CN114411102A - 一种优质合金靶材制备装置及其工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种优质合金靶材制备装置及其工艺，包括箱体，所述箱体上通过螺钉连接有箱盖，所述箱盖上固定安装有电机，所述电机的转轴和箱盖转动连接，所述转轴上焊接有支撑盘，所述支撑盘上设置有自转机构，所述箱体内设置有升降机构，所述箱体内接触有研磨头，所述箱体内设置有下料机构，所述研磨头上焊接有吊杆，所述吊杆的外侧滑动套接有挡环，所述吊杆的外侧设置有弹簧，所述研磨头上焊接有拨片，所述拨片上接触有弹性片，所述箱体上焊接有弹性杆，所述弹性杆上焊接有挡块。本发明涉及一种优质合金靶材制备装置及其工艺，具有研磨效率高和原料粉碎程度高特点。
Description
技术领域
本发明属于合金靶材加工技术领域，具体为一种优质合金靶材制备装置及其工艺。
背景技术
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜***在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，而高纯钼铌合金靶材由于具有较为优异的性能，具有较大的发展前景。在高纯钼铌合金靶材制造前，往往需要将钼铌合金研磨成极为细小的粉末，从而方便后续的熔融成型工作，但传统研磨装置研磨效率低下，同时，原料粉碎程度低。因此，需要对现有技术进行改进。
发明内容：
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种优质合金靶材制备装置及其工艺，解决了背景技术中提到的问题。
为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：
一种优质合金靶材制备装置，包括箱体，所述箱体上通过螺钉连接有箱盖，所述箱盖上固定安装有电机，所述电机的转轴和箱盖转动连接，所述转轴上焊接有支撑盘，所述支撑盘上设置有自转机构，所述箱体内设置有升降机构，所述箱体内接触有研磨头，所述箱体内设置有下料机构，所述研磨头上焊接有吊杆，所述吊杆的外侧滑动套接有挡环，所述吊杆的外侧设置有弹簧，所述研磨头上焊接有拨片，所述拨片上接触有弹性片，所述箱体上焊接有弹性杆，所述弹性杆上焊接有挡块。
作为优选，所述弹簧的一端和挡环焊接，所述弹簧的另一端和研磨头焊接。
作为优选，所述研磨头上粘接有波纹套，所述波纹套内固定套接有挡环。
作为优选，所述自转机构包括连杆、支撑环、轴承、滑筒、齿轮、齿环、吊杆、滑销、滑槽和凸块，所述连杆和支撑盘焊接，所述连杆上焊接有支撑环，所述支撑环内固定套接有轴承，所述轴承内固定套接有滑筒，所述滑筒上焊接有齿轮，所述齿环和箱体固定套接，所述齿环和齿轮啮合，所述滑筒内滑动套接有吊杆，所述吊杆上焊接有滑销，所述滑销上焊接有凸块，所述凸块上接触有滑套。
作为优选，所述滑筒的侧壁开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑销。
作为优选，所述升降机构包括安装板、气缸、气缸杆、支撑杆、滑套，所述安装板上固定安装有气缸，所述气缸的气缸杆与安装板滑动连接，所述气缸的气缸杆和支撑盘焊接，所述安装板上焊接有支撑杆，所述支撑杆上焊接有滑套，所述滑套内滑动连接有滑筒。
作为优选，所述下料机构包括滤筒、电动机、驱动轴、连接套、限位销、支撑轴、绞刀和堵头，所述滤筒和箱体固定套接，所述滤筒和弹性片焊接，所述滤筒上固定安装有电动机，所述电动机的驱动轴和滤筒转动连接，所述驱动轴的外侧滑动套接有连接套，所述连接套上焊接有支撑轴，所述支撑轴的外侧焊接有绞刀，所述绞刀和滤筒接触，所述滤筒内滑动套接有堵头，所述堵头和挡块接触。
作为优选，所述连接套的侧壁滑动连接有限位销，所述限位销和驱动轴通过螺纹连接。
