CN114012542A - 一种适用于单晶硅片的自动倒角装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅片加工领域，且公开了一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其包括底板，所述底板的顶端四角均安装有可伸缩的支杆，多个所述支杆的顶端共固定有一顶板，所述顶板的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽，所述滑槽内对称设置有两个贯穿其的滑块，每个所述滑块的底端均连接有位于顶板下方的安装块，每个所述安装块的内侧均安装有夹持轴承，每个所述夹持轴承的内圈的外侧均延伸至对应的安装块外，顶板上设置有用于驱动两个滑块同时向相反方向沿滑槽进行滑动的第二驱动机构。本发明两个夹持轴承的内圈上相互靠近的一侧位于对应的安装块外，即两个轴承的内圈延伸出来，通过两个轴承的内圈将硅片卡合固定，使硅片既被固定又能相对转动。
Description
技术领域
本发明属于硅片加工领域，具体为一种适用于单晶硅片的自动倒角装置。
背景技术
在硅片的制造包括一系列的生产过程，如硅棒切片、打磨、抛光等，其中，在硅片打磨以后，由于硅片的四角具有棱角，所以还需将有棱角的硅片打磨成圆形，此过程便称为倒角。
现代倒角工艺是通过吸盘将硅片固定，吸盘的另一端连接一个转杆，转杆和转动机构传动连接，然后使用砂轮对转动的硅片进行倒角，直至硅片变成圆形。在此过程中，虽然硅片的质量较轻，通过吸盘可将硅片吸附住，但是在使用砂轮进行倒角的过程中，硅片也会转动，而转动就会产生离心力的作用，存在离心力就有可能导致硅片与吸盘脱离的问题，尤其是对于直径较大的硅片，其直径越大，在转动的过程中与吸盘脱离的可能性就越大，为解决此问题，这里提出一种适用于单晶硅片的自动倒角装置。
发明内容
为解决上述背景技术中提出的问题，本发明提供了一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，包括底板，所述底板的顶端中心位置对称安装有两个立杆，每个所述立杆上均转动连接有一转杆，两个所述转杆的外周侧共固定有一位于两个立杆之间中心位置的砂轮，其中一个所述立杆上设置有用于驱动转杆转动的第一驱动机构；所述底板的顶端四角均安装有可伸缩的支杆，多个所述支杆的顶端共固定有一顶板，所述顶板的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽，所述滑槽内对称设置有两个贯穿其的滑块，每个所述滑块的底端均连接有位于顶板下方的安装块，每个所述安装块的内侧均安装有夹持轴承，每个所述夹持轴承的内圈的外侧均延伸至对应的安装块外，所述顶板上设置有用于驱动两个滑块同时向相反方向沿滑槽进行滑动的第二驱动机构。
进一步地，其中一个所述转杆贯穿延伸至对应的立杆的外侧，所述第一驱动机构包括安装在其中一个立杆上的电机，所述电机的输出轴和对应的转杆的外周侧均固定套接有位于对应的立杆外的且相互啮合的齿轮。
进一步地，所述第二驱动机构包括安装在顶板顶端的两个关于滑槽对称的轴承座，两个所述轴承座上共贯穿转动连接有一分别与两个滑块螺纹贯穿的且为双向的丝杆，所述丝杆的两端均安装有转把，所述顶板上设置有用于对滑块的运动方向进行限制的导向机构。
进一步地，所述导向机构包括对称连接在每个滑块前后侧的且位于顶板顶端的两个外接板，位于同一侧的两个所述外接板上共活动贯穿连接有一导向杆，每个所述导向杆的两端均连接有固定在顶板顶端的安装座。
进一步地，每个所述支杆均包括与底板顶端固定的套杆，每个所述套杆的顶端均活动插接有与顶板底端固定的连接杆，所述底板上设置有用于调节连接杆高度的升降机构。
进一步地，所述升降机构包括对称安装在底板顶端的两个电动推杆一，每个所述电动推杆一的固定端均与底板连接，每个电动推杆一的伸缩端均与顶板连接。
