施例中，请参阅图4和图5，推料机构13包括推块131、支撑板134、导行轨133、推行滑座132、推进电机138、主驱动轮135、从带动轮136、移动带137和夹持块139，推块131用于推顶基板。设置推块131来推顶基板，以便保护基板，并且可以方便更换，便于维修，而且可以更精准推动基板，以便对基板进行定位。支撑板134安装在安装台11上，以通过安装台11来支撑住支撑板134。导行轨133安装在支撑板134上，以通过支撑板134来支撑住导行轨133。导行轨133是沿载料移动单元12传送的方向延伸设置在支撑板134上。推行滑座132滑动安装在导行轨133上，推块131安装在推行滑座132上，以通过推行滑座132来支撑推块131。导行轨133用于引导推行滑座132移动，进而引导推块131移动。推进电机138安装在支撑板134上，主驱动轮135与推动电机相连，以将主驱动轮135转动支撑在支撑板134上，从带动轮136转动支撑在支撑板134上，移动带137连接主驱动轮135与从带动轮136，夹持块139与移动带137固定相连，并且推行滑座132与夹持块139相连，从而在推动电机驱动主驱动轮135转动时，可以带动移动带137移动，进而经夹持块139带动推行滑座132及推块131直线移动，以实现推动基板。该推料机构13结构简单，组装方便，成本低。可以理解地，推料机构13也可以使用丝杆螺母机构、齿轮齿条机构等线性机构。

在一个实施例中，推料机构13还包括推行座1311，推行座1311安装在推行滑座132上，推块131安装在推行座1311上，以调整推块131的高度，便于组装与调试。

在一个实施例中，请参阅图6至图8，传送单元200包括夹板机构210和平面移动台220。夹板机构210安装于平面移动台220上，通过平面移动台220驱动夹板机构210于平面上移动，进而带动基板移动。夹板机构210包括支撑底板211、两套滚轮组件212和两套夹持组件213。其中，两套滚轮组件212分别安装于支撑底板211的相对两侧，两套夹持组件213与两套滚轮组件212一一对应，两套夹持组件213分别安装在支撑底板211的相对两侧。两套滚轮组件212用于配合支撑基板的相对两侧。两套夹持组件213用于将基板的相对两侧抵压固定于对应滚轮组件212上，以使各夹持组件213与对应滚轮组件212配合夹持固定基板的侧边。支撑底板211安装于平面移动台220上，进而将该夹板机构210安装在平面移动台220上。

在使用时，将基板传送至夹板机构210，并使基板的相对两侧分别支撑在两套滚轮组件212上，两套夹持组件213将基板的两侧抵压在对应的滚轮组件212上，以夹持固定住基板。以便平面移动台220驱动夹板机构210，以带动基板在平面上移动。由于使用滚轮组件212来支撑住基板，可以将基板相对支撑底板211的高度设置较低，以降低基板的重心，并且使用夹持组件213与滚轮组件212配合夹持固定基板，重量更轻，结构更为简化与轻巧，平面移动台220可以更平稳与精确地驱动基板移动，便于基板的快速移动与定位。

在一个实施例中，请参阅图6至图8，滚轮组件212包括滚轮支座2121和多个滚轮2122，多个滚轮2122分别安装在滚轮支座2121上，滚轮支座2121上设有多个滚轮座21211，以支撑滚轮2122，而滚轮支座2121支撑于支撑底板211上，进而将多个滚轮2122支撑在支撑底板211上。多个滚轮座21211沿滚轮支座2121的长度方向间隙设置，而各滚轮座21211上转动安装有滚轮2122，从而将多个滚轮2122呈排设置在滚轮支座2121上，以更好地支撑住基板的侧边。在滚轮支座2121上设置滚轮座21211，以支撑滚轮2122，结构简单，组装方便，而且安装滚轮支座2121安装在支撑底板211上，即可以将多个滚轮2122支撑在支撑底板211上，安装方便。

在一个实施例中，滚轮组件212还包括定位座2123、多个导轨组件2125和升降行进器2124，各导轨组件2125连接定位座2123与滚轮支座2121，导轨组件2125用于引导滚轮支座2121于定位座2123上升降移动，设置多个导轨组件2125，可以更平稳引导滚轮支座2121于定位座2123上升降移动。升降行进器2124安装于定位座2123上，升降行进器2124用于推动滚轮支座2121升降移动。定位座2123安装于支撑底板211上。通过升降行进器2124驱动定位座2123升降移动，进而可以带动各滚轮2122升降移动，以便与夹持组件213配合夹持基板，以保证基板夹持更稳定。

在一个实施例中，升降行进器2124为气缸，使用气缸，体积小，重量轻，控制方便。可以理解地，升降行进器2124也可以为直线电机等线性模块。

在一个实施例中，升降行进器2124为多个，以配合推动滚轮支座2121升降，这样可以使用体积尺寸更小的升降行进器2124，以减小夹板机构210的厚度，进而降低基板高度，以将基板的重心高度降低。

在一个实施例中，导轨组件2125可以为升降滑轨516滑块组件。当然，导轨组件2125也可以为交叉导轨等。

在一个实施例中，定位座2123滑动安装于支撑底板211上，支撑底板211上开设有若干滑槽2111，滑槽2111用于引导定位座2123在支撑底板211上移动，各滑槽2111垂直于滚轮支座2121的长度方向设置，这样可以调节定位座2123在支撑底板211上的位置，进而调节两个滚轮组件212的距离，以适应不同尺寸的基板。

在一个实施例中，夹持组件213包括压板2131、夹持支座2132和升降直行器2134。压板2131用于将基板抵压于对应滚轮组件212上。夹持支座2132支撑压板2131，也就是说，压板2131安装在夹持支座2132上，通过夹持支座2132来支撑住压板2131。升降直行器2134支撑于支撑底板211上。升降直行器2134驱动夹持支座2132升降移动，以带动压板2131升降移动，从而升降直行器2134驱动压板2131上升，以离开对应滚轮组件212时，可以向滚轮组件212上供给基板，或将滚轮组件212上的基板取出；而向滚轮组件212上供给基板后，升降直行器2134驱动压板2131下降，以将基板的侧边抵压在对应的滚轮组件212上，以固定基板。

在一个实施例中，升降直行器2134为气缸，使用气缸，体积小，重量轻，控制方便。可以理解地，升降直行器2134也可以为直线电机等线性模块。

在一个实施例中，升降直行器2134为多个，以配合推动滚轮支座2121升降，这样可以使用体积尺寸更小的升降直行器2134，以减小夹板机构210的厚度，进而降低基板高度，以将基板的重心高度降低。

在一个实施例中，压板2131为多个，多个压板2131间隔设置，以便抵压基板。设置多个压板2131，可以将各压板2131制作较小，减轻重量，而且覆盖面积更大。

在一个实施例中，各压板2131设置呈U型，以便安装固定。

在一个实施例中，夹持组件213还包括引导挡板2133，安装于支撑底板211上的引导挡板2133，夹持支座2132滑动支撑于引导挡板2133上，升降直行器2134安装于引导挡板2133上。设置引导挡板2133，以支撑升降直行器2134与夹持支座2132，并且可以引导夹持支座2132升降移动，并且将引导挡板2133安装在支撑底板211上，即可将夹持组件213安装在支撑底板211上，组装方便。

在一个实施例中，定位座2123滑动安装于支撑底板211上时，引导挡板2133也滑动安装在支撑底板211上，滑槽2111也用于引导引导挡板2133在支撑底板211上移动，这样可以调节定位座2123及对应引导挡板2133在支撑底板211上的位置，进而调节两个滚轮组件212间的距离及调节两个夹持组件213的距离，以适应不同尺寸的基板。

