CN113777368B - 垂直式探针卡及其悬臂式探针 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种垂直式探针卡及其悬臂式探针，所述悬臂式探针包含一主体段、分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成的两个侧翼段及分别自所述主体段于高度方向上的两端延伸所形成的一针测段与一固定段。所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂。所述针测段在垂直所述高度方向的长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距。据此，通过所述悬臂式探针的结构设计，以使得悬臂式探针可应用于垂直式探针卡中，据以利于悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。

Description

垂直式探针卡及其悬臂式探针

技术领域

本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种垂直式探针卡及其悬臂式探针。

背景技术

现有的悬臂式探针主要是应用在周边型芯片的测试，但现有悬臂式探针的植针方式较为复杂(如：人工焊针)，并且还需进行线路扇出设计(fan-out)。据此，现有悬臂式探针并不易于植针与维护，进而使得生产与维修成本难以降低。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种垂直式探针卡及其悬臂式探针，能有效地改善现有悬臂式探针所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种垂直式探针卡，其包括多个导板及多个悬臂式探针。多个导板沿一高度方向彼此堆叠设置；多个悬臂式探针定位于多个导板，并且每个悬臂式探针包含一主体段、两个侧翼段及一针测段与一固定段。主体段穿设于多个导板内；两个侧翼段分别自主体段的相反两侧延伸所形成，并且两个侧翼段夹持于多个导板中的至少两个导板；一针测段与一固定段分别自主体段于高度方向上的两端延伸所形成；针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接抵接部与主体段的一针测悬臂；其中，多个悬臂式探针的抵接部用来可分离地顶抵于一待测物；其中，针测段在垂直高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且抵接部在高度方向上与主体段相距有小于力臂长度的一间距。

优选地，远离多个针测段的一个导板，其能沿着高度方向或沿着垂直高度方向与长度方向的一宽度方向穿过多个悬臂式探针，而压抵于每个悬臂式探针的两个侧翼段。

优选地，于每个悬臂式探针中，固定段包含有呈悬空状的一连接部以及连接连接部与主体段的一缓冲悬臂；其中，垂直式探针卡包含有一转接板，并且多个悬臂式探针的连接部固定于转接板。

优选地，在多个悬臂式探针的至少一个悬臂式探针中，抵接部与连接部非皆位于高度方向上，并且抵接部与连接部于长度方向上间隔有大于间距的一错位距离。

优选地，在多个悬臂式探针的至少一个悬臂式探针中，抵接部与连接部皆位于高度方向上，并且当连接部顶抵于待测物时，针测悬臂与缓冲悬臂皆弹性地弯曲，以使抵接部与连接部抵接于主体段。

优选地，在多个悬臂式探针的相邻两个悬臂式探针中，其中一个悬臂式探针的抵接部与连接部非皆位于高度方向上，而其中另一个悬臂式探针的抵接部与连接部则是皆位于高度方向上。

优选地，于每个悬臂式探针中，针测悬臂沿长度方向凹设形成有至少一条狭缝。

优选地，于每个悬臂式探针中，针测段与固定段位于主体段沿高度方向正投影所形成的一投影区域之内。

本发明实施例也公开一种垂直式探针卡的悬臂式探针，其包括一主体段、两个侧翼段及一针测段与一固定段。两个侧翼段分别自主体段的相反两侧延伸所形成；一针测段与一固定段分别自主体段于一高度方向上的两端延伸所形成；针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接抵接部与主体段的一针测悬臂；其中，针测段在垂直高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且抵接部在高度方向上与主体段相距有小于力臂长度的一间距。

优选地，针测段与固定段位于主体段沿高度方向正投影所形成的一投影区域之内。

综上所述，本发明实施例所公开的垂直式探针卡，其通过所述悬臂式探针的结构设计，以使得悬臂式探针可应用于垂直式探针卡中，据以利于悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例一的垂直式探针卡的立体示意图。

