CN113560964A - 一种抛光方法和装置 - Google Patents

一种抛光方法和装置 Download PDF

Info

Publication number
CN113560964A
CN113560964A CN202111122993.6A CN202111122993A CN113560964A CN 113560964 A CN113560964 A CN 113560964A CN 202111122993 A CN202111122993 A CN 202111122993A CN 113560964 A CN113560964 A CN 113560964A
Authority
CN
China
Prior art keywords
polishing
brush
cleaning
polishing brush
polished
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202111122993.6A
Other languages
English (en)
Inventor
朱小琴
闫瑞刚
李帅
张红帅
周建华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangdong Electronic Material Co ltd
Original Assignee
Jiangdong Electronic Material Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangdong Electronic Material Co ltd filed Critical Jiangdong Electronic Material Co ltd
Priority to CN202111122993.6A priority Critical patent/CN113560964A/zh
Publication of CN113560964A publication Critical patent/CN113560964A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B24B1/002—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes using electric current
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/033—Other grinding machines or devices for grinding a surface for cleaning purposes, e.g. for descaling or for grinding off flaws in the surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
    • B24B29/005—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents using brushes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/006—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the speed
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/007—Cleaning of grinding wheels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

本发明提供一种抛光方法和装置。本发明第一方面提供一种抛光方法，包括如下步骤：使用抛光刷对待抛光件进行第一次抛光，抛光5‑30min后对所述抛光刷进行第一次清洁，第一次清洁所产生的废水和杂质不与待抛光件接触；重复上述抛光‑清洁步骤至少两次，完成待抛光件的抛光过程。本发明采用多次抛光和多次清洁相结合的方式，并对清洁过程产生的杂质进行隔挡，避免了抛光产生的杂质对待抛光件的影响，进而降低了待抛光件的抛光频率，延长了待抛光件的有效工作时间。