在一个实施例中，请参阅图7和图8，夹板机构210还包括支撑托板214，支撑托板214支撑于支撑底板211上，支撑托板214用于支撑基板。设置支撑托板214，当基板的两侧支撑在滚轮组件212上时，支撑托板214可以拖住基板，以更稳定支撑基板，并且可以便于向基板上固晶。

在一个实施例中，支撑托板214上设有多个吸附孔2141，在支撑托板214上设置吸附孔2141，当基板支撑在支撑托板214上时，可以通过吸附孔2141吸附固定住基板，以更平稳带动基板移动，并精确定位基板。

在一个实施例中，支撑托板214的相对两侧可以支撑在两个定位座2123上，以便更好的与滚轮2122持平对位，以平稳支撑基板。

在一个实施例中，请参阅图6至图8，夹板机构210还包括定位组件215，定位组件215用于止挡定位支撑于滚轮组件212上的基板，也就是说，当将基板传送至夹板机构210的两套滚轮组件212上时，定位组件215止挡基板，以对基板定位在滚轮组件212。

在一个实施例中，定位组件215包括挡块2151、升降器2152和安装支架2155，升降器2152安装在安装支架2155上，以通过安装支架2155支撑住升降器2152，挡块2151与升降器2152相连，通过升降器2152驱动挡块2151升降移动，从而当挡块2151上升时，可以止挡定位基板，而挡块2151下降时，基板可以从挡块2151上方移动，以移出滚轮组件212。安装支架2155安装于支撑底板211一端，以将该定位组件215安装在支撑底板211的一端。

在一个实施例中，升降器2152为气缸，使用气缸，体积小，重量轻，控制方便。可以理解地，升降器2152也可以为直线电机等线性模块。

在一个实施例中，定位组件215还包括滑动轨2154和竖向滑座2153，滑动轨2154竖直设置，滑动轨2154安装在安装支架2155上，竖向滑座2153滑动安装在滑动轨2154上，挡块2151安装在竖向滑座2153上，升降器2152与竖向滑座2153相连，通过升降器2152推动竖向滑座2153升降，以带动挡块2151升降移动。设置滑动轨2154和竖向滑座2153，方便支撑挡块2151，并便于引导挡块2151平稳升降。

在一个实施例中，平面移动台220包括横移模块222和纵移模块221，支撑底板211安装于横移模块222上，横移模块222安装于纵移模块221上。从而通过横移模块222驱动支撑底板211横向移动，进而带动基板横向移动。纵移模块221驱动横移模块222纵向移动，进而带动夹板机构210及基板纵向移动，通过设置横移模块222和纵移模块221，以实现配合驱动基板于平面上相互垂直的两个方向移动，进而驱动基板于平面上移动。

在一个实施例中，请参阅图6和图7，纵移模块221包括纵向底板2211、多个纵向滑轨2212、多个纵向滑块2213和纵移驱动组件2214，纵向底板2211的长度方向沿纵向设置。多个纵向滑轨2212平行设置于纵向底板2211上，各纵向滑轨2212沿纵向延伸设置。各纵向滑轨2212上分别安装有纵向滑块2213，各纵向滑块2213与横移模块222相连，以通过多个纵向滑块2213配合支撑横移模块222，并引导横移模块222沿纵向平稳移动。纵移驱动组件2214安装在纵向底板2211上，并且纵移驱动组件2214与横移模块222相连，以驱动横移模块222沿纵向移动。

在一个实施例中，纵向底板2211上开设有纵向槽22111，纵移驱动组件2214安装在纵向槽22111中，以减小该纵移模块221的厚度，进而可以降低基板的高度，以更平稳驱动横移模块222及基板纵向移动。

在一个实施例中，纵移驱动组件2214包括纵移螺母22142、纵向丝杆22141、两个旋转支座22143、纵移驱动电机22144和纵移联轴器22145，两个旋转支座22143安装在纵向底板2211上，两个旋转支座22143转动支撑纵向丝杆22141，纵向丝杆22141沿纵向设置，纵移螺母22142安装在纵向丝杆22141上，纵向丝杆22141通过纵移联轴器22145与纵移驱动电机22144相连，从而纵移驱动电机22144驱动纵向丝杆22141转动，以带动纵移螺母22142纵向移动，纵移螺母22142与横移模块222相连，进而带动横移模块222纵向移动，该结构驱动力大，可以平稳支撑与推动横移模块222及基板移动。可以理解地，纵移驱动组件2214也可以使用直线电机等线性模块。

在一个实施例中，请参阅图6和图7，横移模块222包括横向底板2221、多个横向滑轨2222、多个横向滑块2223和横移驱动组件2224，横向底板2221的长度方向沿横向设置。多个横向滑轨2222平行设置于横向底板2221上，各横向滑轨2222沿横向延伸设置。各横向滑轨2222上分别安装有横向滑块2223，各横向滑块2223与横移模块222相连，以通过多个横向滑块2223配合支撑横移模块222，并引导横移模块222沿横向平稳移动。横移驱动组件2224安装在横向底板2221上，并且横移驱动组件2224与支撑底板211相连，以驱动支撑底板211沿横向移动。

在一个实施例中，横向底板2221上开设有横向槽22211，横移驱动组件2224安装在横向槽22211中，以减小该横移模块222的厚度，进而可以降低基板的高度，以更平稳驱动夹板机构210及基板横向移动。

在一个实施例中，横移驱动组件2224包括横移螺母22242、横向丝杆22241、两个转动支座22243、横移驱动电机22244和横移联轴器22245，两个转动支座22243安装在横向底板2221上，两个转动支座22243转动支撑横向丝杆22241，横向丝杆22241沿横向设置，横移螺母22242安装在横向丝杆22241上，横向丝杆22241通过横移联轴器22245与横移驱动电机22244相连，从而横移驱动电机22244驱动横向丝杆22241转动，以带动横移螺母22242横向移动，横移螺母22242与支撑底板211相连，进而带动夹板机构210横向移动。可以理解地，横移驱动组件2224也可以使用直线电机等线性模块。

在一个实施例中，请参阅图2及图9，晶环供给单元300，包括上料机构310、载移平台330、取料机构320和取送机构340，上料机构310与取料机构320分别设于载移平台330的相对两侧，载移平台330设于取送机构340的下方。上料机构310用于支撑晶环盒96并驱动晶环盒96升降移动。也就是说，存储有晶环97的晶环盒96安装在上料机构310上，而由于晶环盒96中一般会存放多片晶环97，从而通过上料机构310驱动晶环盒96升降移动，以便取料机构320依次取出晶环盒96中各满晶环971，而将空晶环972放入晶环盒96中的空位，以回收空晶环972。载移平台330用于带动至少两个晶环97同步移动。载移平台330具有至少两个容置槽3311，容置槽3311用于存储晶环97。这样载移平台330可以同时支撑至少一个空晶环972与至少一个满晶环971。

取料机构320用于将晶环盒96中的满晶环971取放至载移平台330，并将载移平台330中的空晶环972移送至晶环盒96。由于载移平台330上设有至少两个容置槽3311，以容置晶环97；这样可以在载移平台330上支撑至少一个空晶环972，则取料机构320可以将晶环盒96中的满晶环971取出并放置到载移平台330的一个空的容置槽3311中，并且取料机构320可以将载移平台330上的空晶环972取出并放置到晶环盒96，从而晶环盒96处取放晶环97时，无需等待。

取送机构340用于将供晶位的空晶环972移送至载移平台330，并将载移平台330上的满晶环971移送至供晶位。由于载移平台330上设有至少两个容置槽3311，以容置晶环97；这样可以在载移平台330上支撑至少一个满晶环971，则取送机构340可以将供晶位的空晶环972取出并放置到载移平台330的一个空的容置槽3311中，并且取送机构340可以将载移平台330上的满晶环971取出并放置到供晶位，从而供晶位处取放晶环97时，无需等待。

