CN114453304A - 处理*** - Google Patents

Abstract

本发明提供一种在横排配置时容易维护的处理***。处理***(10)具有多个处理单元(10a～10d)，各处理单元(10a～10d)具有：具有设置于正面的供工件出入的搬入门(17)和设置于背面的检查门(21)，并且配置在前方的处理室(13)；与处理室(13)分离地配置在处理室(13)的后方，具有与处理室(13)实质上相同的宽度的控制盘(43)；和配置在处理室(13)与控制盘(43)之间，具有与处理室(13)实质上相同的宽度的台阶(31)，在将处理室(13)的各自的正面对齐而在横向上排列配置时，各台阶(31)连接而形成通路。

Description

处理***

技术领域

本发明涉及一种处理***。

背景技术

提出了一种清洗机的方案，该清洗机具有：清洗室；喷嘴；载置工件的工作台；具有相对于与工作台垂直的假想轴的倾斜角度而配置于工作台的工作台回旋轴；和轴支撑工作台回旋轴的支撑件(日本专利特许第4203298号公报、以下，“专利文献1”)。

如果将专利文献1的清洗机横排配置，则存在难以维护驱动部或泵的情况。

发明内容

本发明的目的在于提供一种在横排配置时容易维护的处理***。

本发明的第一观点是一种处理***，其具有多个处理单元，各处理单元具有：

处理室，所述处理室具有设置于正面的供工件出入的搬入门和设置于背面的检查门，所述处理室配置在前方；

控制盘，所述控制盘与所述处理室分离地配置在所述处理室的后方，具有与所述处理室实质上相同的宽度；和

台阶，所述台阶配置在所述处理室与所述控制盘之间，具有与所述处理室实质上相同的宽度，

在将所述处理室的各自的所述正面对齐而在横向上排列配置时，各所述台阶连接而形成通路。

本发明的第二观点是一种处理***，其具有多个处理单元，各处理单元具有：

处理室，所述处理室具有设置于正面的供工件出入的搬入门，所述处理室配置在前方；

控制盘，所述控制盘与所述处理室分离地配置在所述处理室的后方，具有与所述处理室实质上相同的宽度；

机械室，所述机械室具有设置于前表面的检查门，所述机械室与所述控制盘接触地配置在所述控制盘的前方，具有与所述处理室实质上相同的宽度；和

台阶，所述台阶配置在所述处理室与所述机械室之间，具有与所述处理室实质上相同的宽度，

在将所述处理室的各自的所述正面对齐而在横向上排列配置时，各所述台阶连接而形成通路。

本发明的第三观点是一种处理***，其具有多个处理单元，各处理单元具有：

处理室，所述处理室具有设置于正面的供工件出入的搬入门和设置于背面的检查门，所述处理室配置在前方；

控制盘，所述控制盘与所述处理室分离地配置在所述处理室的后方；和

台阶，所述台阶配置在所述处理室与所述控制盘之间，

多个所述处理单元的所述台阶具有相同的高度，

在将多个所述处理单元的所述处理室的各自的所述正面对齐而在横向上排列配置时，各所述台阶连接而形成通路。

处理单元例如是喷射清洗机、吹风机、减压干燥机、去毛刺机。去毛刺机包括：使旋转工具或刷子与工件接触而去毛刺的装置；和将液体喷流向工件喷射并通过液体喷流的动压而去毛刺的装置。

在处理室中，例如配置有清洗液喷射喷嘴、吹风喷嘴、减压干燥容器、去毛刺工具。清洗液喷射喷嘴、吹风喷嘴、减压干燥容器、去毛刺工具能够相对于工件相对地移动。例如，清洗液喷射喷嘴、吹风喷嘴、减压干燥容器、去毛刺工具被数值控制。工件被搬入处理室的内部。工件在处理室的内部进行清洗、吹风、干燥、去毛刺。

在处理室中，也可以配置机器人、旋转装置、回旋装置。机器人、旋转装置、回旋装置使清洗液喷射喷嘴、吹风喷嘴、去毛刺工具相对于工作台相对地移动。机器人、旋转装置、回旋装置由电机驱动。机器人、旋转装置、回旋装置例如被数值控制。

机器人例如是垂直多关节机器人、水平多关节机器人、并联连杆机器人。旋转装置例如是载置工件的清洗工作台、使回旋工作台旋转的工作台旋转装置。回旋装置例如是以与旋转轴垂直的回旋轴为中心使工作台回旋的工作台回旋装置。

