CN114136967A - 在线石墨舟翘片检测装置及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种在线石墨舟翘片检测装置及检测方法，装置包括机架、石墨舟纵向传输机构、石墨舟横向传输机构、检测元件和检测纵向移动机构，所述石墨舟横向传输机构设于机架的底部，石墨舟纵向传输机构设于石墨舟横向传输机构上，石墨舟纵向传输机构用于驱动石墨舟纵向移动，石墨舟横向传输机构用于驱动石墨舟纵向传输机构横向移动，检测纵向移动机构设于机架上且位于石墨舟横向传输机构的上方，检测纵向移动机构用于驱动检测元件纵向移动。本发明通过检测元件自动检测石墨舟内的硅片，不再需要人工对石墨舟进行翘片检测，自动化程度高，效率更高，检测可靠性更高，在减少人工接触带来的污染及碎片，节约设备的运行成本。

Description

在线石墨舟翘片检测装置及检测方法

技术领域

本发明涉及光伏设备，尤其涉及一种在线石墨舟翘片检测装置及检测方法。

背景技术

光伏太阳能电池片的制造工艺过程中，通常需要采用石墨舟装载硅片、对硅片进行相应的工艺，如硅片正面或背面进行镀膜等。在工艺时，需要用到石墨舟作为载具，工艺前，先将前道工序来的硅片由花篮盒取出装入石墨舟的舟槽中，每个舟槽中放置一片硅片；硅片放置完成后，将石墨舟送入工艺设备的反应腔体内进行工艺；工艺结束后取出石墨舟，待石英舟冷却后再将工艺后的硅片从石英舟中取出，装入花篮盒中，送往下一道工序。

现有的技术方案无法自动实现硅片在石墨舟中的翘片检测，需要依靠人工对每一个石墨舟中的硅片进行检测、人工检测前需要将石墨舟取出，检测完后再将石墨舟归位。其缺点有：

1)人工检测前需将石墨舟取出、检测完成后再将石墨舟归位、费时费力，且易对石墨舟及硅片造成损坏及污染。

2)人工检测可靠性及时性较差。

3)在进出舟时进行检测时如若存在翘片，需将石墨舟再次完全退出进行处理，影响节拍。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种自动检测石墨舟内的硅片、不再需要人工对石墨舟进行翘片检测、自动化程度更高、效率更高、检测可靠性更高、在减少人工接触带来的污染及碎片同时可以节约设备的运行成本的在线石墨舟翘片检测装置及检测方法。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种在线石墨舟翘片检测装置，包括机架、石墨舟纵向传输机构、石墨舟横向传输机构、检测元件和检测纵向移动机构，所述石墨舟横向传输机构设于机架的底部，所述石墨舟纵向传输机构设于石墨舟横向传输机构上，所述石墨舟纵向传输机构用于驱动石墨舟纵向移动，所述石墨舟横向传输机构用于驱动石墨舟纵向传输机构横向移动，所述检测纵向移动机构设于机架上且位于石墨舟横向传输机构的上方，所述检测纵向移动机构用于驱动检测元件纵向移动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测元件为检测相机；所述检测纵向移动机构上设有光源。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测纵向移动机构包括伺服电机和直线移动模组，所述检测相机通过相机安装架固定在直线移动模组的滑块上，所述光源通过光源安装架固定在相机安装架上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述石墨舟纵向传输机构包括纵向支架、纵向传送带组件和用于承载石墨舟的载板，所述纵向传送带组件安装在纵向支架上，所述载板设于纵向传送带组件的纵向传送带上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括纵向定位机构，所述纵向定位机构包括连接座、顶升驱动件和挡块，所述顶升驱动件设于连接座上，所述挡块设于顶升驱动件的驱动端，所述连接座设于纵向支架上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述石墨舟横向传输机构包括横向传送带组件和直线导轨，所述直线导轨和横向传送带组件均安装于机架上，所述纵向支架通过纵向滑块滑设于直线导轨上，所述横向传送带组件的横向传送带位于纵向支架下方并与纵向支架接触。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括对石墨舟横向传输机构的横向位置进行定位的横向定位机构。