图2为本发明实施例一的探针头的立体分解示意图。

图3为本发明实施例一的垂直式探针卡的剖视示意图。

图4为本发明实施例一的悬臂式探针的立体示意图。

图5为图4的悬臂式探针第一种方式的平面示意图。

图6为图4的悬臂式探针第二种方式的平面示意图。

图7为图4的悬臂式探针第三种方式的平面示意图。

图8为本发明实施例二的探针头的立体分解示意图。

图9为本发明实施例三的垂直式探针卡的剖视示意图。

图10为本发明实施例四的垂直式探针卡的剖视示意图。

图11为图10的悬臂式探针以针侧段顶抵于待侧物的示意图。

图12为图10的垂直式探针卡另一种方式的剖视示意图。

图13为图12的悬臂式探针以针侧段顶抵于待侧物的示意图。

图14为本发明实施例五的垂直式探针卡的立体示意图。

图15为图14的垂直式探针卡的俯视示意图。

图16为本发明实施例一的悬臂式探针的另一方式的立体示意图。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“垂直式探针卡及其悬臂式探针”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

[实施例一]

请参阅图1至图7及图16所示，其为本发明的实施例一。本实施例公开一种垂直式探针卡1000，包括有一探针头100以及抵接于上述探针头100(probe head)一侧(如：图1中的探针头100顶侧)的一转接板200(space transformer)，并且所述探针头100的另一侧(图1中的探针头100底侧)能用来顶抵测试一待测物(device under test，DUT)(图未示出，如：半导体晶片)。

需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现所述垂直式探针卡1000的局部构造，以便于清楚地呈现所述垂直式探针卡1000的各个组件构造与连接关系，但本发明并不以附图为限。以下将分别介绍所述探针头100的各个组件构造及其连接关系。

所述探针头100包含有一高度方向H彼此堆叠设置的多个导板1及定位于多个所述导板1的多个悬臂式探针2。详细地说，为便于说明，本实施例中的多个所述导板1分别命名为第一导板1a、第二导板1b及第三导板1c，并且多个所述导板1沿所述高度方向H由下至上依序堆叠设置为所述第二导板1b、所述第三导板1c及所述第一导板1a。另外，为便于下述组件的构造，本实施例另定义有垂直所述高度方向H的一长度方向L及垂直所述高度方向H与所述长度方向L的一宽度方向D。

需说明的是，所述多个导板1于本实施例中为彼此对应设置，并且所述探针头100排除仅包含单个导板1的方式。再者，所述悬臂式探针2于本实施例中是以搭配于上述组件(如：多个所述导板1)来说明，但于本发明未示出的其他实施例中，所述悬臂式探针2也可以搭配其他构件或是单独地应用(如：贩卖)。

其中，所述第三导板1c夹持于所述第一导板1a与所述第二导板1b之间。所述第一导板1a形成有一第一长形孔10a，所述第一长形孔10a(的长轴方向)垂直于所述宽度方向D形成。于本实施例中，所述第一长形孔10a的形状为大致呈矩形，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一导板1a上也能形成多个所述第一长形孔10a，且多个所述第一长形孔10a沿所述宽度方向D分别凹设而成。

所述第二导板1b形成有一第二长形孔10b，所述第二长形孔10b的位置沿所述高度方向H对应于所述第一长形孔10a(如：所述第二长形孔10b于本实施例中于相对应位于所述第一长形孔10a的正下方)。然而，在本发明未示出的其他实施例中，所述第二导板1b上能形成多个所述第二长形孔10b，所述第一导板1a上也能形成多个第一长形孔10a，且多个所述第二长形孔10b位置分别对应于多个所述第一长形孔10a，但本发明不受限于此。

所述第三导板1c形成有多个第三长形孔10c，每个所述第三长形孔10c(的长轴方向)平行于所述长度方向L，且沿所述宽度方向D分别凹设而成。更进一步地说，多个所述第三长形孔10c分别沿所述高度方向H相对应位于所述第一长形孔10a与所述第二长形孔10b之间，且所述第三长形孔10c于所述长度方向L上的长度大于所述第一长形孔10a与所述第二长形孔10b在其长轴方向上的长度。于本实施例中，任一个所述第三长形孔10c的形状为矩形，但本发明不受限于此。