取送机构340取出载移平台330上的满晶环971后，载移平台330就可以带动空晶环972至上料机构310处，以便取料机构320将空晶环972放置到晶环盒96，或取料机构320将满晶环971取出放置到载移平台330，而在取料机构320将满晶环971放置到载移平台330，并取出载移平台330上的空晶环972后，载移平台330就可以带动满晶环971至取送机构340处，以便取送机构340将空晶环972放置到载移平台330，或取送机构340将空晶环972取出放置到载移平台330，无需等待时间，效率高。

在一个实施例中，载移平台330带动空晶环972移动至上料机构310处时，取料机构320将满晶环971放置到载移平台330，并取出载移平台330上的空晶环972后；载移平台330就可以带动满晶环971至取送机构340处，取送机构340将供晶位的空晶环972放置到载移平台330，取送机构340取出载移平台330上的满晶环971，之后，载移平台330再带动空晶环972移动至上料机构310处，如此循环，效率高。

在一个实施例中，请参阅图9和图12，载移平台330包括托盘331和直线驱行模块332，各容置槽3311设于托盘331上，以便将晶环97支撑在托盘331上。托盘331安装在直线驱行模块332上，直线驱行模块332用于驱动托盘331往返于取料机构320与取送机构340，进而带动托盘331上的晶环97移动。

在一个实施例中，托盘331上设有两个容置槽3311，以减小托盘331的体积，便于灵活驱动托盘331移动。

在一个实施例中，两个容置槽3311沿托盘331移动方向间隔设置，这样可以更平稳驱动托盘331移动。

在一个实施例中，直线驱行模块332包括载移底板3321、载移导轨3322、载移滑块3323、载移驱动电机3326、主驱轮3327、从驱轮3328、载移带3325和载移夹块3324，托盘331安装于载移滑块3323上，通过载移滑块3323来支撑托盘331。载移导轨3322安装在载移底板3321上，以通过载移底板3321来支撑住载移导轨3322。载移滑块3323滑动安装在载移导轨3322上，通过载移导轨3322来支撑与引导载移滑块3323移动，进而支撑与引导托盘331移动。主驱轮3327和从驱轮3328分别设在载移底板3321的两端，通过主驱轮3327和从驱轮3328来张紧载移带3325，而主驱轮3327安装在载移驱动电机3326上，载移驱动电机3326安装在载移底板3321的一端，从而将主驱轮3327支撑在载移底板3321的一端，载移夹块3324与托盘331相连，并且载移夹块3324夹持固定载移带3325，从而将载移带3325与托盘331相连，这样载移驱动电机3326驱动主驱轮3327转动，以带动载移带3325移动，从而拉动载移夹块3324直线移动，进而带动托盘331移动。使用载移带3325，结构简单，组装方便。可以理解地，直线驱行模块332也可以使用丝杆螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机等线性模块。

在一个实施例中，载移导轨3322为至少两根，并且多根载移导轨3322是平行设置，各载移导轨3322上分别安装有载移滑块3323，各载移滑块3323与托盘331相连，以便更平稳支撑托盘331，并且引导托盘331移动。

在一个实施例中，请参阅图9和图11，取料机构320包括活动夹326、夹持驱动器327、滑动推板324、滑动块323、直线推行模块325、滑动导轨322和取料支座321。直线推行模块325安装于取料支座321上，滑动导轨322安装在取料支座321上，通过取料支座321来支撑住直线推行模块325和滑动导轨322。滑动块323安装在滑动导轨322上，以通过滑动导轨322来引导滑动块323移动。夹持驱动器327安装于滑动推板324上，通过滑动推板324来支撑夹持驱动器327。夹持驱动器327与活动夹326相连，以驱动活动夹326，以便活动夹326夹持晶环97。直线推行模块325的驱动端与滑动推板324相连，以便直线推行模块325的驱动端驱动滑动推板324沿滑动导轨322移动，进而带动活动夹326移动，以实现从晶环盒96中取出满晶环971，以及将空晶环972放置于晶环盒96。该取料机构320，结构简单，安装方便，成本低。

在一个实施例中，直线推行模块325为气缸，使用气缸，结构简单，控制方便，成本要低。可以理解地，直线推行模块325也可以使用丝杆螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机等线性模块。

在一个实施例中，滑动推板324上安装有连接支板328，连接支板328与直线推行模块325的驱动端相连。设置连接支板328，以方便将气缸的驱动端与滑动推板324相连，连接方便。

在一个实施例中，夹持驱动器327可以为气缸，控制方便，体积小。可以理解地，夹持驱动器327也可以为丝杆螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机等线性模块。

在一个实施例中，请参阅图9和图10，上料机构310包括定位托板311、升降滑板312、滑行块315、竖向导轨316、直线推进模块313和固定座314，直线推进模块313和竖向导轨316安装于固定座314上，通过固定座314来支撑直线推进模块313和竖向导轨316。滑行块315安装于竖向导轨316上，以通过竖向导轨316引导滑行块315升降。滑行块315与升降滑板312相连，以通过滑行块315来支撑升降滑板312。升降滑板312与定位托板311相连，以通过升降滑板312来支撑定位托板311。定位托板311用于支撑晶环盒96，也就是说，晶环盒96置于定位托板311上，通过直线推进模块313来驱动升降滑板312升降移动，进而带动定位托板311及晶环盒96升降，以实现晶环97供应。

在一个实施例中，直线推进模块313为丝杆螺母机构，使用丝杆螺母机构，驱动力大，运行平稳。可以理解地，直线推进模块313也可以使用齿轮齿条机构、直线电机等线性模块。

在一个实施例中，请参阅图9和图13，取送机构340包括抓取组件341、连接架342、升降座343、升降驱动模块344、安装滑座345、直线行进模块346和行进支座347。抓取组件341用于抓取晶环97。抓取组件341安装在连接架342上，通过连接架342来支撑抓取组件341，并带动抓取组件341移动。连接架342安装在升降座343上，通过升降座343来支撑住连接架342。升降座343与升降驱动模块344相连，通过升降驱动模块344驱动升降座343升降移动，进而带动抓取组件341升降移动。升降驱动模块344安装在安装滑座345，通过安装滑座345来支撑住升降驱动模块344。安装滑座345与直线行进模块346相连，以通过直线行进模块346驱动安装滑座345往返于供晶位与载移平台330，以实现将供晶位上的空晶环972抓取放置到载移平台330上，而将载移平台330上的满晶环971移动到供晶位。

在一个实施例中，抓取组件341包括多个吸盘3411和支撑盘3412，多个吸盘3411安装在支撑盘3412上，通过支撑盘3412来支撑住多个吸盘3411，以便多个吸盘3411配合吸附晶环97，以抓取晶环97。支撑盘3412与连接架342相连，以将各吸盘3411与连接架342相连。可以理解地，抓取组件341也可以使用机械手、气缸夹、吸附板等结构。

在一个实施例中，直线行进模块346横跨载移平台330设置，以方便驱动升降驱动模块344、升降座343、连接架342及抓取组件341于载移平台330上移动，以便抓取晶环97。

在一个实施例中，取送机构340还包括感应器348，感应器348安装于支撑盘3412上，感应器348感应晶环97，以便对多个吸盘3411进行定位，便于吸取晶环97。

