CN113684462A - 双面往复镀膜装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种双面往复镀膜装置，包括真空室、发射源***、至少一套卷绕设备及驱动机构，卷绕设备包括于柔性带材的传送路径上依次设置的第一卷绕滚轴、第一张力弹性滚轴、第一与第二定速传动滚轴、第二张力弹性滚轴及第二卷绕滚轴，第一及第二卷绕滚轴互为收(放)卷滚轴，并互为主(从)动力滚轴；第一及第二定速传动滚轴，互为主从定速传动滚轴，第一与第二定速传送滚轴之间的柔性带材的第一表面以及第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面均面向发射源***。本发明可以解决现有的镀膜装置要实现双面镀膜必须具备至少两个蒸发源(组)而导致真空室内有效空间利用率低、成本高、效率低、产能小等问题。

Description

双面往复镀膜装置
技术领域
本发明关于镀膜设备领域，尤其涉及一种双面往复镀膜装置。
背景技术
真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术，无论是PVD还是CVD技术，目前柔性卷绕***的单蒸发源(组)对应的单面镀卷绕***都是成熟技术，在柔性基材镀膜行业广泛应用。但是必须双面镀膜时，就只能先镀其中一面，然后停机下料，在倒膜机上对已镀过一面的整卷膜进行换面倒膜后，再重新装料进行二次镀膜。这些结构如此生产，耗时、费工、效率低下，并且重复装卸膜料及翻面倒膜会造成已镀膜面划伤及材料损耗，因此一般卷绕镀膜厂做双面产品镀膜时存在成品率低，制造成本高等问题。另外，有些声称双面镀卷绕***实质上也是单蒸发源(组)对应的单面镀卷绕***，只不过是在柔性基材的背面再加装了一个蒸发源(组)，从而实现同时双面往复镀膜。此种结构，不能高效地利用真空室内有效空间，效率低，成本高，产能小，导致产成品成本过高。
再加上，近年来全球许多国家特别是发达国家，投入了大量人力物力研发基于d能带中心理论的高效纳米异相薄膜催化剂，但目前因为多种技术原因，至今还未有国家实现异相纳米薄膜催化剂的工业化大规模生产，其中如何使用单一发射源***实现双面镀膜就是一个技术难题。
发明内容
因此，本发明的目的之一在于提供一种双面往复镀膜装置，以解决现有的镀膜装置要实现双面镀膜必须具备多个蒸发源或需要进行倒膜操作而导致真空室内有效空间利用率低、成本高、效率低、产能小等问题。
为达上述目的，本发明提高一种双面往复镀膜装置，所述双面往复镀膜装置用以镀膜于柔性带材的相对的第一表面以及第二表面，所述双面往复镀膜装置包括真空室、发射源***、至少一套卷绕设备以及驱动机构。发射源***设置于所述真空室内。至少一套卷绕设备设置于所述真空室内并位于所述发射源***的周围，且每一套卷绕设备包括：第一卷绕滚轴以及第二卷绕滚轴，所述第一卷绕滚轴与所述第二卷绕滚轴其中之一为收卷滚轴，其中之另一为放卷滚轴，且所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴互为主动力滚轴以及从动力滚轴；第一张力弹性滚轴以及第二张力弹性滚轴，用以改变所述柔性带材的运动方向以及通过弹性力调整所述柔性带材的张力避免偏移；至少一个导向滚轴，用以改变所述柔性带材的运动方向；第一定速传动滚轴以及第二定速传动滚轴，互为主定速传动滚轴以及从定速传动滚轴，用以调整所述柔性带材运动时的线速度恒定。所述驱动机构的输出轴连接所述卷绕设备的动力轴。其中，所述第一卷绕滚轴、所述第一张力弹性滚轴、所述第一定速传动滚轴、所述第二定速传动滚轴、所述第二张力弹性滚轴以及所述第二卷绕滚轴于所述柔性带材的传送路径上依次设置并通过所述柔性带材连接，所述导向滚轴设置于所述传送路径上；且所述第一定速传送滚轴与第二定速传送滚轴之间的柔性带材的第一表面面向所述发射源***，所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面面向所述发射源***；且所述第一定速传送滚轴与第二定速传送滚轴之间的柔性带材以及所述第一卷绕滚轮与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材均位于所述发射源***的发射范围内。
优选地，所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材具有第一长度，所述第一卷绕滚轮与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材具有第二长度，所述第二长度大于所述第一长度。
优选地，所述第一长度与所述第二长度的比值为1:1.1-1:1.30。
优选地，所述第二卷绕滚轴的轴心距离所述真空室的底部第一高度，所述第二定速传动滚轴的轴心距离所述真空室底部第二高度，所述第一高度小于所述第二高度。
优选地，所述第一高度大于270mm，所述第二卷绕滚轴的轴心与所述第二定速传动滚轴的轴心的高度差大于130mm。
优选地，所述第一张力弹性滚轴与所述发射源***的中心轴之间具有第三距离，所述第二定速传动滚轴的轴心与所述发射源***的中心轴具有第四距离，所述第三距离大于150mm，所述第四距离大于350mm。
优选地，所述发射源***的发射范围的边缘与所述真空室的底部所在平面成第一角度，所述第一角度为30°-60°。
优选地，所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴均为压力式定速传动滚轴。
优选地，所述压力式定速传送滚轴的中间区域以及临近两端的区域均具有防滑动的花纹结构。
优选地，所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴均为双向弹性阻尼间滑式滚轴。
