CN114019343A - 一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其通过在校准接口自动切换装置上设置定位信号激发组件，并相应在校准转接板的校准定位原点的两垂直坐标轴上分别设置第一、第二电信号反馈部件，定位信号激发组件、第一电信号反馈部件、第二电信号反馈部件均与校准接口自动切换装置的控制模块通信连接，使得当定位信号激发组件与定位信号反馈组件相接触，即形成应激回路并将应激信号反馈至控制模块；因此，通过定位信号激发组件相继与第一电信号反馈部件、第二电信号反馈部件接触并产生应激信号反馈给控制模块，则判断完成校准接口测试探针与校准转接板的校准定位原点的定位；从而极大提高校准过程中通道接口定位准确度和对准速度。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路测试技术领域，特别涉及一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置。
背景技术
集成电路测试***是一种大规模多通道测试设备，特别是数字集成电路测试***配置的测试通道少则100通道，多则超过2000通道，每一个通道均是相对独立的测试电路结构，能完成规定指标的参数测量工作。在集成电路测试***校准过程中，需要使用校准装置对每个测试通道都进行参数校准，以确保其性能指标在合格范围内，才能满足集成电路参数准确测试的需要。
所述校准转接板用于连接集成电路测试***的测试通道与校准装置的校准接口，在校准测试过程中，校准接口需要与对应的测试通道对接，即需要知道校准转接板上与测试***测试通道对应的测试接口的具***置，对于测试接口的具***置的定位，首先需要标定一个定位原点，只有标定定位原点，才能够根据定位原点设定测试接口的具***置，那么在校准接口在与测试接口对接之前，首先要与定位原点进行定位匹配，根据测试接口相对定位原点的坐标才能够准确的找到相应的测试接口具***置，由于集成电路测试***的测试通道数量多，在校准转接板上的测试接口密集排列且间距小，因此，需要提供一种能够快速实现校准接口定位的校准转接板定位装置。
发明内容
本发明提供一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，用以解决上述提出的技术问题。
本发明提供一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，所述定位装置包括设置在校准接口自动切换装置上、并靠近校准接口测试探针设置的定位信号激发组件，以及设置在校准转接板上、并与所述定位信号激发组件对应设置的定位信号反馈组件，所述定位信号激发组件、定位信号反馈组件均与校准接口自动切换装置的控制模块通信连接；当所述定位信号激发组件与定位信号反馈组件相接触，即形成应激回路并将应激信号反馈至所述控制模块；
其中，所述定位信号反馈组件包括设置在第一坐标轴上的第一电信号反馈部件，和设置在第二坐标轴上的第二电信号反馈部件，第一坐标轴和第二坐标轴垂直设置，且所述第一坐标轴和第二坐标轴的交点为校准定位原点。
优选的，所述定位信号激发组件包括一电信号激发部件，所述电信号激发部件为一靠近所述校准接口自动切换装置的坐标原点设置、且与校准接口自动切换装置的控制模块通信连接的电信号输出导引头。
优选的，所述第一电信号反馈部件和第二电信号反馈部件均为金属触点感应部件。
优选的，所述金属触点感应部件为弹性金属部件。
优选的，所述定位信号反馈组件还包括一用于与校准接口自动切换装置的控制模块通信连接的信号反馈端口，所述信号反馈端口中设有两个信号传输针，所述第一电信号反馈部件和第二电信号反馈部件分别通过引线与两信号传输针一一对接。
优选的，所述定位信号激发组件还包括一光电传感器，所述光电传感器与电信号激发部件对称设置在校准接口测试探针两侧；所述定位信号反馈组件还包括设置在所述第一坐标轴和第二坐标轴的相交原点上的光学反射部件。
优选的，所述光电传感器、校准接口测试探针以及电信号激发部件设置在同一直线上，且所述直线在校准转接板上的投影同时与第一坐标轴、第二坐标轴之间均存在45°的角度差。
优选的，所述定位信号激发组件和定位信号反馈组件分别设置在校准接口自动切换装置、校准转接板的外缘空置区域。
优选的，所述校准转接板的板体包括中部区域和外缘边框区域，所述中部区域设有多组测试接口，所述定位信号反馈组件设置在所述外缘边框区域的其中一个顶角位置上。
优选的，所述中部区域中，相邻组测试接口之间的分组间隔区域印刻有测度尺。
本发明所述一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其通过在校准接口自动切换装置上设置定位信号激发组件，并相应在校准转接板的校准定位原点的两垂直坐标轴上分别设置第一、第二电信号反馈部件，由定位信号激发组件相继与第一电信号反馈部件、第二电信号反馈部件接触形成应激回路，并将应激信号反馈给控制模块，则判断完成校准接口测试探针与校准转接板的校准定位原点之间的定位；本发明所述校准转接板定位装置具备较高精度的坐标系对准辅助能力，能够极大提高校准过程中通道接口定位准确度和对准速度。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明实施例所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置的结构示意图；