Description

一种抛光方法和装置
技术领域
本发明涉及一种抛光方法和装置，涉及抛光技术领域。
背景技术
在铜箔生产过程中，需要使用阴极辊对铜箔表面进行抛光处理，铜箔贴于阴极辊表面的一侧称为光面，镀层面称为毛面，铜箔的光面与阴极辊表面状态密切相关，阴极辊的辊面平整度、粗糙度直接决定铜箔光面质量的高低。现有的抛光工艺由于抛光操作工序及工艺参数的不完善容易造成阴极辊表面出现划伤、钛辊印等缺陷，影响铜箔光面的表观质量和应用。
为了解决上述问题，目前使用抛光刷对阴极辊表面进行抛光复磨，去除阴极辊辊面的氧化层，延长阴极辊的使用时间，因此，寻求更好的抛光方法，延长阴极辊的使用时间一直是本领域技术人员的研究热点。
发明内容
本发明提供一种抛光方法，采用多次抛光和多次清洁相结合的方式，并对清洁过程产生的杂质进行隔挡，避免了抛光产生的杂质对待抛光件的影响，进而降低了待抛光件的抛光频率，延长待抛光件的有效工作时间。
本发明还提供一种抛光装置，用于实施上述抛光方法。
本发明第一方面提供一种抛光方法，所述方法包括如下步骤：
使用抛光刷对待抛光件进行第一次抛光，抛光5-30min后停止第一次抛光并对所述抛光刷进行第一次清洁，第一次清洁所产生的废水和杂质不与所述待抛光件接触；
重复上述抛光-清洁步骤至少两次，完成所述待抛光件的抛光过程；
其中，所述第一次清洁包括如下步骤：使用去离子水冲洗所述抛光刷表面1-5min，随后对所述抛光刷进行干燥，重复上述冲洗-干燥步骤至少两次，完成对抛光刷的第一次清洁。
如上述抛光方法，在进行第一次抛光之前还包括：检查所述抛光刷，确保所述抛光刷表面干净整洁、刷毛方向一致。
如上述抛光方法，所述第一次抛光具体包括如下步骤：润湿所述抛光刷，移动所述抛光刷与待抛光件表面接触，设置抛光参数，对所述待抛光件进行第一次抛光，所述抛光参数包括抛光电流、震动频率和抛光刷转速。
如上述抛光方法，所述待抛光件为阴极辊，并重复抛光-清洁步骤3次。
如上述抛光方法，在第一次抛光中，设置抛光电流为6-10A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm；第二次抛光中，设置抛光电流为5-9A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm；第三次抛光中，设置抛光电流为4-8A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm。
如上述抛光方法，所述第一次清洁具体包括如下步骤：保持抛光刷旋转，使用去离子水冲洗所述抛光刷表面1-5min，随后提高所述抛光刷的转速＞500rpm，甩干抛光刷表面的水分，重复上述冲洗-甩干步骤至少两次，完成对抛光刷的第一次清洁。
如上述抛光方法，在完成抛光过程后还包括：干燥所述抛光刷，并定期对所述抛光刷进行检查、修整。
本发明第二方面提供一种实施上述任一所述抛光方法的装置，所述装置包括主体、抛光刷、清洁单元和隔挡单元，所述抛光刷滑动设置在所述主体上，所述清洁单元位于所述抛光刷的一侧，用于清洁所述抛光刷；
所述隔挡单元设置于所述抛光刷远离清洁单元的另一侧，包括收纳部和隔挡部，所述收纳部设置在所述主体上，所述隔挡部可收纳的设置在所述收纳部中，所述隔挡部展开时包裹所述抛光刷的至少部分表面，用于阻挡第一次清洁过程中产生的废水和杂质不与所述待抛光件接触。
如上述装置，所述装置还包括滑动单元，所述滑动单元滑动设置在所述主体上并与所述抛光刷固定连接，用于移动所述抛光刷。
如上述装置，所述装置还包括排水单元，所述排水单元位于所述清洁单元下方，用于收集清洁单元清洁所述抛光刷时产生的废水和杂质。
本发明的实施，至少具有以下优势：
1、本发明采用多次抛光和多次清洁相结合的方式，并对清洁过程产生的杂质进行隔挡，避免了抛光产生的杂质对待抛光件的影响，降低待抛光件的抛光频率，延长待抛光件的有效工作时间；此外，本发明还采用多次冲洗和多次干燥相结合的方式对抛光刷进行清洁，有助于提高清洁效率。
2、本发明提供的抛光装置，通过在抛光刷一侧设置隔挡单元，能够有效减少抛光刷清洁过程产生的废水或杂质对待抛光件表面的损伤，降低待抛光件的抛光频率，延长待抛光件的有效工作时间。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一实施例提供的抛光方法的流程示意图；
