CN113539897A - 一种晶圆清洗设备及其自动门装置 - Google Patents

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南建辉
赵宏宇
杨斌
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Abstract

本发明提供一种晶圆清洗设备的自动门装置，包括驱动组件、固定导向组件、连接组件和门板，固定导向组件包括多根设置在晶圆清洗设备上且沿第一方向延伸的固定导向杆；门板通过连接组件与多根固定导向杆活动连接，且与晶圆清洗设备的侧壁平行设置；驱动组件用于驱动连接组件带动门板沿固定导向杆运动，以使门板打开或封闭侧壁上的传输口。在本发明中，门板通过连接组件活动设置在多根沿第一方向延伸的固定导向杆上，从而可在驱动组件的驱动下沿第一方向平稳运动，避免门板在运动过程中发生振动或向第一方向以外的方向位移，提高了门板运动的平稳性和位置的准确性，进而提高了晶圆清洗设备中相应腔室的密封性能。本发明还提供一种晶圆清洗设备。

Description

一种晶圆清洗设备及其自动门装置
技术领域
本发明涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种晶圆清洗设备及其自动门装置。
背景技术
在槽式清洗机中，常通过晶圆传输***WTS(Wafer TransferSystem)完成晶圆由上料区域至工艺区域的自动传输，其平面分布如图8所示，包括：Loadport(上料区)，FOUP(储片盒)储存区及Wafer Transfer(晶圆传输)区。FOUP Robot(储片盒传输机械手)用于将Loadport上放置好的FOUP传输至FOUP储存区，WaferRobot(晶圆传输机械手)用于将FOUP储存区中FOUP内晶圆取出，传递至晶圆翻转机构，晶圆翻转机构将晶圆由水平放置转换为竖直放置，之后由PTZ(Process Transfer Zone过程传输区域)将晶圆取下，经过Aligner(晶圆缺口对齐装置)对齐晶圆缺口，最后由ProcessRobot(工艺机械手)取走晶圆，进行工艺处理。
为了提高晶圆洁净度，FOUP储存区与上料区之间常通过腔室侧壁隔开，并在侧壁上设置能够自动开闭的自动门装置，仅在储片盒在FOUP储存区与上料区之间传输时将自动门装置打开。然而，现有的自动门装置开关门动作稳定性较差且密封性能不佳。
发明内容
本发明旨在提供一种用于晶圆清洗设备的自动门装置，该自动门装置能够提高晶圆清洗设备中腔室的密封性能。
为实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种晶圆清洗设备的自动门装置，所述自动门装置包括驱动组件、固定导向组件、连接组件和门板，所述固定导向组件包括多根设置在所述晶圆清洗设备上且沿第一方向延伸的固定导向杆；所述门板通过所述连接组件与多根所述固定导向杆活动连接，且与所述晶圆清洗设备的侧壁平行设置；所述驱动组件用于驱动所述连接组件带动所述门板沿所述固定导向杆运动，以使所述门板打开或封闭所述侧壁上的传输口。
可选地，所述固定导向组件还包括上固定板和下固定板，所述上固定板和所述下固定板均固定设置所述侧壁上，且二者沿所述第一方向相对设置，多根所述固定导向杆均设置在所述上固定板与所述下固定板之间，且所述固定导向杆的两端分别与所述上固定板和所述下固定板固定连接。
可选地，所述驱动组件包括沿所述第一方向延伸的杆状的驱动源和设置在所述驱动源上在所述驱动源驱动下可沿所述第一方向移动的滑块，所述驱动源的两端分别与所述上固定板和所述下固定板固定连接；