一种优质合金靶材制备装置的工艺，具体步骤包括：
步骤一：将靶材原料通过箱盖上的进料口进入箱体内，然后启动电机，电机启动转轴转动，转轴带动支撑盘转动，支撑盘转动带动连杆转动，使得连杆末端的支撑环以支撑盘为轴心转动，进而使得滑筒以支撑盘为轴心转动，滑筒带动吊杆移动，吊杆带动研磨头在箱体内绕滤筒转动，对原料进行研磨；
步骤二：滑筒转动带动齿轮转动，齿轮转动和齿环配合，使得齿轮自转，齿轮自转带动滑筒转动，滑筒带动吊杆转动，吊杆带动研磨头自转对靶材原料进行研磨；
步骤三：启动气缸，气缸启动气缸杆回缩，气缸杆回缩使得安装板向上移动，安装板带动支撑杆移动，支撑杆带动滑套移动，滑套移动带动滑销移动，滑销带动吊杆移动，吊杆移动带动研磨头移动和箱体脱离，然后气缸驱动气缸杆复位，使得研磨头在重力作用下对箱体内的靶材原料进行锤砸粉碎；
步骤四：在研磨头自转过程中，拨片位置变化拨动弹性片，使得弹性片带动滤筒震动，滤筒对箱体内的原料进行过滤，使得颗粒较大原料被阻挡在箱体内继续研磨，使得原料粉碎程度更高，符合粒度要求的原料进入滤筒内；
步骤五：出料时，拨动弹性杆，使得挡块和堵头脱离，然后将堵头取下，启动电动机，电动机启动驱动轴转动，驱动轴带动连接套转动，连接套带动支撑轴转动，支撑轴转动带动绞刀进行输料，避免滤筒内原料堵塞。
本发明的有益效果是：本发明涉及一种优质合金靶材制备装置及其工艺，具有研磨效率高和原料粉碎程度高特点，在具体的使用中，与传统的优质合金靶材制备装置及其工艺相比较而言，本优质合金靶材制备装置及其工艺具有以下两个有益效果：
首先，通过设置电机、支撑盘、连杆、支撑环、滑筒、齿轮、齿环、吊杆、滑销、安装板、气缸、支撑杆、滑套、研磨头等结构，通过电机驱动支撑盘转动，进而使得滑筒上的齿轮和齿环配合驱动滑筒转动，使得研磨头在自转时绕转轴转动，同时，气缸启动滑套升降，进而使得研磨头升降锤砸，进而使得装置对靶材原料研磨效率更高，加工速度更块。
其次，通过设置拨片、弹性片、滤筒、电动机、支撑轴、绞刀等结构，通过滤筒对箱体内的原料进行过滤，使得颗粒较大原料被阻挡在箱体内继续研磨，使得原料粉碎程度更高，研磨头转动时带动拨片拨动弹性片，进而使得滤筒发生震动，同时，电动机驱动绞刀对原料进行输送，使得装置下料效率更高。
附图说明：
为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
图1为本发明的整体结构立体图；
图2为本发明的图1的正视剖视图；
图3为本发明的图2中的A处放大图；
图4为本发明的图2中的B处放大图；
图5为本发明的图2中的C处放大图；
图6为本发明的图2中的滤筒剖视图。
图中：1、箱体；2、箱盖；3、电机；4、转轴；5、支撑盘；6、自转机构；61、连杆；62、支撑环；63、轴承；64、滑筒；65、齿轮；66、齿环；67、吊杆；68、滑销；69、滑槽；610、凸块；7、升降机构；71、安装板；72、气缸；73、气缸杆；74、支撑杆；75、滑套；8、研磨头；9、下料机构；91、滤筒；92、电动机；93、驱动轴；94、连接套；95、限位销；96、支撑轴；97、绞刀；98、堵头；10、挡环；11、弹簧；12、波纹套；13、拨片；14、弹性片；15、弹性杆；16、挡块。
具体实施方式：
如图1-6所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
实施例：
一种优质合金靶材制备装置，包括箱体1，所述箱体1上通过螺钉连接有箱盖 2，所述箱盖2上固定安装有电机 3，所述电机3的转轴4和箱盖2转动连接，所述转轴4上焊接有支撑盘 5，所述支撑盘5上设置有自转机构 6，所述箱体1内设置有升降机构 7，所述箱体1内接触有研磨头 8，所述箱体1内设置有下料机构 9，所述研磨头8上焊接有吊杆 67，所述吊杆67的外侧滑动套接有挡环 10，所述吊杆67的外侧设置有弹簧 11，所述研磨头8上焊接有拨片 13，所述拨片13上接触有弹性片 14，所述箱体1上焊接有弹性杆15，所述弹性杆15上焊接有挡块16。