优选地，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴包括第一轴，所述第一轴具有相对的两个第一端面，每一第一端面上均设置有至少一对匚形弹簧弹卡口，且每对匚形弹簧弹卡口以所述第一端面的圆心为中心对称设置；其中，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴对应每一第一端面还包括：轴头，所述轴头的中间部的直径大于所述轴头两端的尺寸，且所述轴头的一端与所述驱动机构的输出轴连接，所述轴头的另一端与所述第一轴可转动地配合，所述中间部上对应所述匚形弹簧弹卡口设置有匚形弹簧固定部；以及，匚形弹簧，所述匚形弹簧的一端固定于所述匚形弹簧固定部，所述匚形弹簧的另一端与对应的所述匚形弹簧弹卡口卡合；其中，当第一定速传送滚轴至所述第一卷绕滚轴之间的第一张力大于所述第一卷绕滚轴的最大固定阻尼时，所述匚形弹簧的另一端脱离对应的所述匚形弹簧弹卡口，所述第一轴回转至所述匚形弹簧的另一端与所述第一轴的回转方向上的下一匚形弹簧弹卡口卡合。
优选地，所述匚形弹簧固定部包括匚形弹簧压孔以及压槽，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴还包括压盘，所述匚形弹簧的一端固定于所述匚形弹簧压孔，所述匚形弹簧的两端连接部容置于所述压槽内，并经由所述压盘定位于所述压盘与所述轴头的所述中间部之间。
优选地，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴的所述第一轴的第一端面上均匀设置有四对所述匚形弹簧。
优选地，所述匚形弹簧采用钨丝制成。
优选地，所述卷绕设备还包括第一张紧轴以及第二张紧轴，所述第一张紧轴设置于所述第一卷绕滚轴与所述第一定速传动滚轴之间，用以调整吸收所述第一卷绕滚轴产生的宽松量；所述第二张紧轴设置于所述第二卷绕滚轴与所述第二定速传动滚轴之间，用以调整吸收所述第二卷绕滚轴产生的宽松量。
优选地，所述第一张紧轴以及第二张紧轴均为自力式张紧轴。
优选地，所述自力式张紧轴包括第二轴以及相对设置的两个固定架，每一固定架上设置有导槽，所述导槽沿所述真空室的高度方向设置，所述第二轴的两端分别设置于两个所述导槽内，所述第二轴于所述导槽中沿所述高度方向可移动。
优选地，所述第二轴的端部固定设置有活动结构，所述活动结构包括滚珠以及与所述滚珠固定连接的第一弹簧，所述滚珠可滑动地设置于所述导槽中，所述第一弹簧嵌设于所述第二轴的端部。
优选地，所述第一卷绕滚轴、所述第二卷绕滚轴、所述第一定速传动滚轴以及所述第二定速传动滚轴的外径相同；多个所述导向滚轴的外径相同；所述第一张力弹性滚轴以及所述第二张力弹性滚轴的外径相同；所述第一张紧轴与所述第二张紧轴的外径相同。
优选地，所述第一张力弹性滚轴以及所述第二张力弹性滚轴的中间区域以及临近两端的区域均具有防滑动的花纹结构。
优选地，所述第一张力弹性滚轴包括第三轴、第二弹簧、第三弹簧相对设置的第一弹簧盒以及第二弹簧盒，所述第二弹簧设置于所述第一弹簧盒中，且所述第二弹簧的第一端与所述第一弹簧盒的第一端连接，所述第三轴的第一端设置于第一弹簧盒中，且连接所述第二弹簧的第二端；所述第三弹簧设置于所述第二弹簧盒中，且所述第三弹簧的第一端与所述第二弹簧盒的第一端连接，所述第三轴的第二端设置于所述第二弹簧盒中，且连接所述第三弹簧的第二端。
优选地，所述双面往复镀膜装置包括两套所述卷绕设备，两套所述卷绕设备相对设置于所述发射源***的相对两侧；或者，所述双面镀膜设备包括三套所述卷绕设备，三套所述卷绕设备围绕所述发射源***呈三角形分布；或者，所述双面镀膜设备包括四套所述卷绕设备，四套所述卷绕设备围绕所述发射源***呈四边形分布。
优选地，所述卷绕设备的动力轴包括第一动力轴以及第二动力轴，所述第一卷绕滚轴与所述第一定速传动滚轴均与所述第一动力轴连接，所述第二卷绕滚轴与所述第二定速传动滚轴均与所述第二动力轴连接。
优选地，所述驱动机构为第一伺服电机，所述第一伺服电机与所述卷绕设备的动力轴采用磁流体密封连接。
优选地，所述驱动机构包括公转***以及第二伺服电机，所述第二伺服电机与所述公转***的动力轴采用磁流体密封连接，所述公转***的动力轴包括第一输出轴以及第二输出轴，所述第一输出轴连接所述第一动力轴，所述第二输出轴连接所述第二动力轴。
优选地，所述公转***包括离合器，所述离合器连接所述第一输出轴以及所述第二输出轴，所述离合器顺时针合，第一动力轴为主动力轴，第二动力轴为从动力轴；所述离合器逆时针合，第二动力轴为主动力轴，第一动力轴为从动力轴。
优选地，所述真空室的横截面为圆形、方形或长方形。
优选地，所述发射源***为电子束蒸镀***、激光蒸镀***、磁控溅射***、电阻蒸镀***、微波蒸镀***或电弧蒸镀***；以及所述双面往复镀膜装置还包括离子源和多根气管组成的反应气体离子化***。
与现有技术相比，本发明双面往复镀膜装置为一个真正的单发射源双面往复镀膜装置，不仅能够降低成本、减少能耗，还能大幅提高真空室的有效利用空间，避免因增加真空室体积导致***抽真空时间过长；而且还能实现往复式卷绕。另外，本发明设置了定速传动滚轴，避免了由于收卷滚轮上的柔性带材卷绕厚度的变化带来的柔性带材的线速度发生变化，导致柔性带材不同段的受镀时间不同，膜层厚度出现较大差异的问题。利用公转***提供动力，使得本发明的卷绕设备可实现公转加自转，能够减小横向所镀膜层的厚度差异，有效控制误差比例。从而使得本发明只需要单发射源装置即可实现规模化批量双面镀膜，亦可以实现规模化大批量生产以柔性基材为构架的功能型纳米二维薄膜新材料。
关于本发明的优点与精神可以藉由以下的发明详述及所附图示得到进一步的了解。
附图说明
图1所示为根据本发明的一实施例的双面往复镀膜装置的示意图；
图2所示为本发明的压力式定速传动滚轴的示意图；
图3所示为根据本发明的另一实施例的双面往复镀膜装置的示意图；
图4A所示为本发明的双向弹性阻尼间滑式滚轴的示意图；
图4B所示为本发明的双向弹性阻尼间滑式滚轴的部分结构的侧面示意图；
图4C所示为图4B中的轴头的示意图；
图4D所示为图4B中的第一轴的端面的示意图；