所述连接组件包括活动板和多个第一滑动连接件，所述活动板上形成有多个沿所述第一方向的第一安装通孔，多个所述第一滑动连接件一一对应地固定设置在多个所述第一安装通孔中，所述第一滑动连接件具有第一滑动连接孔，多个所述第一滑动连接件的第一滑动连接孔一一对应地套设在多个所述固定导向杆上，所述活动板与所述滑块和所述门板均固定连接。
可选地，所述第一滑动连接件为直线轴承，所述直线轴承的内孔形成为所述第一滑动连接孔。
可选地，还包括活动导向组件，所述活动导向组件包括连接板、多根活动导向杆和多个第二滑动连接件，所述连接板与所述活动板沿所述第一方向相对设置，且所述连接板与所述活动板分别固定连接在所述门板相对的两侧边缘，多根所述活动导向杆均沿所述第一方向延伸且设置在所述连接板与所述活动板之间，所述活动导向杆的两端分别与所述连接板和所述活动板固定连接；
所述下固定板上形成有多个沿所述第一方向的第二安装通孔，多个所述第二滑动连接件一一对应地固定设置在多个所述第二安装通孔中，所述第二滑动连接件具有第二滑动连接孔，多根所述活动导向杆一一对应地穿过多个所述第二滑动连接件的第二滑动连接孔。
可选地，所述连接组件还包括支撑板，所述支撑板贴附并固定在所述门板上，所述活动板通过所述支撑板与所述门板固定连接；
所述连接板的边缘具有翘曲部，所述翘曲部具有与所述门板相对的门板贴附面，所述连接板通过所述门板贴附面与所述门板接触并固定连接。
可选地，所述自动门装置还包括底容纳件，所述底容纳件具有形状与所述连接板对应的容纳槽，所述连接板在所述门板运动至封闭所述传输口时落入所述容纳槽中。
可选地，多根所述固定导向杆与多根所述活动导向杆沿第二方向间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直。
可选地，所述自动门装置还包括沿第二方向分别设置在所述门板两侧的两个侧固定件，所述第二方向与所述第一方向垂直，两个所述侧固定件用于封闭部分所述传输口，并在两个所述侧固定件之间留出与所述门板形状对应的开口，两个所述侧固定件上分别形成有一个限位面，两个所述限位面相对设置，且两个所述限位面之间的距离与所述门板沿所述第二方向的尺寸对应；
两个所述限位面上分别设置有一个密封板，两个所述密封板与所述门板平行且位于所述门板的同一侧，两个所述密封板在第一方向的长度均与所述开口在第一方向的尺寸对应，用于在所述门板封闭所述开口时遮挡所述门板的边缘与两个所述限位面之间的间隙。
作为本发明的第二个方面，提供一种晶圆清洗设备，所述晶圆清洗设备的侧壁上开设有至少三个传输口，每个所述传输口处都设置有前面所述的自动门装置，以打开或封闭所述传输口。
在本发明提供的自动门装置以及晶圆清洗设备中，门板通过连接组件活动设置在多根沿第一方向延伸的固定导向杆上，从而可以在驱动组件的驱动下沿第一方向平稳运动，避免门板在运动过程中发生振动或向第一方向以外的方向位移，提高了门板打开、封闭传输口过程中运动的平稳性和位置的准确性，进而提高了晶圆清洗设备中相应腔室的密封性能，保证了晶圆表面的洁净度。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明提供的自动门装置的结构示意图；
图2是图1中自动门装置的部分结构示意图；
图3是本发明提供的自动门装置设置在晶圆清洗设备侧壁上并封闭传输口的效果示意图；
图4是本发明提供的自动门装置中门板部分开启的示意图；
图5是本发明提供的自动门装置中门板完全开启的示意图；