进一步地，所述砂轮包括贯穿开设在其中心位置的通孔，所述通孔的直径等于转杆的直径，每个所述转杆的外周侧均固定套接有一直径大于其的卡盘，两个所述卡盘之间的距离等于通孔的深度，两个所述立杆之间设置有用于使砂轮与转杆固定的固定机构，所述底板的顶端在远离第一驱动机构的位置开设有沿其长度方向的移动槽，远离第一驱动机构的所述立杆通过移动槽与底板卡合滑动连接，所述底板上设置有用于驱动此立杆沿移动槽进行滑动的第三驱动机构。
进一步地，所述固定机构包括分别贯穿开设在每个卡盘上的多个均匀分布的连接孔一，所述砂轮上贯穿开设有多个与连接孔一对应的连接孔二，两个所述卡盘之间连接有多个依次贯穿对应的连接孔一和连接孔二的螺栓。
进一步地，所述第三驱动机构包括固定在远离第一驱动机构的所述立杆底端的且与移动槽卡合滑动连接的移动块，所述底板的顶端连接有安装架，所述安装架和对应的立杆之间安装有与移动槽平行的电动推杆二。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明中，两个夹持轴承的内圈上相互靠近的一侧位于对应的安装块外，即两个夹持轴承的内圈延伸出来，通过两个夹持轴承的内圈将硅片卡合固定，这样，硅片在水平方向上被固定，而在竖直方向上又能转动，如此，在第一驱动机构的作用下，使转杆带动砂轮进行转动即可对硅片进行倒角。
2.本发明中，砂轮通过固定机构的作用被固定在两个转杆上，使砂轮与两个转杆形成一个可转动的整体，同时，远离第一驱动机构的那个立杆可沿移动槽滑动，这即意外着将砂轮与转杆松开后，砂轮可从其中一个转杆上取下，这样，可更换相同型号的不同目数的砂轮来对硅片进行更细致的倒角。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明的立体结构示意图；
图2为本发明的主视结构示意图；
图3为本发明的部分结构分解示意图；
图4为本发明的A处结构放大示意图；
图5为本发明的俯视结构示意图；
图中：1、底板；2、立杆；3、转杆；4、砂轮；5、第一驱动机构；501、电机；502、齿轮；6、支杆；601、套杆；602、连接杆；7、顶板；8、滑槽；9、滑块；10、安装块；11、夹持轴承；12、第二驱动机构；1201、轴承座；1202、丝杆；1203、转把；13、导向机构；1301、外接板；1302、导向杆；1303、安装座；14、升降机构；1401、电动推杆一；15、通孔；16、卡盘；17、固定机构；1701、连接孔一；1702、连接孔二；1703、螺栓；18、移动槽；19、第三驱动机构；1901、移动块；1902、安装架；1903、电动推杆二。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：
本具体实施方式提供的适用于单晶硅片的自动倒角装置，如图1所示，包括底板1：
一方面，在底板1的顶端中心位置对称安装有两个立杆2，每个立杆2上均转动连接有一转杆3，两个转杆3的外周侧共固定有一位于两个立杆2之间中心位置的砂轮4，即砂轮4与两个转杆3形成一个可转动的整体，另外，在其中一个立杆2上设置有用于驱动转杆3转动的第一驱动机构5，第一驱动机构5的作用下即可驱动砂轮4转动；
另一方面，在底板1的顶端四角均安装有可伸缩的支杆6，多个支杆6的顶端共固定有一顶板7，在顶板7的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽8，在滑槽8内对称设置有两个贯穿其的滑块9，每个滑块9的底端均连接有位于顶板7下方的安装块10，在每个安装块10的内侧均安装有夹持轴承11，每个夹持轴承11的内圈的外侧均延伸至对应的安装块10外，此外，在顶板7上设置有用于驱动两个滑块9同时向相反方向沿滑槽8进行滑动的第二驱动机构12，在这样的设置下，两个夹持轴承11的内圈上相互靠近的一侧位于对应的安装块10外，即两个夹持轴承11的内圈延伸出来，在第二驱动机构12的作用下，使两个滑块9带动安装块10向相反方向进行滑动，即可通过两个夹持轴承11的内圈将硅片卡合固定，这样，硅片在水平方向上被固定，而在竖直方向上又能转动，如此，在第一驱动机构5和可伸缩的支杆6的配合作用下，使转杆3带动砂轮4进行转动即可对硅片进行倒角。