图5A所示为本发明的自力式张紧轴的示意图；
图5B所示为图5A中的自力式张紧轴的局部剖面示意图；
图6所示为本发明的第一张力弹性滚轴的示意图；
图7所示为本发明的双面往复镀膜装置的部分元件的设置位置示意图；
图8所示为本发明的双面往复镀膜装置的动力***的方框示意图；
图9A-图9C所示为本发明的双面往复镀膜装置分别具有两套、三套以及四套卷绕设备的示意图。
具体实施方式
请参见图1，图1所示为根据本发明的一实施例的双面往复镀膜装置的示意图。本发明提供一种双面往复镀膜装置，用以镀膜于柔性带材20的相对的第一表面21以及第二表面22，柔性带材20例如为布料、不锈钢丝网、树脂柔性基材等。双面往复镀膜装置例如可用于生产功能型纳米二维薄膜新材料。
上述双面往复镀膜装置包括发射源***100、真空室200、至少一套卷绕设备300以及驱动机构，驱动机构的输出轴连接卷绕设备300的动力轴。真空室100例如为圆筒形、方形或长方形结构。发射源***100设置于真空室200内，发射源***100用于将膜料气化且使气化后膜料与特定气体反应所形成的物质沉积在柔性带材20的第一表面21以及第二表面22上。其中，上述发射源***例如为电子束蒸镀***、激光蒸镀***、磁控溅射***、电阻蒸镀***、微波蒸镀***或者电弧蒸镀***。所述双面往复镀膜装置还可进一步包括离子源和多根气管组成的反应气体离子化***。而且，本发明为单发射源***，不仅能够降低成本、减少能耗，还能大幅提高真空室的有效利用空间，避免因增加真空室体积导致***抽真空时间过长。
上述卷绕设备300设置于真空室200内并位于发射源***100的周围，而且每一套卷绕设备300包括第一卷绕滚轴12、第二卷绕滚轴2、第一张力弹性滚轴11、第二张力弹性滚轴3、至少一个导向滚轴、第一定速传动滚轴8以及第二定速传动滚轴7。其中，第一卷绕滚轴12、第一张力弹性滚轴11、第一定速传动滚轴8、第二定速传动滚轴7、第二张力弹性滚轴3以及第二卷绕滚轴2于柔性带材20的传送路径上依次设置并通过柔性带材20连接，导向滚轴设置于传送路径上。
其中，第一卷绕滚轴12与第二卷绕滚轴2其中之一为收卷滚轴，其中之另一为放卷滚轴，且第一卷绕滚轴12以及第二卷绕滚轴2互为主动力滚轴以及从动力滚轴。具体的例如，当第一卷绕滚轴12为收卷滚轴时，第二卷绕滚轴2为放卷滚轴；而当第一卷绕滚轴12为放卷滚轴时，第二卷绕滚轴2为收卷滚轴。当第一卷绕滚轴12为主动力滚轴时，第一卷绕滚轴12提供动力，第二卷绕滚轴2为从动力滚轴，第二卷绕滚轴2不提供动力；当第二卷绕滚轴2为主动力滚轴时，第二卷绕滚轴2提供动力，第一卷绕滚轴12为从动力滚轴，第一卷绕滚轴12不提供动力。
第一张力弹性滚轴11以及第二张力弹性滚轴3用以改变柔性带材20的运动方向以及通过弹力调整所述柔性带材20的张力防止偏移。也就是说，第一张力弹性滚轴11以及第二张力弹性滚轴3在使柔性带材20改变运动方向的同时，通过弹力调整吸收由于柔性带材20在张力作用下产生的少量拉伸形变，同时保证柔性带材20沿轴向分布拉(张)力的均匀性，防止柔性带材20卷偏。导向滚轴亦是用以改变柔性带材20的运动方向，所以其具体的数量以及位置的设置可根据实际需要获得的镀膜带材相对发射源***的位置来确定，例如本实施例中，在柔性带材20的传送路径上设置有导向滚轴10、导向滚轴9、导向滚轴6、导向滚轴5及导向滚轴4。
第一定速传动滚轴8以及第二定速传动滚轴7互为主定速传动滚轴以及从定速传动滚轴，用以调整所述柔性带材20运动时的线速度恒定。第一定速传动滚轴8以及第二定速传动滚轴7具有带料卷动时的对中定位纠偏功能。由于收卷轮卷绕的柔性带材越来越厚，靠近收卷轮的带材线速度越来越大，导致带材不同段受镀(溅)时间不同，膜层厚薄会出现较大差异。如果采用变速伺服电机，也不能完全避免此问题。但是本发明中采用第一定速传动滚轴8以及第二定速传动滚轴7则完全避免了此种问题的出现。
而且，第一定速传送滚轴8与第二定速传送滚轴7之间的柔性带材的第一表面21面向发射源***100，第一卷绕滚轴12与第一张力弹性滚轴11之间的柔性带材的第二表面22面向发射源***100；且第一定速传送滚轴8与第二定速传送滚轴7之间的柔性带材以及第一卷绕滚轴12与第一张力弹性滚轴11之间的柔性带材均位于发射源***100的发射范围内。
另外，第一卷绕滚轴12、第二卷绕滚轴2、第一定速传动滚轴8以及第二定速传动滚轴7的外径相同；多个导向滚轴10、导向滚轴9、导向滚轴6、导向滚轴5、导向滚轴4的外径相同；第一张力弹性滚轴11以及第二张力弹性滚轴3的外径相同。
请继续参见图1，以第一卷绕滚轴12和第一定速传动滚轴8为主动力轴，假定第二卷绕滚轴2是满卷柔性带材20的放卷轴，则第一卷绕滚轴12为空的收卷轴。启动卷绕设备300，第一定速传动滚轴8作逆时针旋转，同时第一卷绕滚轴12作顺时针旋转。第二定速传动滚轴7无动力随第一定速传动滚轴8及第一卷绕滚轴12滚动，第二卷绕滚轴2无动力作顺时针滚动。
随着第一卷绕滚轴(收卷滚轴)12的不断收卷，柔性带材20越绕越多，直径越来越大，由于其旋转角速度ω与第一定速传动滚轴8的旋转角速度ω相同，使得第一卷绕滚轴12的线速度大于第一定速传动滚轴8的线速度，此时第一张力弹性滚轴11通过弹力调整吸收由于柔性带料在张力作用下产生的少量拉伸形变，同时保证柔性带料沿轴向分布拉(张)力的均匀性，防止柔性带料卷偏。而且，在此过程中，第一定速传动滚轴8稳定控制了整个***的卷材线速度，从而稳定柔性带材20被镀膜表面的蒸(溅)时间，确保卷柔性带材20运动过程中每一部分均能均匀成膜。
第一定速传动滚轴8与第二定速传动滚轴7之间的一段柔性带材和第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的一段柔性带材被镀膜。假定第一定速传动滚轴8与第二定速传动滚轴7之间的一段柔性带材为正面，则通过导向滚轴9、导向滚轴10以及第一张力弹性滚轴11的变向作用，第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的一段柔性带材为反面。从而实现一个发射源***条件下柔性带材的同时双面镀膜。