在一个实施例中，支撑盘3412的尺寸与晶环97尺寸相等或相近，以便定位多个吸盘3411，也方便吸盘3411吸取晶环97。

在一个实施例中，升降驱动模块344为丝杆螺母机构，使用丝杆螺母机构，驱动力大，运行平稳。可以理解地，升降驱动模块344也可以使用齿轮齿条机构、直线电机等线性模块。

在一个实施例中，直线行进模块346为丝杆螺母机构，使用丝杆螺母机构，驱动力大，运行平稳。可以理解地，直线行进模块346也可以使用齿轮齿条机构、直线电机等线性模块。

在一个实施例中，请参阅图2、图14和图15，晶片供给单元400，包括晶框旋转机构410和移动平台420，晶框旋转机构410与移动平台420相连，通过移动平台420调整晶框旋转机构410的空间位置，以便移动晶环97上的各晶片分别到达取晶位，以便取晶。晶框旋转机构410包括承载板412、旋转晶框411和旋转驱动模组413，旋转晶框411用于承载晶环97，并带动晶环97转动，也就是说，在使用时，晶环97置于旋转晶框411中，通过旋转晶框411支撑住晶环97。旋转晶框411转动时，可以带动晶环97转动，以调整晶环97中晶片的角度。旋转驱动模组413与旋转晶框411相连，以通过旋转驱动模组413提供动力，以驱动旋转晶框411转动，进而调节旋转晶框411中晶环97的角度。旋转驱动模组413位于旋转晶框411的一侧，这样可以避免旋转驱动模组413遮挡旋转晶框411，以方便取晶。

旋转驱动模组413和旋转晶框411均安装在承载板412上，通过承载板412来支撑住旋转驱动模组413和旋转晶框411。由于旋转晶框411是呈环状结构，其具有中空位置。承载板412上开设有开口4121，当旋转晶框411安装在承载板412上后，开口4121位于旋转晶框411的中空位置对应处，以露出旋转晶框411的中空位置，这样当晶环97置于旋转晶框411中时，开口4121可以露出晶环97中的晶圆，以便从开口4121处取晶。

承载板412与移动平台420相连，这样可以通过移动平台420调整承载板412的空间位置，进而调节晶片的空间位置，以便取晶。承载板412设于移动平台420的侧边，这样可以使承载板412及旋转晶框411呈悬置，这样旋转晶框411处的整体厚度较小，以便从旋转晶框411的下方取晶，进而可以将取出的晶片直接转送到固晶邦头，无需翻转晶片，进而可以提升固晶效率。

旋转驱动模组413安装于承载板412上，且旋转驱动模组413位于旋转晶框411靠近移动平台420的一侧，这样可以将旋转晶框411整体在取晶位处移动，避免旋转驱动模组413阻挡取晶。另外，该结构可以使晶框旋转机构410的重心更靠近移动平台420，也便于移动平台420平稳支撑晶框旋转机构410，并驱动晶框旋转机构410在空间上移动，以平稳调节晶框旋转机构410的空间位置。

在一个实施例中，请参阅图14至图16，旋转驱动模组413包括旋转轮4131、旋转驱动电机4132、支撑座4133和连接件(图未示)，旋转轮4131安装于旋转驱动电机4132上，通过旋转驱动电机4132驱动旋转轮4131转动。旋转驱动电机4132安装在支撑座4133上，支撑座4133安装在承载板412上，并且支撑座4133位于放置晶框靠近移动平台420的一侧，以通过支撑座4133将旋转驱动电机4132支撑在承载板412上靠近移动平台420的一侧。连接件连接旋转轮4131与旋转晶框411，当旋转轮4131转动时，可以经连接件带动旋转晶框411转动，以调节旋转晶框411中晶环97的角度。该旋转驱动模组413结构简单，控制方便，重量轻，组装方便。

在一个实施例中，连接件为传动带，传动带连接旋转轮4131与旋转晶框411。旋转轮4131通过传动带来带动旋转晶框411转动。使用传动带连接方便，安装精度要求低。

在一个实施例中，旋转晶框411的外周设有外齿4111，旋转轮4131为齿轮，传动带为齿带。这样旋转轮4131可以经传动带，精确控制旋转晶框411转动，控制精度高。可以理解地，传动带也可以为皮带，而旋转晶框411的外周设有外齿4111，以增加摩擦力。同理，当传动带为皮带，而旋转轮4131为齿轮时，也可以增加传动带与旋转轮4131的摩擦力。

在一个实施例中，旋转驱动模组413还包括张紧轮4134和轮座4135，轮座4135安装于承载板412上。张紧轮4134转动安装在轮座4135上，以支撑住张紧轮4134，张紧轮4134抵压传动带，以便传动带与旋转轮4131及旋转晶框411紧密贴合，以便旋转轮4131转动，带动传动带移动，进而带动旋转晶框411转动。

可以理解地，旋转轮4131为齿轮，旋转晶框411的外周设有外齿4111，则连接件可以为中间齿轮，通过中间齿轮与旋转轮4131啮合，并且中间齿轮与旋转晶框411的外齿4111啮合，则旋转轮4131转动时，可以带动中间齿轮转动，进而带动旋转晶框411转动。使用齿轮传动，精度高，控制方便。

在一个实施例中，请参阅图14和图15，移动平台420包括升降机构421、横移机构422和纵移机构423。升降机构421用于支撑并带动承载板412升降移动，横移机构422用于驱动承载板412横向移动，纵移机构423用于驱动承载板412纵向移动，以实现调节承载板412的空间位置，进而调节旋转晶框411中晶片的空间位置，以便取晶。升降机构421与横移机构422相连，通过横移机构422驱动升降机构421横向移动，进而带动晶框旋转机构410整体横向移动。横移机构422安装于纵移机构423上，通过纵移机构423驱动横移机构422纵向移动，进而带动升降机构421及晶框旋转机构410整体纵向移动。

在一个实施例中，请参阅图14和图15，升降机构421包括升降板4211、连接板4212、升降滑块4213、竖向轨4214、升降支座4215和直线驱动模块4216。连接板4212连接升降板4211与承载板412，以保证承载板412与升降板4211连接牢固稳定，以便升降板4211平稳支撑承载板412。而升降板4211位于承载板412的一端，以使承载板412悬置于升降板4211的一侧，进而使旋转晶框411悬置在升降机构421的一侧。升降滑块4213与升降板4211相连，通过升降滑块4213来支撑升降板4211。升降滑块4213滑动安装在竖向轨4214上，以通过竖向轨4214来引导升降滑块4213平稳升降移动，进而引导升降板4211平稳升降移动。竖向轨4214安装在升降支座4215上，直线驱动模块4216安装于升降支座4215上，以通过升降支座4215来支撑竖向轨4214与直线驱动模块4216。直线驱动模块4216用于驱动升降滑块4213升降移动，以带动升降板4211升降移动，进而调节晶框旋转机构410的高度。

在一个实施例中，直线驱动模块4216为丝杆螺母机构，以便平稳、精准、快速驱动承载板412升降，进而平稳、精准且快速调节旋转晶框411的高度。可以理解地，直线驱动模块4216也可以为直线电机、齿轮齿条机构等线性模块。

在一个实施例中，竖向轨4214为平行设置的至少两根，各竖向轨4214上设有升降滑块4213，而直线驱动模块4216的两侧分别设有竖向轨4214，以平稳支撑升降板4211，并驱动升降板4211平稳移动。

在一个实施例中，请参阅图14和图15，横移机构422包括横移支座4221、横移滑块4223、横向轨4222和直线推动模块4224。横移支座4221沿横向设置，也就是说横移支座4221的长度方向沿横向设置，以便支撑横向轨4222。升降机构421的升降支座4215安装在横移滑块4223上，通过横移滑块4223来支撑升降支座4215。横移滑块4223安装在横向轨4222上，通过横向轨4222来支撑并引导横移滑块4223横向移动，进而引导升降支座4215横向移动，以带动晶框旋转机构410横向移动。直线推动模块4224安装在横移支座4221上，横向轨4222安装在横移支座4221上，通过横移支座4221来支撑住直线推动模块4224和横向轨4222。直线推动模块4224驱动升降支座4215横向移动，进而带动升降机构421整体及晶框旋转机构410横向移动。