其中，所述第三导板1c可依据使用者需求而调整，举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第二导板1b可以在相邻所述第一导板1a的一侧面呈突出状并抵接所述第一导板1a，据以取代所述第三导板1c。据此，所述探针头100的所述第三导板1c也可以省略或是以其他构件取代，但本发明不受限于此。

多个所述悬臂式探针2的一端分别穿过于所述第一导板1a的所述第一长形孔10a，并且多个所述悬臂式探针2的另一端分别穿过所述第二导板1b的第二长形孔10b。进一步地说，每个所述悬臂式探针2的局部(如：下述主体段21)位于所述第一导板1a、所述第二导板1b、与所述第三导板1c内。其中，所述悬臂式探针2于本实施例中为可导电且一体成形的单件式构造，并且所述悬臂式探针2可以是由微机电***(MEMS)技术所制造，但本发明不以此为限。

需额外说明的是，多个所述悬臂式探针2于本实施例的图1中是以沿着所述探针头100的一边排成一列来说明，但在本实施例未绘出的部位中，多个所述悬臂式探针2可以是沿着所述探针头100的至少两边排列，并且沿着所述探针头100任一边排列的多个所述悬臂式探针2也可以是排成至少两列。也就是说，多个所述悬臂式探针在所述探针头100中的排列方式可以依据设计需求而加以调整，不以本实施例为限。

由于所述探针头100的多个所述悬臂式探针2构造于本实施例中皆大致相同，所以下述说明是以单个所述悬臂式探针2为例，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述探针头100的多个所述悬臂式探针2也可以是具有彼此相异的构造。再者，为便于理解所述悬臂式探针2构造，下述将以所述探针头100处于植针位置时的所述悬臂式探针2进行介绍。

所述悬臂式探针2包含有一主体段21、分别自所述主体段21的相反两侧延伸所形成两个侧翼段22、自所述主体段21的顶缘延伸所形成的一固定段23及自所述主体段21的底缘延伸所形成的一针测段24。详细地说，所述主体段21穿设于相对应的所述第一长形孔10a、所述第二长形孔10b及所述第三长形孔10c，所述固定段23裸露于所述第一导板1a上表面，所述针测段24裸露于所述第二导板1b下表面，两个所述侧翼段22相对应设置于所述第三导板1c。

换个角度来看，面向所述第一导板1a的所述固定段23的一端缘(如：图3中的所述固定段23顶缘)于本实施例中依序延伸形成有所述主体段21与两个所述侧翼段22(如：图3中的所述主体段21左右两侧)及所述针测段24。

进一步地说，所述主体段21穿设于多个所述导板1(如：所述第一导板1a、所述第二导板1b及所述第三导板1c)，并且两个所述侧翼段22夹持于多个所述导板1中的至少两个所述导板1(如：夹持于所述第一导板1a与所述第二导板1b之间且固定于所述第三导板1c)。据此，多个所述导板1可以通过彼此相对应夹持两个所述侧翼段22，以稳定地固定所述悬臂式探针2，进而在所述探针头100承受移动或是翻转时，使所述悬臂式探针2不易掉出。

于本实施例中，在垂直于所述宽度方向D的所述主体段21形状大致呈梯形，且垂直所述高度方向H的所述主体段21横剖面大致呈矩形，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，在垂直于所述宽度方向D的所述主体段21形状可以是非梯形(如：矩形)。

两个所述侧翼段22自所述主体段21沿着所述长度方向L相反两侧延伸而成，且垂直所述高度方向H的任一个所述侧翼段22横剖面大致呈矩形，而两个所述侧翼段22在所述高度方向H上是大致连接于所述主体段21(左右两侧)的中心位置。任一个所述侧翼段22在所述长度方向L上的长度大致是所述主体段21在所述长度方向L的长度的1/10～1/20。两个所述侧翼段22沿所述宽度方向D的厚度大致相等于所述主体段21的厚度，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述侧翼段22的厚度可以非相等于所述主体段21的厚度。