而且，假定第一定速传动滚轴8与第二定速传动滚轴7之间的一段柔性带材具有第一长度L1，第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的一段柔性带材具有第二长度L2，由于第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的这段柔性带材距离发射源***100相较于第一定速传动滚轴8与第二定速传动滚轴7之间的这段柔性带材距离发射源***100更远，则L2大于L1可以保证柔性带材正反两面的膜层厚度差异很小。以1.6米直径原型机多点分布测厚的数据计算，L1：L2较佳为1:1.1到1:1.3，这样可以保证柔性带材正反两面的膜层厚度差异小于5％。
而且，为了使得第一定速传动滚轴8与第二定速传动滚轴7在传送柔性带材20时能够更好地咬住或定位柔性带材20，防止打滑现象，较佳地，第一定速传动滚轴8与第二定速传动滚轴7均为压力式定速传动滚轴。如图2所示，图2所示为本发明的压力式定速传动滚轴的示意图，更进一步地，压力式定速传送滚轴的中间区域81以及临近两端82、83的区域均具有防滑动的花纹结构84，这些花纹结构例如为密集麻点花纹形防滑动圈带。
请参见图3，图3所示为根据本发明的另一实施例的双面往复镀膜装置的示意图。本实施方式中，第一卷绕滚轴12以及第二卷绕滚轴2均为双向弹性阻尼间滑式滚轴，而由于第一卷绕滚轴12以及第二卷绕滚轴2带双向阻尼功能，能够使柔性带材20在卷绕时具有一定的张紧力，防止迭卷、夹卷或卷偏。为了更好地实现柔性带材20的卷绕以及实现卷绕设备的往复卷绕运动，较佳地，卷绕设备300’还包括第一张紧轴19以及第二张紧轴15，第一张紧轴19设置于所述第一卷绕滚轴12与所述第一定速传动滚轴8之间，用以调整吸收所述第一卷绕滚轴12产生的宽松量；所述第二张紧轴15设置于所述第二卷绕滚轴2与第二定速传动滚轴7之间，用以调整吸收第二卷绕滚轴2产生的宽松量。而且，第一张紧轴19与第二张紧轴15的外径相同。
如图4A-图4D所示，图4A所示为本发明的双向弹性阻尼间滑式滚轴的示意图；图4B所示为本发明的双向弹性阻尼间滑式滚轴的部分结构的侧面示意图；
图4C所示为图4B中的轴头的示意图；图4D所示为图4B中的第一轴的端面的示意图；所述双向弹性阻尼间滑式滚轴包括第一轴121，第一轴121具有相对的两个第一端面1211，每一第一端面1211上均设置有至少一对匚形弹簧弹卡口1212、1213，且每对匚形弹簧弹卡口1212、1213以所述第一端面1211的圆心为中心对称设置；其中，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴对应每一第一端面1211还包括轴头1214以及匚形弹簧1220。所述轴头1214的中间部1215的直径大于所述轴头1214两端的尺寸，且所述轴头1214的一端1216与所述驱动机构的输出轴连接，所述轴头1214的另一端1217与所述第一轴121可转动地配合，所述中间部1215上对应所述匚形弹簧弹卡口1212、1213设置有匚形弹簧固定部1218、1219。所述匚形弹簧1220的一端1221固定于所述匚形弹簧固定部，所述匚形弹簧1220的另一端1222与对应的所述匚形弹簧弹卡口卡合。如图4D所示，其中，当第一定速传送滚轴8至所述第一卷绕滚轴7之间的第一张力大于所述第一卷绕滚轴12的最大固定阻尼时，所述匚形弹簧1220的另一端1222脱离对应的所述匚形弹簧弹卡口1212，所述第一轴121回转至所述匚形弹簧1220的另一端1222与回转方向上的下一匚形弹簧弹卡口卡合。例如图4B中所示，匚形弹簧弹卡口1212的沿回转方向上的下一匚形弹簧弹卡口为匚形弹簧弹卡口1232；对应的，匚形弹簧弹卡口1213的沿回转方向上的下一匚形弹簧弹卡口为匚形弹簧弹卡口1233。本实施方式中，是以双向弹性阻尼间滑式滚轴的所述第一轴121的第一端面1214上均匀设置有四对所述匚形弹簧为例进行说明，那么双向弹性阻尼间滑式滚轴的匚形弹簧打滑一次，即为1/8圈。但本发明并不以此为限，可根据实际需求来进行设定匚形弹簧的数量。
此外，双向弹性阻尼间滑式滚轴还包括轴头盖1240，用以固定双向弹性阻尼间滑式滚轴的端部零部件。所述匚形弹簧固定部1218包括匚形弹簧压孔12181以及压槽12182，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴还包括压盘1230，所述匚形弹簧1220的一端1221固定于所述匚形弹簧压孔12181，所述匚形弹簧1220的两端连接部容置于所述压槽12182内，并经由所述压盘1230定位于所述压盘1230与所述轴头1214的所述中间部1215之间。
另外，上述匚形弹簧例如采用钨丝制成，因为钨丝熔点较高，能够承受350℃左右的高温，在此温度下，其弹性模量基本不会发生变化，能够有效避免因温度变化影响导致材料弹性模量发生变化而发生卷绕设备在运转过程中出现卡死的情况。
请参见图5A和图5B，图5A所示为本发明的自力式张紧轴的示意图；图5B所示为图5A中的自力式张紧轴的局部剖面示意图。第一张紧轴19以及第二张紧轴15均为自力式张紧轴。其中，自力式张紧轴包括第二轴191以及相对设置的两个固定架192，每一固定架192上设置有导槽193，所述导槽193沿所述真空室的高度方向设置，所述第二轴191的两端分别设置于两个所述导槽193内，所述第二轴191于所述导槽193中沿所述高度方向可移动。所述第二轴191的端部固定设置有活动结构，所述活动结构包括滚珠194以及与所述滚珠194固定连接的第一弹簧195，所述滚珠194可滑动地设置于所述导槽193中，所述第一弹簧195嵌设于所述第二轴191的端部。滚珠194能够顺利在导槽193中进行滑动，在滚珠194上连接第一弹簧195能够保证滚珠的活动范围，防止因为张力过大而导致卡死。自力式张紧轴包括还轴盖196，用以对第二轴191的端部起到保护和定位作用。另外，第一张力弹性滚轴11以及第二张力弹性滚轴3的中间区域以及临近两端的区域均具有防滑动的花纹结构，这些花纹结构例如为密集麻点花纹形防滑动圈带。