横移支座4221上开设有凹槽42211，直线推动模块4224置于凹槽42211中。在横移支座4221上设置凹槽42211，以容置直线推动模块4224，方便直线推动模块4224的组装，减小横移机构422的体积与占用空间，减轻横移机构422的重量，以便纵向机构驱动横移机构422纵向移动。

在一个实施例中，直线推动模块4224为丝杆螺母机构，以便平稳、精准、快速驱动升降机构421横向移动，进而平稳、精准且快速调节旋转晶框411的横向位置。可以理解地，直线推动模块4224也可以为直线电机、齿轮齿条机构等线性模块。

在一个实施例中，横向轨4222为平行设置的至少两根，各横向轨4222上设有横移滑块4223，而直线推动模块4224的两侧分别设有横向轨4222，以平稳支撑升降支座4215，并驱动升降支座4215平稳移动。

在一个实施例中，请参阅图14和图15，纵移机构423包括纵移滑板4234、纵移滑块4233、纵向轨4232、纵移支架4231和直线进行模块4235，横移支座4221安装在纵移滑板4234上，通过纵移滑板4234来支撑住横移支座4221，并带动横移支座4221纵向移动，进而带动横移机构422、升降机构421及晶框旋转机构410纵向移动。纵移滑板4234安装在纵移滑块4233上，通过纵移滑块4233来支撑纵移滑板4234。纵移滑块4233安装在纵向轨4232上，通过纵向轨4232支撑并引导纵移滑块4233纵向移动，进而支撑并引导纵移滑板4234纵向移动。纵向轨4232安装在纵移支架4231上，直线进行模块4235安装于纵移支架4231上，通过纵移支架4231来支撑住纵向轨4232与直线进行模块4235，直线进行模块4235驱动纵移滑板4234纵向移动，进而带动横移机构422、升降机构421及晶框旋转机构410纵向移动。该结构可以平稳支撑横移机构422，并平稳带动横移机构422、升降机构421及晶框旋转机构410纵向移动。

在一个实施例中，直线进行模块4235为丝杆螺母机构，以便平稳、精准、快速驱动横移机构422纵向移动，进而平稳、精准且快速调节旋转晶框411的纵向位置。可以理解地，直线进行模块4235也可以为直线电机、齿轮齿条机构等线性模块。

在一个实施例中，纵移滑板4234可以设有多个，各纵移滑板4234对应至少两根纵向轨4232，各纵向轨4232上分别安装在纵移滑块4233，以平稳支撑纵移滑板4234，进而平稳支撑横移机构422。

在一个实施例中，请参阅图2、图17至图19，穿刺机构500包括顶针511、针座512、升降推动器514和安装支座515。顶针511安装在针座512上，通过针座512来支撑住顶针511，以便安装顶针511。针座512与升降推动器514相连，以通过升降推动器514驱动针座512升降移动，进而带动顶针511升降移动。顶针511用于刺破蓝膜以顶出蓝膜上的晶片，也就是说，升降推动器514驱动针座512升降，以带动顶针511升降移动，进而可以带动顶针511靠近晶圆，以刺破蓝膜，从而将蓝膜上的晶片顶出，使顶出的晶片与蓝膜分离，以将对应的晶片从蓝膜上剥离，以便吸嘴71吸取，这样由于晶片是被顶针511顶出，以从蓝膜上剥离，无需较大的吸力，以良好地保护晶片，并且可以避免取晶失败的问题产生，这样应用在固晶机1000中，可以提升固晶效率。升降推动器514安装在安装支座515上，以通过安装支座515来支撑住升降推动器514，进而方便安装组件。

在一个实施例中，请参阅图16至图19，穿刺机构500还包括支撑臂513，针座512安装于支撑臂513上，支撑臂513与升降推动器514相连，针座512通过支撑臂513与升降推动器514相连。设置支撑臂513，以支撑针座512，进而支撑顶针511，并可以通过支撑臂513，将顶针511伸至指定位置，便于顶针511顶出刺破蓝膜，以顶出晶片。

在一个实施例中，支撑臂513上设有若干减重通孔5131，以减轻支撑臂513的重量，便于升降推动器514灵活驱动支撑臂513升降。可以理解地，也可以将针座512直接与升降推动器514相连。

在一个实施例中，安装支座515上安装有升降滑轨516，升降滑轨516竖直设置，升降滑轨516上安装有滑动座517，滑动座517可以沿升降滑轨516升降移动，从而通过升降滑轨516来引导滑动座517升降移动。针座512支撑于滑动座517上，升降推动器514与滑动座517相连。这样，升降推动器514驱动滑动座517沿升降滑轨516升降，进而带动针座512及顶针511升降移动。

在一个实施例中，当设有支撑臂513时，支撑臂513安装于滑动座517上，以通过滑动座517来支撑住支撑臂513，并且平稳带动支撑臂513升降移动。

在一个实施例中，升降推动器514为音圈电机，使用音圈电机，速度快，体积小，且方便控制。可以理解地，升降推动器514也可以采用直线电机等直线驱动机构。

在一个实施例中，穿刺机构500还包括弹性件518，弹性件518用于弹性拉动滑动座517，弹性件518的一端与滑动座517相连，弹性件518的另一端与安装支座515相连。设置弹性件518，以便与升降推动器514配合，以拉动滑动座517下移，以灵活驱动针座512及顶针511升降移动，以提升穿刺蓝膜，以顶出晶片的效率，进而在应用于固晶机1000中时，可以提升固晶效率。在一个实施例中，弹性件518为弹簧。在一些实施例中，弹性件518也可以为绳带结构。

在一个实施例中，请参阅图16至图19，穿刺机构500还包括平面移动模块520，安装支座515安装于平面移动模块520上，平面移动模块520用于调整顶针511水平方向位置，也就是说，平面移动模块520带动安装支座515平行于水平面移动，进而调节顶针511的位置，以便顶针511精准推出指定位置的晶片。

为了方便描述，定义垂直于竖直方向的面上相互垂直的两个方向，这两个方向分别为第一方向与第二方向，则第一方向与第二方向均垂直于竖直方向，并且第一方向与第二方向均平行于水平方向，第一方向与第二方向限定的平面平行于水平面。

在一个实施例中，请参阅图16至图19，平面移动模块520包括第一移动模组521和第二移动模组522，安装支座515安装于第一移动模组521上，第一移动模组521安装于第二移动模组522上。第一移动模组521用于调整顶针511沿第一方向的位置，第二移动模组522用于调整顶针511沿第二方向的位置。通过第一移动模组521来调整顶针511沿第一方向位置，而第二移动模组522调整顶针511沿第二方向位置，使用时，第二移动模组522带动第一移动模组521沿第二方向移动，以带动针座512和顶针511沿第二方向移动。而第一移动模组521驱动安装支座515沿第一方向移动，以带动针座512和顶针511沿第一方向移动，以通过第一移动模组521和第二移动模组522配合来调节顶针511的位置。