如图3所示，其中一个转杆3贯穿延伸至对应的立杆2的外侧，第一驱动机构5包括安装在其中一个立杆2上的电机501，在此电机501的输出轴和对应的转杆3的外周侧均固定套接有位于对应的立杆2外的且相互啮合的齿轮502，如此，在电机502的作用下，即可通过两个相互啮合的齿轮502带动两个转杆3和砂轮4形成的整体进行转动。
第二驱动机构12的具体结构如图2所示，第二驱动机构12包括安装在顶板7顶端的两个关于滑槽8对称的轴承座1201，两个轴承座1201上共贯穿转动连接有一分别与两个滑块9螺纹贯穿的且为双向的丝杆1202，两个滑块9与双向的丝杆1202以螺纹相反的方向螺纹贯穿连接，同时，在丝杆1202的两端均安装有转把1203，这样，通过转动双向的丝杆1202即可使两个滑块9同时向相反方向进行滑动，另外，为了保持滑块9滑动时的稳定，在顶板7上还设置有用于对滑块9的运动方向进行限制的导向机构13，如图5所示，导向机构13包括对称连接在每个滑块9前后侧的且位于顶板7顶端的两个外接板1301，位于同一侧的两个外接板1301上共活动贯穿连接有一导向杆1302，不仅如此，在每个导向杆1302的两端均连接有固定在顶板7顶端的安装座1303。
支杆6可伸缩的原因如图1所示，每个支杆6均包括与底板1顶端固定的套杆601，在每个套杆601的顶端均活动插接有与顶板7底端固定的连接杆602，由于连接杆602是活动插接的，所以，在底板1上还设置有用于调节连接杆602高度的升降机构14，如图1所示，升降机构14包括对称安装在底板1顶端的两个电动推杆一1401，每个电动推杆一1401的固定端均与底板1连接，每个电动推杆一1401的伸缩端均与顶板7连接。
实施例二：
本具体实施方式提供的适用于单晶硅片的自动倒角装置，如图1所示，包括底板1：
一方面，在底板1的顶端中心位置对称安装有两个立杆2，每个立杆2上均转动连接有一转杆3，两个转杆3的外周侧共固定有一位于两个立杆2之间中心位置的砂轮4，即砂轮4与两个转杆3形成一个可转动的整体，另外，在其中一个立杆2上设置有用于驱动转杆3转动的第一驱动机构5，第一驱动机构5的作用下即可驱动砂轮4转动；
另一方面，在底板1的顶端四角均安装有可伸缩的支杆6，多个支杆6的顶端共固定有一顶板7，在顶板7的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽8，在滑槽8内对称设置有两个贯穿其的滑块9，每个滑块9的底端均连接有位于顶板7下方的安装块10，在每个安装块10的内侧均安装有夹持轴承11，每个夹持轴承11的内圈的外侧均延伸至对应的安装块10外，此外，在顶板7上设置有用于驱动两个滑块9同时向相反方向沿滑槽8进行滑动的第二驱动机构12，在这样的设置下，两个夹持轴承11的内圈上相互靠近的一侧位于对应的安装块10外，即两个夹持轴承11的内圈延伸出来，在第二驱动机构12的作用下，使两个滑块9带动安装块10向相反方向进行滑动，即可通过两个夹持轴承11的内圈将硅片卡合固定，这样，硅片在水平方向上被固定，而在竖直方向上又能转动，如此，在第一驱动机构5和可伸缩的支杆6的配合作用下，使转杆3带动砂轮4进行转动即可对硅片进行倒角。
如图3所示，其中一个转杆3贯穿延伸至对应的立杆2的外侧，第一驱动机构5包括安装在其中一个立杆2上的电机501，在此电机501的输出轴和对应的转杆3的外周侧均固定套接有位于对应的立杆2外的且相互啮合的齿轮502，如此，在电机502的作用下，即可通过两个相互啮合的齿轮502带动两个转杆3和砂轮4形成的整体进行转动。