图2为本发明一实施例提供的清洁方法的流程示意图；
图3为本发明又一实施例提供的抛光方法的流程示意图；
图4为本发明一实施例提供的抛光装置的结构示意图。
附图标记说明：
1：主体；
2：抛光刷；
3：清洁单元；
3-1：喷淋管；
3-2：清洁外罩；
4：隔挡单元；
4-1：收纳部；
4-2：隔挡部；
5：滑动单元；
6：排水单元；
7：待抛光件容纳单元。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明的实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明第一方面提供一种抛光方法，所述方法包括如下步骤：
使用抛光刷对待抛光件进行第一次抛光，抛光5-30min后停止第一次抛光并对所述抛光刷进行第一次清洁，第一次清洁所产生的废水和杂质不与所述待抛光件接触；
重复上述抛光-清洁步骤至少两次，完成所述待抛光件的抛光过程；
其中，所述第一次清洁包括如下步骤：使用去离子水冲洗所述抛光刷表面1-5min，随后对所述抛光刷进行干燥，重复上述冲洗-干燥步骤至少两次，完成对抛光刷的第一次清洁。
经发明人研究发现，抛光刷对待抛光件进行抛光时产生的杂质是影响待抛光件抛光效果的重要因素，基于此，本发明提供一种抛光方法，采用多次抛光+多次清洁的方式对待抛光件进行抛光处理，图1为本发明一实施例提供的抛光方法的流程示意图，如图1所示，首先使用抛光刷对待抛光件进行第一次抛光，抛光5-30min后，停止第一次抛光并对所述抛光刷进行第一次清洁，在第一次清洁过程中需要注意，第一次清洁所产生的废水和杂质不与所述待抛光件接触；接着，以第一次抛光和第一次清洁为整体，重复上述抛光-清洁步骤至少两次，完成所述待抛光件的抛光过程，当完成对待抛光件的抛光且抛光刷清洁时产生的废水干净透亮无杂质时，即可结束抛光过程；抛光过程中使用的抛光刷为同一抛光刷，也就是说，本发明将现有的抛光过程分为若干阶段，在每一阶段抛光后都对抛光刷进行清洁，以去除抛光过程产生的杂质，避免杂质对待抛光件表面的影响；为了进一步保证抛光刷的清洁效率，本发明采用多次冲洗+干燥的方法对抛光刷进行清洁，具体地，图2为本发明一实施例提供的清洁方法流程示意图，如图2所示，在清洁过程中，首先，使用去离子水冲洗抛光刷表面1-5min，冲掉抛光刷表面的杂质，随后对所述抛光刷进行干燥，去除抛光刷表面的水分，重复上述冲洗-干燥步骤至少两次，直至清洗抛光刷时的出水透亮干净，即可完成对抛光刷的第一次清洁。本发明采用多次抛光和多次清洁相结合的方式，并对清洁过程产生的杂质进行隔挡，避免了抛光产生的杂质对待抛光件的影响，降低待抛光件的抛光频率，延长待抛光件的有效工作时间；此外，本发明还采用多次冲洗和多次干燥相结合的方式对抛光刷进行清洁，有助于提高清洁效率。
在一种具体实施方式中，在进行第一次抛光之前还包括：检查所述抛光刷，确保所述抛光刷表面干净整洁，刷毛方向一致。
图3为本发明又一实施例提供的抛光方法的流程示意图，如图3所示，在对待抛光件进行第一次抛光之前，首先检查抛光刷，确保抛光刷表面干净整洁，刷毛方向一致，随后再使用抛光刷对待抛光件进行第一次抛光，抛光5-30min后，停止第一次抛光并对抛光刷进行第一次清洁，完成第一次抛光+第一次清洁，随后重复上述步骤，完成抛光过程。
抛光可根据本领域常规技术手段进行，例如，第一次抛光具体包括如下步骤：润湿所述抛光刷，移动所述抛光刷与待抛光件表面接触，设置抛光参数，对所述待抛光件进行第一次抛光，所述抛光参数包括抛光电流、震动频率和抛光刷转速。
针对铜箔的抛光工艺中使用的阴极辊，为了进一步延长阴极辊的使用时间，可对每次抛光参数进行设置，例如，当重复抛光-清洁步骤3次，即包括3次抛光和3次清洁时，在第一次抛光中，设置抛光电流为6-10A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm；第二次抛光中，设置抛光电流为5-9A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm；第三次抛光中，设置抛光电流为4-8A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm。