在一个实施例中，第一移动模组521包括第一滑座5211、第一连杆5212和第一移动组件5214，安装支座515安装于第一滑座5211上，第一滑座5211滑动安装于第二移动模组522上，以便第一滑座5211可以在第二移动模组522上沿第一方向平移。第一连杆5212与第一滑座5211相连，第一移动组件5214用于带动第一连杆5212沿第一方向移动，安装支座515安装于第一滑座5211上。从而通过第一移动组件5214带动第一连杆5212沿第一方向移动，进而带动第一滑座5211沿第一方向移动，以带动安装支座515、升降推动器514、顶针511和针座512沿第一方向移动。在一些实施例中，第一移动模组521也可以直接使用丝杆螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机等直线驱动机构。

在一个实施例中，第二移动模组522包括连接座5221、第二滑座5222、第二连杆5224和第二移动组件5225，第一滑座5211滑动安装于第二滑座5222上，第二滑座5222滑动安装于连接座5221上，以便第二滑座5222可以在连接座5221上沿第二方向平移。第二连杆5224与第二滑座5222相连，第二移动组件5225用于带动第二连杆5224沿第二方向移动，第一滑座5211安装于第二滑座5222上，以便第一滑座5211可以在第二滑座5222上沿第一方向移动。第一移动组件5214与第二滑座5222相连，通过第二移动组件5225带动第二连杆5224沿第二方向移动，进而带动第二滑座5222沿第二方向移动，以带动第一滑座5211、第一移动组件5214、安装支座515、升降推动器514、顶针511和针座512沿第二方向移动，也就是说，通过第二滑座5222带动第一移动模组521、安装支座515、升降推动器514、顶针511和针座512沿第二方向移动。在一些实施例中，第二移动模组522也可以直接使用丝杆螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机等直线驱动机构。

在一个实施例中，第一滑座5211通过第一导轨5213滑动安装在第二滑座5222上，以便第一滑座5211可以在第二滑座5222上灵活移动。在一个实施例中，第二滑座5222通过第二导轨5223滑动安装在连接座5221上，以便第二滑座5222可以在连接座5221上灵活移动。

在一个实施例中，第一连杆5212上开设有第一竖向槽52121，第一移动组件5214包括第一偏心轮52142和第一驱动电机52141。第一偏心轮52142安装在第一驱动电机52141上，并且第一偏心轮52142配合置于第一竖向槽52121中，这样在第一驱动电机52141驱动第一偏心轮52142转动时，可以推动第一竖向槽52121的侧壁沿第一方向往复移动，进而带动第一连杆5212沿第一方向往复移动，而通过第一驱动电机52141控制第一偏心轮52142的转动角度，可以实现调节第一连杆5212的移动位置，进而调节安装支座515、升降推动器514、针座512及顶针511的沿第一方向移动位置。第一驱动电机52141与第二滑座5222相连，以便支撑第一驱动电机52141，并且使第一驱动电机52141可以随第二滑座5222移动。另外，使用第一偏心轮52142驱动第一连杆5212移动，速度快，效率高，以更快调节顶针511位置，提升效率。可以理解地，第一移动组件5214也可以使用直线电机等直线驱动机构，以驱动第一连杆5212沿第一方向移动。

在一个实施例中，第二连杆5224上开设有第二竖向槽52241，第二移动组件5225包括第二偏心轮52252和第二驱动电机52251。第二偏心轮52252安装在第二驱动电机52251上，并且第二偏心轮52252配合置于第二竖向槽52241中，这样在第二驱动电机52251驱动第二偏心轮52252转动时，可以推动第二竖向槽52241的侧壁沿第二方向往复移动，进而带动第二连杆5224沿第二方向往复移动，而通过第二驱动电机52251控制第二偏心轮52252的转动角度，可以实现调节第二连杆5224的移动位置，进而调节第一移动模组521、安装支座515、升降推动器514、针座512及顶针511的沿第二方向移动的位置。第二驱动电机52251与连接座5221相连，以便支撑第二驱动电机52251。另外，使用第二偏心轮52252驱动第二连杆5224移动，速度快，效率高，以更快调节顶针511位置，提升效率。可以理解地，第二移动组件5225也可以使用直线电机等直线驱动机构，以驱动第二连杆5224沿第二方向移动。

在一个实施例中，请参阅图16至图19，穿刺机构500还包括升降模块530，升降模块530用于调整顶针511高度位置，平面移动模块520安装于升降模块530上。从而升降模块530驱动平面移动模块520升降移动，进而驱动安装支座515、升降推动器514、顶针511及针座512升降移动，进而可以实现调节顶针511高度。使用升降模块530，可以在较大的高度范围内调节顶针511的位置，以方便该穿刺机构500的安装使用。

在一个实施例中，升降模块530包括安装座532、滑动安装于安装座532上的调节座531和驱动调节座531升降移动的直线驱动器533，平面移动模块520安装于调节座531上，直线驱动器533安装于安装座532上，调节座531与直线驱动器533相连，从而通过直线驱动器533来驱动调节座531升降，以调节平面移动模块520的高度，进而调节顶针511的高度。

在一个实施例中，直线驱动器533可以为丝杆螺母机构。当然，直线驱动器533也可以使用直线电机、齿轮齿条机构等等。

在一个实施例中，请参阅图2和图24，固晶机1000还包括供晶摄像单元91，供晶摄像单元91安装于供晶位的下方，供晶摄像单元91用于摄像供晶位的晶片图像，以便在穿刺机构500顶出晶片之前，旋转驱动模组413可以驱动晶环97旋转，以带动晶片转动，从而调节晶片的角度，便于转塔机构600准确取晶。

在一个实施例中，供晶摄像单元91包括供晶摄像模组911和升降驱行器912，供晶摄像模组911安装于升降驱行器912上，通过升降驱行器912驱动供晶摄像模组911升降，以便供晶摄像单元91准确摄取供晶位晶片图像。另外，也可以避免供晶摄像单元91阻挡转塔机构600的转塔臂621移动。

在一个实施例中，供晶摄像单元91还包括纵移调节器913和纵移支板914，纵移调节器913与纵移支板914相连，通过纵移支板914来支撑纵移调节器913。升降驱行器912与纵移调节器913相连，以调节供晶摄像模组911的纵向位置。

在一个实施例中，升降驱行器912为丝杆螺母机构。可以理解地，升降驱行器912也可以为直线电机、齿轮齿条结构等线性模块。

在一个实施例中，纵移调节器913为气缸。可以理解地，纵移调节器913也可以为直线电机、齿轮齿条结构等线性模块。

在一个实施例中，请参阅图2和图20，固晶机1000还包括机架800，固晶机构700和转塔机构600安装于机架800上，机架800安装有台架900上，通过机架800来支撑住固晶机构700和转塔机构600。

在一个实施例中，请参阅图20，机架800包括安装板81和两套调整机构82，两套调整机构82分别安装在安装板81的两端，以通过两套调整机构82支撑安装板81。固晶支架75安装于安装板81上，以将固晶机构700安装在机架800上。转移模组62安装在安装板81上。如将转移模组62的定位支架625安装在安装板81上。两套调整机构82用于配合调整安装板81于竖直面上的位置，进而调节固晶机构700及转塔机构600的高度与横向位置。

在一个实施例中，请参阅图20，各调整机构82包括滑动板821、升降驱动器822、横移推动器823和支撑架824，横移推动器823安装于支撑架824上，以通过支撑架824来支撑住横移推动器823。支撑架824安装在台架900上，滑动板821与安装板81相连，以通过滑动板821来支撑安装板81。升降驱动器822与滑动板821相连，通过升降驱动器822来推动滑动板821升降移动，以调节安装板81的高度。横移推动器823用于驱动滑动板821横向移动，以带动安装板81横向移动，以方便调试运行。