图6是本发明提供的自动门装置中门板与侧固定件之间的位置关系示意图；
图7是图6中结构的部分放大示意图；
图8是现有技术中一种晶圆清洗设备的晶圆传输***的结构示意图；
图9是本发明实施例提供的晶圆清洗设备的结构示意图；
图10是本发明另一实施例提供的晶圆清洗设备的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
为解决上述技术问题，作为本发明的一个方面，提供一种晶圆清洗设备的自动门装置，如图1所示，该自动门装置包括驱动组件、固定导向组件、连接组件(包括第一滑动连接件4、活动板5、支撑板15等结构)和门板12，固定导向组件包括多根固定设置在晶圆清洗设备上且沿第一方向延伸的固定导向杆2；门板12通过连接组件与多根固定导向杆2活动连接，且与晶圆清洗设备的侧壁平行设置；驱动组件用于驱动连接组件带动门板12沿固定导向杆2运动，以使门板12打开或封闭晶圆清洗设备侧壁上的传输口。
在本发明中，门板12通过连接组件活动设置在多根沿第一方向延伸的固定导向杆2上，从而可以在驱动组件的驱动下沿第一方向平稳运动，避免门板在运动过程中发生振动或向第一方向以外的方向位移，提高了门板12打开、封闭传输口过程中运动的平稳性和位置的准确性，进而提高了晶圆清洗设备中相应腔室的密封性能(如FOUP储存区与上料区之间的密封性能)，保证了晶圆表面的洁净度。
本发明实施例对第一方向的朝向不作具体限定，例如，为节约横向空间，以便于在晶圆清洗设备的侧壁上设置多个自动门装置，优选地，第一方向为晶圆清洗设备的高度方向，即，自动门装置沿高度方向设置，驱动组件用于驱动连接组件带动门板12进行升降运动，例如，如图3至图5所示，驱动组件用于驱动连接组件带动门板12上升以打开传输口，或者驱动连接组件带动门板12下降以封闭传输口。
为保证多根固定导向杆2之间相互平行，作为本发明的一种优选实施方式，如图1、图2所示，驱动组件还包括上固定板1和下固定板7，上固定板1和下固定板7均固定设置在晶圆清洗设备的侧壁上，且二者沿第一方向相对设置(例如，上固定板1和下固定板7均水平设置且沿高度方向相对间隔设置)，多根固定导向杆2均设置在上固定板1与下固定板7之间，且固定导向杆2的两端分别与上固定板1和下固定板7固定连接。
本发明实施例对驱动组件的结构不作具体限定，例如，驱动组件可以包括气缸、电机等驱动源。为提高自动门装置结构的紧凑性，作为本发明的一种优选实施方式，如图1至图5所示，驱动组件包括沿第一方向延伸的杆状的驱动源3和设置在驱动源3上且在驱动源3的驱动下可沿第一方向移动的滑块，驱动源3的两端分别与上固定板1和下固定板7固定连接。
在本发明实施例中，驱动源3为杆状结构，且与多根固定导向杆2平行设置，从而合理分配了上固定板1与下固定板7之间的空间，提高了自动门装置结构的紧凑性。可选地，驱动源3为磁耦式无杆气缸。
为延长连接组件的动件使用寿命，作为本发明的一种优选实施方式，如图1、图2所示，连接组件包括多个第一滑动连接件4和沿垂直于第一方向设置的活动板5(在第一方向为高度方向的情况下活动板5水平设置)，活动板5上形成有多个沿第一方向的第一安装通孔，多个第一滑动连接件4一一对应地固定设置在多个第一安装通孔中，第一滑动连接件4具有第一滑动连接孔，且多个第一滑动连接件4的第一滑动连接孔一一对应地套设在多个固定导向杆2上，活动板5与门板12以及驱动组件的滑块均固定连接。
在本发明实施例中，连接组件包括活动板5和多个多个第一滑动连接件4，活动板5通过每个第一滑动连接件4与对应的固定导向杆2活动连接，从而在升降次数过多，摩擦面老化时，可选择单独更换出现问题的第一滑动连接件4，延长了连接组件中动件的使用寿命，降低了维护成本。