如图6所示，图6所示为本发明的第一张力弹性滚轴的示意图；第一张力弹性滚轴11与第二张力弹性滚轴的结构相似或相同，第一张力弹性滚轴11包括第三轴40、第二弹簧41、第三弹簧42、相对设置的第一弹簧盒43以及第二弹簧盒44，所述第二弹簧41设置于所述第一弹簧盒43中，且所述第二弹簧41的第一端与所述第一弹簧盒43的第一端连接，所述第三轴40的第一端401设置于第一弹簧盒43中，且连接所述第二弹簧41的第二端；所述第三弹簧42设置于所述第二弹簧盒44中，且所述第三弹簧42的第一端与所述第二弹簧盒44的第一端连接，所述第三轴40的第二端402设置于所述第二弹簧盒44中，且连接所述第三弹簧42的第二端。当第三轴40受到朝向第二弹簧41或第三弹簧42被压缩的第一方向的力时，第三轴40会朝向第一方向移动，第二弹簧41以及第三弹簧42被压缩。
请参见图7，图7所示为本发明的双面往复镀膜装置的部分元件的设置位置示意图；为了保证镀膜效果，第二卷绕滚轴2的轴心距离所述真空室200的底部201第一高度h1，所述第二定速传动滚轴7的轴心距离所述真空室底部第二高度h2，所述第一高度h1小于所述第二高度h2。所述第一高度h1大于270mm，所述第二卷绕滚轴2的轴心与所述第二定速传动滚轴7的轴心的高度差h3大于130mm。所述第一张力弹性滚轴11与所述发射源***100的中心轴101之间具有第三距离L3，所述第二定速传动滚轴7的轴心与所述发射源***100的中心轴101具有第四距离L4，所述第三距离大于150mm，所述第四距离大于350mm。所述发射源***100的发射范围的边缘AA与所述真空室200的底部所在平面成第一角度a，所述第一角度a为30°-60°。上述各滚轴的位置设置能够保证第一定速传动滚轴8与第二定速传动滚轴7之间的柔性带材和第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的柔性带材的被镀面能够在发射源***的发射范围内，保证镀膜效果。
请参见图8，图8所示为本发明的双面往复镀膜装置的动力***的方框示意图，所述卷绕设备的动力轴包括第一动力轴50以及第二动力轴60，第一卷绕滚轴12以及第一定速传动滚轴8均与第一动力轴50连接，第二卷绕滚轴2以及第二定速传动滚轴7均与第二动力轴60连接。
其中一实施方式中，上述驱动机构为第一伺服电机，所述第一伺服电机与所述卷绕设备的动力轴采用磁流体密封连接。例如，当采用伺服电机提供动力时，每套卷绕设备在真空室外单独配置一个伺服电机。此种方式传动***结构比较简单，制造、装配也方便。
另一实施方式中，所述驱动机构80包括公转***以及第二伺服电机，所述第二伺服电机与所述公转***的动力轴采用磁流体密封连接，所述公转***的动力轴包括第一输出轴71以及第二输出轴72，所述第一输出轴71连接所述第一动力轴50，所述第二输出轴72连接所述第二动力轴60。公转***还包括离合器70，离合器70连接第一输出轴71以及第二输出轴72，通过离合器70的离合来控制第一输出轴71为主动力输出轴或是第二输出轴72为主动力输出轴。离合器70顺时针合，第一动力轴50为主动力轴，第二动力轴60为从动力轴；所述离合器70逆时针合，第二动力轴60为主动力轴，第一动力轴为50从动力轴。
在实际使用生产过程中，如果采用公转***来提供动力时，每套卷绕设备分别独立与公转***齿轮啮合。公转***由第二伺服电机驱动。第二伺服电机与卷绕公转***动力轴采用磁流体密封联接。各卷绕设备既公转又自转，柔性带材横向各部位与发射源距离均匀变化，以一个旋转周期(一转)计算，真空室内等离子体对柔性带材的蒸(溅)速率和时间是一致的。同时由于各卷绕设备的公转对真空腔内的等离子态物质产生均匀扰动，因此，生成的横向膜层厚度比较均匀。以目前使用的1.6米直径真空室的原型机为例，膜层横向中间位置与边缘位置的厚度误差不大于2.4％。产品正品率高。
而且，本发明的双面往复镀膜装置可以实现往复式卷绕，以下结合图3，具体描述本发明的双面往复镀膜装置的往复卷绕工作原理。
(1)向上卷绕：假定第二卷绕滚轴2是满卷柔性带材的放卷轴，则第一卷绕滚轴12为空的收卷轴。
启动卷绕设备，第一定速传动滚轴8为动力轴，作逆时针旋转，同时第一卷绕滚轴12也为动力轴，作顺时针旋转。第二定速传动滚轴7无动力随第一定速传动滚轴8及第一卷绕滚轴12滚动，第二卷绕滚轴2无动力带阻尼(例如反向阻尼力约0.5N)作顺时针滚动。
随着第一卷绕滚轴12的不断收卷，柔性带材越绕越多，直径越来越大，由于其旋转角速度ω与第一定速传动滚轴8(压力式定速传动滚轴)旋转角速度ω相同，使得第一卷绕滚轴12的线速度大于第一定速传动滚轴8的线速度，此时第一张紧轴19被提升，第一张力弹性滚轴11被向弹簧压缩的方向压缩，柔性带材20在第一定速传动滚轴8至第一张紧轴19至导向滚轴10至第一张力弹性滚轴11至第一卷绕滚轴12的滚轴段张力变大，当此段张力大于第一卷绕滚轴12的固定最大阻尼力时(例如1.2N)，第一卷绕滚轴12的阻尼弹簧打滑一次(我们设定为1/8圈)。打滑时这段柔性带材张力释放到平衡状态(例如设定为1N)，第一张紧轴19随重力下移，第一张力弹性滚轴11随弹力右移，使这段柔性带材的张力保持原始平衡张力(1N)。第一卷绕滚轴12卷得越厚，打滑次数越频繁，直到收卷完成。
在此过程中，第一定速传动滚轴8稳定控制了整个***的柔性带材线速度，从而稳定柔性带材被镀膜面的蒸(溅)时间，确保柔性带材运动过程中每一部分均能均匀成膜。
