TWI732547B - 傾斜平台、基板傳輸裝置及基板傳輸方法 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種藉由傾斜角度以使所傳輸之基板或基板之表面的濕式製程藥液散逸的傾斜平台及以之製備之基板傳輸裝置，本發明提供一種基板傳輸裝置，該基板傳輸裝置係至少包括有一基座及一傾斜平台，其主要特徵在於：傾斜平台係設置於基座上，且傾斜平台與基座之間係夾設有一夾角；藉此，本發明藉由在基板傳輸裝置之基座上設置傾斜平台之設計，有效在基板傳輸的同時使其表面殘留之濕製程的藥液可順著傾斜角度滑落，以使基板在傳輸時不會因為藥液的殘留而對其表面造成危害，確實達到保護傳輸之基板的品質等優勢。

Description

傾斜平台、基板傳輸裝置及基板傳輸方法

本發明係有關於一種基板傳輸裝置及其基板傳輸方法，尤其是指一種藉由具傾斜角度之平台以使所傳輸之基板表面的濕式製程之藥液能夠散逸的傾斜平台及以此傾斜平台製備的基板傳輸裝置及其基板傳輸方法。

常見的基板傳輸裝置，通常是由輸送線將基板傳送至由複數個輸送滾輪所組合而成的輸送結構上，再藉由設置於輸送結構附近的機械手臂將基板移動至指定位置，或是由機械手臂截取基板後，將基板提送至另一組傳輸結構上，而機械手臂雖然能將基板橫向或上下移動，但介於機械手臂的需要一步一步的進行動作，並且對於移動基板時的大小也有所限制，因而侷限基板傳輸時的大小，並且在機械手臂移動時需花費過多不必要的時間，進而連帶影響了基板傳輸時的效率；此外，在濕式製程過後仍有許多的蝕刻藥液殘留在基板表面，嚴重者將使基板表面發生過度蝕刻的問題產生；因此，如何藉由創新的設計，解決藥液殘留在基板表面而造成危害之缺點，仍是基板傳輸裝置等相關產業的開發業者與相關研究人員需持續努力克服與解決之課題。

緣是，創作人有鑑於此，並藉由其豐富之專業知識及多年之實務經驗所輔佐，而加以改良發明一種傾斜平台及以之製備之基板傳輸裝置，其目的在於提供一種藉由具傾斜角度之平台以使所傳輸之基板表面的濕式製程之藥液能夠散逸的傾斜平台及以此傾斜平台製備的基板傳輸裝置，主要係藉由在基板傳輸裝置之基座上設置具有傾斜角度之傾斜平台的設計，有效在基板傳輸的同時使其表面殘留之濕製程的藥液可順著傾斜角度滑落，以使基板在傳輸過程中不會因為化學藥液的殘留而對其表面造成危害之缺點，確實達到保持與提升所傳遞之基板的產品品質等主要優勢者。

本發明之次一目的在於提供一種傾斜平台，藉由傾斜平台上之輸送輥及導輥之設計，能夠使基板在傾斜時不致於造成滑落破損，使其能有效承載基板並進行傳輸之作業之優勢。

本發明之又一目的在於另提供一種基板傳輸裝置，其係透過第一升降機構、橫移機構及轉軸之設計，藉此能夠穩定的進行上下層之基板傳輸動作，有效使第一及第二牙叉組件由傾斜自轉水平並微調至相對位置後同步上升，據此可提升大面積之基板傳輸動作等優勢。

本發明之又一目的在於另提供一種基板傳輸方法，其係適用一種牙叉式之基板傳輸裝置之基板傳輸方法，藉此能夠穩定的進行上下層之基板傳輸動作，並再透過第二升降機構上升或下降之設計，據此能夠有效避免基板傳輸過程中損壞而造成不良等優勢。

本發明之再一目的在於提供一種基板傳輸裝置，其係透過可動滾輪、固定滾輪、平行軌道及垂直軌道之配置設計，藉由位於軌道內可移動的可動滾輪，使在移送基板時可以減少大量的位移時間，同時另可以減少運輸裝置循環移動的時間，同時又能夠透過可動滾輪的不同速度，有效使可動滾輪由傾斜轉成水平並穩定進行上下層之基板傳輸動作等優勢。

本發明之再一目的在於另提供一種基板傳輸方法，其係適用一種條棒式之基板傳輸裝置之基板傳輸方法，藉此能夠穩定的進行上下層之基板傳輸動作，並再透過可動滾輪設於平行軌道及垂直軌道內之配置設計，據此使在移送基板時可以減少大量的位移時間，同時又能夠透過可動滾輪的不同速度，有效使可動滾輪由傾斜轉成水平並穩定進行上下層之基板傳輸動作等優勢。

為了達到本發明之前揭目的，發明人提出一種傾斜平台，係適用於一基板傳輸裝置，其中基板傳輸裝置係至少包括有一基座，其主要特徵在於：傾斜平台係設置於基座上，且傾斜平台與基座之間係夾設有一夾角。