为提高第一滑动连接件4沿固定导向杆2运动的平稳性，作为本发明的一种优选实施方式，如图1、图2所示，第一滑动连接件4为直线轴承，直线轴承的内孔形成为该第一滑动连接孔。
在本发明实施例中，第一滑动连接件4为直线轴承，固定导向杆2的表面与直线轴承内部的滚珠滚动接触，从而减小了第一滑动连接件4与固定导向杆2之间的摩擦力，提高了第一滑动连接件4沿固定导向杆2运动的平稳性，进而保证了门板12运动的平稳性。
并且，在本发明实施例中，多个第一滑动连接件4固定设置在水平的活动板5的多个第一安装通孔中，并通过活动板5与门板12固定连接，从而在组装自动门装置时可先将第一滑动连接件4安装至对应的第一安装通孔中，再将组装体与门板12固定连接，提高了多个第一滑动连接件4与门板12安装的便捷性。此外，活动板5可以保证多个第一滑动连接件4在沿多根固定导向杆2运动时高度的一致性，从而在提高多个第一滑动连接件4与门板12安装的便捷性的同时，保证多个第一滑动连接件4行程同步，进一步提高门板12运动的平稳性。
为进一步提高门板12位置的准确性，作为本发明的一种优选实施方式，如图1、图2所示，自动门装置还包括活动导向组件，活动导向组件包括连接板11、多根活动导向杆17和多个第二滑动连接件8，连接板11与活动板5沿第一方向相对设置(例如连接板11与活动板5均水平设置且沿高度方向相对间隔设置)，且连接板11与活动板5分别固定连接在门板12相对的两侧(上下两侧)边缘，多根活动导向杆17均沿第一方向延伸且设置在连接板11与活动板5之间，活动导向杆17的两端分别与连接板11和活动板5固定连接。
下固定板7上形成有多个沿第一方向的第二安装通孔，多个第二滑动连接件8一一对应地固定设置在多个第二安装通孔中。第二滑动连接件8具有第二滑动连接孔，多根活动导向杆17一一对应地穿过多个第二滑动连接件8的第二滑动连接孔。
在本发明实施例中，活动导向组件包括多根活动导向杆17，多根活动导向杆17的两端通过连接板11和活动板5与门板12的上下两侧边缘固定连接，且多根活动导向杆17一一对应地穿过固定设置在晶圆清洗设备侧壁上的多个第二滑动连接件8(位于下固定板7上)，从而能够在门板12升降运动的过程中，通过多根活动导向杆17与多个第二滑动连接孔之间的配合关系保证门板12与晶圆清洗设备侧壁之间的平行度。
在本发明实施例中，固定导向杆2用于保证门板12的升降方向的准确性，而活动导向杆17可用于保证门板12在升降过程中(与晶圆清洗设备侧壁之间的)角度不变，从而进一步提高门板位置的准确性。
为延长滑动结构的使用寿命、降低维护成本，优选地，第二滑动连接件8为衬套。如图1、图2所示，第二滑动连接件8的位置靠近传输口，在本发明实施例中，为避免半导体工艺的副产物(如颗粒物)，进入第二滑动连接件8中，导致第二滑动连接件8中精密部件运转出现卡顿，优选地将第二滑动连接件8设置为结构较为简单的衬套，从而延长了滑动结构的使用寿命、降低了对直线轴承等部件进行维修、更换的维护成本。
本发明实施例对自动门装置中部件之间以及自动门装置的部件与晶圆清洗设备侧壁之间如何固定连接不作具体限定，例如，部件之间可通过紧固件组装连接。为便于拆装维护，优选地，自动门装置中部件之间以及自动门装置的部件与晶圆清洗设备侧壁之间通过螺纹紧固件螺装固定。
为提高活动板5以及连接板11与门板12连接的稳定性，作为本发明的一种优选实施方式，如图1、图3至图5所示，连接组件还包括支撑板15，支撑板15贴附并固定在门板12上，活动板5通过支撑板15与门板12(螺装)固定连接，连接板11的边缘具有翘曲部，翘曲部具有与门板12相对的门板贴附面，连接板11通过门板贴附面与门板12接触并固定连接。