清洁过程主要利用去离子水冲洗抛光刷，第一次清洁具体包括如下步骤：保持抛光刷旋转，使用去离子水冲洗所述抛光刷表面1-5min，随后提高所述抛光刷的转速＞500rpm，甩干抛光刷表面的水分，重复上述冲洗-甩干步骤至少两次，完成对抛光刷的第一次清洁。
此外，在完成抛光过程后还包括：干燥抛光刷，并定期对抛光刷进行检查、修整。
在一种具体实施方式中，本实施方式以对阴极辊进行抛光为例进行详细阐述：步骤1、检查抛光刷，确保抛光刷表面干净清洁、刷毛方向一致；步骤2、保持阴极辊顺时针转动，转速保持1.5-2m/min；步骤3、第一次抛光：通入去离子水润湿抛光刷后，移动抛光刷与阴极辊辊面接触，保持抛光刷顺时针旋转，设置抛光电流为6-10A，震动频率为200-300rpm，转速为180-300rpm，抛光时间为5-30min，完成第一次抛光；步骤4、停止第一次抛光，使用去离子水冲洗抛光刷表面1-5min，提高抛光刷转速＞500rpm，去除所述抛光刷表面的水分后继续使用去离子水冲洗抛光刷，重复步骤3-5次，直至抛光刷表面甩出的水透亮干净为止；步骤5、第二次抛光：操作同第一次抛光，不同之处在于抛光参数不同，具体的，设置抛光电流为5-9A，震动频率为200-300rpm，转速为180-300rpm，抛光时间为5-30min；步骤6、第二次清洁：步骤同步骤4；步骤7、第三次抛光，操作同第一次抛光，不同之处在于抛光参数不同，具体的，设置抛光电流为4-8A，震动频率为200-300rpm，转速为180-300rpm，抛光时间为5-30min；步骤8、第三次清洁：步骤同步骤4，在清洁完成后，抛光刷继续缓慢旋转6-10小时，等待完全干燥，并定期检查抛光刷表面，根据需要修整抛光刷。
以下结合具体实施例进行效果说明：
实施例一
本实施例提供的抛光方法具体包括如下步骤：
步骤1、抛光准备：检査抛光刷表面，确保刷辊表面干净清洁、抛光刷表面高度均匀，刷毛方向一致。
步骤2、保持阴极辊顺时针转动，转速保持1.8m/min；
步骤3、第一次抛光：通入去离子水润湿抛光刷后，移动抛光刷与阴极辊辊面接触，保持顺时针旋转，设置抛光电流为8.6A，震动频率为200rpm，转速为210rpm，抛光时间为10min，完成第一次抛光；
步骤4、停止第一次抛光，使用去离子水冲洗抛光刷表面2min，提高抛光刷转速500rpm，甩干所述抛光刷表面的水分后继续使用去离子水冲洗抛光刷，重复步骤3次，直至抛光刷表面甩出的水透亮干净为止；
步骤5、第二次抛光：通入去离子水润湿抛光刷后，将抛光刷与阴极辊辊面接触，保持抛光刷顺时针旋转，进行第二次抛光，设置抛光电流为8.2A，震动频率为215rpm，转速为230rpm，抛光时间为20min；
步骤6、第二次清洁：同步骤4；
步骤7、第三次抛光：通入去离子水润湿抛光刷后，将抛光刷与阴极辊辊面接触，保持抛光刷顺时针旋转，进行第三次抛光，设置抛光电流为7.8A，震动频率为230rpm，转速为250rpm，抛光时间为20min；
步骤8、第三次清洁：同步骤4，
步骤9、继续缓慢旋转抛光刷6-10小时，等待其完全干燥后停止，并定期检查抛光刷表面，根据需要修整抛光刷。
经过三次抛光+三次清洁过程后的阴极辊出现的划伤数量明显减少，可连续工作约7天。
对比例一
本对比例提供的抛光方法具体包括如下步骤：
步骤1、抛光准备：检査抛光刷表面，确保刷辊表面干净清洁、抛光刷表面高度均匀，刷毛方向一致。
步骤2、保持阴极辊顺时针转动，转速保持1.8m/min；
步骤3、第一次抛光：通入去离子水润湿抛光刷后，保持抛光刷顺时针旋转，设置抛光电流为8.6A，震动频率为200rpm，转速为210rpm，抛光时间为10min，完成第一次抛光；
步骤4、第二次抛光：设置抛光电流为8.2A，震动频率为215rpm，转速为230rpm，抛光时间为20min，完成第二次抛光；
步骤5、第三次抛光：设置抛光电流为7.8A，震动频率为230rpm，转速为250rpm，抛光时间为20min，完成第三次抛光；
步骤6、清洁抛光刷，使用去离子水冲洗抛光刷表面1-5min，自然干燥。
按照以上工艺抛光的阴极辊辊面划伤数量较多，工作约4天后辊面出现较严重划伤等缺陷，需要再次抛光。