作为上述技术方案的进一步改进，所述石墨舟纵向传输机构设置两个，两个石墨舟纵向传输机构分别可横向移动的设于石墨舟横向传输机构上。

一种基于上述的在线石墨舟翘片检测装置的检测方法，包括以下步骤：

S1、上游设备出舟口输出的石墨舟传输至石墨舟纵向传输机构上，石墨舟纵向移动至设定位置后停止，此位置为对接工位，石墨舟横向移动至检测工位；

S2、启动检测元件，石墨舟横向移动，以使石墨舟沿宽度方向从检测元件下方通过，检测元件检测石墨舟第一格的硅片；

S3、检测元件纵向移动一段距离后停止，石墨舟反向横移，以使石墨舟沿宽度方向从检测元件下方通过，检测元件检测石墨舟第二格的硅片；

S4、重复步骤S2和S3，直至石墨舟最后一格硅片检测完毕；

S5、当检测元件检测到石墨舟有翘片，石墨舟横向移动至翘片处理位置，处理完毕之后，石墨舟横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口；

当检测元件检测到石墨舟无翘片，石墨舟横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口。

一种基于上述的在线石墨舟翘片检测装置的检测方法，包括以下步骤：

S1、上游设备出舟口输出的第一个石墨舟传输至一个石墨舟纵向传输机构上，第一个石墨舟纵向移动至设定位置后停止，此位置为对接工位，第一个石墨舟横向移动至一侧，上游设备的第二个石墨舟传输至另一个石墨舟纵向传输机构上，第二个石墨舟纵向移动至对接工位后停止，第二个石墨舟横向移动至检测工位；

S2、启动检测元件，第二个石墨舟横向移动，以使第二个石墨舟沿宽度方向从检测元件下方通过，检测元件检测第二个石墨舟第一格的硅片；

S3、检测元件纵向移动一段距离后停止，第二个石墨舟反向横移，以使第二个石墨舟沿宽度方向从检测元件下方通过，检测元件检测第二个石墨舟第二格的硅片；

S4、重复步骤S2和S3，直至第二个石墨舟最后一格硅片检测完毕；

S5、当检测元件检测到第二个石墨舟有翘片，第二个石墨舟横向移动至一侧的翘片处理位置，此时，第一个石墨舟横向移动至检测工位，重复步骤S2至S4，直至第一个石墨舟最后一段硅片检测完毕，当检测元件检测到第一个石墨舟无翘片，第一个石墨舟横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，当检测元件检测到第一个石墨舟有翘片，第一个石墨舟横向移动至另一侧的翘片处理位置；第二个石墨舟处理完毕之后，第二个石墨舟横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，第一个石墨舟处理完毕之后，第一个石墨舟横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口；

当检测元件检测到第二个石墨舟无翘片，第二个石墨舟横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，此后，第一个石墨舟横向移动至检测工位，重复步骤S2至S4，直至第一个石墨舟最后一段硅片检测完毕，当检测元件检测到第一个石墨舟无翘片，第一个石墨舟横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，当检测元件检测到第一个石墨舟有翘片，第一个石墨舟横向移动至一侧的翘片处理位置，处理完毕之后，第一个石墨舟横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的在线石墨舟翘片检测装置及检测方法，通过检测元件以及检测元件的以及配合石墨舟的移动，自动检测石墨舟内的硅片，不再需要人工对每个石墨舟内的硅片进行翘片检测，自动化程度更高，效率更高，检测可靠性更高，在减少人工接触带来的污染及碎片同时可以节约设备的运行成本。此外，该装置设置在上游设备的出舟口之后，下游设备的进舟口之前，能够在石墨舟进出舟等待时自动完成整个石墨舟的翘片检测，提高了工作节拍，避免出现在进出舟时进行检测时如若存在翘片，需将石墨舟再次完全退出进行处理，影响节拍的情况。本发明的石墨舟翘片检测装置，适应场合更广，装置前后两端可根据需要匹配多台自动化机台和工艺设备，灵活多变。