在本發明的一個實施例中，夾角係介於3度至10度之間。

在本發明的一個實施例中，基座係由二長邊及二短邊所構成。

在本發明的一個實施例中，傾斜平台更包含複數個輸送輥，各該輸送輥係沿著該基座之該二長邊以不同高度形成該夾角之配置並且平行設置。

在本發明的一個實施例中，其中各該輸送輥設有複數個導輥。

在本發明的一個實施例中，傾斜平台係藉由一轉速以傳輸至少一基板。

此外，根據本發明之目的，本發明人提出一種基板傳輸裝置，係至少包括有一如上所述之傾斜平台；至少一第一升降機構，係設置於該基座上且位於該傾斜平台之一側部，該第一升降機構係至少包括有二第一升降軌道，以及一設置於該第一升降軌道之一端部的第一升降驅動器；以及至少一橫移機構，該橫移機構係設置於該第一升降機構之該第一升降軌道內並與其呈90度配置，且該橫移機構係包括有至少一橫移軌道，以及一設置於該橫移軌道之一端部的橫移驅動器；至少一第二升降機構，該第二升降機構係設置於該橫移機構之該橫移軌道內並與其呈90度配置，且該第二升降機構係與該第一升降機構平行設置，其中，該第二升降機構係包括有至少一第二升降軌道，以及一設置於該第二升降軌道之一端部的第二升降驅動器；一第一牙叉組件，係設置於該第二升降機構，該第一牙叉組件係包括有一崁入於該第二升降機構之該第二升降軌道之第一轉軸；一第二牙叉組件，係設置於該橫移機構，該第二牙叉組件係包括有一崁入於該橫移軌道之第二轉軸。

在本發明的一個實施例中，其中該第一升降軌道、該橫移軌道及該第二升降軌道內各自係可進一步設置有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件之傳動組件，其係得以藉由升降驅動器驅動叉組件移動之傳動組件。

在本發明的一個實施例中，該第一牙叉組件係更包括一設置於該第一轉軸一端的第一牙叉架，以及複數根與該第一牙叉架垂直設置之第一牙叉，且複數個該第一牙叉彼此係並列排製而成。

在本發明的一個實施例中，該第二牙叉組件係更包括一設置於該第二轉軸一端的第二牙叉架，以及複數根與該第二牙叉架垂直設置之第二牙叉，且複數個該第二牙叉彼此係並列排製而成。

在本發明的一個實施例中，傾斜平台係藉由一轉速以傳輸至少一基板。

在本發明的一個實施例中，其中該第一牙叉組件及該第二牙叉組件係頂抵基板。

在本發明的一個實施例中，進一步由一上層輸送機構接收第一牙叉組件及該第二牙叉組件頂抵之基板。

在本發明的一個實施例中，其中該橫移機構之兩側更進一步設有二導軌，各該導軌內更設有一導軌軌道，該導軌軌道能夠使該橫移機構崁入並進行上下滑移。

在本發明的一個實施例中，其中第一牙叉組件之第一轉軸另一端設置有第二升降機構。

在本發明的一個實施例中，其中第二牙叉組件之第二轉軸另一端設置有第二升降機構。

此外，根據本發明之目的，本發明人再提出一種基板傳輸方法，適用於一如上所述之基板傳輸裝置，其至少包含以下步驟：步驟a：首先，第一牙叉組件及第二牙叉組件在一預備位置待命，且與一傾斜平台平行；步驟b：接續，當一基板透過一下層輸送機構傳輸至該傾斜平台上就定位後，則該第一牙叉組件及該第二牙叉組件即往上抬升並與該傾斜平台交錯後再持續上升；步驟c：待該第一牙叉組件及該第二牙叉組件完全遠離該傾斜平台；步驟d：該第一牙叉組件及該第二牙叉組件由傾斜自轉為水平，同時其一牙叉組件透過微調上升或下降至另一牙叉組件之相對位置；步驟e：待該第一牙叉組件及該第二牙叉組件平行後，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件向上傳輸後，當該基板傳輸遠離後，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件再同時自轉呈垂直，並往兩側分開後再下降，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件下降至該預備位置；以及步驟f：，進入待機狀態，待該基板由該下層輸送機構傳輸到該傾斜平台就定位，重複步驟a至步驟e。

在本發明的一個實施例中，其中該步驟d更包含第一牙叉組件係透過第二升降機構微調下降至第二牙叉組件之相對位置。

在本發明的一個實施例中，其中該步驟d更包含第二牙叉組件係透過第二升降機構微調上升至第一牙叉組件之相對位置。

再者，根據本發明之目的，本發明人另提出一種基板傳輸裝置，係至少包括有一如上所述之傾斜平台；其中該基座之二該短邊係分別設置有一第一支撐壁與一第二支撐壁，該第一支撐壁與該第二支撐壁係藉由至少一軌道連接，該軌道係包括有二平行軌道與複數個垂直軌道，且該基座底部係設置有一驅動器；該傾斜平台之該輸送輥係為複數個固定滾輪，複數個該固定滾輪係分別傾斜連接該第一支撐壁與該第二支撐壁之間，且分別於各該些垂直軌道之二側並靠近下方之平行軌道，其中該些固定滾輪係傾斜且相互平行設置而形成該傾斜平台；以及複數個可動滾輪，係相互平行並設置於該第一支撐壁與該第二支撐壁之間，且該可動滾輪之二側部係分別崁入於該第一支撐壁與該第二支撐壁之該軌道內，並得以同時移動該些可動滾輪於該軌道內。

在本發明的一個實施例中，軌道係設置有皮帶、鍊條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件或其他得以藉由驅動器驅動軌道移動之傳動組件。