优选的是，在将多个处理单元的前表面对齐并横排地配置时，各处理单元的背面相互排列。此时，各个处理室的背面成为大致相同的平面。在背面也可以具有凹凸。

优选的是，处理室具有与最前表面连接的台面和与台面连接且在台面的后方立起的正面。处理室具有配置在正面的下方的正面开口和配置在台面的后方且具有与正面开口连接的半圆形的上表面开口的搬入口。

搬入门是具有圆筒面和与圆筒面连接的上表面的圆筒状的滑动门。在搬入门打开时，搬入门通过搬入口收纳在处理室内。在搬入门打开时，搬入口朝向上方以及正面露出。

优选的是，搬入门是双开门。例如，左搬入门具有中心角约为90度的圆筒面和中心角约为90度的扇形板即上表面。左搬入门沿着圆筒面旋转，收纳于处理室的左半面。右搬入门与左搬入门面对称。右搬入门沿着圆筒面旋转，收纳于处理室的右半面。

处理单元例如具有清洗泵、空气过滤器单元、清洗液过滤装置、减压泵、空气源。空气源例如是吹风机、空气压缩机、空气过滤装置、空气干燥机。清洗泵、空气过滤器单元、清洗液过滤装置、减压泵、吹风机、空气源配置在机械室的内部。

也可以在台阶的下方设置罐。罐贮存清洗液、冷却液。台阶可以与罐一体。例如，罐的上方被释放，设置在罐的上表面的盖可以是台阶。

优选的是，控制盘配置在机械室的背面。控制盘也可以在背面具有门。优选的是，在将多个处理单元配置成横排时，控制盘的背面排列成一排。换言之，各个控制盘的背面配置在同一平面上。

优选的是，控制盘和处理室一体地形成。例如，在台阶的下方设置框架或罐。控制盘、机械室和处理室通过框架或罐一体地连接。

电缆架可以配置在台阶的下方。从控制盘向处理室内的机器人、工作台回旋装置、喷嘴回旋装置供给电力的电源电缆、设置在处理室中的传感器类的控制电缆被收纳在电缆架中。另外，也可以将清洗配管、空气配管、减压配管收纳在电缆架中。

优选的是，处理室、台阶和控制盘具有相同的宽度。优选的是，机械室具有与处理室相同的宽度。优选的是，处理单元的左右的侧面是一个平面。

在将多个处理单元配置成横一排时，各处理单元的台阶连接。多个处理单元也可以紧挨地配置。在多个处理单元紧挨地配置时，台阶连续。连接的台阶作为通路发挥功能。由于各个台阶以相同高度连续，因此在台阶上没有阶差，工作人员容易在台阶之上行走。

连接框架例如是自动输送机的框架。基准面从工作台或工作台旋转轴设置在规定的位置。在各个处理单元与连接框架连接时，处理单元正确地配置成一列。

另外，相邻的处理单元也可以隔开间隔地配置。优选的是，在各处理单元之间还设置台阶。

另外，相邻的处理单元也可以隔开实质上相同的间隔而配置。在此，实质上相同的间隔是指工作人员不能通过相邻的处理单元之间的程度的宽度。

发明效果

本发明的处理***在横排配置时容易维护。

附图说明

图1是横排配置的实施方式的处理***的立体图。

图2是实施方式的喷射清洗机的立体图。

图3是实施方式的喷射清洗机的立体图。

图4是实施方式的吹风机的立体图。

图5是将实施方式的减压干燥机的一部分切断了的立体图。

图6是将实施方式的去毛刺机的一部分切断了的立体图。

符号说明

10a 喷射清洗机

10b 吹风机

10c 减压干燥机

10d 去毛刺机

13a 清洗室

13b 吹风室

13c 干燥室

13d 去毛刺室

17 搬入门

31 台阶

41 机械室

43 控制盘

具体实施方式

如图1所示，实施方式的处理***10具有多个处理单元10a～10d。多个处理单元10a～10d将侧面相互紧挨地配置成横一排。本实施方式的处理单元10a～10d例如是喷射清洗机10a、吹风机10b、减压干燥机10c、去毛刺机10d。喷射清洗机10a、吹风机10b、减压干燥机10c、去毛刺机10d的整体结构实质上相同。处理单元10a～10d分别具有处理室13、台阶31、电源电缆34和控制盘43。处理单元10a～10d也可以具有连接部27、机械室41和电缆架33。