在本发明实施例中，活动板5通过竖直设置的支撑板15与门板12(螺装)固定连接，连接板11通过边缘的翘曲部上竖直的门板贴附面与门板12(螺装)固定连接，从而增大了连接组件与门板两侧边缘区域之间的接触面积，分散了门板12上的应力，提高了活动板5和连接板11与门板12连接的安全性和稳定性。
为进一步保证门板12位置的准确性，作为本发明的一种优选实施方式，如图1、图3至图5所示，自动门装置还包括底容纳件10(固定设置在晶圆清洗设备的侧壁上)，底容纳件10具有形状与连接板11对应的容纳槽，连接板11在门板12运动至封闭传输口时落入容纳槽中。
为简化装置结构，并减轻驱动组件的负载，优选地，如图1、图3至图5所示，连接板11和底容纳件10均为钣金件，具体地，连接板11可以为两侧弯折形成两个翘曲部的U形钣金件，底容纳件10的四周向上弯折，从而合围形成容纳槽。
为节约机台空间，作为本发明的一种优选实施方式，如图1至图5所示，多根固定导向杆2与多根活动导向杆17沿第二方向间隔设置，第二方向与第一方向垂直。
在本发明实施例中，多根固定导向杆2与多根活动导向杆17沿第二方向间隔设置，从而缩小了自动门装置沿垂直于门板(晶圆清洗设备侧壁)方向的尺寸，进而节约了机台空间。
本发明实施例对固定导向杆2与活动导向杆17的数量不作具体限定，例如，可选地，如图1至图5所示，自动门装置包括两根固定导向杆2和两根活动导向杆17。为提高活动导向杆17对门板角度的限制作用，优选地，如图1至图5所示，两根活动导向杆17分别设置在两根固定导向杆2的外侧。
本发明实施例对固定导向杆2和活动导向杆17的端部如何与水平设置的板状件连接不作具体限定，例如，可选地，如图1至图5所示，自动门装置还包括多个固定座，该固定座包括固定板和固定连接在固定板上的固定筒，部分固定座的固定板与活动板5(螺装)固定连接，部分固定座的固定板与连接板11(螺装)固定连接，部分固定座的固定板与上固定板1(螺装)固定连接，部分固定座的固定板与下固定板7(螺装)固定连接；固定导向杆2的两端分别***并固定装置在上固定板1和下固定板7上对应固定座的固定筒中，活动导向杆17的两端分别***并固定在活动板5和连接板11上对应固定座的固定筒中。
为提高自动门装置整体结构的美观性，优选地，如图1至图5所示，连接组件还包括挡板16，挡板16与支撑板15相对设置且二者分别固定连接在活动板5的两侧，挡板16能够对驱动源3及固定导向杆2进行遮挡和装饰，从而提高自动门装置整体结构的美观性。
为提高驱动源3向门板12施加抬升力的均匀性，优选地，如图1至图5所示，驱动源3与支撑板15沿第二方向的中间位置连接，支撑板15的底部边缘为直线，且支撑板15沿第一方向的宽度由中间位置向两侧逐渐减小。在本发明实施例中，支撑板15的形状与飞机机翼形状相似，从而能够提高驱动源3通过支撑板15向门板12施加的抬升力在门板12上分散的均匀性和对称性，进一步提高门板12运动的平稳性。
为进一步提高自动门装置整体结构的美观性，优选地，如图1至图5所示，驱动组件还包括盖板14，盖板14设置在下固定板7背离上固定板1的一侧且与下固定板7相对间隔设置，盖板14与下固定板7(螺装)固定连接，用于对驱动源3下部的进气口进行遮挡和装饰，从而进一步提高自动门装置整体结构的美观性。