需额外说明的是，所述悬臂式探针2的两个所述侧翼段22是依据其用途而形成，据以所述悬臂式探针2相对稳定夹持于多个所述导板1之中，所以所述悬臂式探针2排除仅包含单个所述侧翼段22的方式。

所述固定段23沿所述高度方向H自所述主体段21的顶缘朝远离所述主体段21的方向延伸所形成。其中，所述固定段23裸露出多个所述导板1(如：图3中的所述第一导板1a)的表面上。

其中，所述固定段23包含有呈悬空状的一连接部231以及连接所述连接部231与所述主体段21的一缓冲悬臂232。所述连接部231在垂直于所述宽度方向D的形状大致呈梯形，并且所述连接部231在垂直所述高度方向H的横剖面大致呈矩形，但本发明不受限于此。举例来说，如图16所示，所述固定段23也可以仅形成有连接部231，且所述连接部231直接成形于所述主体段21；或者，在本发明未示出的其他实施例中，所述连接部231在垂直于所述宽度方向D的形状可以是非梯形(如：矩形)。

于本实施例中，所述缓冲悬臂232在垂直于所述宽度方向D的形状大致呈一字状的构造(如：图4所示)，所述缓冲悬臂232两端的其中一端连接所述主体段21(的顶缘)，则所述缓冲悬臂232的另一端连接所述连接部231。更详细地说，所述缓冲悬臂232能够受力变形而续有一回弹力，所述缓冲悬臂232在垂直所述高度方向H的横剖面大致呈矩形，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述缓冲悬臂232可以是弧状的构造。

也就是说，所述连接部231通过所述缓冲悬臂232而间隔地设置于所述主体段21上，据以使所述连接部231能够设置于多个所述导板1顶侧(如：图3中的所述第一导板1a上方)，并且所述连接部231的顶端用来固定于所述转接板200。

所述针测段24沿所述高度方向H且自所述主体段21的底缘朝远离所述主体段21的方向延伸所形成，并且所述针测段24裸露出多个所述导板1(如：图3中的第二导板1b)的表面上。

其中，所述针测段24包含有呈悬空状的一抵接部241以及连接所述抵接部241与所述主体段21的一针测悬臂242。所述抵接部241在垂直于所述宽度方向D的形状大致呈梯形(如：图4所示)或者呈凸字形(如：图5所示)，并且所述抵接部241在垂直所述高度方向H的横剖面大致呈矩形，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述抵接部241在垂直于所述宽度方向D的形状可以是非梯形(如：矩形)。

于本实施例中，所述针测悬臂242在垂直于所述宽度方向D的形状大致呈一字状的构造(如：图4所示)或者呈阶梯状的构造(如：图6所示)，并且所述针测悬臂242两端的其中一端连接所述主体段21(的底缘)，而所述针测悬臂242的另一端连接所述抵接部241。更详细地说，所述针测悬臂242能够受力变形而续有一回弹力，进而提供所述悬臂式探针2运作时所需的行程。所述针测悬臂242在垂直所述高度方向H的横剖面大致呈矩形，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述针测悬臂242可以是弧状的构造。

此外，所述针测悬臂242也可以依据设计需求而加以调整变化；举例来说，请参阅图7所示，所述针测悬臂242于垂直所述宽度方向H的表面上，所述针测悬臂242可以沿所述长度方向L凹设形成有一条狭缝2421，所述狭缝2421在垂直于所述宽度方向D的形状大致呈矩形，且所述狭缝2421贯穿于所述针测悬臂242沿所述宽度方向D的两侧。另外，在本发明未示出的其他实施例中，所述针测悬臂242也可以沿所述长度方向L凹设形成有多个所述狭缝2421，但本发明不受限于此。

再者，所述抵接部241通过所述针测悬臂242设置于所述主体段21上，据以使所述抵接部241能够间隔地设置于多个所述导板1底侧(如：图3中的所述第二导板1b下方)，并且所述抵接部241是用来可分离地顶抵于所述待测物。