在各处理单元10a～10d中，处理室13和控制盘43具有实质上相同的宽度。在各处理单元10a～10d中，处理室13和台阶31具有实质上相同的宽度。在各处理单元10a～10d中，处理室13和机械室41具有实质上相同的宽度。

相邻的处理单元10a～10d之间可以隔开实质上相同的间隔地进行设置。在此，实质上相同的间隔是指工作人员不能通过相邻的处理单元10a～10d之间的程度的宽度。由此，能够防止工作人员从处理单元10a～10d的后方进入。

各处理单元10a～10d的台阶31分别具有相同的高度。各处理单元10a～10d的台阶31分别具有相同的前后方向的长度。各处理单元10a～10d的处理室13分别具有相同的前后方向的长度。

以下，对喷射清洗机10a进行说明。如图2以及图3所示，喷射清洗机10a具有清洗室13a、机械室41a、罐35、清洗配管32、工作台23、喷嘴25和泵49。喷射清洗机10a也可以具有过滤器48。

喷射清洗机10a的清洗室13a、机械室41a、罐35和控制盘43的左右的侧面位于同一平面上。从上方观察，喷射清洗机10a为长方形。

图2以及图3表示搬入门17、检查门21和检查门47打开的状态。如图1～图3所示，清洗室13a具有背面131、第一正面132、台面133、第二正面134、搬入口15和搬入门17。清洗室13a也可以具有后开口19、检查门21、工作台旋转电机22、喷嘴回旋电机24和连接部27。

清洗室13a在侧面视图下为L字状。第一正面132是在清洗室13a的下方向最正面侧突出的面。台面133与第一正面132的上端连接，向第一正面132的后方水平地延伸。第二正面134与台面133的后端连接，向台面133的上方延伸。背面131从清洗室13a的上端延伸到下端。

搬入口15具有正面开口15a和上表面开口15b。正面开口15a为长方形。正面开口15a占第二正面134的大致整个面。正面开口15a配置在第二正面134的宽度的中央且靠下方。上表面开口15b为半圆状，与正面开口15a连接。上表面开口15b配置在台面133的靠后方。

搬入门17例如是滑动门。搬入门17配置于搬入口15。搬入门17具有左搬入门171和右搬入门172。左搬入门171是将滚筒切断成中心角90度的形状。左搬入门171具有圆筒面171a和上表面171b。圆筒面171a为1/4圆筒状。上表面171b为1/4圆板，与圆筒面171a连接。右搬入门172与左搬入门171面对称。右搬入门172具有圆筒面172a和上表面172b。

左搬入门171和右搬入门172配置在搬入口15的内侧。左搬入门171和右搬入门172在关闭时成为半圆筒状，堵塞搬入口15的上表面开口15b和正面开口15a。

从正面132观察，左搬入门171沿着圆筒面171a向左侧以大约90度回旋。从正面132观察，右搬入门172沿着圆筒面172a向右侧以大约90度回旋。

在搬入门17打开时，搬入口15几乎完全开放。此时，左搬入门171收纳于清洗室13a的左半面。另外，右搬入门172收纳于清洗室13a的右半面。

连接部27具有基准面271和连接框架272。连接框架272是作为基准的框架，例如是自动输送机5的框架。基准面271例如设置于正面132。基准面271设置在距离工作台23规定的位置。连接框架272和各个基准面271例如由销定位。连接框架272与各处理单元10a～10d的基准面271连接。由此，各处理单元10a～10d被排列在正确的位置。

另外，连接部27也可以包括基准面(基准部)271和连结部(未图示)。此时，基准面271例如仅配置在正面132的一侧(例如左侧)。连结部例如配置在正面132的右侧。连结部从右侧的侧面突出。连结部与各处理单元10a～10d的基准面271结合。基准面271和连结部例如由销定位。由此，各处理单元10a～10d被排列在正确的位置。

另外，基准面271也可以配置在左右的任一个侧面。连结部(未图示)配置在基准面271的相反侧。连结部与相邻的处理单元10a～10d的基准面271结合。

如图3所示，背面131具有后开口19。后开口19配置在台阶31的上方。后开口19例如为长方形。检查门21设置于后开口19。例如，检查门21是单开门。检查门21例如为左开(左悬挂)。

工作台23配置在清洗室13a的内部。从上面观察，工作台23的整体也可以位于比正面134靠前方。另外，从上面观察，也可以是只有工作台23的一部分位于比正面134靠前方。由此，在搬入门17打开时，从上方以及前方观察，工作台23从搬入口15露出。