在本發明的一個實施例中，驅動器係提供一動力以使該複數個可動滾輪自體旋轉，並同時帶動可動滾輪於軌道內移動。

在本發明的一個實施例中，其中複數個該固定滾輪與複數個該可動滾輪係為交叉設置。

另外，根據本發明之目的，本發明人更提出一種基板傳輸方法，適用於一如上所述之基板傳輸裝置，其至少包含以下步驟：步驟A：首先，複數個可動滾輪至預備位置待命，且與傾斜平台之複數個固定滾輪平行；步驟B：接續，當一基板透過一下層輸送機構傳輸至該傾斜平台上就定位後，則複數個該可動滾輪往上抬升交錯該傾斜平台之複數個該固定滾輪後，再持續上升；步驟C：待複數個該可動滾輪同時承載並抬升該基板，當複數個該可動滾輪完全遠離該傾斜平台後，複數個該可動滾輪即會以不同的速度，同時將各該可動滾輪由傾斜微調為水平；步驟D：待各該可動滾輪平行後，再藉由複數個垂直軌道向上垂直升起至各該垂直軌道頂點，待各該可動滾輪上升至頂點後，該複數個可動滾輪透過驅動器提供動力並自體旋轉；步驟E：當該基板透過一上層輸送機構移出後，該複數個可動滾輪透過上方之平行軌道橫向位移至最邊側之垂直軌道，並由該垂直軌道垂直下降至該垂直軌道底點，並透過下方之平行軌道橫移至待命之預備位置；以及步驟F：進入待機狀態，待該基板由該下層輸送機構傳輸到該傾斜平台就定位，重複步驟A至步驟E。

藉此，本發明之傾斜平台及以之製備之基板傳輸裝置及基板傳輸方法主要係藉由在基板傳輸裝置之基座上設置具有傾斜角度之傾斜平台的設計，有效在基板傳輸的同時使其表面殘留之濕製程的藥液可順著傾斜角度滑落，以使基板在傳輸過程中不會因為化學藥液的殘留而對其表面造成危害之缺點，確實達到保持與提升所傳遞之基板的產品品質等主要優勢。

為利 貴審查員瞭解本發明之技術特徵、內容與優點及其所能達成之功效，茲將本發明配合附圖，並以實施例之表達形式詳細說明如下，而其中所使用之圖式，其主旨僅為示意及輔助說明書之用，未必為本發明實施後之真實比例與精準配置，故不應就所附之圖式的比例與配置關係解讀、侷限本發明於實際實施上的權利範圍，合先敘明。

首先，請參閱第1圖與第2圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之整體裝置立體圖，以及整體裝置剖視圖，其中本發明之傾斜平台(10) 係適用於該基板傳輸裝置(20)，其中該基板傳輸裝置(20)係至少包括有一基座(21)，其主要特徵在於：該傾斜平台(10)係設置於該基座(21)上，且該傾斜平台(10)與該基座(21)之間係夾設有一夾角(θ)，其中該夾角(θ)係介於3度至10度之間，最佳係為5度，也就是說，該傾斜平台(10)係藉由複數個不等高之輸送輥(13)架設於該基座(21)之上表面，以使該傾斜平台(10)左側之長邊(11)高於右側之長邊(11)，且該傾斜平台(10)之上表面係與該基座(21)之上表面夾設該夾角(θ)，其中該傾斜平台(10)係可藉由一轉速以傳輸至少一基板(3)(如第3圖)，該基板(3)係由該傾斜平台(10)左側之長邊(11)作為入料口(圖式未標示)放置於該傾斜平台(10)之上表面，由於該基板(3)之上一個製程係為使用大量藥液的濕式製程，當該基板(3)置放於該傾斜平台(10)時，該傾斜平台(10)具有之傾斜夾角(θ)可讓該基板(3)上的藥液朝向該傾斜平台(10)之右側之長邊(11)滑落，有效防止該濕式製程之藥液殘留於該基板(3)之上表面而進一步造成該基板(3)之危害，例如：過蝕刻等缺點。

其中各該輸送輥(13)設有複數個導輥(131)，據此，透過該導輥(131)承載基板(3)，使該導輥(131)能夠使基板(3)在傾斜時不致於造成滑落破損，使其能有效承載基板並進行傳輸之作業之優勢。

此外，請再一次參閱第1圖與第2圖所示，本發明之基板傳輸裝置(20)係至少由一該基座(21)、一該傾斜平台(10)、一第一升降機構(22)、一橫移機構(23)、一第二升降機構(24)、一第一牙叉組件(25)及一第二牙叉組件(26)所組合而成，該基板傳輸裝置(20)的主要用途係將該基板(3)由前一道濕製程傳送至後端的製程設備。

一第一升降機構(22)係並列設置於該基座(21)上且位於該傾斜平台(10)之一側部，該第一升降機構(22)係包括有二第一升降軌道(221)，以及一設置於該第一升降軌道(221)之一端部的一第一升降驅動器(222)，其中該第一升降軌道(221)係設置於該第一升降機構(22)之其中一面，並以由上至下之垂直方向崁入於該第一升降機構(22)中，而該第一升降驅動器(222)係設置於該升降機構(22)之一端部，例如：頂部或底部等其中之一處，但並不以此為限，該第一升降驅動器(222)主要係以提供一動力以帶動該橫移機構(23)之垂直移動；此外，該第一升降軌道(221)之內部係可進一步設置有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件之傳動組件，或得以藉由第一升降驅動器(222)驅動該橫移機構(23)移動。

至少一橫移機構(23)，該橫移機構(23)係設置於該第一升降機構(22)之該第一升降軌道(221)內並與其呈90度配置，且該橫移機構(23)係包括有至少一橫移軌道(231)，以及一設置於該橫移軌道(231)之一端部的橫移驅動器(232)；；此外，該橫移機構(23)之內部係可進一步設置有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件之傳動組件。

至少一第二升降機構(24)，該第二升降機構(24)係設置於該橫移機構(23)之該橫移軌道(231)內並與其呈90度配置，且該第二升降機構(24)係與該第一升降機構(22)平行設置，其中，該第二升降機構(24)係包括有至少一第二升降軌道(241)，以及一設置於該第二升降軌道(241)之一端部的第二升降驅動器(242)。