其中，所述弹簧11的一端和挡环10焊接，所述弹簧11的另一端和研磨头8焊接。通过设置弹簧11，使得对挡环10进行支撑。
其中，所述研磨头8上粘接有波纹套12，所述波纹套12内固定套接有挡环10。通过设置波纹套12，避免原料在研磨头8上堆积。
其中，所述自转机构6包括连杆 61、支撑环 62、轴承 63、滑筒 64、齿轮 65、齿环66、吊杆 67、滑销 68、滑槽69和凸块610，所述连杆61和支撑盘5焊接，所述连杆61上焊接有支撑环62，所述支撑环62内固定套接有轴承 63，所述轴承63内固定套接有滑筒 64，所述滑筒64上焊接有齿轮 65，所述齿环66和箱体1固定套接，所述齿环66和齿轮65啮合，所述滑筒64内滑动套接有吊杆 67，所述吊杆67上焊接有滑销 68，所述滑销68上焊接有凸块610，所述凸块610上接触有滑套75。通过设置电机3启动转轴4转动，转轴4带动支撑盘5转动，支撑盘5转动带动连杆61转动，使得连杆61末端的支撑环62以支撑盘5为轴心转动，进而使得滑筒64以支撑盘5为轴心转动，滑筒64带动吊杆67移动，吊杆67带动研磨头8在箱体1内绕滤筒91转动，对原料进行研磨，滑筒64移动带动齿轮65移动，齿轮65移动和齿环66配合，使得齿轮65自转，齿轮65自转带动滑筒64转动，滑筒64带动吊杆67转动，吊杆67带动研磨头8自转对靶材原料进行研磨。
其中，所述滑筒64的侧壁开设有滑槽69，所述滑槽69内滑动连接有滑销68。通过设置滑槽69，对滑销68进行导向。
其中，所述升降机构7包括安装板 71、气缸 72、气缸杆 73、支撑杆74、滑套75，所述安装板71上固定安装有气缸72，所述气缸72的气缸杆73与安装板71滑动连接，所述气缸72的气缸杆73和支撑盘5焊接，所述安装板71上焊接有支撑杆 74，所述支撑杆74上焊接有滑套 75，所述滑套75内滑动连接有滑筒64。通过设置气缸72启动气缸杆73回缩，气缸杆73回缩使得安装板71向上移动，安装板71带动支撑杆74移动，支撑杆74带动滑套75移动，滑套75移动带动滑销68移动，滑销68带动吊杆67移动，吊杆67移动带动研磨头8移动和箱体1脱离，然后气缸72驱动气缸杆73复位，使得研磨头8在重力作用下对箱体1内的靶材原料进行锤砸粉碎。
其中，所述下料机构9包括滤筒 91、电动机 92、驱动轴 93、连接套94、限位销 95、支撑轴 96、绞刀97和堵头98，所述滤筒91和箱体1固定套接，所述滤筒91和弹性片14焊接，所述滤筒91上固定安装有电动机92，所述电动机92的驱动轴93和滤筒91转动连接，所述驱动轴93的外侧滑动套接有连接套 94，所述连接套94上焊接有支撑轴 96，所述支撑轴96的外侧焊接有绞刀97，所述绞刀97和滤筒91接触，所述滤筒91内滑动套接有堵头98，所述堵头98和挡块16接触。通过设置拨片 13、弹性片 14、滤筒 91、电动机92、支撑轴96、绞刀97等结构，通过滤筒91对箱体1内的原料进行过滤，使得颗粒较大原料被阻挡在箱体1内继续研磨，使得原料粉碎程度更高，研磨头8转动时带动拨片13拨动弹性片14，进而使得滤筒91发生震动，同时，电动机92驱动绞刀97对原料进行输送，使得装置下料效率更高。
其中，所述连接套94的侧壁滑动连接有限位销95，所述限位销95和驱动轴93通过螺纹连接。通过设置限位销95，对连接套94和驱动轴93进行连接。
一种优质合金靶材制备装置的工艺，具体步骤包括：
步骤一：将靶材原料通过箱盖2上的进料口进入箱体1内，然后启动电机3，电机3启动转轴4转动，转轴4带动支撑盘5转动，支撑盘5转动带动连杆61转动，使得连杆61末端的支撑环62以支撑盘5为轴心转动，进而使得滑筒64以支撑盘5为轴心转动，滑筒64带动吊杆67移动，吊杆67带动研磨头8在箱体1内绕滤筒91转动，对原料进行研磨；