附图说明

图1是本发明实施例1的在线石墨舟翘片检测装置的结构示意图。

图2是本发明实施例1中石墨舟在石墨舟纵向传输机构上的结构示意图。

图3是本发明实施例1中机架和石墨舟横向传输机构的结构示意图。

图4是本发明实施例1中检测元件和检测纵向移动机构的结构示意图。

图5是本发明实施例1中纵向定位机构的结构示意图。

图6是本发明实施例2的在线石墨舟翘片检测装置的结构示意图。

图中各标号表示：

1、机架；2、石墨舟纵向传输机构；201、纵向滑块；21、纵向支架；22、纵向传送带组件；221、纵向传送带；222、纵向主动轮；223、纵向从动轮；224、纵向驱动电机；23、载板；24、侧挡板；3、石墨舟横向传输机构；31、横向传送带组件；311、横向传送带；312、横向主动轮；313、横向从动轮；314、横向驱动电机；32、直线导轨；4、检测元件；41、检测相机；42、相机安装架；5、检测纵向移动机构；51、伺服电机；52、直线移动模组；6、石墨舟；7、光源；71、光源安装架；8、纵向定位机构；81、连接座；82、顶升驱动件；83、挡块；84、导向座；85、导向轴。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

实施例1

如图1至图5所示，本实施例的在线石墨舟翘片检测装置，包括机架1、石墨舟纵向传输机构2、石墨舟横向传输机构3、检测元件4和检测纵向移动机构5，石墨舟横向传输机构3设于机架1的底部，石墨舟纵向传输机构2设于石墨舟横向传输机构3上，石墨舟纵向传输机构2用于驱动石墨舟6纵向移动，石墨舟横向传输机构3用于驱动石墨舟纵向传输机构2横向移动，检测纵向移动机构5设于机架1上且位于石墨舟横向传输机构3的上方，检测纵向移动机构5用于驱动检测元件4纵向移动。

在具体应用实例中，检测元件4可以为传感器检测或图像检测，本实施例优选为图像检测，即检测元件4优选为检测相机41，检测相机41与控制器连接。石墨舟6上设有多格硅片槽，每一个硅片槽内设有多列硅片，多格硅片槽沿石墨舟6长度方向布置。

该在线石墨舟翘片检测装置下游可对接自动化机台(如插片机)，上游可对接工艺设备(如反应设备)。石墨舟纵向传输机构2为对接输送线，用于与上游和下游的输送机构对接，进而转移石墨舟6。石墨舟纵向传输机构2驱动石墨舟6沿石墨舟6的长度方向(图2的箭头L所示)移动，石墨舟横向传输机构3驱动石墨舟6沿石墨舟6的宽度方向(图2的箭头B所示)移动。

工作时，上游工艺设备出舟口输出的石墨舟6进入到石墨舟纵向传输机构2上，石墨舟纵向传输机构2驱动石墨舟向前移动，至设定位置时停止，之后，石墨舟横向传输机构3驱动石墨舟6横向移动至检测工位，此位置，检测相机41靠近石墨舟6的宽度方向的单边，接着启动检测相机41，于此同时石墨舟横向传输机构3驱动石墨舟6横向移动从检测相机41下方通过，检测相机41对石墨舟6最前端的一格硅片(最前端的一段硅片)进行扫描检测，判断并记录是否有无硅片翘片，接下来，检测纵向移动机构5驱动检测相机41纵向向后移动一段距离，此时石墨舟6反向横移，往回移动，此过程中，检测相机41对石墨舟6的第二格硅片进行扫描检测，判断并记录是否有无硅片翘片，重复上述过程，直至石墨舟6最后一格硅片扫描完毕，检测相机41判断并记录是否有无硅片翘片。最后，根据检测结果，当石墨舟6有翘片时，石墨舟6横向移动至一侧的翘片处理工位，进行翘片处理，处理完成之后，石墨舟6横向返回，并纵向移动至下游设备的进舟口。