一第一牙叉組件(25)，係設置於該第二升降機構(24)，該第一牙叉組件(25)係包括有一崁入於該第二升降機構(24)之該第二升降軌道(241)之第一轉軸(251)；一第二牙叉組件(26)，係設置於該橫移機構(23)，該第二牙叉組件(26)係包括有一崁入於該橫移軌道(231)之第二轉軸(261)；該第一牙叉組件(25)係更包括一設置於該第一轉軸(251)一端的第一牙叉架(252)，以及複數根與該第一牙叉架(252)垂直設置之第一牙叉(2521)，且複數個該第一牙叉(2521)彼此係並列排製而成；該第二牙叉組件(26)係更包括一設置於該第二轉軸(261)一端的第二牙叉架(262)，以及複數根與該第二牙叉架(262)垂直設置之第二牙叉(2621)，且複數個該第二牙叉(2621)彼此係並列排製而成，並可根據該基板(3)大小而排製不同之第一牙叉及第二牙叉之數量。

其中該橫移機構(23)之兩側更進一步設有二導軌(27)，各該導軌(27)內更設有一導軌軌道(271)，該導軌軌道(271)能夠使該橫移機構(23)崁入並進行上下滑移；據此能夠透過導軌與導軌軌道之設計，用以引導橫移機構走向正確之方向，能有效避免偏移之優勢。

此外，本發明其一較佳實施例之基板傳輸裝置(20)將該基板(3)由前一濕式製程運送至下一製程的方式係如下所述：

1. 請一併參閱第3圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之基板置入示意圖，其中該基板(3)係由該傾斜平台(10)長邊(11)之入料口進入該傾斜平台(10)，而該傾斜平台(10)係藉由一轉速向右側傳輸該基板(3)，其中當該傾斜平台(10)將該基板(3)傳輸至定位時，該第一牙叉組件與該第二牙叉組件係藉由該第一升降機構(22)由底部向上升起。

2. 請一併參閱第4圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之裝置運作開始示意圖，其中當該基板傳輸裝置(20)開始啟動時，該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)係位於該第一升降機構(22)之下端部待命，且該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)亦位於該傾斜平台(10)之下方。

3. 請一併參閱第5圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之牙叉組件交錯傾斜平台示意圖，其中，當該基板(3)透過一下層輸送機構傳輸(圖未標示)至該傾斜平台(10)上就定位後，則該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)即往上抬升並與該傾斜平台(10)交錯後再持續上升。

4. 請一併參閱第6圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之基板移動示意圖，當該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)往上抬升並與該傾斜平台(10)交錯後再持續上升，使該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)完全遠離該傾斜平台(10)；其中由於該傾斜平台(10)之輸送輥(13)為傾斜設計，導致該基板(3)呈傾斜之態樣；其中該第一牙叉組件(25)之該第一轉軸(251)另一端設置有該第二升降機構(24)；當該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)完全遠離該傾斜平台(10)後，該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)同時由傾斜自轉為水平，以使該第一牙叉組件(25)與該第二牙叉組件(26)可水平承載，使該基板(3)得以水平態樣朝向遠離該傾斜平台(10)之方向移動，並同時使該第一牙叉組件(25)透過該第二升降機構(24)微調下降至該第二牙叉組件(26)之相對位置，但本發明不以此為限。在本發明另一實施例中(圖未標示)，該第二牙叉組件之該第二轉軸另一端設置有該第二升降機構，藉以使該第二牙叉組件係透過該第二升降機構微調上升至該第一牙叉組件之相對位置；據此能夠使該基板穩定之進行上下層之傳輸作業。

5. 請一併參閱第7圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之牙叉組件水平抬升示意圖，其中該第一牙叉組件(25)與該第二牙叉組件(26)微調至相對位置後，該第一牙叉組件(25)與該第二牙叉組件(26)即持續水平向上抬升基板。

6. 請一併參閱第8圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之牙叉組件承載基板抬升至頂點示意圖，該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)向上傳輸至該第一升降機構(22)之最頂部，以等待一上層輸送機構接收。

8. 請一併參閱第9圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之上層輸送機構接近示意圖，其中該基板(3)仍以水平態樣設置於該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)上，並待上層輸送機構(4)以吸取之方式將該基板(3)帶離各該牙叉組件，以繼續下一個製程。

9. 請一併參閱第10圖所示，為本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之牙叉組件自轉動作示意圖，當該基板(3)傳輸遠離後，該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)同時自轉呈垂直，並往兩側分開後再下降，且該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)係下降至該傾斜平台(10)下方之預備位置。

據此，提供一種基板傳輸裝置，其係透過第一升降機構、橫移機構及轉軸之設計，藉此能夠穩定的進行上下層之基板傳輸動作，有效使第一及第二牙叉組件由傾斜自轉水平並微調至相對位置後同步上升，據此可提升大面積之基板傳輸動作等優勢。

此外，請參閱第11圖與第12圖所示，為本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之整體裝置立體圖，以及整體裝置剖視圖，其中本發明之基板傳輸裝置(20)係至少由一該基座(21)、一該傾斜平台(10)、複數個固定滾輪(30)與複數個可動滾輪(40)所組合而成，該基板傳輸裝置(20)的主要用途係將該基板(3)由前一道濕製程傳送至後端的製程設備。

該基座(21)之二側部係分別設置有一第一支撐壁(211)與一第二支撐壁(212)，該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)係藉由至少一軌道(213)連接，其中該軌道(213)係設有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件或其他可以藉由該驅動器(214)帶動該軌道(213)移動之傳動組件，且該軌道(213)係包括有二平行軌道(2131)與複數個垂直軌道(2132)，其中二該平行軌道(2131)係以上下平行之方式分別崁入該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)內，並且相互對應；此外，該基座(21)底部係設置有一可提供動力之驅動器(214)。