图2为本发明实施例所述校准转接板的结构示意图；
图3为本发明实施例所述校准转接板的部分结构放大示意图；
图4为本发明实施例所述校准接口自动切换装置的侧视图；
图5为本发明实施例所述校准接口自动切换装置的仰视图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明提供一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，所述定位装置包括设置在校准接口自动切换装置1上、并靠近校准接口测试探针11设置的定位信号激发组件，以及设置在校准转接板2上、并与所述定位信号激发组件对应设置的定位信号反馈组件，所述定位信号激发组件、定位信号反馈组件均与校准接口自动切换装置1的控制模块通信连接；当所述定位信号激发组件与定位信号反馈组件相接触，即形成应激回路并将应激信号反馈至所述控制模块；其中，所述定位信号反馈组件包括设置在第一坐标轴上的第一电信号反馈部件23，和设置在第二坐标轴上的第二电信号反馈部件24，第一坐标轴和第二坐标轴垂直设置，且所述第一坐标轴和第二坐标轴的交点为校准定位原点。
具体如图1所示，所述校准接口自动切换装置1设置在导轨移动基座上，其包括一电信号激发部件12，所述电信号激发部件12为与校准接口自动切换装置1的控制模块通信连接的电信号输出导引头，所述电信号输出导引头靠近校准接口测试探针11设置。
如图1和图2所示，所述校准转接板2的板体包括中部区域和外缘边框区域，所述中部区域设有多组测试接口21，相邻组测试接口21之间的分组间隔区域印刻有测度尺22；所述外缘边框区域的其中一个顶角位置上设有定位信号反馈组件，所述定位信号反馈组件包括第一电信号反馈部件23、第二电信号反馈部件24以及信号反馈端口25，所述第一电信号反馈部件23设置在X轴上，所述第二电信号激发部件12设置Y轴上，所述X轴和Y轴的坐标原点为校准定位原点。所述信号反馈端口25靠近第一电信号反馈部件23设置，用于与校准接口自动切换装置1的控制模块通信连接，具体的，如图3所示，所述信号反馈端口25中设有两个信号传输针，两信号传输针通过引线分别与所述第一电信号反馈部件23和第二电信号反馈部件24一一对接，所述第一电信号反馈部件23和第二电信号反馈部件24通过信号反馈端口25将反馈信号反馈给校准接口自动切换装置1的控制模块。
具体的，所述第一电信号反馈部件23和第二电信号反馈部件24均为金属触点感应部件，且所述金属触点感应部件为弹性金属部件，优选的，所述金属触点感应部件为金属簧片。
当校准接口需要与对应的测试通道对接之前，需要先将切换装置1的坐标系与校准转接板2坐标系进行匹配，即校准原点对准，目的是确定切换装置1所在坐标系和校准转接板2所在坐标系之间的相对准确位置，具体步骤包括：
首先合理摆放切换装置1的位置，使其的导轨与校准转接板2的边框保持平行，保持约1cm～2cm的间隙，如图1所示；
然后控制切换装置1使测试探针在右下角原点附近区域，先沿着y轴方向直线运动，当电信号激发部件12与第一电信号反馈部件23接触时形成应激回路，此时信号反馈端口25将应激信号反馈给校准接口自动切换装置1的控制模块，此时校准接口测试探针11在y轴方向上已到达0点；同样的步骤沿着x轴方向直线运动，当电信号激发部件12与第二电信号反馈部件24接触时形成应激回路，确定x轴方向上的0点位置。
最后，控制切换装置1中的电信号激发部件12与校准接口测试探针11的位置是固定安装的，根据两者已知的位置差，可以由已确定的xy轴坐标0点位置计算出校准接口测试探针11的原点，至此完成切换装置1的坐标系与校准转接板2校准原点对准工作。
为进一步提高校准接口测试探针11与校准转接板2的校准定位原点之间的定位精度，如图4和图5所示，所述校准接口自动切换装置1上还设有与所述控制模块通信连接的光电传感器13，所述光电传感器13与电信号激发部件12对称设置在校准接口测试探针11两侧，所述光电传感器13与校准接口测试探针11之间的距离等于电信号激发部件12与校准接口测试探针11之间的距离，且所述光电传感器、校准接口测试探针以及电信号激发部件设置在同一直线上，且所述直线在校准转接板上的投影同时与第一坐标轴、第二坐标轴之间均存在45°的角度差。相应的，如图2所示，所述校准转接板2上，X轴与Y轴相交的坐标原点上设有光学反射部件26。当校准接口测试探针11与校准转接板2的校准定位原点进行匹配设置时，所述光学反射部件26会将光电传感器13发出的光线反射回光电传感器13，光电传感器13接收到反射光线后，发送光学识别反馈信号给控制模块，控制模块接收到光学反馈信号后，确定校准接口测试探针11对准校准转接板2的校准定位原点。