如图3所示，第二定速传动滚轴7与第一定速传动滚轴8之间的一段柔性带材和第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的一段柔性带材被蒸(溅)。假定被蒸(溅)的第二定速传动滚轴7与第一定速传动滚轴8之间的一段柔性带材为正面，则通过第一张紧轴19、导向滚轴10、第一张力弹性滚轴11的变向轮作用，被蒸(溅)的第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的一段柔性带材为反面。从而实一个发射源设备条件下柔性带材的同时双面蒸(溅)。
(2)向下卷绕：假定第一卷绕滚轴12是满卷柔性带材的放卷轴，则第二卷绕滚轴2为空的收卷轴。
启动卷绕设备，第二定速传动滚轴7为动力轴，作逆时针旋转，同时第二卷绕滚轴2也为动力轴，作顺时针旋转。第一定速传动滚轴8无动力随第二定速传动滚轴7及第二卷绕滚轴2滚动，第一卷绕滚轴12无动力带阻尼(反向阻尼力约0.5N)作顺时针滚动。
随着第二卷绕滚轴2的不断收卷，柔性带材20越绕越多，直径越来越大，由于其旋转角速度ω与第二定速传动滚轴旋转角速度ω相同，使得第二卷绕滚轴2的线速度大于第二定速传动滚轴7的线速度，此时第二张紧轴15被提升，第二张力弹性滚轴3被向弹簧压缩方向压缩，柔性带材20在第二定速传动滚轴7至导向滚轴6至第二张紧轴15至导向滚轴4至第二张力弹性滚轴3至第二卷绕滚轴2的滚轴段张力变大，当此段张力大于第二卷绕滚轴2的固定最大阻尼力时(例如1.2N)第二卷绕滚轴2的阻尼弹簧打滑一次(我们设定为1/8圈)。打滑时这段柔性带材张力释放到平衡状态(例如设定为1N)，第二张紧轴15随重力下移，第二张力弹性滚轴3随弹力右移，使这段柔性带材的张力保持原始平衡张力(1N)。第二卷绕滚轴2卷得越厚，打滑次数越频繁，直到收卷完成。
在此过程中，第二定速传动滚轴7稳定控制了整个***的柔性带材线速度，从而稳定柔性带材被镀膜面的蒸(溅)时间，确保柔性带材运动过程中每一部分均能均匀成膜。
从图3看，第二定速传动滚轴7与第一定速传动滚轴8之间的一段柔性带材和第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的一段柔性带材被蒸(溅)。假定被蒸(溅)的第二定速传动滚轴7与第一定速传动滚轴8之间的一段柔性带材为正面，则通过第一张紧轴19、导向滚轴10、第一张力弹性滚轴1变向轮作用，被蒸(溅)的第一张力弹性滚轴11与第一卷绕滚轴12之间的一段柔性带材为反面。从而实一个发射源设备条件下现卷材的同时双面蒸(溅)。
也就是说，本发明的双面往复镀膜装置既可以在单发射源***下实现柔性带材的双面镀膜，又可以实现往复式卷绕，能够有效地提升镀膜效率。
请参见图9A-图9C，图9A-图9C所示为本发明的双面往复镀膜装置分别具有两套、三套以及四套卷绕设备的示意图。图9A中，所述双面往复镀膜装置包括两套所述卷绕设备301，两套所述卷绕设备相对设置于所述发射源***100的相对两侧。图9B中，所述双面镀膜设备包括三套所述卷绕设备302，三套所述卷绕设备围绕所述发射源***呈三角形分布。图9C中，所述双面镀膜设备包括四套所述卷绕设备303，四套所述卷绕设备围绕所述发射源***呈四边形分布，四边形可以是平行四边形或正方形。
以下结合具体实施例对本发明进一步说明。
实施例1
于圆筒形真空室内配置2套本发明的卷绕设备，柔性带材的卷绕幅面(横向宽度)与目前单面卷绕设备相同，因此在一个尺寸大小完全相同的圆筒形真空室内，此实施例的卷绕设备的生产效率是目前单面卷绕设备生产效率的4倍，其中，双面蒸(溅)为2倍，2套卷绕设备又为2倍。
实施例2
于圆筒形真空室内配置3套本发明的卷绕设备，柔性带材的卷绕幅面(横向宽度)与目前单面卷绕设备小(按照1.6米直径的真空室配置，本实施例的宽幅尺寸为1.0米的单面卷绕设备的宽幅)，因此在一个尺寸大小完全相同的圆筒形真空室内，本实施例的卷绕设备的生产效率是目前单面卷绕设备生产效率的5倍，其中，双面蒸(溅)为2倍，3套卷绕设备又为3倍，宽幅为1.0米,效率比＝2*3*1.0/1.2＝5。
实施例3
于圆筒形真空室内配置4套本发明的卷绕设备，柔性带材的卷绕幅面(横向宽度)与目前单面卷绕设备小(按照1.6米直径的真空室配置，本实施例的宽幅尺寸为0.75倍的单面卷绕设备的宽幅)，因此在一个尺寸大小完全相同的圆筒形真空室内，本实施例的卷绕设备的生产效率是目前单面卷绕设备生产效率的6倍，其中，双面蒸(溅)为2倍，4套卷绕设备又为4倍，宽幅为0.83,效率比＝2*4*0.83/1.2＝5.53。
表1本发明卷绕设备配置数量与单面卷绕设备生产率比较表
配置套数 宽幅长度(m) 宽幅总长(米) 效率倍数 备注
1套(单面卷) 1.2 1.2 1 1.2/1.2＝1
1套(双面卷) 1.2 1.2*2＝2.4 2 2.4/1.2＝2
2套(双面卷) 1.2 1.2*2*2＝4.8 4 4.8/1.2＝4
3套(双面卷) 1.0 1.0*2*3＝6 5 6/1.2＝5
4套(双面卷) 0.83 0.83*2*4＝6.64 5.53 6.64/1.2＝5.53
上述各实施例是以真空室直径1.6米，高1.6米***为例，从表1中我们可以看出，如果在真空室中配置2套本发明的卷绕设备，其效率是目前单面蒸(溅)***的4倍，配置3套或4套本发明的卷绕设备，则效率不小于单面蒸(溅)***的5倍。
综上所述，本发明双面往复镀膜装置为一个真正的单发射源双面往复镀膜装置，不仅能够降低成本、减少能耗，还能大幅提高真空室的有效利用空间，避免因增加真空室体积导致***抽真空时间过长；而且还能实现往复式卷绕。另外，本发明设置了定速传动滚轴，避免了由于收卷滚轮上的柔性带材卷绕厚度的变化带来的柔性带材的线速度发生变化，导致柔性带材不同段的受镀时间不同，膜层厚度出现较大差异的问题。利用公转***提供动力，使得本发明的卷绕设备可实现公转加自转，能够减小横向所镀膜层的厚度差异，有效控制误差比例。从而使得本发明只需要单发射源装置即可实现规模化批量双面镀膜，亦可以实现规模化大批量生产以柔性基材为构架的功能型纳米二维薄膜新材料。