第二驱动机构12的具体结构如图2所示，第二驱动机构12包括安装在顶板7顶端的两个关于滑槽8对称的轴承座1201，两个轴承座1201上共贯穿转动连接有一分别与两个滑块9螺纹贯穿的且为双向的丝杆1202，两个滑块9与双向的丝杆1202以螺纹相反的方向螺纹贯穿连接，同时，在丝杆1202的两端均安装有转把1203，这样，通过转动双向的丝杆1202即可使两个滑块9同时向相反方向进行滑动，另外，为了保持滑块9滑动时的稳定，在顶板7上还设置有用于对滑块9的运动方向进行限制的导向机构13，如图5所示，导向机构13包括对称连接在每个滑块9前后侧的且位于顶板7顶端的两个外接板1301，位于同一侧的两个外接板1301上共活动贯穿连接有一导向杆1302，不仅如此，在每个导向杆1302的两端均连接有固定在顶板7顶端的安装座1303。
支杆6可伸缩的原因如图1所示，每个支杆6均包括与底板1顶端固定的套杆601，在每个套杆601的顶端均活动插接有与顶板7底端固定的连接杆602，由于连接杆602是活动插接的，所以，在底板1上还设置有用于调节连接杆602高度的升降机构14，如图1所示，升降机构14包括对称安装在底板1顶端的两个电动推杆一1401，每个电动推杆一1401的固定端均与底板1连接，每个电动推杆一1401的伸缩端均与顶板7连接。
如图3所示，砂轮4包括贯穿开设在其中心位置的通孔15，通孔15的直径等于转杆3的直径，每个转杆3的外周侧均固定套接有一直径大于其的卡盘16，两个卡盘16之间的距离等于通孔15的深度，使得砂轮4套接在两个转杆3上的时候，两个卡盘16的内侧均与砂轮4贴合，不仅如此，在两个立杆2之间还设置有用于使砂轮4与转杆3固定的固定机构17，如图4所示，固定机构17包括分别贯穿开设在每个卡盘16上的多个均匀分布的连接孔一1701，同时，在砂轮4上贯穿开设有多个与连接孔一1701对应的连接孔二1702，两个卡盘16之间连接有多个依次贯穿对应的连接孔一1701和连接孔二1702的螺栓1703，另外，底板1的顶端在远离第一驱动机构5的位置开设有沿其长度方向的移动槽18，远离第一驱动机构5的立杆2通过移动槽18与底板1卡合滑动连接，在底板1上还设置有用于驱动此立杆2沿移动槽18进行滑动的第三驱动机构19，第三驱动机构19包括固定在远离第一驱动机构5的立杆2底端的且与移动槽18卡合滑动连接的移动块1901，在底板1的顶端连接有安装架1902，安装架1902和对应的立杆2之间安装有与移动槽18平行的电动推杆二1903，砂轮4通过固定机构17的作用被固定在两个转杆3上，使砂轮4与两个转杆3形成一个可转动的整体，同时，远离第一驱动机构5的那个立杆2可沿移动槽18滑动，这即意外着将砂轮4与转杆3松开后，砂轮4可从其中一个转杆3上取下，这样，可更换相同型号的不同目数的砂轮4来对硅片进行更细致的倒角。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (9)
1.一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，包括底板(1)，其特征在于：
所述底板(1)的顶端中心位置对称安装有两个立杆(2)，每个所述立杆(2)上均转动连接有一转杆(3)，两个所述转杆(3)的外周侧共固定有一位于两个立杆(2)之间中心位置的砂轮(4)，其中一个所述立杆(2)上设置有用于驱动转杆(3)转动的第一驱动机构(5)；
所述底板(1)的顶端四角均安装有可伸缩的支杆(6)，多个所述支杆(6)的顶端共固定有一顶板(7)，所述顶板(7)的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽(8)，所述滑槽(8)内对称设置有两个贯穿其的滑块(9)，每个所述滑块(9)的底端均连接有位于顶板(7)下方的安装块(10)，每个所述安装块(10)的内侧均安装有夹持轴承(11)，每个所述夹持轴承(11)的内圈的外侧均延伸至对应的安装块(10)外，所述顶板(7)上设置有用于驱动两个滑块(9)同时向相反方向沿滑槽(8)进行滑动的第二驱动机构(12)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：其中一个所述转杆(3)贯穿延伸至对应的立杆(2)的外侧，所述第一驱动机构(5)包括安装在其中一个立杆(2)上的电机(501)，所述电机(501)的输出轴和对应的转杆(3)的外周侧均固定套接有位于对应的立杆(2)外的且相互啮合的齿轮(502)。