即当电信号激发部件12完成xy方向上的0点位置应激，并通过电信号激发部件12与校准接口测试探针11的固有位置差计算出校准接口测试探针11的原点位置后，按照已知的光电传感器13与电信号激发部件12之间的距离，使光电传感器13运动至xy轴的0点，此时，查看控制模块是否接收到光学反馈信号，如果没有，则再进行一定范围的微调，直至控制模块接收到光学反馈信号，则确定校准接口测试探针11与校准转接板2的坐标系对准完成。由于校准转接板2上测试接口21相对于光学反射部件26的位置已知，因此，测试接口21中各点在校准转接板2的坐标位置明确已知。当完成校准接口测试探针11和校准转接板2的校准定位原点对准后，控制模块可以自动控制导轨运行，使校准接口测试探针11准确的与测试接口21对接。
本发明所述一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其通过在校准接口自动切换装置1上设置电信号激发部件12，并相应在校准转接板2的校准定位原点的两垂直坐标轴上分别设置第一、第二电信号反馈部件24，由电信号激发部件12相继与第一电信号反馈部件23、第二电信号反馈部件24接触形成应激回路，并通过信号反馈端口25将应激信号反馈给控制模块，则判断完成校准接口测试探针11与校准转接板2的校准定位原点之间的定位。本发明所述校准转接板2定位装置具备较高精度的坐标系对准辅助能力，能够极大提高校准过程中通道接口定位准确度和对准速度。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述定位装置包括设置在校准接口自动切换装置上、并靠近校准接口测试探针设置的定位信号激发组件，以及设置在校准转接板上、并与所述定位信号激发组件对应设置的定位信号反馈组件，所述定位信号激发组件、定位信号反馈组件均与校准接口自动切换装置的控制模块通信连接；当所述定位信号激发组件与定位信号反馈组件相接触，即形成应激回路并将应激信号反馈至所述控制模块；
其中，所述定位信号反馈组件包括设置在第一坐标轴上的第一电信号反馈部件，和设置在第二坐标轴上的第二电信号反馈部件，第一坐标轴和第二坐标轴垂直设置，且所述第一坐标轴和第二坐标轴的交点为校准定位原点。
2.根据权利要求1所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述定位信号激发组件包括一电信号激发部件，所述电信号激发部件为一靠近所述校准接口自动切换装置的坐标原点设置、且与校准接口自动切换装置的控制模块通信连接的电信号输出导引头。
3.根据权利要求1所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述第一电信号反馈部件和第二电信号反馈部件均为金属触点感应部件。
4.根据权利要求3所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述金属触点感应部件为弹性金属部件。
5.根据权利要求1所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述定位信号反馈组件还包括一用于与校准接口自动切换装置的控制模块通信连接的信号反馈端口，所述信号反馈端口中设有两个信号传输针，所述第一电信号反馈部件和第二电信号反馈部件分别通过引线与两信号传输针一一对接。
6.根据权利要求1所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述定位信号激发组件还包括一光电传感器，所述光电传感器与电信号激发部件对称设置在校准接口测试探针两侧；所述定位信号反馈组件还包括设置在所述第一坐标轴和第二坐标轴的相交原点上的光学反射部件。
7.根据权利要求6所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述光电传感器、校准接口测试探针以及电信号激发部件设置在同一直线上，且所述直线在校准转接板上的投影同时与第一坐标轴、第二坐标轴之间均存在45°的角度差。
8.根据权利要求1所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述定位信号激发组件和定位信号反馈组件分别设置在校准接口自动切换装置、校准转接板的外缘空置区域。
9.根据权利要求1所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述校准转接板的板体包括中部区域和外缘边框区域，所述中部区域设有多组测试接口，所述定位信号反馈组件设置在所述外缘边框区域的其中一个顶角位置上。
10.根据权利要求9所述大规模集成电路测试***的校准转接板定位装置，其特征在于，所述中部区域中，相邻组测试接口之间的分组间隔区域印刻有测度尺。
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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