藉由以上较佳具体实施例的详述，是希望能更加清楚描述本发明的特征与精神，而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本发明的保护范围加以限制。相反地，其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的权利要求的保护范围内。因此，本发明所申请的权利要求的保护范围应该根据上述的说明作最宽广的解释，以致使其涵盖所有可能的改变以及具相等性的安排。

Claims (28)

1.一种双面往复镀膜装置，用以镀膜于柔性带材的相对的第一表面以及第二表面，其特征在于，所述双面往复镀膜装置包括：
真空室；
发射源***，设置于所述真空室内；
至少一套卷绕设备，设置于所述真空室内并位于所述发射源***的周围，且每一套卷绕设备包括：
第一卷绕滚轴以及第二卷绕滚轴，所述第一卷绕滚轴与所述第二卷绕滚轴其中之一为收卷滚轴，其中之另一为放卷滚轴，且所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴互为主动力滚轴以及从动力滚轴；
第一张力弹性滚轴以及第二张力弹性滚轴，用以改变所述柔性带材的运动方向以及通过弹性力调整所述柔性带材的张力避免偏移；
至少一个导向滚轴，用以改变所述柔性带材的运动方向；
第一定速传动滚轴以及第二定速传动滚轴，互为主定速传动滚轴以及从定速传动滚轴，用以调整所述柔性带材运动时的线速度恒定；以及
驱动机构，所述驱动机构的输出轴连接所述卷绕设备的动力轴；
其中，所述第一卷绕滚轴、所述第一张力弹性滚轴、所述第一定速传动滚轴、所述第二定速传动滚轴、所述第二张力弹性滚轴以及所述第二卷绕滚轴于所述柔性带材的传送路径上依次设置并通过所述柔性带材连接，所述导向滚轴设置于所述传送路径上；且所述第一定速传送滚轴与第二定速传送滚轴之间的柔性带材的第一表面面向所述发射源***，所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面面向所述发射源***；且所述第一定速传送滚轴与第二定速传送滚轴之间的柔性带材以及所述第一卷绕滚轮与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材均位于所述发射源***的发射范围内。
2.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材到所述发射源***的距离小于所述第一卷绕滚轮与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材到所述发射源***的距离，所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材具有第一长度，所述第一卷绕滚轮与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材具有第二长度，所述第二长度大于所述第一长度。
3.如权利要求2所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一长度与所述第二长度的比值为1:1.1-1:1.3。
4.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第二卷绕滚轴的轴心距离所述真空室的底部第一高度，所述第二定速传动滚轴的轴心距离所述真空室底部第二高度，所述第一高度小于所述第二高度。
5.如权利要求4所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一高度大于270mm，所述第二卷绕滚轴的轴心与所述第二定速传动滚轴的轴心的高度差大于130mm。
6.如权利要求4所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一张力弹性滚轴与所述发射源***的中心轴之间具有第三距离，所述第二定速传动滚轴的轴心与所述发射源***的中心轴具有第四距离，所述第三距离大于150mm，所述第四距离大于350mm。
7.如权利要求6所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述发射源***的发射范围的边缘与所述真空室的底部所在平面成第一角度，所述第一角度为30°-60°。
8.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴均为压力式定速传动滚轴。
9.如权利要求8所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述压力式定速传送滚轴的中间区域以及临近两端的区域均具有防滑动的花纹结构。
10.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴均为双向弹性阻尼间滑式滚轴。
11.如权利要求10所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴包括第一轴，所述第一轴具有相对的两个第一端面，每一第一端面上均设置有至少一对匚形弹簧弹卡口，且每对匚形弹簧弹卡口以所述第一端面的圆心为中心对称设置；其中，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴对应每一第一端面还包括：
轴头，所述轴头的中间部的直径大于所述轴头两端的尺寸，且所述轴头的一端与所述驱动机构的输出轴连接，所述轴头的另一端与所述第一轴可转动地配合，所述中间部上对应所述匚形弹簧弹卡口设置有匚形弹簧固定部；以及
匚形弹簧，所述匚形弹簧的一端固定于所述匚形弹簧固定部，所述匚形弹簧的另一端与对应的所述匚形弹簧弹卡口卡合；
其中，当第一定速传送滚轴至所述第一卷绕滚轴之间的第一张力大于所述第一卷绕滚轴的最大固定阻尼时，所述匚形弹簧的另一端脱离对应的所述匚形弹簧弹卡口，所述第一轴回转至所述匚形弹簧的另一端与所述第一轴的回转方向上的下一匚形弹簧弹卡口卡合。