步骤二：滑筒64转动带动齿轮65转动，齿轮65转动和齿环66配合，使得齿轮65自转，齿轮65自转带动滑筒64转动，滑筒64带动吊杆67转动，吊杆67带动研磨头8自转对靶材原料进行研磨；
步骤三：启动气缸72，气缸72启动气缸杆73回缩，气缸杆73回缩使得安装板71向上移动，安装板71带动支撑杆74移动，支撑杆74带动滑套75移动，滑套75移动带动滑销68移动，滑销68带动吊杆67移动，吊杆67移动带动研磨头8移动和箱体1脱离，然后气缸72驱动气缸杆73复位，使得研磨头8在重力作用下对箱体1内的靶材原料进行锤砸粉碎；
步骤四：在研磨头8自转过程中，拨片13位置变化拨动弹性片14，使得弹性片14带动滤筒91震动，滤筒91对箱体1内的原料进行过滤，使得颗粒较大原料被阻挡在箱体1内继续研磨，使得原料粉碎程度更高，符合粒度要求的原料进入滤筒91内；
步骤五：出料时，拨动弹性杆15，使得挡块16和堵头98脱离，然后将堵头98取下，启动电动机92，电动机92启动驱动轴93转动，驱动轴93带动连接套94转动，连接套94带动支撑轴96转动，支撑轴96转动带动绞刀97进行输料，避免滤筒91内原料堵塞。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (9)
1.一种优质合金靶材制备装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)上通过螺钉连接有箱盖(2)，所述箱盖(2)上固定安装有电机(3)，所述电机(3)的转轴(4)和箱盖(2)转动连接，所述转轴(4)上焊接有支撑盘(5)，所述支撑盘(5)上设置有自转机构(6)，所述箱体(1)内设置有升降机构(7)，所述箱体(1)内接触有研磨头(8)，所述箱体(1)内设置有下料机构(9)，所述研磨头(8)上焊接有吊杆(67)，所述吊杆(67)的外侧滑动套接有挡环(10)，所述吊杆(67)的外侧设置有弹簧(11)，所述研磨头(8)上焊接有拨片(13)，所述拨片(13)上接触有弹性片(14)，所述箱体(1)上焊接有弹性杆(15)，所述弹性杆(15)上焊接有挡块(16)。
2.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材制备装置，其特征在于：所述弹簧(11)的一端和挡环(10)焊接，所述弹簧(11)的另一端和研磨头(8)焊接。
3.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材制备装置，其特征在于：所述研磨头(8)上粘接有波纹套(12)，所述波纹套(12)内固定套接有挡环(10)。
4.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材制备装置，其特征在于：所述自转机构(6)包括连杆(61)、支撑环(62)、轴承(63)、滑筒(64)、齿轮(65)、齿环(66)、吊杆(67)、滑销(68)、滑槽(69)和凸块(610)，所述连杆(61)和支撑盘(5)焊接，所述连杆(61)上焊接有支撑环(62)，所述支撑环(62)内固定套接有轴承(63)，所述轴承(63)内固定套接有滑筒(64)，所述滑筒(64)上焊接有齿轮(65)，所述齿环(66)和箱体(1)固定套接，所述齿环(66)和齿轮(65)啮合，所述滑筒(64)内滑动套接有吊杆(67)，所述吊杆(67)上焊接有滑销(68)，所述滑销(68)上焊接有凸块(610)，所述凸块(610)上接触有滑套(75)。
5.根据权利要求4所述的一种优质合金靶材制备装置，其特征在于：所述滑筒(64)的侧壁开设有滑槽(69)，所述滑槽(69)内滑动连接有滑销(68)。