为进一步提高自动门装置封闭传输口的密封效果，作为本发明的一种优选实施方式，如图1、图3至图5所示，自动门装置还包括沿第二方向分别设置在门板12两侧的两个侧固定件(第一侧固定件9和第二侧固定件13)，两个侧固定件用于部分封闭传输口，并在两个侧固定件之间留出与门板12形状对应的开口，两个侧固定件上分别形成有一个限位面，两个限位面相对设置，且两个限位面之间的距离与门板12沿第二方向的尺寸对应。
两个限位面上分别设置有一个密封板18，两个密封板18与门板12平行且位于门板12的同一侧，两个密封板18在第一方向的长度均与该开口在第一方向的尺寸对应，用于在门板12封闭该开口时遮挡门板12的边缘与两个限位面之间的间隙。
如图3所示，晶圆清洗设备侧壁上的多个固定件20之间形成有传输口，第一侧固定件9和第二侧固定件13部分封闭传输口并在中间留出与门板12形状对应的矩形开口。在本发明实施例中，第一侧固定件9和第二侧固定件13朝向门板12的限位面上均设置有与门板12平行的密封板18，两个密封板18沿高度方向延伸并分别对门板12左右两侧的间隙进行遮挡，提高了门板对第一侧固定件9和第二侧固定件13之间的开口的密封效果，从而提高了自动门装置封闭传输口的密封性能。
为提高自动门装置封闭传输口的密封性能，作为本发明的一种优选实施方式，两个密封板18朝向门板12的一侧均设置有密封条，密封条用于在门板12封闭传输口时，对门板12的两侧与两个密封板18之间的间隙进行密封。为进一步提高自动门装置封闭传输口的密封性能，密封条的材质优选为弹性材料，如，橡胶。
作为本发明的第二个方面，还提供一种晶圆清洗设备，如图9、图10所示，晶圆清洗设备的侧壁上开设有至少三个传输口(例如，如图10所示，侧壁上可开设有四个传输口)，且每个传输口处都设置有本发明实施例提供的自动门装置，以打开或封闭对应的传输口。
可选地，如图9、图10所示，该晶圆清洗设备还包括清洗槽和用于向清洗槽提供晶圆的硅片传输***(Wafer Transfer System，WTS)，硅片传输***包括上料区(Loadport)和储片盒储存腔(即FOUP储存区)，自动门装置设置在储片盒储存腔朝向上料区的侧壁上。
在本发明提供的晶圆清洗设备中，自动门装置的门板12通过连接组件活动设置在多根沿第一方向延伸的固定导向杆2上，从而可以在驱动组件的驱动下沿第一方向平稳运动，避免门板在运动过程中发生振动或向第一方向以外的方向位移，提高了门板12打开、封闭传输口过程中运动的平稳性和位置的准确性，进而提高了晶圆清洗设备中储片盒储存腔的密封性能，保证了晶圆表面的洁净度。
并且，在现有技术中，储片盒储存腔的侧壁上通常仅开设有两个传输口，而本发明实施例提供的自动门装置能够通过紧凑的导向结构实现门板12的精确、平稳控制，从而显著减小自动门装置对两侧空间的占用量，因此在本发明实施例中，晶圆清洗设备可以包括3个以上(如，4个)的传输口以及对应的自动门装置，从而极大地提高了储片盒在上料区与储片盒储存腔之间的传输效率，进而提高了晶圆清洗设备的机台效率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶圆清洗设备的自动门装置，其特征在于，所述自动门装置包括驱动组件、固定导向组件、连接组件和门板，所述固定导向组件包括多根设置在所述晶圆清洗设备上且沿第一方向延伸的固定导向杆；所述门板通过所述连接组件与多根所述固定导向杆活动连接，且与所述晶圆清洗设备的侧壁平行设置；所述驱动组件用于驱动所述连接组件带动所述门板沿所述固定导向杆运动，以使所述门板打开或封闭所述侧壁上的传输口。