工作台23例如是旋转工作台。在工作台23上载置有工件3。工作台23与工作台旋转电机22连接。工作台23以工作台旋转轴231为中心旋转。工作台旋转轴231铅垂地延伸。

喷嘴25配置在清洗室13a的内部。喷嘴25例如沿铅垂方向延伸。喷嘴25例如在水平方向向工件3喷射清洗液。例如，喷嘴25具有多个喷口251。喷嘴25通过喷嘴回旋电机24以喷嘴旋转轴252为中心转动。喷嘴旋转轴252铅垂地延伸。

台阶31a例如具有大约200mm～400mm的高度。工作人员在台阶31a之上行走。

罐35贮存清洗液。罐35例如是箱型，是双槽式的开放罐。罐35具有盖351。盖351、罐35的上表面成为台阶31a的上表面。

机械室41a具有前表面开口45和检查门47。检查门47具有单开门471和跳起门472。

如图1以及图2所示，前表面开口45从机械室41a的前表面的台阶31的上方垂直地延伸，扩展到机械室41a的上表面的前方侧一半。优选的是，前表面开口45扩展到机械室41a的大致整个宽度。

单开门471从前表面开口45的中央部覆盖到下端部。单开门471例如为左开(左悬挂)。跳起门472覆盖前表面开口45的上方部和上表面部。

控制盘43配置在机械室41a的背面。控制盘43在背面具有门51。门51例如是单开门、观音门。控制盘43收纳电源、数值控制装置、放大器、继电器等。

泵49配置在机械室41a的内部。泵49是液体泵，例如是离心泵、活塞泵。泵49对贮存在罐35中的清洗液进行加压，并向喷嘴25输送。

过滤器48配置在机械室41a的内部。过滤器48对罐35内的清洗液进行过滤。

电缆架33设置在台阶31的下方。电缆架33收纳电源电缆34、清洗配管32。电源电缆34连接控制盘43和电机22、24。电源电缆34向电机22、24供给驱动电流。清洗配管32连接泵49和喷嘴25。清洗配管32从泵49向喷嘴25供给清洗液。

图4表示将搬入门17和检查门47打开的状态的吹风机10b。如图4所示，吹风机10b具有吹风室13b、台阶31b、空气源59、空气配管52和空气喷嘴55。吹风机10b也可以具有机械室41b。吹风机10b的其他结构与喷射清洗机10a相同。吹风机10b的吹风室13b、机械室41b、台阶31b和控制盘43的左右的侧面位于同一平面上。从上方观察，吹风机10b为长方形。

吹风室13b具有与清洗室13a相同的结构。空气喷嘴55具有喷口551。喷口551例如是管、狭缝。

台阶31b具有脚轮311。台阶31b具有与台阶31a相同的高度。台阶31b与吹风室13b以及机械室41b分离。台阶31b能够在横向上滑动。由此，能够释放吹风室13b的后方的区域。

机械室41b具有与机械室41a相同的结构。空气源59例如配置在机械室41b的内部。空气源59例如是空气过滤器、送风机、空气压缩机、空气干燥机。空气源59的电源从控制盘43供给。

另外，在不需要空气源59的情况下，也可以省略机械室41b。在这种情况下，例如，压缩空气直接供给到吹风室13b。

空气配管52配置在电缆架33上。空气配管52连接空气源59和空气喷嘴55。空气配管52将干燥空气或压缩空气向空气喷嘴55供给。

图5表示将搬入门17和检查门47打开的状态的减压干燥机10c。减压干燥机10c具有干燥室13c、台阶31c、机械室41c、回旋工作台63、容器盖65、气缸67、减压泵69和减压配管68。减压干燥机10c的其他结构与喷射清洗机10a相同。减压干燥机10c的干燥室13c、机械室41c、台阶31c和控制盘43的左右的侧面位于同一平面上。从上方观察，减压干燥机10c为长方形。

干燥室13c具有与清洗室13a相同的结构。但是，干燥室13c具有脚轮311。回旋工作台63、容器盖65和气缸67配置在干燥室13c的内部。

回旋工作台63为180度分割，具有第一减压容器631和第二减压容器632。第一减压容器631和第二减压容器632是相同的结构，与回旋轴633旋转对称地配置。第一减压容器631从侧方观察为三角形，从上方观察为四边形。第一减压容器631是在远离回旋轴633的一侧向斜上方开放的箱型容器。工件3分别设置在第一减压容器631、第二减压容器632的内部。