該傾斜平台(10)係設置於該基座(21)之一端部，其中該傾斜平台(10)與該基座(21)之間係夾設有一夾角(θ)。

該等固定滾輪(30)係分別連接該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)，且分別於各該些垂直軌道(2132)之二側並靠近下方之平行軌道(2131)，且各該固定滾輪(30)設置於該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)之位置高度係介於該些垂直軌道(2132)的高度之間，其中該些固定滾輪(30)係傾斜且相互平行設置而形成該傾斜平台(10)。

該等可動滾輪(40)係與該等固定滾輪(30)相互平行並設置於該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)之間，且該可動滾輪(40)之二端係分別崁入於該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)之軌道(213)內，並得以同時移動該些可動滾輪(40)於該軌道(213)內。

也就是說，在該基座(21)中，該平行軌道(2131)與該垂直軌道(2132)係組接成具有一迴圈之軌道(213)，而該等固定滾輪(30)係以傾斜且相互平行之方式排列，並設置於該垂直軌道(2132)之間以形成該傾斜平台(10)，使該可動滾輪(40)與該基座(21)形成夾角(θ)，而該等可動滾輪(40)係分別設置崁入於該軌道(213)內，且與該等固定滾輪(30)交叉設置，亦以傾斜且相互平行之方式排列以形成另一支撐架面，而該等可動滾輪(40)係藉由該驅動器(214)所提供之動力可沿著該軌道(213)移動。

據此，提供一種條棒式之基板傳輸裝置，使其能夠穩定的進行上下層之基板傳輸動作，並再透過可動滾輪設於平行軌道及垂直軌道內之配置設計，據此使在移送基板時可以減少大量的位移時間，同時又能夠透過可動滾輪的不同速度，有效使可動滾輪由傾斜轉成水平並穩定進行上下層之基板傳輸動作等優勢。

此外，本發明其二較佳實施例之基板傳輸裝置(20)將該基板(3)由前一濕式製程運送至下一製程的方式係如下所述：

1. 請一併參閱第11圖所示，其中當該基板(3)係由該傾斜平台(10)左側部之入料口進入該傾斜平台(10)後，該等可動滾輪(40)藉由該驅動器(214)所提供之動力同時於該軌道(213)之垂直軌道(2132)內上升，以至該傾斜平台(10)承載該基板(3)。

2. 請一併參閱第12圖所示，為本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之可動滾輪移動示意圖，其中由於該傾斜平台(10)之複數個該固定滾輪(30)係為左上右下之傾斜態樣，而一開始設置於各該固定滾輪(30)下方之複數個該可動滾輪(40)，其係平行設於該軌道(213)內，但不以此為限；當基板(3)就定位後，各該可動滾輪(40)即會移動至一預備位置待命。

3. 請一併參閱第13圖所示，為本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之可動滾輪在預備位置示意圖，當各該可動滾輪(40)移動至預備位置待命，該可動滾輪(40)在預備位置待命係呈傾斜或水平態樣，在本發明一實施例中，各該可動滾輪(40)係與各該固定滾輪(30)呈傾斜態樣並相互平行設置，但不以此為限；在本發明另一實施例中，各該可動滾輪(40)係與各該固定滾輪(30)形成該夾角(θ)設置。

4. 請一併參閱第14圖所示，為本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之可動滾輪由傾斜到水平之動作示意圖，當左側部之可動滾輪(40)交錯該固定滾輪(30)，並接觸該基板(3)後，立即停止，並同時等待右側部之可動滾輪(40)接觸該基板(3)，接續等待所有的可動滾輪(40)接觸該基板(3)後，即使各該可動滾輪(40)由傾斜態樣快速微調至水平態樣後，再一起抬升該基板(3)；接續，各該可動滾輪(40)即抬升該基板(3)朝向遠離該傾斜平台(10)之方向上升，其中該等可動滾輪(40)接觸該基板(3)後，即以相同速度載運該基板(3)，使該基板(3)得以水平態樣朝向遠離該傾斜平台(10)之方向移動。

5. 請一併參閱第15圖所示，為本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之可動滾輪抬升之另一視角剖視示意圖，其中，該基板(3)藉由一下層輸送機構(5)傳輸至由複數個固定滾輪(30)所形成的傾斜平台(10)，複數個可動滾輪(40)則先位於該傾斜平台(10)下方之下層平行軌道(2131)內待命上升，待該基板(3)就定位後，請參閱第5圖所示，該複數個可動滾輪(40)藉由驅動器(214)所提供之動力同時於該軌道(213)內上升以承載該基板(3)至上層平行軌道(2131)，當該基板(3)完全移至該上層輸送機構(4)後，該下層輸送機構(5)將基板(3)傳輸至該傾斜平台(10)，同時該複數個可動滾輪(40)順向平行軌道(2131)水平移動至最邊側之垂直軌道(2132)，並再依序下降至下層平行軌道(2131)，並就定預備位置待命，最後，待基板(3)就定位後，該複數個可動滾輪(40)再次上升以承載該基板(3)至上層平行軌道(2131)以形成一循環動作。

據此，透過可動滾輪、固定滾輪、平行軌道及垂直軌道之配置設計，藉由位於軌道內可移動的可動滾輪，使在移送基板時可以減少大量的位移時間，同時另可以減少運輸裝置循環移動的時間，同時又能夠透過可動滾輪的不同速度，有效使可動滾輪由傾斜轉成水平並穩定進行上下層之基板傳輸動作等優勢。

再者，請參閱第16圖所示，為本發明基板傳輸方法其一較佳實施例之流程圖，其係適用於基板傳輸裝置其一較佳實施例，並提供一種基板傳輸方法(S10)，適用於一如第1至11圖所述之基板傳輸裝置(20)，其至少包含以下步驟：