2.根据权利要求1所述的自动门装置，其特征在于，所述固定导向组件还包括上固定板和下固定板，所述上固定板和所述下固定板均固定设置所述侧壁上，且二者沿所述第一方向相对设置，多根所述固定导向杆均设置在所述上固定板与所述下固定板之间，且所述固定导向杆的两端分别与所述上固定板和所述下固定板固定连接。
3.根据权利要求2所述的自动门装置，其特征在于，所述驱动组件包括沿所述第一方向延伸的杆状的驱动源和设置在所述驱动源上在所述驱动源驱动下可沿所述第一方向移动的滑块，所述驱动源的两端分别与所述上固定板和所述下固定板固定连接；
所述连接组件包括活动板和多个第一滑动连接件，所述活动板上形成有多个沿所述第一方向的第一安装通孔，多个所述第一滑动连接件一一对应地固定设置在多个所述第一安装通孔中，所述第一滑动连接件具有第一滑动连接孔，多个所述第一滑动连接件的第一滑动连接孔一一对应地套设在多个所述固定导向杆上，所述活动板与所述滑块和所述门板均固定连接。
4.根据权利要求3所述的自动门装置，其特征在于，所述第一滑动连接件为直线轴承，所述直线轴承的内孔形成为所述第一滑动连接孔。
5.根据权利要求3所述的自动门装置，其特征在于，还包括活动导向组件，所述活动导向组件包括连接板、多根活动导向杆和多个第二滑动连接件，所述连接板与所述活动板沿所述第一方向相对设置，且所述连接板与所述活动板分别固定连接在所述门板相对的两侧边缘，多根所述活动导向杆均沿所述第一方向延伸且设置在所述连接板与所述活动板之间，所述活动导向杆的两端分别与所述连接板和所述活动板固定连接；
所述下固定板上形成有多个沿所述第一方向的第二安装通孔，多个所述第二滑动连接件一一对应地固定设置在多个所述第二安装通孔中，所述第二滑动连接件具有第二滑动连接孔，多根所述活动导向杆一一对应地穿过多个所述第二滑动连接件的第二滑动连接孔。
6.根据权利要求5所述的自动门装置，其特征在于，所述连接组件还包括支撑板，所述支撑板贴附并固定在所述门板上，所述活动板通过所述支撑板与所述门板固定连接；
所述连接板的边缘具有翘曲部，所述翘曲部具有与所述门板相对的门板贴附面，所述连接板通过所述门板贴附面与所述门板接触并固定连接。
7.根据权利要求5所述的自动门装置，其特征在于，所述自动门装置还包括底容纳件，所述底容纳件具有形状与所述连接板对应的容纳槽，所述连接板在所述门板运动至封闭所述传输口时落入所述容纳槽中。
8.根据权利要求5至7中任意一项所述的自动门装置，其特征在于，多根所述固定导向杆与多根所述活动导向杆沿第二方向间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直。
9.根据权利要求1至7中任意一项所述的自动门装置，其特征在于，所述自动门装置还包括沿第二方向分别设置在所述门板两侧的两个侧固定件，所述第二方向与所述第一方向垂直，两个所述侧固定件用于封闭部分所述传输口，并在两个所述侧固定件之间留出与所述门板形状对应的开口，两个所述侧固定件上分别形成有一个限位面，两个所述限位面相对设置，且两个所述限位面之间的距离与所述门板沿所述第二方向的尺寸对应；
两个所述限位面上分别设置有一个密封板，两个所述密封板与所述门板平行且位于所述门板的同一侧，两个所述密封板在第一方向的长度均与所述开口在第一方向的尺寸对应，用于在所述门板封闭所述开口时遮挡所述门板的边缘与两个所述限位面之间的间隙。
10.一种晶圆清洗设备，其特征在于，所述晶圆清洗设备的侧壁上开设有至少三个传输口，每个所述传输口处都设置有如权利要求1-9任意一项所述的自动门装置，以打开或封闭所述传输口。
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