工作台旋转电机22使回旋工作台63每次回旋180度，将第一减压容器631、第二减压容器632的任一方配置在干燥位置634。

气缸67例如是空气气缸、电气缸。

容器盖65从侧方观察为三角形，从上方观察为四边形。容器盖65是朝向回旋轴633向斜下方开放的箱型的盖。容器盖65与气缸67连接。气缸67在前后方向上移动容器盖65。容器盖65向前方移动时，容器盖65与位于干燥位置634的第一减压容器631或者第二减压容器632连接。然后，通过容器盖65将第一减压容器631或者第二减压容器632密闭。

台阶31c是与台阶31b相同的结构。在使台阶31c向横向滑动而打开干燥室13c的后方时，能够使干燥室13c向后方的打开的空间滑动。

机械室41c具有前表面开口451和检查门473。前表面开口451扩展到机械室41c的前表面的大致整个面。检查门473例如是左开的单开门。

减压泵69配置在机械室41c的内部。减压泵69例如是罗茨泵、涡旋泵、旋转泵。

减压配管68连接减压泵69和容器盖65。减压泵69对密闭的第一减压容器631或者第二减压容器632的内部进行减压，使工件3干燥。

如图6所示，去毛刺机10d具有去毛刺室13d、工作台旋转电机22、工作台23、机器人71、去毛刺工具72、台阶31d、控制盘43和电缆架33。去毛刺机10d的去毛刺室13d、台阶31d和控制盘43的左右的侧面位于同一平面上。从上方观察，去毛刺机10d为长方形。去毛刺机11d具有脚轮311。

去毛刺室13d具有与清洗室13a相同的结构。机器人71例如是并联连杆式的机器人，配置在去毛刺室13d的内部。去毛刺工具72例如具有旋转刃具721。去毛刺工具72设置在机器人71的凸缘部。机器人71自由地控制去毛刺工具72的位置和姿势。机器人71使旋转刃具721与工件3接触，进行去毛刺。

台阶31d具有框架312。台阶31d具有与台阶31a、31b、31c相同的高度和长度。框架312连接去毛刺室13d和控制盘43。

另外，也可以使台阶31d的长度比台阶31a～31c长，使从第一正面132到控制盘43的背面的距离与处理单元10a～10c对齐。在这种情况下，在排列处理单元10a～10d时，各控制盘43的背面的位置对齐。

如图1所示，当将喷射清洗机10a、吹风机10b、减压干燥机10c、去毛刺机10d配置成横一排时，各台阶31相互连接。在喷射清洗机10a、吹风机10b、减压干燥机10c、去毛刺机10d紧贴地配置时，各台阶31单独地形成通路。由此，工作人员能够在台阶31之上行走，在处理单元10a～10d之间移动。

各检查门21、471、472、473面向台阶31。因此，搭乘于台阶31工作人员能够对清洗室13a、吹风室13b、干燥室13c、去毛刺室13d、机械室41a、41b、41c的内部进行维护。

因此，即使紧挨地配置处理单元10a～10d，也容易进行维护。

另外，在处理单元10a～10d被配置成横一排时，在处理单元10a～10d的背面排列有控制盘43。工作人员能够从处理单元10a～10d的背面打开各控制盘43并进行维护。由于控制盘43有规则地配置，因此操作性提高。

由于各处理单元10a～10d的外观尺寸相同，因此能够自由地变更排列。例如，依次排列设置1台去毛刺机10d、2台喷射清洗机10a、1台减压干燥机10c。然后，将喷射清洗机10a与减压干燥机10c之间空开1台处理单元的量，能够将吹风机10b***该空间。另外，也可以拉出喷射清洗机10a、吹风机10b，填充其间的空间。

使吹风机10b、减压干燥机10c的台阶31b向横向滑动，从而能够空出一台的量的处理室的后方。若使减压干燥机10c向后方滑动，则能够从前后进行维护。

另外，也可以在清洗室13a、吹风室13b配置脚轮311。也可以在罐35设置脚轮311。也可以将喷射清洗机10a的清洗室13a、罐35、机械室41a和控制盘43一体地结合并配置脚轮311。

本发明并不限定于上述的实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内可以进行各种变形，在权利要求书中记载的技术思想中包含的技术事项的全部成为本发明的对象。所述实施方式示出了优选的例子，但是本领域技术人员能够根据本说明书中公开的内容，实现各种代替例、修正例、变形例或者改良例。这些包含在附加的权利要求书所记载的技术范围内。