在一个实施例中，升降驱动器822可以为丝杆螺母机构，以平稳支撑并驱动滑动板821，以带动安装板81升降移动。当然，升降驱动器822也可以使用齿轮齿条等线性模块。

在一个实施例中，横移推动器823可以采用气缸，两套调整机构82的横移推动器823分别安装在各支撑架824远离另一支撑架824的一侧，这样两套调整机构82的横移推动器823可以配合，调节滑动板821沿横向的位置，进而调节安装板81沿横向移动的位置。

在一个实施例中，请参阅图20和图23，固晶机构700包括吸嘴71、固晶摆臂72、旋转座73、固晶电机74和固晶支架75。吸嘴71用来吸取晶片。吸嘴71安装在固晶摆臂72上，通过固晶摆臂72来支撑吸嘴71。固晶摆臂72安装在旋转座73上，通过旋转座73来支撑固晶摆臂72。旋转座73与固晶电机74相连，固晶电机74安装在固晶支架75上，固晶支架75安装在机架800上，以将固晶机构700安装在机架800上。在工作时，固晶电机74驱动旋转座73转动，以带动固晶摆臂72转动，进而带动固晶摆臂72上的吸嘴71移动，当吸嘴71移动到取晶位时，将取晶位的晶片吸取，然后固晶摆臂72带动吸嘴71及晶片移动到固晶位，以将晶片安装在基板上。

在一个实施例中，请参阅图20和图23，旋转座73上安装有竖直轨76，固晶摆臂72滑动安装在竖直轨76上，旋转座73上安装有升降推行器77，升降推行器77与固晶摆臂72相连，以通过升降推行器77来驱动固晶摆臂72升降移动。

在一个实施例中，升降推行器77为音圈电机，移动速度快，固晶效率高，并且具有一定的弹性缓冲，以避免驱动固晶摆臂72升降移动时，吸嘴71压坏晶片。可以理解地，升降推行器77也可以采用气缸、直线电机等线性模块。

在一个实施例中，固晶摆臂72上设有若干减重开孔721，以减轻固晶摆臂72的重量，便于驱动固晶摆臂72平稳摆动。

在一个实施例中，固晶机构700还包括调节组件78，调节组件78包括从动轮782、主动轮781、同步带783和旋转电机784，旋转电机784安装在旋转座73上，同步带783连接从动轮782与主动轮781，从动轮782与吸嘴71相连，吸嘴71转动安装在固晶摆臂72上，主动轮781与旋转电机784相连，通过旋转电机784驱动主动轮781转动，经同步带783带动从动轮782转动，进而带动吸嘴71转动，以便调节吸嘴71上吸取晶片的角度，进而便于精准固晶。

在一个实施例中，固晶电机74上安装有散热件79，以对固晶电机74进行散热，以便固晶电机74平稳运行。

在一个实施例中，请参阅图20、图21和图22，转塔机构600包括晶片座61和转移模组62，晶片座61用于支撑晶片，也就是说，晶片座61接收并支撑晶片，以带动晶片移动。晶片座61与转移模组62相连，通过转移模组62驱动晶片座61移动，以使晶片座61移动到供晶位，从供晶位接收晶片，然后，转移模组62驱动晶片座61及晶片移动到取晶位，以便固晶摆臂72上的吸嘴71吸取晶片座61上的晶片。转移模组62安装于机架800上，以通过机架800来支撑住转移模组62，进而将转塔机构600支撑在机架800上。

由于使用转移模组62来驱动晶片座61移动，将晶片座61移动到供晶位，以接收供晶位供给的晶片，再驱动晶片座61移动到取晶位，以将晶片转送到取晶位，从而固晶摆臂72上的吸嘴71可以直接从取晶位吸取晶片，再移动到固晶位，以安装晶片。这样可以将取晶位与固晶位之间的距离设置小，以将固晶摆臂72的长度设置较小，减小固晶摆臂72转动时的振动，提升固晶摆臂72转动的稳定性，并且可以缩短吸嘴71的移动行程，进一步提升吸嘴71移动的稳定性，减小吸嘴71的振动，提升固晶精度和固晶效率。

在一个实施例中，请参阅图21和图22，晶片座61包括吸头611、吸附座612和吸气接头613，其中，吸头611用于吸附晶片，以支撑住晶片，并且可以对晶片进行定位，从而便于移动晶片。吸头611安装在吸附座612上，通过吸附座612来支撑住吸头611。吸气接头613与吸附座612相连，并且吸气接头613与吸头611连通，这样可以方便将吸头611与外部抽气装置相连，以便在吸头611处产生负压，以吸附晶片。吸附座612安装在转移模组62上，以将吸头611安装在转移模组62上。可以理解地，晶片座61也可以采用带安装槽的块座，以将晶片置于安装槽中，通过块座来支撑住晶片。

在一个实施例中，吸头611上设有多个吸气孔6111，以便更好地吸附晶片，并将晶片进行定位。另外，设置多个吸气孔6111，可以将各吸气孔6111制作较小，以配合吸附晶片，避免晶片掉入吸气孔6111，而且可以吸附尺寸较小的晶片。多个吸气孔6111可以覆盖更大面积，这样可以吸附不同尺寸的晶片。

在一个实施例中，转移模组62包括转塔臂621、转动座622、旋转驱动器623和定位支架625，晶片座61安装于转塔臂621上，以通过转塔臂621来支撑住晶片座61。转塔臂621安装在转动座622上，以通过转动座622来支撑住转塔臂621。转动座622与旋转驱动器623相连，以通过旋转驱动器623驱动转动座622转动，进而带动转塔臂621转动，进而带动晶片座61转动。旋转驱动器623安装在定位支架625上，通过定位支架625支撑住旋转驱动器623。定位支架625安装于机架800上，以将转移模组62安装在定位支架625上。

在一个实施例中，晶片座61包括吸附座612时，吸附座612安装在转塔臂621上，以将吸头611安装在转塔臂621上。

在一个实施例中，旋转驱动器623可以为电机，通过电机来驱动转动座622转动。可以理解地，旋转驱动器623也可以使用旋转气缸等驱动件。

在一个实施例中，旋转驱动器623上安装有散热器624，以便对旋转驱动器623散热，保证旋转驱动器623稳定工作，进而平稳驱动转动座622旋转。

在一个实施例中，转动座622上安装有多个转塔臂621，各转塔臂621上分别安装有晶片座61。设置多个转塔臂621，并且在各转塔臂621上分别安装晶片座61，可以使多个晶片座61依次经过供晶位至取晶位，使供晶位与取晶位之间保持多个晶片座61，这样可以提升晶片转送的效率，以便固晶机构700可以及时吸取晶片，提升固晶效率。另外，可以减少晶片座61及晶片座61上晶片每次移动的行程与时间，减小晶片移动时的振动，以便更稳定移动晶片，以便更精准供给晶片，进而提升固晶效率。

在一个实施例中，多个转塔臂621均匀分布于转动座622的周侧，这样每个转塔臂621每次转动的角度相同，方便控制，也便于驱动各转塔臂621平稳转动。

在一个实施例中，转塔臂621上设有若干减重孔6211，以减轻转塔臂621的重量，便于旋转驱动器623驱动转塔臂621转动。

在一个实施例中，转塔臂621为八个，在其他实施例中，转塔臂621也可以为六个、七个、九个、十个等等数量。

在一个实施例中，请参阅图20，固晶机1000还包括取晶摄像模组92，取晶摄像模组92设于供晶位的上方，取晶摄像模组92安装于机架800上。取晶摄像模组92用于摄取供晶位的晶片图像，以便转塔机构600的晶片座61准确接收晶片，提升晶片座61在供晶位吸取晶片的效率与精度。