需要说明的是，由于石墨舟6横移多次，而下游设备的进舟口的输送机构仅只有一个位置，因此，当石墨舟6输出时，需要在石墨舟横向传输机构3上移动至与下游设备的进舟口的输送机构对接的位置，此位置设定为对接位置，到达该对接位置后，石墨舟6方可向前与下游设备的进舟口的输送机构。此外，本实施例中，检测相机41每次检测一格硅片后记录检测结果，为了提高效率，在石墨舟6的多格硅片检测完毕之后，最后统一处理翘片的硅片。当石墨舟6有翘片时，石墨舟6横向移动至一侧的翘片处理工位，控制器相应的发出处理警报，提醒工作人员及时处理翘片。进一步需要说明的是，本实施例检测时石墨舟6横向移动配合检测相机41的纵向移动，由于翘片的存在石墨舟6必须横向移动一侧，靠近机架1的一侧，在进行人工处理翘片，因此巧妙的利用石墨舟6的横移，尽量减少检测相机41的移动，减少检测相机41进行横向移动和纵向移动带来的导致检测精度降低的情况。

本发明的在线石墨舟翘片检测装置，通过检测元件以及检测元件的以及配合石墨舟的移动，自动检测石墨舟6内的硅片，不再需要人工对每个石墨舟内的硅片进行翘片检测，自动化程度更高，效率更高，检测可靠性更高，在减少人工接触带来的污染及碎片同时可以节约设备的运行成本。此外，该装置设置在上游设备的出舟口之后，下游设备的进舟口之前，能够在石墨舟进出舟等待时自动完成整个石墨舟的翘片检测，提高了工作节拍，避免出现在进出舟时进行检测时如若存在翘片，需将石墨舟再次完全退出进行处理，影响节拍的情况。本发明的石墨舟翘片检测装置，适应场合更广，装置前后两端可根据需要匹配多台自动化机台和工艺设备，灵活多变。

本实施例中，检测纵向移动机构5上设有光源7，对检测相机41进行补光，提高检测精度。检测纵向移动机构5包括伺服电机51和直线移动模组52，检测相机41通过相机安装架42固定在直线移动模组52的滑块上，光源7通过光源安装架71固定在相机安装架42上。伺服电机51控制直线移动模组52的滑块移动，进而带着相机安装架42和检测相机41移动，通过伺服电机51直接驱动检测相机41移动，具有速度更快、更加平稳，移动精度高、检测结果更加可靠的优点。

本实施例中，石墨舟纵向传输机构2包括纵向支架21、纵向传送带组件22和用于承载石墨舟6的载板23，纵向传送带组件22安装在纵向支架21上，载板23设于纵向传送带组件22的纵向传送带221上。纵向传送带组件22包括纵向传送带221、纵向主动轮222、纵向从动轮223、纵向驱动电机224，纵向主动轮222、纵向从动轮223均设于纵向支架21上，纵向驱动电机224与纵向主动轮222连接，纵向传送带221绕设在纵向主动轮222和纵向从动轮223上，纵向传送带221设置两个，载板23被托在两个纵向传送带221上。纵向支架21的两侧设有侧挡板24，用于挡住石墨舟6。