6.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材制备装置，其特征在于：所述升降机构(7)包括安装板(71)、气缸(72)、气缸杆(73)、支撑杆(74)、滑套(75)，所述安装板(71)上固定安装有气缸(72)，所述气缸(72)的气缸杆(73)与安装板(71)滑动连接，所述气缸(72)的气缸杆(73)和支撑盘(5)焊接，所述安装板(71)上焊接有支撑杆(74)，所述支撑杆(74)上焊接有滑套(75)，所述滑套(75)内滑动连接有滑筒(64)。
7.根据权利要求1所述的一种优质合金靶材制备装置，其特征在于：所述下料机构(9)包括滤筒(91)、电动机(92)、驱动轴(93)、连接套(94)、限位销(95)、支撑轴(96)、绞刀(97)和堵头(98)，所述滤筒(91)和箱体(1)固定套接，所述滤筒(91)和弹性片(14)焊接，所述滤筒(91)上固定安装有电动机(92)，所述电动机(92)的驱动轴(93)和滤筒(91)转动连接，所述驱动轴(93)的外侧滑动套接有连接套(94)，所述连接套(94)上焊接有支撑轴(96)，所述支撑轴(96)的外侧焊接有绞刀(97)，所述绞刀(97)和滤筒(91)接触，所述滤筒(91)内滑动套接有堵头(98)，所述堵头(98)和挡块(16)接触。
8.根据权利要求7所述的一种优质合金靶材制备装置，其特征在于：所述连接套(94)的侧壁滑动连接有限位销(95)，所述限位销(95)和驱动轴(93)通过螺纹连接。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种优质合金靶材制备装置的工艺，其特征在于：具体步骤包括：
步骤一：将靶材原料通过箱盖(2)上的进料口进入箱体(1)内，然后启动电机(3)，电机(3)启动转轴(4)转动，转轴(4)带动支撑盘(5)转动，支撑盘(5)转动带动连杆(61)转动，使得连杆(61)末端的支撑环(62)以支撑盘(5)为轴心转动，进而使得滑筒(64)以支撑盘(5)为轴心转动，滑筒(64)带动吊杆(67)移动，吊杆(67)带动研磨头(8)在箱体(1)内绕滤筒(91)转动，对原料进行研磨；
步骤二：滑筒(64)转动带动齿轮(65)转动，齿轮(65)转动和齿环(66)配合，使得齿轮(65)自转，齿轮(65)自转带动滑筒(64)转动，滑筒(64)带动吊杆(67)转动，吊杆(67)带动研磨头(8)自转对靶材原料进行研磨；
步骤三：启动气缸(72)，气缸(72)启动气缸杆(73)回缩，气缸杆(73)回缩使得安装板(71)向上移动，安装板(71)带动支撑杆(74)移动，支撑杆(74)带动滑套(75)移动，滑套(75)移动带动滑销(68)移动，滑销(68)带动吊杆(67)移动，吊杆(67)移动带动研磨头(8)移动和箱体(1)脱离，然后气缸(72)驱动气缸杆(73)复位，使得研磨头(8)在重力作用下对箱体(1)内的靶材原料进行锤砸粉碎；
步骤四：在研磨头(8)自转过程中，拨片(13)位置变化拨动弹性片(14)，使得弹性片(14)带动滤筒(91)震动，滤筒(91)对箱体(1)内的原料进行过滤，使得颗粒较大原料被阻挡在箱体(1)内继续研磨，使得原料粉碎程度更高，符合粒度要求的原料进入滤筒(91)内；
步骤五：出料时，拨动弹性杆(15)，使得挡块(16)和堵头(98)脱离，然后将堵头(98)取下，启动电动机(92)，电动机(92)启动驱动轴(93)转动，驱动轴(93)带动连接套(94)转动，连接套(94)带动支撑轴(96)转动，支撑轴(96)转动带动绞刀(97)进行输料，避免滤筒(91)内原料堵塞。
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