Claims (12)

1.一种处理***(10)，其特征在于，具有多个处理单元(10a～10d)，

各处理单元(10a～10d)具有：

处理室(13)，所述处理室(13)具有设置于正面的供工件(3)出入的搬入门(17)和设置于背面的第一检查门(21)，所述处理室(13)配置在前方；

控制盘(43)，所述控制盘(43)与所述处理室(13)分离地配置在所述处理室(13)的后方，具有与所述处理室(13)实质上相同的宽度；和

台阶(31)，所述台阶(31)配置在所述处理室(13)与所述控制盘(43)之间，具有与所述处理室(13)实质上相同的宽度，

在将所述处理室(13)的各自的所述正面对齐而在横向上排列配置时，各所述台阶(31)连接而形成通路。

2.根据权利要求1所述的处理***(10)，其特征在于，

所述各处理单元(10a～10d)具有机械室(41)，所述机械室(41)具有设置于前表面的第二检查门(47)，所述机械室(41)与所述控制盘(43)接触地配置在所述控制盘(43)的前方。

3.一种处理***(10)，其特征在于，具有多个处理单元(10a～10d)，

各处理单元(10a～10d)具有：

处理室(13)，所述处理室(13)具有设置于正面的供工件出入的搬入门(17)，所述处理室(13)配置在前方；

控制盘(43)，所述控制盘(43)与所述处理室(13)分离地配置在所述处理室(13)的后方，具有与所述处理室(13)实质上相同的宽度；

机械室(41)，所述机械室(41)具有设置于前表面的检查门(47)，所述机械室(41)与所述控制盘(43)接触地配置在所述控制盘(43)的前方，具有与所述处理室(13)实质上相同的宽度；和

台阶(31)，所述台阶(31)配置在所述处理室(13)与所述机械室(41)之间，具有与所述处理室(13)实质上相同的宽度，

在将所述处理室(13)的各自的所述正面对齐而在横向上排列配置时，各所述台阶(31)连接而形成通路。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的处理***(10)，其特征在于，

多个所述处理单元(10a～10d)的所述台阶(31)分别具有相同的高度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的处理***(10)，其特征在于，

所述各处理单元(10a～10d)具有配置在所述台阶(31)的下方，连接所述处理室(13)和所述机械室(41)的电缆架(33)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的处理***(10)，其特征在于，

多个所述处理单元(10a～10d)的所述处理室(13)分别具有相同的前后方向的长度。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的处理***(10)，其特征在于，

多个所述处理单元(10a～10d)的所述台阶(31)分别具有相同的前后方向的长度。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的处理***(10)，其特征在于，

所述处理室(13)和所述台阶(31)具有脚轮(311)，

所述台阶(31)能够从所述处理室(13)与所述机械室(41)之间沿横向拉出，

所述处理室(13)能够拉出到所述台阶(31)被拉出而产生的后方的空间。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的处理***(10)，其特征在于，

所述各处理单元(10a～10d)具有配置在所述台阶(31)的下方，贮存清洗液的罐(35)。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的处理***(10)，其特征在于，

多个所述处理单元(10a～10d)的所述处理室(13)分别具有配置在前表面的基准面(271)，

还具有与多个所述处理单元(10a～10d)的所述基准面(271)分别连接的连接框架(272)。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的处理***(10)，其特征在于，

所述处理单元(10a)分别具有：

连接基准部(271)，所述连接基准部(271)配置在所述处理室(13)的前表面；和

连结部，所述连结部能够与相邻的所述处理单元(10a～10d)的所述连接基准部(271)连结。

12.一种处理***(10)，其特征在于，具有多个处理单元(10a～10d)，

各处理单元(10a～10d)具有：

处理室(13)，所述处理室(13)具有设置于正面的供工件出入的搬入门(17)和设置于背面的检查门(21)，所述处理室(13)配置在前方；

控制盘(43)，所述控制盘(43)与所述处理室(13)分离地配置在所述处理室(13)的后方；和

台阶(31)，所述台阶(31)配置在所述处理室(13)与所述控制盘(43)之间，

多个所述处理单元(10a～10d)的所述台阶(31)具有相同的高度，在将多个所述处理单元(10a～10d)的所述处理室(13)的各自的所述正面对齐而在横向上排列配置时，各所述台阶(31)连接而形成通路。

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