石墨舟横向传输机构3包括横向传送带组件31和直线导轨32，直线导轨32和横向传送带组件31均安装于机架1上，直线导轨32设置两个，分设于横向传送带组件31的两侧。纵向支架21通过两个纵向滑块201分别滑设于直线导轨32上。横向传送带组件31的横向传送带311位于纵向支架21下方并与纵向支架21接触。横向传送带组件31包括横向传送带311、横向主动轮312、横向从动轮313、横向驱动电机314。横向主动轮312、横向从动轮313均设于机架1上，横向传送带311绕设在横向主动轮312、横向从动轮313上，横向驱动电机314与横向主动轮312连接。通过横向传送带311的移动，驱使纵向支架21横向移动，进而实现石墨舟6横向移动。石墨舟纵向传输机构2和石墨舟横向传输机构3采用同步带驱动，精度、效率及平稳性更高且可匹配多种宽度的石墨舟6。

本实施例中，检测装置还包括纵向定位机构8，纵向定位机构8包括连接座81、顶升驱动件82和挡块83，顶升驱动件82设于连接座81上，挡块83设于顶升驱动件82的驱动端，连接座81设于纵向支架21上。顶升驱动件82优选为顶升气缸。连接座81上设有导向座84，导向座84内设有可上下移动的导向轴85，导向轴85上端与挡块83连接，导向轴85设置两个，相应的导向座84设置两个。

本实施例中，检测装置还包括对石墨舟横向传输机构3的横向位置进行定位的横向定位机构(图中未示出)，石墨舟6在横向移动时通过横向定位机构进行定位，横向定位机构设置多个。

本实施例的在线石墨舟翘片检测装置的检测方法，包括以下步骤：

S1、上游设备出舟口输出的石墨舟6传输至石墨舟纵向传输机构2上，石墨舟6纵向移动至设定位置后停止，此位置为对接工位，石墨舟6横向移动至检测工位；

S2、启动检测元件4，石墨舟6横向移动，以使石墨舟6沿宽度方向从检测元件4下方通过，检测元件4检测石墨舟6第一格的硅片；

S3、检测元件4纵向移动一段距离后停止，石墨舟6反向横移，以使石墨舟6沿宽度方向从检测元件4下方通过，检测元件4检测石墨舟6第二格的硅片；

S4、重复步骤S2和S3，直至石墨舟6最后一格硅片检测完毕；

S5、当检测元件4检测到石墨舟6有翘片，石墨舟6横向移动至翘片处理位置，处理完毕之后，石墨舟6横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口；

当检测元件4检测到石墨舟6无翘片，石墨舟6横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口。

其中，步骤S1中，石墨舟6纵向移动至设定位置后停止，此时通过挡块83上升挡住石墨舟6前进。步骤S5中，挡块83下降后，石墨舟6方可前进进入下游设备的进舟口。

实施例2

如图6所示，本实施例的在线石墨舟翘片检测装置，与实施例1的区别仅在于：

本实施例中，石墨舟纵向传输机构2设置两个，两个石墨舟纵向传输机构2分别可横向移动的设于石墨舟横向传输机构3上。为了便于区分，两个石墨舟纵向传输机构2分别标定为2a和2b，两个石墨舟纵向传输机构2上的石墨舟6分别标定为6a和6b。其余结构与实施例1一致。

本实施例的在线石墨舟翘片检测装置的检测方法，包括以下步骤：

S1、上游设备出舟口输出的第一个石墨舟6a传输至一个石墨舟纵向传输机构2a上，第一个石墨舟6a纵向移动至设定位置后停止，此位置为对接工位，第一个石墨舟6a横向移动至一侧，上游设备出舟口输出的的第二个石墨舟6b传输至另一个石墨舟纵向传输机构2b上，第二个石墨舟6b纵向移动至对接工位后停止，第二个石墨舟6b横向移动至检测工位；

S2、启动检测元件4，第二个石墨舟6b横向移动，以使第二个石墨舟6b沿宽度方向从检测元件4下方通过，检测元件4检测第二个石墨舟6b第一格的硅片；

S3、检测元件4纵向移动一段距离后停止，第二个石墨舟6b反向横移，以使第二个石墨舟6b沿宽度方向从检测元件4下方通过，检测元件4检测第二个石墨舟6b第二格的硅片；