其中，所述针测段24在所述长度方向L上具有一力臂长度L24。也就是说，所述针测悬臂242在所述长度方向L上的长度大致相等于所述力臂长度L24，并且所述抵接部241在所述高度方向H上与所述主体段21(的底侧)相距有小于所述力臂长度L24的一间距G。于本实施例中，所述间距G大致为所述力臂长度L24的1/5～1/10，但本发明不受限于此。

所述悬臂式探针2依序设置于所述第一导板1a、所述第三导板1c及所述第二导板1b。所述主体段21固定于相对应的所述第一长形孔10a与所述第二长形孔10b，且两个所述侧翼段22相对应设置于所述第三长形孔10c，据以使得两个所述侧翼段22夹持于所述第一导板1a与所述第二导板1b之间。

所述固定段23穿出所述第一长形孔10a，且所述固定段23的所述连接部231裸露于所述第一导板1a表面上。所述针测段24穿出所述第二长形孔10b，且所述针测段24的所述抵接部241裸露于所述第二导板1b表面上。

于本实施例中，每个所述悬臂式探针2中的所述针测段24与所述固定段23位于所述主体段21沿所述高度方向H正投影所形成的一投影区域之内，以使每个所述悬臂式探针2沿所述高度方向H设置于多个所述导板1。

当每个所述悬臂式探针2的所述抵接部241顶抵于所述待测物时，通过所述针测悬臂242提供弹性，使得所述抵接部241确实接触所述待测物，据以使得所述抵接部241与所述待测物的连接能够更为稳定。

需额外说明的是，本实施例中远离多个所述针测段24的一个所述导板1(如：所述第一导板1a)，其能沿着所述高度方向H穿过多个所述悬臂式探针2并压抵于每个所述悬臂式探针2的两个所述侧翼段22，以使所述第一长形孔10a收容部分的每个所述主体段21(的邻近所述固定段23一侧)。详细地说，每个所述悬臂式探针2的两个所述侧翼段22通过压抵于所述第一导板1a，据以使得每个所述悬臂式探针2的所述主体段21固定于多个所述导板1之中。

依上所述，所述垂直式探针卡1000的所述悬臂式探针2可以通过两个所述侧翼段22来定位于所述第一导板1a与所述第二导板1b之间，而所述针测段24无需通过错位即可提供所述悬臂式探针2检测受力所需的行程，进而提供一种有别于以往的垂直式探针卡及其悬臂式探针。再者，由于多个所述导板1(如：所述第一导板1a、所述第二导板1b、与所述第三导板1c)无须以错位设置来定位所述悬臂式探针2，所以所述悬臂式探针2的长度能够被有效地缩短，据以使所述悬臂式探针2有效地提升测试效能结果，且有助于提升植针效率或便于维护更换所述悬臂式探针2。

[实施例二]

请参阅图8所示，其为本发明的实施例二，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例的所述垂直式探针卡1000中，所述第一长形孔10a沿着所述度宽度方向D凹设而成，且所述第一导板1a沿着所述宽度方向D穿过多个所述悬臂式探针2，以使所述第一长形孔10a能沿着所述宽度方向D穿过多个所述悬臂式探针2，并且所述第一长形孔10a收容部分的每个所述主体段21(的邻近所述固定段23一侧)，而所述第一导板1a压抵于每个所述悬臂式探针2的两个所述侧翼段22。

详细地说，每个所述悬臂式探针2的两个所述侧翼段22通过所述第一导板1a压抵，据以使得每个所述悬臂式探针2的所述主体段21固定于多个所述导板1之中。

依上所述，当所述垂直式探针卡1000的所述悬臂式探针2设置于所述第二导板1b与所述第三导板1c时，所述第一导板1a能沿着所述宽度方向D穿过多个所述悬臂式探针2。其中，所述第一导板1a设置方式可以依据设计需求而加以调整，据以使所述悬臂式探针2有助于提升植针效率或便于维护更换所述悬臂式探针2。

[实施例三]