通过实施例1和对比例1提供的抛光方法可知，本发明采用多次抛光和多次清洁相结合的方式，并对清洁过程产生的杂质进行隔挡，避免了抛光产生的杂质对待抛光件的影响，进而降低了待抛光件的抛光频率，延长待抛光件的有效工作时间。此外，需要说明的是，本发明以阴极辊的抛光为例进行阐述，但并不表示仅适用于阴极辊的抛光，也同样适用于其他行业类似的工艺方式。
本发明第二方面提供一种实施上述抛光方法的装置，图4为本发明一实施例提供的抛光装置的结构示意图，如图4所示，抛光装置包括主体1、抛光刷2、清洁单元3和隔挡单元4，其中：
主体1的材料可以包括但不限于不锈钢、铝合金等，本领域技术人员可以根据需要选择主体1的材料，并根据抛光刷2以及其他各单元部件的大小、尺寸进行加工得到，本发明对此并不加以限制。
抛光刷2滑动设置在主体1上，即根据抛光刷2的不同工作状态可相对于主体1进行滑动，例如，当抛光刷2处于抛光状态时，抛光刷2与待抛光件表面接触并进行抛光，当抛光刷2处于清洁状态时，抛光刷2位于清洁单元3下方。
清洁单元3位于抛光刷2一侧，用于清洁抛光刷2。
隔挡单元4设置于抛光刷2远离清洁单元3的另一侧，包括收纳部4-1和隔挡部4-2，收纳部4-1设置在主体1上，隔挡部4-2可收纳的设置在收纳部4-1中，隔挡部4-2展开时包裹抛光刷2的至少部分表面，用于隔挡抛光刷2清洁过程中产生的废水或杂质，防止抛光刷2清洁过程中产生的废水或杂质溅到待抛光件表面。
本发明提供的抛光装置，通过在抛光刷一侧设置隔挡单元，能够有效减少抛光刷清洁过程产生的废水或杂质对待抛光件表面的损伤，降低待抛光件的抛光频率，延长待抛光件的有效工作时间。
在一种可行的实施方式中，清洁单元3包括喷淋管3-1、清洁外罩3-2和竖直挡水板（图中未示出），喷淋管3-1和清洁外罩3-2固定在主体1上，喷淋管3-1位于抛光刷2斜上方，用于喷出清洁液，例如去离子水；清洁外罩3-2设置在抛光刷2的外周，用于防止清洁过程产生的废水和杂质外溅；清洁外罩3-2靠近抛光刷2的内部设置有竖直挡水板，竖直挡水板位于抛光刷2的正上方，用于对喷淋管3-1喷出至清洁外罩3-2上的清洁液进行引流；在清洁过程中，去离子水从喷淋管3-1中斜向上喷至清洁外罩3-2上，并通过竖直挡水板3引流至抛光刷2表面，可以使去离子水更加均匀地喷淋至抛光刷2表面。
在一种可行的实施方式中，该装置还包括滑动单元5，通过滑动单元5实现抛光刷2与主体1的滑动连接，即滑动单元5滑动设置在主体1上并与抛光刷2连接；具体地，滑动单元5包括两个滑轨，两个滑轨上分别固定有滑动支架，抛光刷3通过轴承安装在两个滑动支架上，实现抛光刷2的滑动。
在一种可行的实施方式中，收纳部4-1为卷帘收卷筒，隔挡部4-2为隔挡屏，滑动单元5上设置有卡扣，当抛光刷2处于抛光工作状态时，隔挡屏收卷并收纳在卷帘收卷筒内，当抛光刷2处于清洁状态时，隔挡屏展开，其下端与卡扣连接，从而起到隔挡作用。
在一种可行的实施方式中，该装置还包括排水单元6，排水单元6位于清洁单元3的下方，用于收集清洁单元3清洁抛光刷2时产生的废水和杂质；具体地，排水单元6包括废水收纳部和设置在废水收纳部上的排水口，废水收纳部用于收集抛光刷2清洁过程所产生的废水和杂质，并通过排水口排出。
在一种可行的实施方式中，所述装置还包括待抛光件容纳单元7，所述待抛光件容纳单元7位于隔挡单元4远离抛光刷2的一侧，用于放置待抛光件。
在一种可行的实施方式中，所述装置还包括控制单元（图中未示出），控制单元与抛光刷和清洁单元连接，用于控制抛光刷和清洁单元。
本发明提供的装置工作方式如下：当需要对待抛光件进行抛光时，收起隔挡部，控制单元控制抛光刷滑动至与待抛光件表面接触，开始抛光；当需要对抛光刷进行清洁时，控制单元控制抛光刷滑动至清洁单元下方，展开隔挡部，打开清洁单元对抛光刷进行清洁。
综上，本发明提供的抛光装置，通过在抛光刷一侧设置隔挡单元，能够有效减少抛光刷清洁过程产生的杂质对待抛光件表面的损伤，降低待抛光件的抛光频率，延长待抛光件的有效工作时间。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种抛光方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
使用抛光刷对待抛光件进行第一次抛光，抛光5-30min后停止第一次抛光并对所述抛光刷进行第一次清洁，第一次清洁所产生的废水和杂质不与所述待抛光件接触；
重复上述抛光-清洁步骤至少两次，完成所述待抛光件的抛光过程；