3.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：所述第二驱动机构(12)包括安装在顶板(7)顶端的两个关于滑槽(8)对称的轴承座(1201)，两个所述轴承座(1201)上共贯穿转动连接有一分别与两个滑块(9)螺纹贯穿的且为双向的丝杆(1202)，所述丝杆(1202)的两端均安装有转把(1203)，所述顶板(7)上设置有用于对滑块(9)的运动方向进行限制的导向机构(13)。
4.根据权利要求3所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：所述导向机构(13)包括对称连接在每个滑块(9)前后侧的且位于顶板(7)顶端的两个外接板(1301)，位于同一侧的两个所述外接板(1301)上共活动贯穿连接有一导向杆(1302)，每个所述导向杆(1302)的两端均连接有固定在顶板(7)顶端的安装座(1303)。
5.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：每个所述支杆(6)均包括与底板(1)顶端固定的套杆(601)，每个所述套杆(601)的顶端均活动插接有与顶板(7)底端固定的连接杆(602)，所述底板(1)上设置有用于调节连接杆(602)高度的升降机构(14)。
6.根据权利要求5所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：所述升降机构(14)包括对称安装在底板(1)顶端的两个电动推杆一(1401)，每个所述电动推杆一(1401)的固定端均与底板(1)连接，每个电动推杆一(1401)的伸缩端均与顶板(7)连接。
7.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：所述砂轮(4)包括贯穿开设在其中心位置的通孔(15)，所述通孔(15)的直径等于转杆(3)的直径，每个所述转杆(3)的外周侧均固定套接有一直径大于其的卡盘(16)，两个所述卡盘(16)之间的距离等于通孔(15)的深度，两个所述立杆(2)之间设置有用于使砂轮(4)与转杆(3)固定的固定机构(17)，所述底板(1)的顶端在远离第一驱动机构(5)的位置开设有沿其长度方向的移动槽(18)，远离第一驱动机构(5)的所述立杆(2)通过移动槽(18)与底板(1)卡合滑动连接，所述底板(1)上设置有用于驱动此立杆(2)沿移动槽(18)进行滑动的第三驱动机构(19)。
8.根据权利要求7所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：所述固定机构(17)包括分别贯穿开设在每个卡盘(16)上的多个均匀分布的连接孔一(1701)，所述砂轮(4)上贯穿开设有多个与连接孔一(1701)对应的连接孔二(1702)，两个所述卡盘(16)之间连接有多个依次贯穿对应的连接孔一(1701)和连接孔二(1702)的螺栓(1703)。
9.根据权利要求7所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：所述第三驱动机构(19)包括固定在远离第一驱动机构(5)的所述立杆(2)底端的且与移动槽(18)卡合滑动连接的移动块(1901)，所述底板(1)的顶端连接有安装架(1902)，所述安装架(1902)和对应的立杆(2)之间安装有与移动槽(18)平行的电动推杆二(1903)。
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