在一个实施例中，请参阅图20，固晶机1000还包括转送摄像模组93，转送摄像模组93设于晶片座61的上方，转送摄像模组93位于供晶位与取晶位之间，转送摄像模组93安装于机架800上。转送摄像模组93用于摄取晶片座61上晶片图像。通过在供晶位与取晶位之间设置转送摄像模组93，在晶片到达取晶位之前，转送摄像模组93摄取晶片座61上晶片图像，以确定晶片的角度与位置，以便吸嘴71吸取晶片后，可以及时调整吸嘴71上晶片的角度，提升取晶的准确性，也便于后序固晶操作，提升固晶效率与准确性。

在一个实施例中，请参阅图20，固晶机1000还包括固晶摄像模组94，固晶摄像模组94设于固晶位上方，固晶摄像模组94安装于机架800上。固晶摄像模组94用于摄像固晶位的图像，以便精准固晶，提升固晶的精度与效率。

在一个实施例中，请参阅图20，固晶机1000还包括检测摄像模组95，检测摄像模组95设于邻近固晶位的正上方的位置，检测摄像模组95安装于机架800上。检测摄像模组95用于摄像基板上安装晶片图像，以检测固晶效果，保证固晶质量。

在一个实施例中，检测摄像模组95可以为多个，通过多个检测摄像模组95来检测基板上安装晶片的效果，以保证固晶质量，也便于后序修补。

在一个实施例中，固晶机1000包括取晶摄像模组92、转送摄像模组93、固晶摄像模组94和检测摄像模组95，这样可以在转塔机构600的吸头611吸取前，对晶片进行定位，以保证吸头611吸取晶片的准确性，在晶片移送过程中，对晶片进行摄像，以便固晶机构700的吸嘴71准确吸取并调整晶片角度，在取晶位摄像图像，以保证吸嘴71精准吸取晶片，之后，在固晶位摄像图像，以保证固晶的准确性，最后，再检测固晶的质量，以保证固晶效果。

以上所述仅为本申请的可选实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种固晶机，其特征在于，包括：

传送单元，用于支撑并移送基板至固晶位；

进料单元，用于向所述传送单元定位供给所述基板；

晶片供给单元，用于支撑晶环，并向供晶位供给晶片；

晶环供给单元，用于向所述晶片供给单元供给满晶环，并回收所述晶片供给单元中的空晶环；

转塔机构，用于将所述供晶位的晶片转送至取晶位；

穿刺机构，用于向下刺破所述供晶位上晶片处的蓝膜，以将所述晶片推顶至所述转塔机构；以及，

固晶机构，用于吸取所述取晶位的晶片，并移动至所述固晶位，以安装于所述基板上；

所述转塔机构设于所述穿刺机构与所述固晶机构之间，所述穿刺机构设于所述晶片供给单元的一侧，所述传送单元设于所述进料单元的一侧，所述进料单元位于所述固晶机构的下方；

所述传送单元包括用于支撑并夹持基板的夹板机构和驱动所述夹板机构于平面上移动的平面移动台；所述夹板机构包括：

支撑底板，安装于所述平面移动台上；

两套滚轮组件，分别安装于所述支撑底板的相对两侧，用于配合支撑基板的相对两侧；以及，

两套夹持组件，分别安装于所述支撑底板的相对两侧，用于将所述基板的相对两侧抵压固定于对应所述滚轮组件上，以使各所述夹持组件与对应所述滚轮组件配合夹持固定所述基板的侧边；

所述滚轮组件包括支撑于所述支撑底板上的滚轮支座，所述滚轮支座上设有多个滚轮座，多个所述滚轮座沿所述滚轮支座的长度方向间隙设置，各所述滚轮座上转动安装有滚轮；

所述滚轮组件还包括定位座、多个导轨组件和升降行进器，各所述导轨组件连接所述定位座与所述滚轮支座，所述导轨组件用于引导所述滚轮支座于所述定位座上升降移动，所述升降行进器安装于所述定位座上，所述升降行进器用于推动所述滚轮支座升降移动，所述定位座安装于所述支撑底板上；所述升降行进器用于驱动所述定位座升降移动，以带动各所述滚轮升降移动，以与所述夹持组件配合夹持所述基板；

所述夹持组件包括压板、夹持支座和升降直行器，所述压板用于将所述基板抵压于对应所述滚轮组件上，所述压板安装于所述夹持支座上，所述升降直行器支撑于所述支撑底板上；所述升降直行器用于驱动所述夹持支座升降移动，以带动所述压板升降移动；

所述夹板机构还包括支撑托板，所述支撑托板支撑于所述支撑底板上，所述支撑托板用于支撑所述基板；所述支撑托板上设有用于吸附固定住所述基板的多个吸附孔；

所述夹板机构还包括定位组件，所述定位组件用于止挡定位支撑于所述滚轮组件上的所述基板，当将所述基板传送至所述夹板机构的两套所述滚轮组件上时，所述定位组件止挡所述基板，以将所述基板定位于所述滚轮组件上。

2.如权利要求1所述的固晶机，其特征在于：所述晶环供给单元包括：

上料机构，用于支撑晶环盒，并驱动所述晶环盒升降移动；

载移平台，用于支撑并带动晶环移动，所述载移平台具有至少两个用于存储晶环的容置槽；

取料机构，用于将所述晶环盒中的满晶环取放至所述载移平台，并将所述载移平台中的空晶环移送至所述晶环盒；以及，

取送机构，用于将所述供晶位的空晶环移送至所述载移平台，并将所述载移平台上的满晶环移送至所述供晶位；

所述上料机构与所述取料机构分别设于所述载移平台的相对两侧，所述载移平台设于所述取送机构的下方。

3.如权利要求2所述的固晶机，其特征在于：所述载移平台包括托盘和驱动所述托盘往返于所述取料机构与所述取送机构的直线驱行模块，各所述容置槽设于所述托盘上。

4.如权利要求2所述的固晶机，其特征在于：所述取送机构包括用于抓取晶环的抓取组件、支撑所述抓取组件的连接架、支撑所述连接架的升降座、驱动所述升降座升降移动的升降驱动模块、支撑所述升降驱动模块的安装滑座、驱动所述安装滑座往返于所述供晶位与所述载移平台的直线行进模块和支撑所述直线行进模块的行进支座。

5.如权利要求1-4任一项所述的固晶机，其特征在于：所述晶片供给单元包括用于承载晶环并带动所述晶环旋转的晶框旋转机构和调整所述晶框旋转机构空间位置的移动平台；所述晶框旋转机构包括：

承载板，设于所述移动平台的侧边，所述承载板与所述移动平台相连；

旋转晶框，用于承载晶环，所述旋转晶框安装于所述承载板上；以及，

旋转驱动模组，用于驱动所述旋转晶框转动；

所述旋转驱动模组安装于所述承载板上，且所述旋转驱动模组位于所述旋转晶框靠近所述移动平台的一侧，所述承载板开有露出所述旋转晶框的中空位置的开口。

6.如权利要求1-4任一项所述的固晶机，其特征在于：所述穿刺机构包括：

顶针，用于刺破蓝膜，以顶出所述蓝膜上的晶片；

针座，用于支撑所述顶针；

升降推动器，用于驱动所述针座升降移动，以带动所述顶针升降；以及

安装支座；

所述升降推动器安装于所述安装支座上。

7.如权利要求1-4任一项所述的固晶机，其特征在于：所述转塔机构包括：

晶片座，用于支撑晶片；以及，

转移模组，驱动所述晶片座从所述供晶位接收晶片并转送至所述取晶位，所述转移模组设于所述固晶机构与所述穿刺机构之间。

8.如权利要求7所述的固晶机，其特征在于：所述转移模组包括转塔臂、支撑所述转塔臂的转动座、驱动所述转动座转动的旋转驱动器和支撑所述旋转驱动器的定位支架，所述晶片座安装于所述转塔臂上。

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