步驟a(S11)：首先，第一牙叉組件及第二牙叉組件在一預備位置待命，且與一傾斜平台平行；

步驟b(S12)：接續，當一基板透過一下層輸送機構傳輸至該傾斜平台上就定位後，則該第一牙叉組件及該第二牙叉組件即往上抬升並與該傾斜平台交錯後再持續上升；

步驟c(S13)：待該第一牙叉組件及該第二牙叉組件完全遠離該傾斜平台；

步驟d(S14)：該第一牙叉組件及該第二牙叉組件由傾斜自轉為水平，同時其一牙叉組件透過微調上升或下降至另一牙叉組件之相對位置；

步驟e(S15)：待該第一牙叉組件及該第二牙叉組件平行後，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件向上傳輸後，當該基板傳輸遠離後，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件再同時自轉呈垂直，並往兩側分開後再下降，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件下降至該預備位置；以及

步驟f(S16)：進入待機狀態，待該基板由該下層輸送機構傳輸到該傾斜平台就定位，重複步驟a至步驟e。

在本發明之一實施例中，其中該步驟d(S14)更包含該第一牙叉組件係透過該第二升降機構微調下降至該第二牙叉組件之相對位置。

在本發明之另一實施例中，其中該步驟d(S14)更包含該第二牙叉組件係透過該第二升降機構微調上升至該第一牙叉組件之相對位置。

據此，提供一種係適用一種牙叉式之基板傳輸裝置之基板傳輸方法，藉此能夠穩定的進行上下層之基板傳輸動作，並再透過第二升降機構上升或下降之設計，據此能夠有效避免基板傳輸過程中損壞而造成不良等優勢。

另外，再請參閱第18圖所示，為本發明基板傳輸方法其二較佳實施例之流程圖，其係適用於基板傳輸裝置其二較佳實施例，並提供一種基板傳輸方法(S20)，適用於一如第12至16圖所述之基板傳輸裝置(20)，其至少包含以下步驟：

步驟A(S21)：首先，複數個可動滾輪至預備位置待命，且與傾斜平台之複數個固定滾輪平行；

步驟B(S22)：接續，當一基板透過一下層輸送機構傳輸至該傾斜平台上就定位後，則複數個該可動滾輪往上抬升交錯該傾斜平台之複數個該固定滾輪後，再持續上升；

步驟C(S23)：待複數個該可動滾輪同時承載並抬升該基板，當複數個該可動滾輪完全遠離該傾斜平台後，複數個該可動滾輪即會以不同的速度，同時將各該可動滾輪由傾斜微調為水平；

步驟D(S24)：待各該可動滾輪平行後，再藉由複數個垂直軌道向上垂直升起至各該垂直軌道頂點，待各該可動滾輪上升至頂點後，該複數個可動滾輪透過驅動器提供動力並自體旋轉；

步驟E(S25)：當該基板透過一上層輸送機構移出後，該複數個可動滾輪透過上方之平行軌道橫向位移至最邊側之垂直軌道，並由該垂直軌道垂直下降至該垂直軌道底點，並透過下方之平行軌道橫移至待命之預備位置；以及

步驟F(S26)：進入待機狀態，待該基板由該下層輸送機構傳輸到該傾斜平台就定位，重複步驟A(S21)至步驟E(S25)。

在本發明之一實施例中，其中該步驟C(S23)更包含複數個該可動滾輪係以不同的速度，將各該可動滾輪由傾斜微調下降為水平。

在本發明之另一實施例中，其中該步驟C(S23)更包含複數個該可動滾輪係以不同的速度，將各該可動滾輪由傾斜微調上升為水平。

據此，提供一種係適用一種條棒式之基板傳輸裝置之基板傳輸方法，能夠穩定的進行上下層之基板傳輸動作，並再透過可動滾輪設於平行軌道及垂直軌道內之配置設計，據此使在移送基板時可以減少大量的位移時間，同時又能夠透過可動滾輪的不同速度，有效使可動滾輪由傾斜轉成水平並穩定進行上下層之基板傳輸動作等優勢。

由上述之實施說明可知，本發明與現有技術與產品相較之下，本發明具有以下優點：

1. 本發明之傾斜平台及以之製備之基板傳輸裝置主要係藉由在基板傳輸裝置之基座上設置具有傾斜角度之傾斜平台的設計，有效在基板傳輸的同時使其表面殘留之濕製程的藥液可順著傾斜角度滑落，以使基板在傳輸過程中不會因為化學藥液的殘留而對其表面造成危害之缺點，確實達到保持與提升所傳遞之基板的產品品質等主要優勢。

綜上所述，本發明之傾斜平台及基板傳輸裝置，的確能藉由上述所揭露之實施例，達到所預期之使用功效，且本發明亦未曾公開於申請前，誠已完全符合專利法之規定與要求。爰依法提出發明專利之申請，懇請惠予審查，並賜准專利，則實感德便。

惟，上述所揭之圖示及說明，僅為本發明之較佳實施例，非為限定本發明之保護範圍；大凡熟悉該項技藝之人士，其所依本發明之特徵範疇，所作之其它等效變化或修飾，皆應視為不脫離本發明之設計範疇。