请参阅图9所示，其为本发明的实施例三，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例的所述垂直式探针卡1000中，所述悬臂式探针2的所述抵接部241与所述连接部231非皆位于所述高度方向H上。换句话说，所述针测段24的所述针测悬臂242在所述长度方向L上与所述固定段23的所述缓冲悬臂232是分别朝不同方向延伸，并且所述抵接部241与所述连接部231于所述长度方向L上间隔有大于所述间距G的一错位距离L100，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述错位距离L100于所述长度方向L上间隔有非大于所述间距G的，但本发明不受限于此。

依上所述，所述垂直式探针卡1000其中一个所述悬臂式探针2的所述抵接部241与所述连接部231非皆位于所述高度方向H上，据以使得所述悬臂式探针2的所述连接部231能够配合不同的所述转接板200，进而增加所述悬臂式探针2的适用范围。

[实施例四]

请参阅图10至图13所示，其为本发明的实施例四，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

如图10和图11所示，于本实施例的所述垂直式探针卡1000中，所述悬臂式探针2的所述抵接部241与所述连接部231皆位于所述高度方向H上，并且所述缓冲悬臂232的所述连接部231抵接于所述主体段21。再者，当所述抵接部241用来顶抵于所述待测物时，所述针测悬臂242弹性地弯曲，以使所述抵接部241抵接于所述主体段21两侧。

详细地说，所述主体段21可以在其沿所述高度方向H邻近所述抵接部241与所述连接部231的部位各凸出形成有一梯形结构211。据此，当所述悬臂式探针2以所述抵接部241顶抵于所述待测物时，所述抵接部241抵接于其所相邻的所述梯形结构211。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述抵接部241与所述连接部231其中一个也可以是未抵接所述主体段21的所述梯形结构211，但本发明不受限于此。

此外，请参阅图12及图13所示，两个所述梯形结构211的其中一个也可以形成于邻近于所述主体段21(的底侧)的所述抵接部241一侧，另一个所述梯形结构211则可以形成于邻近于所述主体段21(的顶侧)的所述连接部231一侧，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，两个所述梯形结构211的其中一个可以形成于邻近所述主体段21的所述抵接部241或所述连接部231，而另一个所述梯形结构211则是形成于所述主体段21，但本发明不受限于此。

依上所述，所述垂直式探针卡1000其中一个所述悬臂式探针2的所述抵接部241与所述连接部231分别抵接所述主体段21两侧，以使所述悬臂式探针2能够缩短传输路径，而使所述悬臂式探针2有助于提升传输效果。

[实施例五]

请参阅图14及图15所示，其为本发明的实施例五，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例的所述垂直式探针卡1000中，多个所述悬臂式探针2沿所述宽度方向D的相邻两个所述悬臂式探针2中，其中一个所述悬臂式探针2的所述抵接部241与所述连接部231非皆位于所述高度方向H上，而其中另一个所述悬臂式探针2的所述抵接部241与所述连接部231则是皆位于所述高度方向H上。

据此，所述垂直式探针卡1000的多个所述悬臂式探针2通过上述分布，据以使所述连接部231能够配合不同的所述转接板200，进而增加所述悬臂式探针2的适用范围。再者，所述探针头100通过(如：图14所示)多个所述连接部231的配置，而能有效地扩大相邻两个所述连接部231的间距，据以影响所述转接板200的间距设定。举例来说，如图14所示所述探针头100仅需进一步搭配电路板，以利于提升电性质量与降低制造成本。

[本发明实施例的技术效果]

综上所述，本发明实施例所公开的垂直式探针卡，其通过所述悬臂式探针的结构设计，以使得悬臂式探针可应用于垂直式探针卡中，据以利于悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。

另外，本发明实施例所公开的垂直式探针卡，其通过在导板(如：第一导板)开孔或开槽，据以能够沿着高度方向或宽度方向移动固定所述悬臂式探针，进而使所述悬臂式探针无须通过错位即可提供针测段于受力时所需的行程，所以悬臂式探针的长度能够被有效地缩短，以有效地提升测试效能。另外，每个悬臂式探针能够沿高度方向直上直下进而利于所述垂直式探针卡进行悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。