12.如权利要求11所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述匚形弹簧固定部包括匚形弹簧压孔以及压槽，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴还包括压盘，所述匚形弹簧的一端固定于所述匚形弹簧压孔，所述匚形弹簧的两端连接部容置于所述压槽内，并经由所述压盘定位于所述压盘与所述轴头的所述中间部之间。
13.如权利要求11所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述双向弹性阻尼间滑式滚轴的所述第一轴的第一端面上均匀设置有四对所述匚形弹簧。
14.如权利要求11所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述匚形弹簧采用钨丝制成。
15.如权利要求10所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述卷绕设备还包括第一张紧轴以及第二张紧轴，所述第一张紧轴设置于所述第一卷绕滚轴与所述第一定速传动滚轴之间，用以调整吸收所述第一卷绕滚轴产生的宽松量；所述第二张紧轴设置于所述第二卷绕滚轴与所述第二定速传动滚轴之间，用以调整吸收所述第二卷绕滚轴产生的宽松量。
16.如权利要求15所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一张紧轴以及第二张紧轴均为自力式张紧轴。
17.如权利要求16所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述自力式张紧轴包括第二轴以及相对设置的两个固定架，每一固定架上设置有导槽，所述导槽沿所述真空室的高度方向设置，所述第二轴的两端分别设置于两个所述导槽内，所述第二轴于所述导槽中沿所述高度方向可移动。
18.如权利要求17所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第二轴的端部固定设置有活动结构，所述活动结构包括滚珠以及与所述滚珠固定连接的第一弹簧，所述滚珠可滑动地设置于所述导槽中，所述第一弹簧嵌设于所述第二轴的端部。
19.如权利要求15所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一卷绕滚轴、所述第二卷绕滚轴、所述第一定速传动滚轴以及所述第二定速传动滚轴的外径相同；多个所述导向滚轴的外径相同；所述第一张力弹性滚轴以及所述第二张力弹性滚轴的外径相同；所述第一张紧轴与所述第二张紧轴的外径相同。
20.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一张力弹性滚轴以及所述第二张力弹性滚轴的中间区域以及临近两端的区域均具有防滑动的花纹结构。
21.如权利要求20所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述第一张力弹性滚轴包括第三轴、第二弹簧、第三弹簧相对设置的第一弹簧盒以及第二弹簧盒，所述第二弹簧设置于所述第一弹簧盒中，且所述第二弹簧的第一端与所述第一弹簧盒的第一端连接，所述第三轴的第一端设置于第一弹簧盒中，且连接所述第二弹簧的第二端；所述第三弹簧设置于所述第二弹簧盒中，且所述第三弹簧的第一端与所述第二弹簧盒的第一端连接，所述第三轴的第二端设置于所述第二弹簧盒中，且连接所述第三弹簧的第二端。
22.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述双面往复镀膜装置包括两套所述卷绕设备，两套所述卷绕设备相对设置于所述发射源***的相对两侧；或者，所述双面镀膜设备包括三套所述卷绕设备，三套所述卷绕设备围绕所述发射源***呈三角形分布；或者，所述双面镀膜设备包括四套所述卷绕设备，四套所述卷绕设备围绕所述发射源***呈四边形分布。
23.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述卷绕设备的动力轴包括第一动力轴以及第二动力轴，所述第一卷绕滚轴与所述第一定速传动滚轴均与所述第一动力轴连接，所述第二卷绕滚轴与所述第二定速传动滚轴均与所述第二动力轴连接。
24.如权利要求23所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述驱动机构为第一伺服电机，所述第一伺服电机与所述卷绕设备的动力轴采用磁流体密封连接。
25.如权利要求23所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述驱动机构包括公转***以及第二伺服电机，所述第二伺服电机与所述公转***的动力轴采用磁流体密封连接，所述公转***的动力轴包括第一输出轴以及第二输出轴，所述第一输出轴连接所述第一动力轴，所述第二输出轴连接所述第二动力轴。
26.如权利要求25所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述公转***包括离合器，所述离合器连接所述第一输出轴以及所述第二输出轴，所述离合器顺时针合，第一动力轴为主动力轴，第二动力轴为从动力轴；所述离合器逆时针合，第二动力轴为主动力轴，第一动力轴为从动力轴。
27.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述真空室的横截面为圆形、方形或长方形。
28.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置，其特征在于，所述发射源***为电子束蒸镀***、激光蒸镀***、磁控溅射***、电阻蒸镀***、微波蒸镀***或电弧蒸镀***；以及所述双面往复镀膜装置还包括离子源和多根气管组成的反应气体离子化***。
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