(10):傾斜平台 (11):長邊 (12):短邊 (13):輸送輥 (131):導輥 (20):基板傳輸裝置 (21):基座 (211):第一支撐壁 (212):第二支撐壁 (213):軌道 (2131):平行軌道 (2132):垂直軌道 (214):驅動器 (22):第一升降機構 (221):第一升降軌道 (222):第一升降驅動器 (23):橫移機構 (231):橫移軌道 (232):橫移驅動器 (24):第二升降機構 (241):第二升降軌道 (242):第二升降驅動器 (25):第一牙叉組件 (251):第一轉軸 (252):第一牙叉架 (2521):第一牙叉 (26):第二牙叉組件 (261):第二轉軸 (262):第二牙叉架 (2621):第二牙叉 (27):導軌 (271):導軌軌道 (30):固定滾輪 (40):可動滾輪 (3):基板 (4):上層輸送機構 (5):下層輸送機構 (S10):基板傳輸方法 (S11)~(S16):步驟a~步驟f (S20):基板傳輸方法 (S21)~(S26):步驟A~步驟F (θ):夾角

第1圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之整體裝置立體圖； 第2圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之整體裝置剖視圖； 第3圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之基板置入示意圖； 第4圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之裝置運作開始示意圖； 第5圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之牙叉組件交錯傾斜平台示意圖； 第6圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之基板及牙叉組件動作示意圖； 第7圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之牙叉組件水平抬升示意圖； 第8圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之牙叉組件承載基板抬升至頂點示意圖； 第9圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之上層輸送機構接近示意圖； 第10圖：本發明基板傳輸裝置其一較佳實施例之牙叉組件自轉動作示意圖； 第11圖：本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之整體裝置立體圖； 第12圖：本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之整體裝置剖視圖； 第13圖：本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之可動滾輪在預備位置示意圖； 第14圖：本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之可動滾輪由傾斜到水平之動作示意圖； 第15圖：本發明基板傳輸裝置其二較佳實施例之可動滾輪抬升之另一視角剖視示意圖； 第16圖：本發明基板傳輸方法其一較佳實施例之流程圖；以及 第17圖：本發明基板傳輸方法其二較佳實施例之流程圖。

(10):傾斜平台

(11):長邊

(12):短邊

(13):輸送輥

(131):導輥

(20):基板傳輸裝置

(21):基座

(22):第一升降機構

(221):第一升降軌道

(222):第一升降驅動器

(23):橫移機構

(231):橫移軌道

(232):橫移驅動器

(24):第二升降機構

(241):第二升降軌道

(242):第二升降驅動器

(25):第一牙叉組件

(251):第一轉軸

(252):第一牙叉架

(2521):第一牙叉

(26):第二牙叉組件

(261):第二轉軸

(262):第二牙叉架

(2621):第二牙叉

(27):導軌

Claims (23)