再者，本发明实施例所公开的垂直式探针卡中，所述悬臂式探针的抵接部与所述连接部可以是非皆位于所述高度方向上，据以使得悬臂式探针的连接部能够配合不同的转接板，进而增加悬臂式探针的适用范围。

另外，本发明实施例所公开的垂直式探针卡在进行检测的过程中，所述悬臂式探针的抵接部与连接部可以分别抵接主体段的两侧，据以使所述悬臂式探针能够缩短传输路径，而使悬臂式探针有助于提升传输效果。

此外，本发明实施例所公开的垂直式探针卡在沿所述宽度方向的相邻两个悬臂式探针中，其中一个所述悬臂式探针的抵接部与连接部可以非皆位于所述高度方向上，而其中另一个所述悬臂式探针的抵接部与连接部则是皆位于所述高度方向上，以使所述连接部能够达到交叉设置效果，进而令固定段能够配合于不同的转接板、且两个所述悬臂式探针的连接部之间的间隔能够被扩大。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (7)

1.一种垂直式探针卡，其特征在于，所述垂直式探针卡包括：

多个导板，沿一高度方向彼此堆叠设置；以及

多个悬臂式探针，定位于多个所述导板，每个所述悬臂式探针为可导电且一体成形的单件式构造，并且每个所述悬臂式探针包含：

一主体段，穿设于多个所述导板内；

两个侧翼段，分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成，并且两个所述侧翼段夹持于多个所述导板中的至少两个所述导板；及

一针测段与一固定段，分别自所述主体段于所述高度方向上的两端延伸所形成；所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂，所述固定段包含有呈悬空状的一连接部以及连接所述连接部与所述主体段的一缓冲悬臂，并且所述抵接部与所述连接部皆位于所述高度方向上；其中，多个所述悬臂式探针的所述抵接部用来可分离地顶抵于一待测物；

其中，所述针测段在垂直所述高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距；

其中，于每个所述悬臂式探针之中，所述主体段在沿所述高度方向邻近所述抵接部与所述连接部的部位各凸出形成有一梯形结构；

其中，当任一个所述悬臂式探针的所述抵接部抵于所述待测物时，所述针测悬臂与所述缓冲悬臂皆弹性地弯曲，以使所述抵接部抵接于其所相邻的所述梯形结构，所述连接部抵接于其所相邻的所述梯形结构。

2.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，远离多个所述针测段的一个所述导板，其能沿着所述高度方向或沿着垂直所述高度方向与所述长度方向的一宽度方向穿过多个所述悬臂式探针，而压抵于每个所述悬臂式探针的两个所述侧翼段。

3.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述悬臂式探针中，所述垂直式探针卡包含有一转接板，并且多个所述悬臂式探针的所述连接部固定于所述转接板。

4.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述悬臂式探针中，所述针测悬臂沿所述长度方向凹设形成有至少一条狭缝。

5.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述悬臂式探针中，所述针测段与所述固定段位于所述主体段沿所述高度方向正投影所形成的一投影区域之内。

6.一种垂直式探针卡的悬臂式探针，其特征在于，所述垂直式探针卡的悬臂式探针为可导电且一体成形的单件式构造并且包括：

一主体段；

两个侧翼段，分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成；以及

一针测段与一固定段，分别自所述主体段于一高度方向上的两端延伸所形成；所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂，所述固定段包含有呈悬空状的一连接部以及连接所述连接部与所述主体段的一缓冲悬臂，并且所述抵接部与所述连接部皆位于所述高度方向上；

其中，所述针测段在垂直所述高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距；

其中，所述主体段在沿所述高度方向邻近所述抵接部与所述连接部的部位各凸出形成有一梯形结构；

其中，当所述抵接部抵于一待测物时，所述针测悬臂与所述缓冲悬臂皆弹性地弯曲，以使所述抵接部抵接于其所相邻的所述梯形结构，所述连接部抵接于其所相邻的所述梯形结构。

7.依据权利要求6所述的垂直式探针卡的悬臂式探针，其特征在于，所述针测段与所述固定段位于所述主体段沿所述高度方向正投影所形成的一投影区域之内。