其中，所述第一次清洁包括如下步骤：使用去离子水冲洗所述抛光刷表面1-5min，随后对所述抛光刷进行干燥，重复上述冲洗-干燥步骤至少两次，完成对抛光刷的第一次清洁。
2.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，在进行第一次抛光之前还包括：检查所述抛光刷，确保所述抛光刷表面干净整洁、刷毛方向一致。
3.根据权利要求1或2所述的抛光方法，其特征在于，所述第一次抛光具体包括如下步骤：润湿所述抛光刷，移动所述抛光刷与待抛光件表面接触，设置抛光参数，对所述待抛光件进行第一次抛光，所述抛光参数包括抛光电流、震动频率和抛光刷转速。
4.根据权利要求3所述的抛光方法，其特征在于，所述待抛光件为阴极辊，并重复抛光-清洁步骤3次。
5.根据权利要求4所述的抛光方法，其特征在于，在第一次抛光中，设置抛光电流为6-10A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm；第二次抛光中，设置抛光电流为5-9A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm；第三次抛光中，设置抛光电流为4-8A、震动频率为200-300rpm、转速为180-300rpm。
6.根据权利要求1或2所述的抛光方法，其特征在于，所述第一次清洁具体包括如下步骤：保持抛光刷旋转，使用去离子水冲洗所述抛光刷表面1-5min，随后提高所述抛光刷的转速＞500rpm，甩干抛光刷表面的水分，重复上述冲洗-甩干步骤至少两次，完成对抛光刷的第一次清洁。
7.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，在完成抛光过程后还包括：干燥所述抛光刷，并定期对所述抛光刷进行检查、修整。
8.一种实施权利要求1-7任一项所述抛光方法的装置，其特征在于，所述装置包括主体、抛光刷、清洁单元和隔挡单元，所述抛光刷滑动设置在所述主体上，所述清洁单元位于所述抛光刷的一侧，用于清洁所述抛光刷；
所述隔挡单元设置于所述抛光刷远离清洁单元的另一侧，包括收纳部和隔挡部，所述收纳部设置在所述主体上，所述隔挡部可收纳的设置在所述收纳部中，所述隔挡部展开时包裹所述抛光刷的至少部分表面，用于阻挡第一次清洁过程中产生的废水和杂质不与所述待抛光件接触。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述装置还包括滑动单元，所述滑动单元滑动设置在所述主体上并与所述抛光刷固定连接，用于移动所述抛光刷。
10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述装置还包括排水单元，所述排水单元位于所述清洁单元下方，用于收集清洁单元清洁所述抛光刷时产生的废水和杂质。
CN202111122993.6A 2021-09-24 2021-09-24 一种抛光方法和装置 Pending CN113560964A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111122993.6A CN113560964A (zh) 2021-09-24 2021-09-24 一种抛光方法和装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111122993.6A CN113560964A (zh) 2021-09-24 2021-09-24 一种抛光方法和装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113560964A true CN113560964A (zh) 2021-10-29

Family

ID=78174300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111122993.6A Pending CN113560964A (zh) 2021-09-24 2021-09-24 一种抛光方法和装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113560964A (zh)

Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03131472A (ja) * 1989-10-17 1991-06-05 Mitsubishi Materials Corp 切断又は研削加工法
CN1550289A (zh) * 2003-05-20 2004-12-01 豪尼机械制造股份公司 清洁涂覆有立方氮化硼的磨具的方法和实施该方法的设备
CN204192437U (zh) * 2014-10-10 2015-03-11 葳玛机械（新西兰）有限公司 一种清洗抛光设备
CN105177695A (zh) * 2015-08-10 2015-12-23 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 一种阴极辊pva抛光的工艺
DE102014111158A1 (de) * 2014-08-06 2016-02-11 Klingelnberg Ag Vorrichtung mit Fluid-Düsenanordnung zur Abgabe eines Fluids an einem Schleifwerkzeug und Verwendung einer Fluid-Düsenanordnung in einer Schleifmaschine
CN207256006U (zh) * 2017-08-21 2018-04-20 上海哈特工业设备有限公司 一种纤维轮
CN108032205A (zh) * 2017-11-27 2018-05-15 徐鹏威 一种带有清洗组件的抛光装置
CN108127540A (zh) * 2017-12-12 2018-06-08 山东金宝电子股份有限公司 一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺
CN208163300U (zh) * 2018-04-19 2018-11-30 滁州克莱帝玻璃科技有限公司 一种冰箱平板玻璃的加工设备
CN110340762A (zh) * 2019-07-16 2019-10-18 淮南巧天机械设备技术有限公司 一种抛光机
CN110565158A (zh) * 2019-10-08 2019-12-13 陕西汉和新材料科技有限公司 一种新式阴极钛辊在线抛光方法及在线抛光装置
CN210435914U (zh) * 2019-08-09 2020-05-01 晋江市德诺机械设备有限公司 一种多工位的三轴联动数控抛光设备
CN111451920A (zh) * 2020-05-25 2020-07-28 宁波大榭开发区佳洁锌铸件有限公司 一种全自动抛光机
CN211681520U (zh) * 2020-02-27 2020-10-16 徐州永泽新材料科技有限公司 一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机
CN112388499A (zh) * 2019-07-05 2021-02-23 云和县凯毅德电子设备厂 一种轴承加工用抛光机
CN213352017U (zh) * 2020-09-14 2021-06-04 灵宝宝鑫电子科技有限公司 一种生箔阴极辊在线抛光装置

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03131472A (ja) * 1989-10-17 1991-06-05 Mitsubishi Materials Corp 切断又は研削加工法
CN1550289A (zh) * 2003-05-20 2004-12-01 豪尼机械制造股份公司 清洁涂覆有立方氮化硼的磨具的方法和实施该方法的设备
DE102014111158A1 (de) * 2014-08-06 2016-02-11 Klingelnberg Ag Vorrichtung mit Fluid-Düsenanordnung zur Abgabe eines Fluids an einem Schleifwerkzeug und Verwendung einer Fluid-Düsenanordnung in einer Schleifmaschine