S4、重复步骤S2和S3，直至第二个石墨舟6b最后一格硅片检测完毕；

S5、当检测元件4检测到第二个石墨舟6b有翘片，第二个石墨舟6b横向移动至一侧的翘片处理位置(图6中E位置)，此时，第一个石墨舟6a横向移动至检测工位，重复步骤S2至S4，直至第一个石墨舟6a最后一格硅片检测完毕，当检测元件4检测到第一个石墨舟6a无翘片，第一个石墨舟6a横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，当检测元件4检测到第一个石墨舟6a有翘片，第一个石墨舟6a横向移动至另一侧的翘片处理位置(图6中F位置)；第二个石墨舟6b处理完毕之后，第二个石墨舟6b横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备，第一个石墨舟6a处理完毕之后，第一个石墨舟6a横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口；

当检测元件4检测到第二个石墨舟6b无翘片，第二个石墨舟6b横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，此后，第一个石墨舟6a横向移动至检测工位，重复步骤S2至S4，直至第一个石墨舟6a最后一格硅片检测完毕，当检测元件4检测到第一个石墨舟6无翘片，第一个石墨舟6a横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，当检测元件4检测到第一个石墨舟6a有翘片，第一个石墨舟6a横向移动至一侧的翘片处理位置，处理完毕之后，第一个石墨舟6a横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种在线石墨舟翘片检测装置，其特征在于：包括机架(1)、石墨舟纵向传输机构(2)、石墨舟横向传输机构(3)、检测元件(4)和检测纵向移动机构(5)，所述石墨舟横向传输机构(3)设于机架(1)的底部，所述石墨舟纵向传输机构(2)设于石墨舟横向传输机构(3)上，所述石墨舟纵向传输机构(2)用于驱动石墨舟(6)纵向移动，所述石墨舟横向传输机构(3)用于驱动石墨舟纵向传输机构(2)横向移动，所述检测纵向移动机构(5)设于机架(1)上且位于石墨舟横向传输机构(3)的上方，所述检测纵向移动机构(5)用于驱动检测元件(4)纵向移动。

2.根据权利要求1所述的在线石墨舟翘片检测装置，其特征在于：所述检测元件(4)为检测相机(41)；所述检测纵向移动机构(5)上设有光源(7)。

3.根据权利要求2所述的在线石墨舟翘片检测装置，其特征在于：所述检测纵向移动机构(5)包括伺服电机(51)和直线移动模组(52)，所述检测相机(41)通过相机安装架(42)固定在直线移动模组(52)的滑块上，所述光源(7)通过光源安装架(71)固定在相机安装架(42)上。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的在线石墨舟翘片检测装置，其特征在于：所述石墨舟纵向传输机构(2)包括纵向支架(21)、纵向传送带组件(22)和用于承载石墨舟(6)的载板(23)，所述纵向传送带组件(22)安装在纵向支架(21)上，所述载板(23)设于纵向传送带组件(22)的纵向传送带(221)上。

5.根据权利要求4所述的在线石墨舟翘片检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括纵向定位机构(8)，所述纵向定位机构(8)包括连接座(81)、顶升驱动件(82)和挡块(83)，所述顶升驱动件(82)设于连接座(81)上，所述挡块(83)设于顶升驱动件(82)的驱动端，所述连接座(81)设于纵向支架(21)上。

6.根据权利要求4所述的，其特征在于：所述石墨舟横向传输机构(3)包括横向传送带组件(31)和直线导轨(32)，所述直线导轨(32)和横向传送带组件(31)均安装于机架(1)上，所述纵向支架(21)通过纵向滑块(201)滑设于直线导轨(32)上，所述横向传送带组件(31)的横向传送带(311)位于纵向支架(21)下方并与纵向支架(21)接触。

7.根据权利要求1至3任意一项所述的在线石墨舟翘片检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括对石墨舟横向传输机构(3)的横向位置进行定位的横向定位机构。