1. 一種傾斜平台，係適用於一基板傳輸裝置(20)，其中該基板傳輸裝置(20)係至少包括有一基座(21)，其主要特徵在於：該傾斜平台(10)係設置於該基座(21)上，且該傾斜平台(10)與該基座(21)之間係夾設有一夾角(θ)；其中該夾角(θ)係介於3度至10度之間。
2. 如請求項1所述之傾斜平台，其中該基座(21)係由二長邊(11)及二短邊(12)所構成。
3. 如請求項2所述之傾斜平台，更包含複數個輸送輥(13)，各該輸送輥(13)係沿著該基座(21)之該二長邊(11)以不同高度形成該夾角(θ)之配置並且平行設置。
4. 如請求項3所述之傾斜平台，其中各該輸送輥(13)設有複數個導輥(131)。
5. 一種基板傳輸裝置，係至少包括有：一如請求項1至4中任一項所述之傾斜平台(10)；至少一第一升降機構(22)，係設置於該基座(21)上且位於該傾斜平台(10)之一側部，該第一升降機構(22)係至少包括有二第一升降軌道(221)，以及一設置於該第一升降軌道(221)之一端部的第一升降驅動器(222)；以及至少一橫移機構(23)，該橫移機構(23)係設置於該第一升降機構(22)之該第一升降軌道(221)內並與其呈90度配置，且該橫移機構(23)係包括有至少一橫移軌道(231)，以及一設置於該橫移軌道(231)之一端部的橫移驅動器(232)；至少一第二升降機構(24)，該第二升降機構(24)係設置於該橫移機構(23)之該橫移軌道(231)內並與其呈90度配置，且該第二升降機構(24)係與該第一 升降機構(22)平行設置，其中，該第二升降機構(24)係包括有至少一第二升降軌道(241)，以及一設置於該第二升降軌道(241)之一端部的第二升降驅動器(242)；一第一牙叉組件(25)，係設置於該第二升降機構(24)，該第一牙叉組件(25)係包括有一崁入於該第二升降機構(24)之該第二升降軌道(241)之第一轉軸(251)；一第二牙叉組件(26)，係設置於該橫移機構(23)，該第二牙叉組件(26)係包括有一崁入於該橫移軌道(231)之第二轉軸(261)。
6. 如請求項5所述之基板傳輸裝置，其中該第一升降軌道(221)、該橫移軌道(231)及該第二升降軌道(241)內各自係進一步設置有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件之傳動組件。
7. 如請求項5所述之基板傳輸裝置，該第一牙叉組件(25)係更包括一設置於該第一轉軸(251)一端的第一牙叉架(252)，以及複數根與該第一牙叉架(252)垂直設置之第一牙叉(2521)，且複數個該第一牙叉(2521)彼此係並列排製而成。
8. 如請求項5或7所述之基板傳輸裝置，該第二牙叉組件(26)係更包括一設置於該第二轉軸(261)一端的第二牙叉架(262)，以及複數根與該第二牙叉架(262)垂直設置之第二牙叉(2621)，且複數個該第二牙叉(2621)彼此係並列排製而成。
9. 如請求項8所述之基板傳輸裝置，其中該傾斜平台(10)係藉由一轉速以傳輸至少一基板(3)。
10. 如請求項9所述之基板傳輸裝置，其中進一步由一上層輸送機構(4)接收該第一牙叉組件(25)及該第二牙叉組件(26)頂抵之該基板(3)。
11. 如請求項9所述之基板傳輸裝置，其中該橫移機構(23)之兩側更進一步設有二導軌(27)，各該導軌(27)內更設有一導軌軌道(271)，該導軌軌道(271)能夠使該橫移機構(23)崁入並進行上下滑移。
12. 如請求項8所述之基板傳輸裝置，其中該第一牙叉組件(25)之該第一轉軸(251)另一端設置有該第二升降機構(24)。
13. 如請求項8所述之基板傳輸裝置，其中該第二牙叉組件(26)之該第二轉軸(261)另一端設置有該第二升降機構(24)。
14. 一種基板傳輸方法，適用於一如請求項5至13任一項所述之基板傳輸裝置(20)，其至少包含以下步驟：步驟a(S11)：首先，第一牙叉組件及第二牙叉組件在一預備位置待命，且與一傾斜平台平行；步驟b(S12)：接續，當一基板透過一下層輸送機構傳輸至該傾斜平台上就定位後，則該第一牙叉組件及該第二牙叉組件即往上抬升並與該傾斜平台交錯後再持續上升；步驟c(S13)：待該第一牙叉組件及該第二牙叉組件完全遠離該傾斜平台；步驟d(S14)：該第一牙叉組件及該第二牙叉組件由傾斜自轉為水平，同時其一牙叉組件透過微調上升或下降至另一牙叉組件之相對位置；步驟e(S15)：待該第一牙叉組件及該第二牙叉組件平行後，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件向上傳輸後，當該基板傳輸遠離後，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件再同時自轉呈垂直，並往兩側分開後再下降，該第一牙叉組件及該第二牙叉組件下降至該預備位置；以及 步驟f(S16)：進入待機狀態，待該基板由該下層輸送機構傳輸到該傾斜平台就定位，重複步驟a至步驟e。
15. 如請求項14所述之基板傳輸方法，其中該步驟d(S14)更包含該第一牙叉組件係透過該第二升降機構微調下降至該第二牙叉組件之相對位置。
16. 如請求項14所述之基板傳輸方法，其中該步驟d(S14)更包含該第二牙叉組件係透過該第二升降機構微調上升至該第一牙叉組件之相對位置。
17. 一種基板傳輸裝置，係至少包括有：一如請求項1至4中任一項所述之傾斜平台(10)；其中該基座(21)之二該短邊(12)係分別設置有一第一支撐壁(211)與一第二支撐壁(212)，該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)係藉由至少一軌道(213)連接，該軌道(213)係包括有二平行軌道(2131)與複數個垂直軌道(2132)，且該基座(21)底部係設置有一驅動器(214)；該傾斜平台(10)之該輸送輥(13)係為複數個固定滾輪(30)，複數個該固定滾輪(30)係分別傾斜連接該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)之間，且分別於各該些垂直軌道(2132)之二側並靠近下方之平行軌道(2131)，其中該些固定滾輪(30)係傾斜且相互平行設置而形成該傾斜平台(10)；以及複數個可動滾輪(40)，係相互平行並設置於該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)之間，且該可動滾輪(40)之二側部係分別崁入於該第一支撐壁(211)與該第二支撐壁(212)之該軌道(213)內，並得以同時移動該些可動滾輪(40)於該軌道(213)內。
18. 如請求項17所述之基板傳輸裝置，其中該軌道(213)係設置有皮帶、鍊條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件之傳動組件。
19. 如請求項17所述之基板傳輸裝置，其中該驅動器(214)係提供一動力以使該複數個可動滾輪(40)自體旋轉，並同時帶動該些可動滾輪(40)於該軌道(213)內移動。
20. 如請求項17所述之基板傳輸裝置，其中複數個該固定滾輪(30)與複數個該可動滾輪(40)係為交叉設置。
21. 一種基板傳輸方法，適用於一如請求項17至20任一項所述之基板傳輸裝置(20)，其至少包含以下步驟：步驟A(S21)：首先，複數個可動滾輪至預備位置待命，且與傾斜平台之複數個固定滾輪平行；步驟B(S22)：接續，當一基板透過一下層輸送機構傳輸至該傾斜平台上就定位後，則複數個該可動滾輪往上抬升交錯該傾斜平台之複數個該固定滾輪後，再持續上升；步驟C(S23)：待複數個該可動滾輪同時承載並抬升該基板，當複數個該可動滾輪完全遠離該傾斜平台後，複數個該可動滾輪即會以不同的速度，同時將各該可動滾輪由傾斜微調為水平；步驟D(S24)：待各該可動滾輪平行後，再藉由複數個垂直軌道向上垂直升起至各該垂直軌道頂點，待各該可動滾輪上升至頂點後，該複數個可動滾輪透過驅動器提供動力並自體旋轉；步驟E(S25)：當該基板透過一上層輸送機構移出後，該複數個可動滾輪透過上方之平行軌道橫向位移至最邊側之垂直軌道，並由該垂直軌道垂直下降至該垂直軌道底點，並透過下方之平行軌道橫移至待命之預備位置；以及 步驟F(S26)：進入待機狀態，待該基板由該下層輸送機構傳輸到該傾斜平台就定位，重複步驟A(S21)至步驟E(S25)。
22. 如請求項21所述之基板傳輸方法，其中該步驟C(S23)更包含複數個該可動滾輪係以不同的速度，同時將各該可動滾輪由傾斜微調下降為水平。
23. 如請求項21所述之基板傳輸方法，其中該步驟C(S23)更包含複數個該可動滾輪係以不同的速度，同時將各該可動滾輪由傾斜微調上升為水平。

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