CN204192437U (zh) * 2014-10-10 2015-03-11 葳玛机械（新西兰）有限公司 一种清洗抛光设备
CN105177695A (zh) * 2015-08-10 2015-12-23 灵宝华鑫铜箔有限责任公司 一种阴极辊pva抛光的工艺
CN207256006U (zh) * 2017-08-21 2018-04-20 上海哈特工业设备有限公司 一种纤维轮
CN108032205A (zh) * 2017-11-27 2018-05-15 徐鹏威 一种带有清洗组件的抛光装置
CN108127540A (zh) * 2017-12-12 2018-06-08 山东金宝电子股份有限公司 一种电解铜箔生产用阴极辊的抛光工艺
CN208163300U (zh) * 2018-04-19 2018-11-30 滁州克莱帝玻璃科技有限公司 一种冰箱平板玻璃的加工设备
CN112388499A (zh) * 2019-07-05 2021-02-23 云和县凯毅德电子设备厂 一种轴承加工用抛光机
CN110340762A (zh) * 2019-07-16 2019-10-18 淮南巧天机械设备技术有限公司 一种抛光机
CN210435914U (zh) * 2019-08-09 2020-05-01 晋江市德诺机械设备有限公司 一种多工位的三轴联动数控抛光设备
CN110565158A (zh) * 2019-10-08 2019-12-13 陕西汉和新材料科技有限公司 一种新式阴极钛辊在线抛光方法及在线抛光装置
CN211681520U (zh) * 2020-02-27 2020-10-16 徐州永泽新材料科技有限公司 一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机
CN111451920A (zh) * 2020-05-25 2020-07-28 宁波大榭开发区佳洁锌铸件有限公司 一种全自动抛光机
CN213352017U (zh) * 2020-09-14 2021-06-04 灵宝宝鑫电子科技有限公司 一种生箔阴极辊在线抛光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102554748B (zh) 抛光方法
CN111971129B (zh) 轧辊清洁方法及轧辊清洁装置
CN213915150U (zh) 一种精密机械件的清洗装置
CN107081285A (zh) 一种钢丝绳清洗***
CN104438377A (zh) 一种带钢表面除锈自动控制***和方法
CN113560964A (zh) 一种抛光方法和装置
KR20090101676A (ko) 금속 테이프의 표면 연마를 위한 시스템 및 방법
KR100925620B1 (ko) 연속 아연도금 공정에 사용되는 브러쉬 스크러빙 장치
EP0877418A2 (en) Edge-polishing apparatus and method
CN109778211A (zh) 一种电泳前工件脱脂工艺以及脱脂装置
JP3708740B2 (ja) 研磨装置および研磨方法
CN110355155A (zh) 一种方便除油渍的汽车管路用清洗装置
CN214418463U (zh) 一种切边无毛刺型带钢表面处理装置
CN113969485B (zh) 滚筒式洗涤设备的毛屑清洁方法
JP2002273358A (ja) 光学素子の洗浄方法
CN219094750U (zh) 抛光装置
KR19980073947A (ko) 웨이퍼 세정방법
JP3218796B2 (ja) 金属帯の液切装置
CN111037439B (zh) 一种用于预应力钢绞线表面去氧化清洁装置及其工作方法
CN214441262U (zh) 一种合金精线生产用自动化清洗设备
JP2713064B2 (ja) 熱延鋼帯のデスケーリング装置
CN220592787U (zh) 一种抛光防飞溅装置
CN217941043U (zh) 一种晶圆抛光液残留清洗装置
CN212395998U (zh) 压滤机卸泥清理组件
CN217963857U (zh) 一种薄片化硅片清洗装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20211029