8.根据权利要求1所述的在线石墨舟翘片检测装置，其特征在于：所述石墨舟纵向传输机构(2)设置两个，两个石墨舟纵向传输机构(2)分别可横向移动的设于石墨舟横向传输机构(3)上。

9.一种基于权利要求1至7任意一项所述的在线石墨舟翘片检测装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、上游设备出舟口输出的石墨舟(6)传输至石墨舟纵向传输机构(2)上，石墨舟(6)纵向移动至设定位置后停止，此位置为对接工位，石墨舟(6)横向移动至检测工位；

S2、启动检测元件(4)，石墨舟(6)横向移动，以使石墨舟(6)沿宽度方向从检测元件(4)下方通过，检测元件(4)检测石墨舟(6)第一段的硅片；

S3、检测元件(4)纵向移动一段距离后停止，石墨舟(6)反向横移，以使石墨舟(6)沿宽度方向从检测元件(4)下方通过，检测元件(4)检测石墨舟(6)第二段的硅片；

S4、重复步骤S2和S3，直至石墨舟(6)最后一段硅片检测完毕；

S5、当检测元件(4)检测到石墨舟(6)有翘片，石墨舟(6)横向移动至翘片处理位置，处理完毕之后，石墨舟(6)横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口；

当检测元件(4)检测到石墨舟(6)无翘片，石墨舟(6)横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口。

10.一种基于权利要求8所述的在线石墨舟翘片检测装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、上游设备出舟口输出的第一个石墨舟(6)传输至一个石墨舟纵向传输机构(2)上，第一个石墨舟(6)纵向移动至设定位置后停止，此位置为对接工位，第一个石墨舟(6)横向移动至一侧，上游设备的第二个石墨舟(6)传输至另一个石墨舟纵向传输机构(2)上，第二个石墨舟(6)纵向移动至对接工位后停止，第二个石墨舟(6)横向移动至检测工位；

S2、启动检测元件(4)，第二个石墨舟(6)横向移动，以使第二个石墨舟(6)沿宽度方向从检测元件(4)下方通过，检测元件(4)检测第二个石墨舟(6)第一段的硅片；

S3、检测元件(4)纵向移动一段距离后停止，第二个石墨舟(6)反向横移，以使第二个石墨舟(6)沿宽度方向从检测元件(4)下方通过，检测元件(4)检测第二个石墨舟(6)第二段的硅片；

S4、重复步骤S2和S3，直至第二个石墨舟(6)最后一段硅片检测完毕；

S5、当检测元件(4)检测到第二个石墨舟(6)有翘片，第二个石墨舟(6)横向移动至一侧的翘片处理位置，此时，第一个石墨舟(6)横向移动至检测工位，重复步骤S2至S4，直至第一个石墨舟(6)最后一段硅片检测完毕，当检测元件(4)检测到第一个石墨舟(6)无翘片，第一个石墨舟(6)横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，当检测元件(4)检测到第一个石墨舟(6)有翘片，第一个石墨舟(6)横向移动至另一侧的翘片处理位置；第二个石墨舟(6)处理完毕之后，第二个石墨舟(6)横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，第一个石墨舟(6)处理完毕之后，第一个石墨舟(6)横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口；

当检测元件(4)检测到第二个石墨舟(6)无翘片，第二个石墨舟(6)横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，此后，第一个石墨舟(6)横向移动至检测工位，重复步骤S2至S4，直至第一个石墨舟(6)最后一段硅片检测完毕，当检测元件(4)检测到第一个石墨舟(6)无翘片，第一个石墨舟(6)横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口，当检测元件(4)检测到第一个石墨舟(6)有翘片，第一个石墨舟(6)横向移动至一侧的翘片处理位置，处理完毕之后，第一个石墨舟(6)横向移动至对接工位后再纵向移动至下游设备的进舟口。

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